Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2006
• Main Authors: Жавжаров, Е.Л., Матюшин, В.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
• Subjects: Материалы электроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52976
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров....