Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2006
Hauptverfasser: Белянин, А.Ф., Кривченко, В.А., Лопаев, Д.В., Павлушкин, Л.В., Пащенко, П.В., Пирогов, В.Г., Поляков, С.Н., Суетин, Н.В., Сушенцов, Н.И.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
Schlagworte:
Технологические процессы и оборудование
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53399
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53399
record_format dspace
spelling Белянин, А.Ф.
Кривченко, В.А.
Лопаев, Д.В.
Павлушкин, Л.В.
Пащенко, П.В.
Пирогов, В.Г.
Поляков, С.Н.
Суетин, Н.В.
Сушенцов, Н.И.
2014-01-19T22:30:21Z
2014-01-19T22:30:21Z
2006
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53399
Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
Наноструктуровані плівки ZnO для пристроїв мікроелектроніки та оптики
Nano-structured ZnO films for microelectronics and optical devices
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
spellingShingle Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
Белянин, А.Ф.
Кривченко, В.А.
Лопаев, Д.В.
Павлушкин, Л.В.
Пащенко, П.В.
Пирогов, В.Г.
Поляков, С.Н.
Суетин, Н.В.
Сушенцов, Н.И.
Технологические процессы и оборудование
title_short Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
title_full Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
title_fullStr Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
title_full_unstemmed Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
title_sort наноструктурированные пленки zno для устройств микроэлектроники и оптики
author Белянин, А.Ф.
Кривченко, В.А.
Лопаев, Д.В.
Павлушкин, Л.В.
Пащенко, П.В.
Пирогов, В.Г.
Поляков, С.Н.
Суетин, Н.В.
Сушенцов, Н.И.
author_facet Белянин, А.Ф.
Кривченко, В.А.
Лопаев, Д.В.
Павлушкин, Л.В.
Пащенко, П.В.
Пирогов, В.Г.
Поляков, С.Н.
Суетин, Н.В.
Сушенцов, Н.И.
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
publishDate 2006
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Наноструктуровані плівки ZnO для пристроїв мікроелектроніки та оптики
Nano-structured ZnO films for microelectronics and optical devices
description Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53399
citation_txt Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT belâninaf nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki
AT krivčenkova nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki
AT lopaevdv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki
AT pavluškinlv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki
AT paŝenkopv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki
AT pirogovvg nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki
AT polâkovsn nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki
AT suetinnv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki
AT sušencovni nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki
AT belâninaf nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki
AT krivčenkova nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki
AT lopaevdv nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki
AT pavluškinlv nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki
AT paŝenkopv nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki
AT pirogovvg nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki
AT polâkovsn nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki
AT suetinnv nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki
AT sušencovni nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki
AT belâninaf nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices
AT krivčenkova nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices
AT lopaevdv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices
AT pavluškinlv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices
AT paŝenkopv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices
AT pirogovvg nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices
AT polâkovsn nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices
AT suetinnv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices
AT sušencovni nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices
first_indexed 2025-12-07T18:47:15Z
last_indexed 2025-12-07T18:47:15Z
_version_ 1850876348050964480

Ähnliche Einträge