Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53399 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862724434634211328 |
|---|---|
| author | Белянин, А.Ф. Кривченко, В.А. Лопаев, Д.В. Павлушкин, Л.В. Пащенко, П.В. Пирогов, В.Г. Поляков, С.Н. Суетин, Н.В. Сушенцов, Н.И. |
| author_facet | Белянин, А.Ф. Кривченко, В.А. Лопаев, Д.В. Павлушкин, Л.В. Пащенко, П.В. Пирогов, В.Г. Поляков, С.Н. Суетин, Н.В. Сушенцов, Н.И. |
| citation_txt | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:47:15Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53399 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:47:15Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белянин, А.Ф. Кривченко, В.А. Лопаев, Д.В. Павлушкин, Л.В. Пащенко, П.В. Пирогов, В.Г. Поляков, С.Н. Суетин, Н.В. Сушенцов, Н.И. 2014-01-19T22:30:21Z 2014-01-19T22:30:21Z 2006 Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53399 Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики Наноструктуровані плівки ZnO для пристроїв мікроелектроніки та оптики Nano-structured ZnO films for microelectronics and optical devices Article published earlier |
| spellingShingle | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики Белянин, А.Ф. Кривченко, В.А. Лопаев, Д.В. Павлушкин, Л.В. Пащенко, П.В. Пирогов, В.Г. Поляков, С.Н. Суетин, Н.В. Сушенцов, Н.И. Технологические процессы и оборудование |
| title | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_alt | Наноструктуровані плівки ZnO для пристроїв мікроелектроніки та оптики Nano-structured ZnO films for microelectronics and optical devices |
| title_full | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_fullStr | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_full_unstemmed | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_short | Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики |
| title_sort | наноструктурированные пленки zno для устройств микроэлектроники и оптики |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53399 |
| work_keys_str_mv | AT belâninaf nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki AT krivčenkova nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki AT lopaevdv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki AT pavluškinlv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki AT paŝenkopv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki AT pirogovvg nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki AT polâkovsn nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki AT suetinnv nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki AT sušencovni nanostrukturirovannyeplenkiznodlâustroistvmikroélektronikiioptiki AT belâninaf nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki AT krivčenkova nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki AT lopaevdv nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki AT pavluškinlv nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki AT paŝenkopv nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki AT pirogovvg nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki AT polâkovsn nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki AT suetinnv nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki AT sušencovni nanostrukturovaníplívkiznodlâpristroívmíkroelektroníkitaoptiki AT belâninaf nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT krivčenkova nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT lopaevdv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT pavluškinlv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT paŝenkopv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT pirogovvg nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT polâkovsn nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT suetinnv nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices AT sušencovni nanostructuredznofilmsformicroelectronicsandopticaldevices |