Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов

• Veröffentlicht in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Datum: 2006
• Hauptverfasser: Лугин, А.Н., Оземша, М.М.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
• Schlagworte: Электронные средства: исследования, разработки
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53390
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Электрическое сопротивление контакта тонкопленочных резисторов / А.Н. Лугин, М.М. Оземша // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 15-20. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Предложена физическая модель и эквивалентная электрическая схема определения электрического сопротивления контакта и его составляющих, распределения тока и потенциала по слоям....