Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского
Рассмотрены современные достижения в создании ростового оборудования для производства ПИ-GaAs методом ЖГЧ. Приведены сравнительные характеристики и анализ установок нового и предшествующего поколений....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53387 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского / Г.П. Ковтун, А.П. Щербань // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53387 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Ковтун, Г.П. Щербань, А.П. 2014-01-19T22:01:17Z 2014-01-19T22:01:17Z 2006 Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского / Г.П. Ковтун, А.П. Щербань // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53387 Рассмотрены современные достижения в создании ростового оборудования для производства ПИ-GaAs методом ЖГЧ. Приведены сравнительные характеристики и анализ установок нового и предшествующего поколений. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Техническая политика Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского Обладнання для вирощування в виробництві напівізолюючого GaAs за методом Чохральського The equipment for production SI-GaAs by LEC method Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского |
| spellingShingle |
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского Ковтун, Г.П. Щербань, А.П. Техническая политика |
| title_short |
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского |
| title_full |
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского |
| title_fullStr |
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского |
| title_full_unstemmed |
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского |
| title_sort |
ростовое оборудование для производства полуизолирующего gaas методом чохральского |
| author |
Ковтун, Г.П. Щербань, А.П. |
| author_facet |
Ковтун, Г.П. Щербань, А.П. |
| topic |
Техническая политика |
| topic_facet |
Техническая политика |
| publishDate |
2006 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Обладнання для вирощування в виробництві напівізолюючого GaAs за методом Чохральського The equipment for production SI-GaAs by LEC method |
| description |
Рассмотрены современные достижения в создании ростового оборудования для производства ПИ-GaAs методом ЖГЧ. Приведены сравнительные характеристики и анализ установок нового и предшествующего поколений.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53387 |
| citation_txt |
Ростовое оборудование для производства полуизолирующего GaAs методом Чохральского / Г.П. Ковтун, А.П. Щербань // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 3-6. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kovtungp rostovoeoborudovaniedlâproizvodstvapoluizoliruûŝegogaasmetodomčohralʹskogo AT ŝerbanʹap rostovoeoborudovaniedlâproizvodstvapoluizoliruûŝegogaasmetodomčohralʹskogo AT kovtungp obladnannâdlâviroŝuvannâvvirobnictvínapívízolûûčogogaaszametodomčohralʹsʹkogo AT ŝerbanʹap obladnannâdlâviroŝuvannâvvirobnictvínapívízolûûčogogaaszametodomčohralʹsʹkogo AT kovtungp theequipmentforproductionsigaasbylecmethod AT ŝerbanʹap theequipmentforproductionsigaasbylecmethod |
| first_indexed |
2025-12-07T13:33:51Z |
| last_indexed |
2025-12-07T13:33:51Z |
| _version_ |
1850856630289170432 |