Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона
Разработаны схемы комбинированных полупроводниковых индуктивностей, пригодных для изготовления гибридной или полупроводниковой микросхемы широкого диапазона частот до нескольких десятков гигагерц....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53250 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона / Н.А, Филинюк А.М. Куземко, Салех М. М. Журбан // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 5. — С. 9-13. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859646811158872064 |
|---|---|
| author | Филинюк, Н.А Куземко, А.М. Салех М. М. Журбан |
| author_facet | Филинюк, Н.А Куземко, А.М. Салех М. М. Журбан |
| citation_txt | Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона / Н.А, Филинюк А.М. Куземко, Салех М. М. Журбан // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 5. — С. 9-13. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Разработаны схемы комбинированных полупроводниковых индуктивностей, пригодных для изготовления гибридной или полупроводниковой микросхемы широкого диапазона частот до нескольких десятков гигагерц.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:29:00Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5
9
ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ×
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
16.03 2006 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. Ï. ÏÎÏÎÂ
(Èí-ò ìèêðîïðèáîðîâ, ã. Êèåâ)
Ä. ò. í. Í. À. ÔÈËÈÍÞÊ, À. Ì. ÊÓÇÅÌÊÎ, ÑÀËÅÕ Ì Ì ÆÓÐÁÀÍ
Óêðàèíà, Âèííèöêèé íàöèîíàëüíûé òåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò
E-mail: Filinyuk@vstu.vinnica.ua
Ðàçðàáîòàíû ñõåìû êîìáèíèðîâàííûõ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èíäóêòèâíîñòåé,
ïðèãîäíûõ äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ãèáðèäíîé
èëè ïîëóïðîâîäíèêîâîé ìèêðîñõåìû
øèðîêîãî äèàïàçîíà ÷àñòîò äî íåñêîëü-
êèõ äåñÿòêîâ ãèãàãåðö.
Îäíîé èç ïðîáëåì ýëåêòðîíèêè ÿâëÿåòñÿ ðåàëèçà-
öèÿ â èíòåãðàëüíîì âèäå êàòóøêè èíäóêòèâíîñòè. Ê
íåé ïðåäúÿâëÿþòñÿ òðåáîâàíèÿ ïî òåõíîëîãè÷íîñòè,
âåëè÷èíå èíäóêòèâíîñòè, äîáðîòíîñòè, ñòàáèëüíîñ-
òè, ÷àñòîòíîìó äèàïàçîíó è ðàçìåðàì. Âûïîëíåíèå
ýòèõ òðåáîâàíèé âî ìíîãîì îïðåäåëÿåòñÿ ÷àñòîòíûì
äèàïàçîíîì è âèäîì èñïîëüçóåìîé òåõíîëîãèè.
Íàèáîëåå øèðîêîå ïðèìåíåíèå ïîëó÷èëè ïëîñêèå
êàòóøêè èíäóêòèâíîñòè â âèäå íàïûëåííûõ ïðîâî-
äÿùèõ ïëåíîê è íàâåñíûå ìèêðîêàòóøêè èíäóêòèâ-
íîñòè, íàìàòûâàåìûå ðàçëè÷íûì îáðàçîì, ñ ñåðäå÷-
íèêîì è áåç íåãî [1, 2]. Íà ÷àñòîòàõ â íåñêîëüêî äå-
ñÿòêîâ ãèãàãåðö òàêèå êàòóøêè îáëàäàþò èíäóêòèâ-
íîñòüþ ïîðÿäêà 200�600 ïÃí è äîáðîòíîñòüþ 10�
20 åäèíèö ïðè äèàìåòðå 20 ìêì [3, 4]. Äàëüíåéøåå
ïîâûøåíèå èíäóêòèâíîñòè è äîáðîòíîñòè òðåáóåò óâå-
ëè÷åíèÿ èõ ãåîìåòðè÷åñêèõ ðàçìåðîâ, ÷òî ÿâëÿåòñÿ
ñóùåñòâåííûì íåäîñòàòêîì.
×àùå âñåãî â ìèêðîñõåìàõ íå òðåáóåòñÿ èñïîëü-
çîâàíèå ñâîéñòâà êàòóøêè èíäóêòèâíîñòè íàêàïëè-
âàòü ìàãíèòíîå ïîëå, òðåáóåòñÿ òîëüêî îáåñïå÷åíèå
ôàçîâîãî ñäâèãà ìåæäó òîêîì è íàïðÿæåíèåì íà óãîë,
áëèçêèé ê 90°. Ýòî ñâîéñòâî ðåàëèçóþò àíàëîãè êà-
òóøêè èíäóêòèâíîñòè, â ÷àñòíîñòè íà îñíîâå ïîëó-
ïðîâîäíèêîâ, � ïîëóïðîâîäíèêîâûå èíäóêòèâíîñ-
òè. Â íàñòîÿùåé ðàáîòå ïðîâîäèòñÿ àíàëèç ïðåèìó-
ùåñòâ è íåäîñòàòêîâ èñïîëüçóåìûõ ïðè ýòîì òåõíè-
÷åñêèõ ðåøåíèé è ïðåäëàãàåòñÿ äàëüíåéøåå èõ ðàç-
âèòèå ïðèìåíèòåëüíî ê äèàïàçîíó ñâåðõâûñîêèõ ÷à-
ñòîò (ÑÂ×).
Àíàëèç òåõíè÷åñêèõ ðåøåíèé
Âñå âèäû ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èíäóêòèâíîñòåé
ìîæíî ðàçäåëèòü íà ôèçè÷åñêèå, êîìáèíèðîâàííûå
è ñõåìîòåõíè÷åñêèå àíàëîãè (ðèñ. 1).
ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÛÅ ÈÍÄÓÊÒÈÂÍÎÑÒÈ
ÄËß ÑÂ×-ÄÈÀÏÀÇÎÍÀ
Ïîëóïðîâîäíèêîâûå èíäóêòèâíîñòè
Ñõåìîòåõíè÷åñêèå
àíàëîãè
Ñõåìîòåõíè÷åñêèå
àíàëîãè ôèçè÷åñêèõ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ
èíäóêòèâíîñòåé
Àíàëîã äâóõáàçîâîãî
äèîäà
Àíàëîã
ð–ï–ð–ï-ñòðóêòóðû
Íà îñíîâå
ïðåîáðàçîâàòåëåé
ñîïðîòèâëåíèÿ
Íà áàçå èíâåðòîðîâ
(ãèðàòîðû)
Íà áàçå êîíâåðòîðîâ
Íà îïåðàöèîííûõ
óñèëèòåëÿõ
Íà äèñêðåòíûõ
òðàíçèñòîðàõ
Êîìáèíèðîâàííûå
Íà áèïîëÿðíûõ
òðàíçèñòîðàõ
Íà ïîëåâûõ
òðàíçèñòîðàõ
Íà áàçå 2-çàòâîðíîãî
ïîëåâîãî òðàíçèñòîðà
Ñîñòàâíîé èíäóêòèâíûé
òðàíçèñòîð
Ðåàêòèâíûé òðàíçèñòîð
Èíäóêòèâíûé òðàíçèñòîð
Ôèçè÷åñêèå
Äâóõáàçîâûé äèîä
4-ñëîéíàÿ
ïîëóïðîâîäíèêîâàÿ
ñòðóêòóðà
Äèîä ñ äëèííîé áàçîé
Òåðìîðåçèñòîð
Èíæåêöèîííûå
ñâåòîäèîäû è ëàçåðû
Òðàíçèñòîð ñ
êîëëåêòîðíîé óòå÷êîé
Èíæåêöèîííî-ïîëåâîé
òðàíçèñòîð
Ìîäóëÿöèîííûé
òðàíçèñòîð
Ðèñ. 1. Êëàññèôèêàöèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èíäóêòèâíîñòåé
10
ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ×
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5
Ôèçè÷åñêàÿ ïîëóïðîâîäíèêîâàÿ èíäóêòèâíîñòü �
ýòî ïîëóïðîâîäíèêîâûé ïðèáîð, ó êîòîðîãî íåîáõî-
äèìàÿ ôàçîâàÿ çàäåðæêà ñîçäàåòñÿ âíóòðè ïðèáîðà
çà ñ÷åò ôèçè÷åñêèõ ïðîöåññîâ â íåì. Òàêîé çàäåðæ-
êîé îáëàäàþò ìíîãèå ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû.
Îäíàêî åñëè ýòà çàäåðæêà çíà÷èòåëüíî ìåíüøå 90°,
òî äîáðîòíîñòü ïîëóïðîâîäíèêîâîé èíäóêòèâíîñòè
ìàëà (îáû÷íî ìåíüøå åäèíèöû), ÷òî îãðàíè÷èâàåò
îáëàñòü åå ïðèìåíåíèÿ. Äëÿ ïîëó÷åíèÿ áîëüøåé ôà-
çîâîé çàäåðæêè è, êàê ñëåäñòâèå, áîëüøåé äîáðîò-
íîñòè íåîáõîäèìî, ÷òîáû â ïîëóïðîâîäíèêîâîì ïðè-
áîðå ïðèñóòñòâîâàëà âíóòðåííÿÿ ïîëîæèòåëüíàÿ îá-
ðàòíàÿ ñâÿçü ïî òîêó [5]. Ýòèì òðåáîâàíèÿì îòâå÷àþò
ñòàòè÷åñêèå íåãàòðîíû S-òèïà � ïîëóïðîâîäíèêîâûå
ïðèáîðû, èìåþùèå íåëèíåéíóþ S-îáðàçíóþ âîëüò-
àìïåðíóþ õàðàêòåðèñòèêó. Íà èõ áàçå ðåàëèçóþòñÿ
ôèçè÷åñêèå ïîëóïðîâîäíèêîâûå èíäóêòèâíîñòè.
 êîìáèíèðîâàííûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èíäóê-
òèâíîñòÿõ èñïîëüçóåòñÿ ôàçîâàÿ çàäåðæêà, âîçíèêà-
þùàÿ â ïîëóïðîâîäíèêîâîì ïðèáîðå è äîïîëíÿåìàÿ
ôàçîâîé çàäåðæêîé â íèçêîäîáðîòíîì ïàññèâíîì
êîìïîíåíòå.
 ñõåìîòåõíè÷åñêèõ àíàëîãàõ êàòóøåê èíäóêòèâíî-
ñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû âûïîëíÿþò ðîëü óñè-
ëèòåëüíûõ êîìïîíåíòîâ, à òðåáóåìàÿ ôàçîâàÿ çàäåðæêà
îáåñïå÷èâàåòñÿ ïàññèâíûìè RC-êîìïîíåíòàìè.
×àñòîòíûé äèàïàçîí ïðèìåíåíèÿ ñõåìîòåõíè÷å-
ñêèõ àíàëîãîâ èíäóêòèâíîñòè îãðàíè÷åí ÷àñòîòîé ïî-
ðÿäêà 1 ÃÃö, ÷òî ñâÿçàíî ñ íàëè÷èåì áîëüøîãî êîëè-
÷åñòâà ïàðàçèòíûõ îáðàòíûõ ñâÿçåé. Ìåòîäû è ñðåä-
ñòâà èõ ðåàëèçàöèè øèðîêî îñâåùåíû â ïåðèîäè÷å-
ñêîé ïå÷àòè è ìîíîãðàôèÿõ, â ÷àñòíîñòè [1, 6�8]. Äå-
ëàþòñÿ ïîïûòêè ñîçäàíèÿ òàêèõ èíäóêòèâíîñòåé íà
áîëåå âûñîêèõ ÷àñòîòàõ (ïîðÿäêà 3�5 ÃÃö) [9, 10].
Íî, ñ íàøåé òî÷êè çðåíèÿ, íàëè÷èå â ãèðàòîðíûõ ñõå-
ìàõ íåñêîëüêèõ òðàíçèñòîðîâ ïðèâîäèò ê èõ íèçêîé
ýíåðãåòè÷åñêîé ýôôåêòèâíîñòè.
Áîëüøîé ïðàêòè÷åñêèé èíòåðåñ ïðåäñòàâëÿþò ñõå-
ìîòåõíè÷åñêèå àíàëîãè òèðèñòîðà è îäíîïåðåõîäíî-
ãî òðàíçèñòîðà (îñîáåííî åñëè íå ñòàâèòñÿ çàäà÷à ðå-
àëèçàöèè èõ â âèäå ïîëóïðîâîäíèêîâîé ìèêðîñõå-
ìû, à òàêæå ïðè ðåàëèçàöèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èí-
äóêòèâíîñòåé, ñïîñîáíûõ ðàáîòàòü ïðè áîëüøèõ òî-
êàõ [11]).  îòëè÷èå îò òèðèñòîðîâ, îíè îáëàäàþò áî-
ëåå âûñîêîé òåìïåðàòóðíîé ñòàáèëüíîñòüþ. Íåäîñòàò-
êîì ôèçè÷åñêèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èíäóêòèâíîñ-
òåé, ê êîòîðûì îòíîñÿòñÿ âñå R-íåãàòðîíû S-òèïà (ðèñ. 1)
[12], ÿâëÿåòñÿ ñëîæíîñòü ïîäñòðîéêè èõ ïàðàìåò-
ðîâ ïîñëå èçãîòîâëåíèÿ è æåñòêèå òåõíîëîãè÷åñêèå
îãðàíè÷åíèÿ.
 ñâÿçè ñ âûøåèçëîæåííûì ïåðñïåêòèâíûì, ïî
ìíåíèþ àâòîðîâ, ÿâëÿåòñÿ òåõíè÷åñêîå ðåøåíèå ðåà-
ëèçàöèè êîìáèíèðîâàííîé ïîëóïðîâîäíèêîâîé èíäóê-
òèâíîñòè. Îñíîâíàÿ ÷àñòü ôàçîâîé çàäåðæêè âîçíè-
êàåò â ìíîãîýëåêòðîííîé ïîëóïðîâîäíèêîâîé ñòðóê-
òóðå, à äîïîëíèòåëüíàÿ çàäåðæêà ñîçäàåòñÿ íèçêîäîá-
ðîòíûì êîìïîíåíòîì, ïðèñîåäèíåííûì ê àêòèâíîé ïî-
ëóïðîâîäíèêîâîé ñòðóêòóðå.
Êëàññè÷åñêèì ïðèìåðîì òàêîãî ðåøåíèÿ ÿâëÿåò-
ñÿ ïðåäëîæåííûé Äèëîì «èíäóêòèâíûé òðàíçèñòîð»
[13] (ðèñ. 2, à).
Âûñîêàÿ äîáðîòíîñòü èíäóêòèâíîñòè öåïè "ýììèò-
òåð�êîëëåêòîð" òàêîé ñõåìû äîñòèãàåòñÿ òîëüêî êîãäà
êîýôôèöèåíò ïåðåäà÷è ïî òîêó â ñõåìå ñ îáùåé áà-
çîé α0>1. Ýòî óñëîâèå âûïîëíÿåòñÿ äëÿ òî÷å÷íûõ
òðàíçèñòîðîâ (íî îíè â íàñòîÿùåå âðåìÿ ïðîìûø-
ëåííîñòüþ íå âûïóñêàþòñÿ) èëè â ðåæèìå ëàâèííîãî
óìíîæåíèÿ (÷òî óõóäøàåò øóìîâûå ñâîéñòâà, òåìïå-
ðàòóðíóþ ñòàáèëüíîñòü è íàäåæíîñòü). Ïðåîäîëåíèå
ýòèõ íåäîñòàòêîâ áûëî îñóùåñòâëåíî ïóòåì èñïîëü-
çîâàíèÿ ñõåìû ßìàãó÷è [14], êîòîðûé åùå äî ïîÿâ-
ëåíèÿ «èíäóêòèâíîãî òðàíçèñòîðà» ïîêàçàë, ÷òî åñëè
êî âõîäó áèïîëÿðíîãî òðàíçèñòîðà, âêëþ÷åííîãî ïî
ñõåìå ñ îáùèì êîëëåêòîðîì (ðèñ. 2, á), ïîäêëþ÷èòü
íèçêîäîáðîòíóþ (Q0<1) èíäóêòèâíîñòü, òî â îïðåäå-
ëåííîì äèàïàçîíå ÷àñòîò åãî âûõîäíîå ñîïðîòèâëå-
íèå áóäåò èíäóêòèâíûì ñ îòðèöàòåëüíîé âåùåñòâåí-
íîé ñîñòàâëÿþùåé (ò. å. îíà ÿâëÿåòñÿ êîìáèíèðîâàí-
íûì òðàíçèñòîðíûì äèíàìè÷åñêèì íåãàòðîíîì).
Ñ ó÷åòîì ýòèõ äâóõ òåõíè÷åñêèõ ðåøåíèé áûë ïðåä-
ëîæåí ñîñòàâíîé èíäóêòèâíûé òðàíçèñòîð (ðèñ. 2, â),
îáåñïå÷èâàþùèé âûñîêóþ äîáðîòíîñòü â øèðîêîì
äèàïàçîíå ÷àñòîò, è ïàðàëëåëüíûé êîëåáàòåëüíûé êîí-
òóð íà åãî îñíîâå (ðèñ. 2, ã) [15]. Ñâîéñòâà áèïîëÿð-
íîãî òðàíçèñòîðà, âêëþ÷åííîãî ïî ñõåìå ñ îáùèì
êîëëåêòîðîì, è ïîëåâîãî òðàíçèñòîðà, âêëþ÷åííîãî
ïî ñõåìå ñ îáùèì ñòîêîì, êàê îáîáùåííûõ ïðåîáðà-
çîâàòåëåé èììèòàíñà (ÎÏÈ) � îäèíàêîâû. Ýòî ïî-
çâîëèëî ðåàëèçîâàòü âñå âûøåðàññìîòðåííûå ðåøå-
íèÿ íà ïîëåâûõ (â òîì ÷èñëå è GaAs) òðàíçèñòîðàõ íà
÷àñòîòàõ â íåñêîëüêî äåñÿòêîâ ãèãàãåðö [16, 17]. Íå-
ñìîòðÿ íà òî, ÷òî áîëüøèíñòâî ðàññìîòðåííûõ òåõ-
íè÷åñêèõ ðåøåíèé áûëè ïðåäëîæåíû áîëåå 20 ëåò
òîìó íàçàä, â ðÿäå ñòðàí ïðîäîëæàåòñÿ èõ èñïîëüçî-
âàíèå è ñîâåðøåíñòâîâàíèå ñ öåëüþ óâåëè÷åíèÿ ðà-
áî÷èõ ÷àñòîò. Ýòî îñîáåííî âàæíî ïðè ðåàëèçàöèè
ðàçëè÷íûõ èíôîðìàöèîííûõ óñòðîéñòâ â âèäå ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûõ ìèêðîñõåì [18�20].
Ïîëóïðîâîäíèêîâûå èíäóêòèâíîñòè
íà áàçå äâóõçàòâîðíûõ òðàíçèñòîðîâ Øîòòêè
Äâóõçàòâîðíûé òðàíçèñòîð Øîòòêè (ÏÒØ2) ÿâëÿ-
åòñÿ ÷åòûðåõýëåêòðîäíûì ïîëóïðîâîäíèêîâûì ïðè-
áîðîì, ÷òî îáåñïå÷èâàåò åãî øèðîêèå ôóíêöèîíàëü-
íûå âîçìîæíîñòè. Íà åãî áàçå ìîæåò áûòü ðåàëèçî-
âàíî 18 ðàçëè÷íûõ ÷åòûðåõïîëþñíèêîâ, îáëàäàþùèõ
ñâîéñòâàìè îáîáùåííûõ êîíâåðòîðîâ è èíâåðòîðîâ
èììèòàíñà [21]. Ýòè ñâîéñòâà ëåæàò â îñíîâå ïî-
ñòðîåíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èíäóêòèâíîñòåé íà èõ
îñíîâå.
à) á)VT1
R
Lýê
Rýê
Lýê
�Rýê
VT1
L
â) ã)
VT1 VT1
VT2 VT2
R R
Lýê
�Rýê
Lýê
Rýê �Gáê
Ñáê
C
Ðèñ. 2. Òðàíçèñòîðíûå ïîëóïðîâîäíèêîâûå èíäóêòèâ-
íîñòè (öåïè ïèòàíèÿ íå ïîêàçàíû)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5
11
ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ×
Èçâåñòíî, ÷òî ñ âûñîêîé òî÷íîñòüþ ÏÒØ2 ìîæåò
áûòü ïðåäñòàâëåí â âèäå äâóõ îäíîçàòâîðíûõ ÏÒØ,
êîãäà ñòîê îäíîãî ñîåäèíåí ñ èñòîêîì âòîðîãî [22].
Ó÷èòûâàÿ ýòî, ïðåîáðàçóåì äâóõêàñêàäíóþ ñõåìó
ïîëóïðîâîäíèêîâîé èíäóêòèâíîñòè íà áàçå ïîëåâûõ
òðàíçèñòîðîâ (ðèñ. 3, à) â ñõåìó ðèñ. 3, á.
 ýòîé ñõåìå, êàê è â ïðåäûäóùåé, ïîëíîå ñîïðî-
òèâëåíèå öåïè "èñòîê�ñòîê" VT1 ýêâèâàëåíòíî íèç-
êîäîáðîòíîé èíäóêòèâíîñòè, êîòîðàÿ çàòåì êîíâåðòè-
ðóåòñÿ êàñêàäîì íà áàçå òðàíçèñòîðà VT2, âêëþ÷åí-
íûì ïî ñõåìå ñ îáùèì ñòîêîì, â âûñîêîäîáðîòíîå
èíäóêòèâíîå ñîïðîòèâëåíèå ìåæäó èñòîêîì è ñòîêîì
ýòîãî òðàíçèñòîðà. Ïðè÷åì, â îòëè÷èå îò ñõåìû ðèñ. 3, à,
â ñõåìå ðèñ. 3, á ñòîê VT2 ñîåäèíåí ñ èñòîêîì VT1,
÷òî õàðàêòåðíî äëÿ ÏÒØ2. Ýòî ïîçâîëÿåò ðåàëèçîâàòü
âûñîêîäîáðîòíóþ èíäóêòèâíîñòü íà áàçå ÏÒØ2.
Íî ó áîëüøèíñòâà ÏÒØ2 îòñóòñòâóåò îìè÷åñêèé
êîíòàêò ñ òî÷êîé êàíàëà, ðàñïîëîæåííîé ìåæäó ïåð-
âûì è âòîðûì çàòâîðîì, ÷òî íå ïîçâîëÿåò ðåàëèçî-
âàòü ñõåìó, ïðåäñòàâëåííóþ íà ðèñ. 3, á, íà îñíîâå
êëàññè÷åñêîãî ÏÒØ2. Ýòèì òðåáîâàíèÿì îòâå÷àåò
ÏÒØ2 ñ øóìîïîäàâëÿþùèì ýëåêòðîäîì Ø [22]. Íà
áàçå òàêîãî ÏÒØ2 ðåàëèçîâàíà ïîëóïðîâîäíèêîâàÿ
èíäóêòèâíîñòü, âûñîêî÷àñòîòíàÿ ñõåìà êîòîðîé ïðåä-
ñòàâëåíà íà ðèñ. 3, â.
Èñïîëüçóÿ ðèñ. 3, á, íàõîäèì åå ïîëíîå ñîïðîòèâ-
ëåíèå:
(C2) (C2)
(C2) 12 21
È2,Ø È2,Ñ2 22 (C2)
11 C1,È1
È2,Ø È2,ØRe Im ,
Z Z
Z Z Z
Z Z
Z j Z
= = − =
+
= +
(1)
Èñïîëüçóÿ (1), íàõîäèì ýêâèâàëåíòíóþ èíäóêòèâ-
íîñòü è äîáðîòíîñòü QL ñõåìû ðèñ. 3, â:
È2,Ø È2,ØIm / 2 ;L Z f= π È2,Ø È2,ØIm / Re .LQ Z Z=
Ìîäåëèðóÿ ðàçðàáîòàííóþ ñõåìó ïîëóïðîâîäíè-
êîâîé èíäóêòèâíîñòè (ðèñ. 3, â) â âèäå äâóõ îäíîçàò-
âîðíûõ ÏÒØ (ðèñ. 3, á), ïðåäñòàâèì íà ðèñ. 5 ÷àñ-
òîòíûå çàâèñèìîñòè ýêâèâàëåíòíîé èíäóêòèâíîñòè
LÈ2,Ø è ñîïðîòèâëåíèÿ àêòèâíûõ ïîòåðü ReZÈ2,Ø îò
âåëè÷èíû ïèòàþùåãî íàïðÿæåíèÿ Uï, òåìïåðàòóðû t,
÷àñòîòû f ñèãíàëà è ñîïðîòèâëåíèÿ îáðàòíîé ñâÿçè R.
Äëÿ çàäàíèÿ ðàáî÷åé òî÷êè òðàíçèñòîðîâ èñïîëüçî-
âàëàñü ñòàíäàðòíàÿ ñõåìà àâòîñìåùåíèÿ. Ïàðàìåòðû
ðàáî÷åé òî÷êè òðàíçèñòîðîâ: Iñ=16 ìÀ, UÇ1=�0,12 Â,
UÇ2=�0,23 Â, Uï=10 Â.
Äëÿ èñïîëüçîâàíèÿ ÏÒØ2 ïðè ñîçäàíèè ïîëóïðî-
âîäíèêîâîé èíäóêòèâíîñòè áåç øóìîïîäàâëÿþùåãî
ýëåêòðîäà ïðåäâàðèòåëüíî áûëà ñèíòåçèðîâàíà äâóõ-
òðàíçèñòîðíàÿ ñõåìà (ðèñ. 4, á). Îíà ñîñòîèò èç äâóõ
êàñêàäíî-âêëþ÷åííûõ îáîáùåííûõ ïðåîáðàçîâàòåëåé
èììèòàíñà � ÎÏÈÑ è ÎÏÈÇ. Â ñîîòâåòñòâèè ñ òàáëè-
öàìè ïðåîáðàçîâàíèÿ èììèòàíñà, ïðåäñòàâëåííûìè
â [16], êàñêàä ÎÏÈÑ ïðåîáðàçóåò àêòèâíîå ñîïðîòèâ-
ëåíèå R â íèçêîäîáðîòíîå èíäóêòèâíîå ñîïðîòèâëå-
íèå öåïè È2, Ñ2 òðàíçèñòîðà VT2.  ñâîþ î÷åðåäü
ýòî ñîïðîòèâëåíèå â ðåçóëüòàòå êîíâåðñèè ÎÏÈÇ ïðå-
îáðàçóåòñÿ â èíäóêòèâíîå ñîïðîòèâëåíèå È1, Ç1. Â
îïðåäåëåííîì äèàïàçîíå ÷àñòîò àêòèâíûå ïîòåðè â òà-
êîé ïîëóïðîâîäíèêîâîé èíäóêòèâíîñòè áóäóò îòðè-
öàòåëüíûìè. Ó÷èòûâàÿ, ÷òî â ñèíòåçèðóåìîé ñõåìå
ñòîê Ñ1 îäíîãî èç òðàíçèñòîðîâ ñîåäèíåí ñ èñòîêîì
È2 äðóãîãî òðàíçèñòîðà, âîçìîæíà çàìåíà VT1 è VT2
íà ÏÒØ2 (ðèñ. 4, à).
Êîððåêòíîñòü ïðîâåäåííîãî ñèíòåçà ïîëóïðîâîäíè-
êîâîé èíäóêòèâíîñòè ïðîâåðåíà ÷èñëåííûì ìåòîäîì.
Íà òðàíçèñòîðå VT2 ðåàëèçîâàí ÎÏÈÑ, îáëàäàþùèé
ñâîéñòâàìè îáîáùåííîãî êîíâåðòîðà èììèòàíñà è
èìåþùèé îáðàòíûé êîýôôèöèåíò êîíâåðñèè [16, ñ. 35]
( ) ( )C( )
K 02 2 2 2 2/ ,i S S ST S R P P′ ≈ + Ω + (2)
R VT1
VT2
Ç1 È1
Ç2
Ñ1
Ñ2
È2
VT1
VT2
Ç1
Ç2
Ñ1
Ñ2
È1
È2
à) á)
R Ç1
Ç2
VT1
Ñ1
È2
Ø
LÈ2,Ø
RÈ2,Ø 0<>
â)
Ðèñ. 3. Ïðåîáðàçîâàíèå ñõåìû ïîëóïðîâîäíèêîâîé èí-
äóêòèâíîñòè íà ñîñòàâíîì ïîëåâîì òðàíçèñòîðå (à) â ñõå-
ìó ïîëóïðîâîäíèêîâîé èíäóêòèâíîñòè íà äâóõçàòâîðíîì
òðàíçèñòîðå ñ øóìîïîäàâëÿþùèì ýëåêòðîäîì (â) (öåïè
ïèòàíèÿ íå ïîêàçàíû)
ãäå (C2)
22 ,Z (C2)
12 ,Z (C2)
21 ,Z (C2)
11Z � ýëåìåíòû ìàòðèöû ñîïðîòèâëå-
íèÿ ÷åòûðåõïîëþñíèêà, îáðàçîâàííîãî òðàíçèñòîðîì VT2; ZÑ1,È1
� ïîëíîå ñîïðîòèâëåíèå öåïè Ñ1, È1 ÷åòûðåõïîëþñíèêà, îáðà-
çîâàííîãî òðàíçèñòîðîì VT1, êîãäà ìåæäó çàòâîðîì Ç1 è ñòîêîì
Ñ1 âêëþ÷åíî ñîïðîòèâëåíèå R,
(C1) (C1)
(C1) 12 21
C1,È1 22 (C1)
11
;
Z Z
Z Z
Z R
= −
+
(C1)
22 ,Z (C1)
12 ,Z (C1)
21 ,Z (C1)
11Z � ýëåìåíòû ìàòðèöû ñîïðîòèâëåíèÿ
÷åòûðåõïîëþñíèêà, îáðàçîâàííîãî òðàíçèñòîðîì VT1.
Ðèñ. 4. Ñõåìà ïîëóïðîâîäíèêîâîé èíäóêòèâíîñòè íà áàçå
ÏÒØ2 (à) è åå ïðåäñòàâëåíèå â âèäå äâóõ îäíîçàòâîðíûõ
òðàíçèñòîðîâ (ñõåìû ïèòàíèÿ íå ïîêàçàíû)
à) VT1
R
È1
Ñ2
Ç1
Ç2
RÑ2Ç1
Ç2
È1
Ñ1
È2
VT1 VT2á)
ÎÏÈÇ ÎÏÈÑ
ãäå S0 �
Ri �
Ñçè �
íèçêî÷àñòîòíîå çíà÷åíèå êðóòèçíû;
äèôôåðåíöèàëüíîå ñîïðîòèâëåíèå çàòâîð-èñòîê;
åìêîñòü çàòâîð-èñòîê;
/ ;S SP P= ω
;P j= ω
çè1/ ;S iR Cω =
/ .S SΩ = ω ω
12
ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ×
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5
ReZÈ1,Ñ2,
Îì
400
200
0
�200
L, íÃí
3
2
1
0
18 18,2 18,4 18,6 18,8 f, ÃÃö
à)
ReZÈ1,Ñ2,
Îì
300
200
100
0
�100
�200
L, íÃí
3,33
2,67
2
1,33
0,667
0
0 5 10 15 R, Îì
á)
F=18,7 ÃÃö
F=18,4 ÃÃö
F=18 ÃÃö
ReZÈ1,Ñ2,
Îì
�50
�100
�150
�200
�250
�300
0 50 t, °Ñ
â)
F=18,4 ÃÃö
F=18,7 ÃÃöF=18 ÃÃö
L, íÃí
3,33
2,67
2
1,33
0,667
0
ReZÈ1,Ñ2,
Îì
50
0
�50
�100
�150
L, íÃí
2,4
1,8
1,2
0,6
0
8 9 10 11 Uï, Â
F=18,7 ÃÃö
F=18,4 ÃÃö
F=18 ÃÃö
ã)
Ðèñ. 6. Çàâèñèìîñòè ýêâèâàëåíòíîé èíäóêòèâíîñòè LÈ1,C2 (- -) è àêòèâíûõ ïîòåðü ReZÈ1,C2 (- -) îò ÷àñòîòû f (à),
ïðåîáðàçóåìîãî ñîïðîòèâëåíèÿ R (á), òåìïåðàòóðû t (â) è íàïðÿæåíèÿ ïèòàíèÿ Uï (ã)
ReZÈ2,Ø,
Îì
100
0
�100
�200
L, íÃí
2,25
1,5
0,75
0
18 20 22 f, ÃÃö
à)
ReZÈ2,Ø,
Îì
100
50
0
�50
L, íÃí
3
2
1
0
0 50 t, °Ñ
â)
F=18,5 ÃÃö
F=18,2 ÃÃö
F=18 ÃÃö
ReZÈ2,Ø,
Îì
150
100
50
0
�50
�100
L, íÃí
2,5
2
1,5
1
0,5
0
0 5 10 15 R, Îì
F=18,5 ÃÃö
F=18,2 ÃÃö
F=18 ÃÃö
á)
ReZÈ2,Ø,
Îì
0
�200
�400
�600
L, íÃí
3
2
1
0
8 9 10 11 Uï, Â
F=18,5 ÃÃö
F=18,2 ÃÃö
F=18 ÃÃö
ã)
Ðèñ. 5. Çàâèñèìîñòè ýêâèâàëåíòíîé èíäóêòèâíîñòè LÈ2,Ø (- -) è àêòèâíûõ ïîòåðü ReZÈ2,Ø (- -) îò ÷àñòîòû f (à),
ïðåîáðàçóåìîãî ñîïðîòèâëåíèÿ R (á), òåìïåðàòóðû t (â) è íàïðÿæåíèÿ ïèòàíèÿ Uï (ã)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 5
13
ÒÅÕÍÈÊÀ È ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ ÑÂ×
Íà òðàíçèñòîðå VÒ1 ðåàëèçîâàí ÎÏÈÇ, òàêæå îá-
ëàäàþùèé ñâîéñòâàìè îáîáùåííîãî êîíâåðòîðà èì-
ìèòàíñà è èìåþùèé ïðÿìîé êîýôôèöèåíò êîíâåðñèè
( ) ( )
( ) ( )
01 1 1 1 01 1 01 1Ç
K
1 1 1 1 1 ç è
1
,
i S i S i
S S i S
S R P R S P S R
T
P R G P
+ + − ≈
Ω + + ξ + ξ
(3)
Ó÷èòûâàÿ, ÷òî îáà ïðåîáðàçîâàòåëÿ âêëþ÷åíû êàñ-
êàäíî, èõ ðåçóëüòèðóþùèé êîýôôèöèåíò êîíâåðñèè
áóäåò ðàâåí [16, ñ. 51]
C( ) Ç
K K K ,T T T′= ⋅ (4)
îòêóäà íàõîäèì âûõîäíîå ñîïðîòèâëåíèå ñõåìû
ðèñ. 4, à:
È1Ñ2 Ê È1,Ñ2 È1,Ñ2/ Re Im .Z R Ò Z j Z= = + (5)
Íà îñíîâàíèè (2)�(5) ïðîâåäåí ðàñ÷åò ýêâèâà-
ëåíòíîé èíäóêòèâíîñòè È1,Ñ2 È1,Ñ2Im /L Z= ω è àêòèâ-
íûõ ïîòåðü ReZÈ1,C2 òðàíçèñòîðíîé èíäóêòèâíîñòè íà
áàçå ÏÒØ2 â çàâèñèìîñòè îò ÷àñòîòû, ïðåîáðàçóå-
ìîãî ñîïðîòèâëåíèÿ, òåìïåðàòóðû è íàïðÿæåíèÿ ïè-
òàíèÿ (ðèñ. 6). Äëÿ çàäàíèÿ ðàáî÷åé òî÷êè òðàíçèñòî-
ðîâ èñïîëüçîâàëàñü ñòàíäàðòíàÿ ñõåìà àâòîñìåùå-
íèÿ. Ïàðàìåòðû ðàáî÷åé òî÷êè òðàíçèñòîðîâ: Iñ=16 ìÀ,
UÇ1=�0,12 Â, UÇ2=�0,23 Â, Uï=10 Â.
Êàê âèäíî èç ãðàôèêîâ, ýêâèâàëåíòíàÿ èíäóêòèâ-
íîñòü íà ÷àñòîòå 18,75 ÃÃö äîñòèãàåò âåëè÷èíû 3�
4 íÃí ïðè îòðèöàòåëüíûõ àêòèâíûõ ïîòåðÿõ. Äëÿ êàæ-
äîé ÷àñòîòû ñóùåñòâóåò îïòèìàëüíîå çíà÷åíèå ïðå-
îáðàçóåìîãî ñîïðîòèâëåíèÿ Ropt, îáåñïå÷èâàþùåå
ïîëó÷åíèå ìàêñèìàëüíîãî çíà÷åíèÿ LÈ1,Ñ2. Òåìïåðà-
òóðíûé êîýôôèöèåíò èíäóêòèâíîñòè, íàïðèìåð â äè-
àïàçîíå òåìïåðàòóð 0�40 °Ñ, íà ÷àñòîòå 18,4 ÃÃö íå
ïðåâûøàåò 0,07 %·°Ñ�1.
Âûâîäû
 íàñòîÿùåå âðåìÿ ïîëó÷èëè ïðèìåíåíèå òðè îñ-
íîâíûõ âèäà ïîëóïðîâîäíèêîâîé èíäóêòèâíîñòè:
� íà áàçå ôèçè÷åñêèõ íåãàòðîíîâ S-òèïà;
� êîìáèíèðîâàííûå ïîëóïðîâîäíèêîâûå èíäóê-
òèâíîñòè;
� ñõåìîòåõíè÷åñêèå àíàëîãè.
Ðåàëèçàöèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èíäóêòèâíîñòåé íà
áàçå ôèçè÷åñêèõ íåãàòðîíîâ S-òèïà ïðåäñòàâëÿåò ñåðü-
åçíûå òåõíîëîãè÷åñêèå òðóäíîñòè, ñâÿçàííûå ñ íå-
îáõîäèìîñòüþ âûïîëíåíèÿ ñïåöèôè÷åñêèõ òðåáîâà-
íèé ïî ôèçè÷åñêîé ñòðóêòóðå, ÷òî îãðàíè÷èâàåò èõ
ïðèìåíåíèå. Íà íèçêèõ ÷àñòîòàõ óñïåøíî èñïîëüçó-
þòñÿ ñõåìîòåõíè÷åñêèå àíàëîãè íåãàòðîíîâ, íî èõ ÷à-
ñòîòíûé äèàïàçîí îãðàíè÷åí 1�3 ÃÃö.
Êîìáèíèðîâàííûå ïîëóïðîâîäíèêîâûå èíäóêòèâ-
íîñòè íà áàçå áèïîëÿðíûõ è ïîëåâûõ òðàíçèñòîðîâ
ïðèãîäíû äëÿ èçãîòîâëåíèÿ â âèäå êàê ãèáðèäíûõ,
òàê è ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìèêðîñõåì øèðîêîãî äèà-
ïàçîíà ÷àñòîò äî íåñêîëüêèõ äåñÿòêîâ ãèãàãåðö.
Èñïîëüçîâàíèå äâóõçàòâîðíûõ òðàíçèñòîðîâ Øîò-
òêè ïîçâîëÿåò ðåàëèçîâàòü ïîëóïðîâîäíèêîâûå èíäóê-
òèâíîñòè âåëè÷èíîé â íåñêîëüêî íàíîãåíðè íà ÷àñòîòå
18�20 ÃÃö ïðè êîýôôèöèåíòå òåìïåðàòóðíîé íåñòà-
áèëüíîñòè 0,07 %·°Ñ�1 â òåìïåðàòóðíîì äèàïàçîíå 0�
40°Ñ.  îòëè÷èå îò ïëåíî÷íûõ èíäóêòèâíîñòåé îíè
îáëàäàþò áîëüøåé èíäóêòèâíîñòüþ è äîáðîòíîñòüþ,
êîòîðàÿ íå çàâèñèò îò ãåîìåòðè÷åñêèõ ðàçìåðîâ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ñåðüåçíîâ À. Í., Ñòåïàíîâà Ë. Í., Íåãîäåíêî Î. Í., Ïóòè-
ëèí Â. Ï. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå àíàëîãè ðåàêòèâíîñòåé.� Ì.: Çíà-
íèå, 1990.
2. Nikolaev I., Filinyuk N. Microelectronic devices and funda-
mentals of their design.� M.: Mir, 1979.
3. Dickson T. Si-based inductors and transformers for 30�100 Ghz
application // IEEE MTT-S Digest.� 2004, April.� P. 205�208.
4. Cao Yu., Groves R. A., Zamdmer N. D. Frequency-independent
equivalent-circuit model for on-chip spiral inductors // IEEE J. Solid-
State Circuits.� 2003.� Vol. 38, N 3.� P. 419�426.
5. Ô³ëèíþê Ì. À. Òåîðåòè÷í³ îñíîâè íåãàòðîí³êè.� ³ííè-
öÿ: ÂÄÒÓ, 2002.
6. Ôèëàíîâñêèé È. Ì., Ïåðñèàíîâ À. Þ., Ðûáèí Â. Ê. Ñõåìû
ñ ïðåîáðàçîâàòåëÿìè ñîïðîòèâëåíèé.� Ì.: Ýíåðãèÿ, 1973.
7. Êàñèìîâ Ô. Ä., Ãóñåéíîâ ß. Þ., Íåãîäåíêî Î. Í., Ðóìÿíöåâ
Ê. Å. Ìèêðîýëåêòðîííûå ïðåîáðàçîâàòåëè íà îñíîâå íåãàòðîí-
íûõ ýëåìåíòîâ è óñòðîéñòâ.� Áàêó: Ýëì, 2001.
8. Àðåôüåâ À. À., Áàñêàêîâ Å. Í., Ñòåïàíîâà Ë. Í. Ðàäèîòåõ-
íè÷åñêèå óñòðîéñòâà íà òðàíçèñòîðíûõ ýêâèâàëåíòàõ p�n�p�n-
ñòðóêòóðû.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1982.
9. Ïàò. 20020047760 ÑØÀ. Active inductor / Kunikiyo,
Tatsuga.� 2002.
10. Ïàò. 20010002060 ÑØÀ. Monolithic inductance-enhancing
integrated circuits, complementary metal oxide semiconductor
(CMOS) inductance-enhancing integrated circuits, inductor assemblies,
and inductance-multiplying methods / Forbes, Leonard.� 2001.
11. Íåãîäåíêî Î. Í. Àíàëîãè íåãàòðîíîâ â ýëåêòðîííûõ óñò-
ðîéñòâàõ.� Òàãàíðîã: ÒÐÒÓ, 2004.
12. Ñòàôååâ Â. È., Êîìàðîâñêèõ Ê. Ô., Ôóðñèí Ã. È. Íåéðèñ-
òîðíûå è äðóãèå ôóíêöèîíàëüíûå ñõåìû ñ îáúåìíîé ñâÿçüþ.�
Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1981.
13. Dill H. Inductive semiconductor elements and their application
in band-pass amplifiers // IEEE Trans.� 1961.� Vol. MTE-5, N 53.�
P. 235�250.
14. Jamaguchi J. On the inductive reactance and negative
resistance the transistor // Journal Physical Society of Japan.�
1956.� Vol. 11.� P. 717�718.
15. Ôèëèíþê Í. À. Àêòèâíûå ÓÊÂ ôèëüòðû.� Ì.: Ðàäèî è
ñâÿçü, 1984.
16. Ôèëèíþê Í. À. Àêòèâíûå ÑÂ× ôèëüòðû íà òðàíçèñòî-
ðàõ.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1987.
17. Ôèëèíþê Í. À., Êóçåìêî À. Ì. Ñõåìîòåõíè÷åñêîå ìîäåëè-
ðîâàíèå è ñèíòåç àêòèâíûõ ÑÂ×-ôèëüòðîâ íà ïîëåâûõ òðàíçèñòî-
ðàõ Øîòòêè // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àï-
ïàðàòóðå.� 2005.� ¹ 3.� Ñ. 49�54.
18. Hara S., Tokumitsu T., Tanaka T., Aikawa M. Broad band
monolithic microwave active inductor and its application to
miniaturize wide band amplifiers // IEEE Trans. Microwave Theory
Tech.� 2001.� Vol. MTT-36, N 12.� P. 1920�1924.
19. Leifso C., Haslett J. W. A fully integrated active inductor
with independent voltage tunable inductance and series-loss resistance
// IEEE Trans. on Microwave Theory and Tech.� 2001.� Vol. 49,
N 4.� P. 671�675.
20. Yong-Ho C., Song-Cheol H., Young-Se K. A novel active
inductor and its application to inductance-controlled oscillator //
IEEE Trans. Microwave Theory Tech.� 1997.� Vol. 45.�
P. 1208�1213.
21. Ôèëèíþê Í. À., Ñàëåõ Æóðáàí. Ìàëîñèãíàëüíûå ìîäåëè
÷åòûðåõïîëþñíèêîâ íà áàçå äâóõçàòâîðíîãî òðàíçèñòîðà Øîòòêè
// ³ñíèê Õìåëüíèöüê. íàö. óí-òó.� 2005.� ×. 1, ò. 2, ¹ 4.�
Ñ. 207�209.
22. Schoon M. A novel, bias-dependent, small-signal model of
the dual-gate MESFET // IEEE Trans. Microwave Theory Tech.�
1994.� Vol. 42.� P. 212�216.
ïðîâîäèìîñòü êàíàëà;
� êîýôôèöèåíò ðàçäåëåíèÿ åìêîñòè çàòâîðà;
ãäå G �
Ç ñç èç/Ñ Ñξ =
è èñ èç/ .Ñ Ñξ =
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53250 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:29:00Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Филинюк, Н.А Куземко, А.М. Салех М. М. Журбан 2014-01-18T20:26:53Z 2014-01-18T20:26:53Z 2006 Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона / Н.А, Филинюк А.М. Куземко, Салех М. М. Журбан // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 5. — С. 9-13. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53250 Разработаны схемы комбинированных полупроводниковых индуктивностей, пригодных для изготовления гибридной или полупроводниковой микросхемы широкого диапазона частот до нескольких десятков гигагерц. Статья подготовлена в рамках украинской Государственной программы развития техники и технологий сверхвысоких частот на 2005-2009 годы. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Техника и технологии СВЧ Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона Напівпровідникові індуктивності для НВЧ-діапазону Semiconductor inductors for a microwave-range Article published earlier |
| spellingShingle | Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона Филинюк, Н.А Куземко, А.М. Салех М. М. Журбан Техника и технологии СВЧ |
| title | Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона |
| title_alt | Напівпровідникові індуктивності для НВЧ-діапазону Semiconductor inductors for a microwave-range |
| title_full | Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона |
| title_fullStr | Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона |
| title_full_unstemmed | Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона |
| title_short | Полупроводниковые индуктивности для СВЧ-диапазона |
| title_sort | полупроводниковые индуктивности для свч-диапазона |
| topic | Техника и технологии СВЧ |
| topic_facet | Техника и технологии СВЧ |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53250 |
| work_keys_str_mv | AT filinûkna poluprovodnikovyeinduktivnostidlâsvčdiapazona AT kuzemkoam poluprovodnikovyeinduktivnostidlâsvčdiapazona AT salehmmžurban poluprovodnikovyeinduktivnostidlâsvčdiapazona AT filinûkna napívprovídnikovíínduktivnostídlânvčdíapazonu AT kuzemkoam napívprovídnikovíínduktivnostídlânvčdíapazonu AT salehmmžurban napívprovídnikovíínduktivnostídlânvčdíapazonu AT filinûkna semiconductorinductorsforamicrowaverange AT kuzemkoam semiconductorinductorsforamicrowaverange AT salehmmžurban semiconductorinductorsforamicrowaverange |