Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2006 |
| Автори: | Жавжаров, Е.Л., Матюшин, В.М. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52976 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Стимулируемая водородом миграция атомов металлов в структурах «металл — полупроводник»
за авторством: Матюшин, В.М., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Матюшин, В.М., та інші
Опубліковано: (2012)
Выращивание крупногабаритных монокристаллов вольфрамата кадмия с высокой оптической однородностью
за авторством: Сольский, И.М.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Сольский, И.М.
Опубліковано: (2005)
Получение оптически однородных монокристаллов ниобата лития больших размеров
за авторством: Сольский, И.М., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Сольский, И.М., та інші
Опубліковано: (2005)
Способ электродугового восстановления кремния
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Получение и свойства пористого карбида кремния
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Физико-технические параметры монокристаллов для светозвуко-проводов акустооптических устройств
за авторством: Данилов, В.В.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Данилов, В.В.
Опубліковано: (2002)
Гетероструктуры, полученные методом отжига монокристаллов InSe в парах серы
за авторством: Ковалюк, З.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ковалюк, З.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Влияние обработки водородом монокристаллов теллурида кадмия на их спектры оптического пропускания
за авторством: Пигур, О.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Пигур, О.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2015)
Прогнозирование диэлектрических свойств некристаллизующейся моноармированной полиматричной стеклокерамики
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Синтез и исследование нанопорошков ферромолибдата стронция с высокой степенью сверхструктурного упорядочения для спинтроники
за авторством: Ярмолич, М.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ярмолич, М.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Нанокомпозиты на основе опаловых матриц с 3D-структурой, образованной магнитными наночастицами
за авторством: Ринкевич, А.Б., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ринкевич, А.Б., та інші
Опубліковано: (2008)
Нанокомпозиты на основе опаловых матриц с кристаллическими ферротороидальными мультиферроиками
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2012)
3D-нанокомпозиты — опаловые матрицы с включениями металлического Со и слоистые структуры «опаловая матрица — Co/Ir»
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Радиационная модификация структурной сетки халькогенидного стекла
за авторством: Кавецкий, Т.С., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кавецкий, Т.С., та інші
Опубліковано: (2008)
Механизм регулярных формоизменений микропроволоки при воздействии токовых нагрузок
за авторством: Моисеев, Л.М., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Моисеев, Л.М., та інші
Опубліковано: (2003)
Использование керамики на основе твердых растворов (Ni, Co, Mn, Cu)₃O₄для толстопленочных терморезисторов
за авторством: Шпотюк, О.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Шпотюк, О.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Исследование спектров фотолюминесценции низкоразмерных структур InSb, сформированных в матрице GaSb
за авторством: Андронова, Е.В., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Андронова, Е.В., та інші
Опубліковано: (2011)
Высокоинформативный комплексный метод определения типа моторного масла
за авторством: Мамыкин, А.В., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Мамыкин, А.В., та інші
Опубліковано: (2019)
Способ определения доли кристаллов в стеклокерамическом диэлектрике
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Оценка параметров компонентов моноармированой стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Прогнозирование параметров стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей для разных соотношений компонентов и режимов спекания
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Прогноз диэлектрических потерь в стеклокерамике для разных соотношений массовых долей компонентов
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2012)
Взрывная кристаллизация тонких пленок полупроводников при облучении y-квантами
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Храмов, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2003)
Модифікація тонких металевих плівок Ag, Cu, Ni під дією атомарного водню
за авторством: Жавжаров, Є.Л.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Жавжаров, Є.Л.
Опубліковано: (2010)
Фотохромная чувствительность модифицированных пленок бактериородопсина для устройств молекулярной электроники
за авторством: Адамов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Адамов, Г.Е., та інші
Опубліковано: (2005)
Структура полимерных композитов на основе диоксида ванадия и их диэлектрические свойства в диапазоне радиочастот
за авторством: Колбунов, В.Р., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Колбунов, В.Р., та інші
Опубліковано: (2015)
Влагоустойчивость транзисторов в пластмассовых корпусах на основе эпоксинаволачных смол
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2001)
Эффективные сцинтилляционные материалы на основе твердых растворов ZnS1–xTex и перспективы их применения
за авторством: Катрунов, К.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Катрунов, К.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Электропроводность композита «полиэтилен - диоксид ванадия»
за авторством: Антонова, Е.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Антонова, Е.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности
за авторством: Коваленко, К.Л., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Коваленко, К.Л., та інші
Опубліковано: (2009)
Особенности конденсации фуллеренов из молекулярного пучка в вакууме
за авторством: Нелюба, П.Л.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Нелюба, П.Л.
Опубліковано: (2011)
Степенная связь параметров композиционного материала и его компонентов
за авторством: Дмитриев, М.В.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Дмитриев, М.В.
Опубліковано: (2002)
Механизм формирования межслоевых квантовых нитей в легированном цинком Bi₂Te₃
за авторством: Алиева, А.П., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Алиева, А.П., та інші
Опубліковано: (2012)
Схожі ресурси
-
Стимулируемая водородом миграция атомов металлов в структурах «металл — полупроводник»
за авторством: Матюшин, В.М., та інші
Опубліковано: (2012) -
Выращивание крупногабаритных монокристаллов вольфрамата кадмия с высокой оптической однородностью
за авторством: Сольский, И.М.
Опубліковано: (2005) -
Получение оптически однородных монокристаллов ниобата лития больших размеров
за авторством: Сольский, И.М., та інші
Опубліковано: (2005) -
Способ электродугового восстановления кремния
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005) -
Получение и свойства пористого карбида кремния
за авторством: Светличная, Л.А., та інші
Опубліковано: (2005)