Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2006
• Main Authors: Лугин, А.Н., Оземша, М.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
• Subjects: Электронные средства: исследования, разработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53390
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов / А.Н. Лугин, М.М. Оземша // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 15-20. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Предложена физическая модель и эквивалентная электрическая схема определения электрического сопротивления контакта и его составляющих, распределения тока и потенциала по слоям....