Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок
Рассматриваются свойства и предлагаются условия синтеза и легирования углеродных (алмазоподобных) пленок для изготовления на их основе мощных резисторов нового поколения....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53401 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок / С.М. Ротнер, В.А. Мокрицкий, В.В. Лагутин, Ю.С. Медведенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 58-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859471017647276032 |
|---|---|
| author | Ротнер, С.М. Мокрицкий, В.А. Лагутин, В.В. Медведенко, Ю.С. |
| author_facet | Ротнер, С.М. Мокрицкий, В.А. Лагутин, В.В. Медведенко, Ю.С. |
| citation_txt | Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок / С.М. Ротнер, В.А. Мокрицкий, В.В. Лагутин, Ю.С. Медведенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 58-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассматриваются свойства и предлагаются условия синтеза и легирования углеродных (алмазоподобных) пленок для изготовления на их основе мощных резисторов нового поколения.
|
| first_indexed | 2025-11-24T09:47:22Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 6
58
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
03.05 2006 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Í. Ì. ÂÀÊÈÂ
(ÍÏÏ "Êàðàò", ã. Ëüâîâ)
Ê. ô.-ì. í. Ñ. Ì. ÐÎÒÍÅÐ, ä. ò. í. Â. À. ÌÎÊÐÈÖÊÈÉ,
Â. Â. ËÀÃÓÒÈÍ, Þ. Ñ. ÌÅÄÂÅÄÅÍÊÎ
Óêðàèíà, ã. Îäåññà, ÑÏ «ËÀÝÒ», Îäåññêèé íàöèîíàëüíûé
ïîëèòåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò
E-mail: mokrickiy@mail.ru
Ðàññìàòðèâàþòñÿ ñâîéñòâà è ïðåäëàãà-
þòñÿ óñëîâèÿ ñèíòåçà è ëåãèðîâàíèÿ óã-
ëåðîäíûõ (àëìàçîïîäîáíûõ) ïëåíîê äëÿ
èçãîòîâëåíèÿ íà èõ îñíîâå ìîùíûõ ðå-
çèñòîðîâ íîâîãî ïîêîëåíèÿ.
Ïðîáëåìà ïîëó÷åíèÿ êà÷åñòâåííûõ ðåçèñòîðîâ
ñîñòîèò â äîñòèæåíèè ñî÷åòàíèÿ âûñîêîé íàäåæíîñ-
òè, ëèíåéíîñòè, âûñîêîé ñòàáèëüíîñòè, íèçêîãî çíà-
÷åíèÿ ÒÊÑ, âûñîêîé êîððîçèîííîé ñòîéêîñòè. Òåõ-
íîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ ïîëó÷åíèÿ òàêîãî ðîäà ýëåìåí-
òîâ äîëæåí áûòü äîñòàòî÷íî ïðîèçâîäèòåëåí è îòíî-
ñèòåëüíî äåøåâ.
Èçâåñòíî, ÷òî ðåçèñòèâíûå ìàòåðèàëû, èñïîëüçó-
åìûå â íàñòîÿùåå âðåìÿ, íå èìåþò êîìïëåêñà âûøå-
ïåðå÷èñëåííûõ ñâîéñòâ, à èõ òåõíîëîãèÿ ñòðîèòñÿ â
îñíîâíîì íà ïðèìåíåíèè ýëåêòðîïðîâîäÿùèõ ïëåíîê
è ïàñò, èìåþùèõ âûñîêóþ çåðíèñòîñòü ñòðóêòóðû, à
çíà÷èò, è âûñîêóþ ñòåïåíü èçíîñà, ò. å. íèçêóþ íà-
äåæíîñòü.
Ïðåäëàãàåìûå ðåçèñòîðû ñîçäàþòñÿ íà îñíîâå
óãëåðîäíûõ ïëåíîê, èìåþùèõ ñòðóêòóðó àëìàçà. Ýòî
ïîçâîëÿåò íàçûâàòü èõ àëìàçîïîäîáíûìè ïëåíêàìè
(ÀÏÏ). Ê îñíîâíûì ôóíêöèîíàëüíûì äîñòîèíñòâàì
ÀÏÏ è ðåçèñòîðîâ íà èõ îñíîâå îòíîñÿòñÿ òåðìîñòîé-
êîñòü, âûñîêàÿ ñòàáèëüíîñòü, ñòîéêîñòü ê ñâåðõâûñî-
êîé ïëîòíîñòè òîêà, îòñóòñòâèå ðåàêòèâíîãî ñîïðî-
òèâëåíèÿ.
Ââåäåíèå â ÀÏÏ ëåãèðóþùåé ïðèìåñè ïîçâîëÿåò
ïîëó÷èòü ïðîìåæóòî÷íûå ñâîéñòâà ìàòåðèàëà îò ìå-
òàëëà äî äèýëåêòðèêà. Îäíàêî äî íàñòîÿùåãî âðåìå-
íè íå áûëî ýôôåêòèâíîãî ðåøåíèÿ çàäà÷è ëåãèðîâà-
íèÿ óãëåðîäíûõ ïëåíîê. Òàêîå ðåøåíèå íàéäåíî â ÑÏ
«ËÀÝÒ» (ã. Îäåññà).
Öåëüþ ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ àíàëèç ñâîéñòâ ðåçèñòî-
ðîâ íîâîãî ïîêîëåíèÿ, ïîëó÷åííûõ íà îñíîâå óãëå-
ðîäíûõ (àëìàçîïîäîáíûõ) ïëåíîê.
Èñõîäíàÿ óãëåðîäíàÿ ïëåíêà � äèýëåêòðèê. Äëÿ
ïðàêòè÷åñêîãî ïðèìåíåíèÿ åå â êà÷åñòâå ïàññèâíîãî
ýëåìåíòà íåîáõîäèìî èìåòü âîçìîæíîñòü èçìåíÿòü åå
óäåëüíîå ïîâåðõíîñòíîå ñîïðîòèâëåíèå. Ýòî äîñòè-
ãàåòñÿ ëåãèðîâàíèåì óãëåðîäíîé ïëåíêè ðàçëè÷íûìè
ìåòàëëàìè. Íàèáîëåå ðàöèîíàëüíî ñîâìåùàòü ëåãè-
ðîâàíèå ñ ïðîöåññîì ñèíòåçà ÀÏÏ, îñíîâíûìè ìåòî-
äàìè êîòîðîãî ÿâëÿþòñÿ òåðìè÷åñêîå èñïàðåíèå, Â×-
ðàñïûëåíèå, ìàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèå, õèìè÷åñêîå
ïàðîôàçíîå îñàæäåíèå.
 äàííîé ðàáîòå ÀÏÏ ïîëó÷àëè ïóòåì ñîâìåùå-
íèÿ ñèíòåçà ïëåíêè ïðè õèìè÷åñêîì îñàæäåíèè óãëå-
ðîäà, ïîëó÷àåìîãî â ïëàçìîòðîíå ïðè ðàçëîæåíèè
êðåìíèéîðãàíè÷åñêîãî ìàñëà, ñ ëåãèðîâàíèåì åå àòî-
ìàìè ðàçëè÷íûõ ìåòàëëîâ, ïîòîê êîòîðûõ ïîëó÷àëè
ðàñïûëåíèåì ìèøåíè ìàãíåòðîííûì ìåòîäîì. Ïëàç-
ìîòðîí è ìàãíåòðîí êîíñòðóêòèâíî ñîâìåùàþòñÿ ïîä
êîëïàêîì âàêóóìíîé óñòàíîâêè è ðàáîòàþò îäíîâðå-
ìåííî. Ïîëó÷àåìûå â íèõ ïîòîêè àòîìîâ óãëåðîäà è
ìåòàëëà îäíîâðåìåííî îñàæäàþòñÿ íà ïîäëîæêó â
óñëîâèÿõ âîçäåéñòâèÿ íà íåå Â×-ïîëÿ.  ðåçóëüòàòå
ñòðóêòóðà ÀÏÏ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé óãëåðîäíóþ ìàò-
ðèöó ñ âíåäðåííûìè â íåå àòîìàìè ìåòàëëà.
 ïðîöåññå ðàáîòû ïðîâîäèëîñü ëåãèðîâàíèå ÀÏÏ
ðàçëè÷íûìè ìåòàëëàìè. Íà ðèñ. 1 ïðåäñòàâëåíà äè-
àãðàììà çàâèñèìîñòè óäåëüíîãî ïîâåðõíîñòíîãî ñî-
ïðîòèâëåíèÿ ÀÏÏ îò òèïà ëåãèðóþùåãî ìåòàëëà. Ïî-
÷òè âñå èñïîëüçîâàííûå ìåòàëëû äàþò áëèçêèå ðå-
çóëüòàòû. Îòëè÷èå äàííûõ ïî ãàôíèþ è àëþìèíèþ
îáúÿñíÿåòñÿ, âåðîÿòíî, ÷àñòè÷íûì èõ îêèñëåíèåì êîì-
ïîíåíòàìè ïëàçìû.
Äëÿ èññëåäîâàíèÿ ñîñòàâà ïëåíîê èñïîëüçîâàëè
ðåçåðôîðäîâñêîå îáðàòíîå ðàññåÿíèå, à äëÿ îïðåäå-
ëåíèÿ ñîäåðæàíèÿ óãëåðîäà è âîäîðîäà � ÿäåðíûå
ðåàêöèè. Áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî ðàñïðåäåëåíèå óãëå-
ðîäà è âîäîðîäà ïî ãëóáèíå ñëîÿ äîñòàòî÷íî îäíî-
ðîäíî. Èçìåðåíèÿ ïðîâîäèìîñòè òàêæå ïîêàçàëè, ÷òî
çà èñêëþ÷åíèåì î÷åíü òîíêèõ ñëîåâ ñ âûñîêèì ñî-
ïðîòèâëåíèåì, ôîðìèðóþùèõñÿ â íà÷àëå îñàæäåíèÿ,
ðàñïðåäåëåíèå óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ îäíîðîäíî
ïî âñåé òîëùèíå ÀÏÏ.
ÌÎÙÍÛÅ ÐÅÇÈÑÒÎÐÛ ÍÎÂÎÃÎ ÏÎÊÎËÅÍÈß
ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ ÓÃËÅÐÎÄÍÛÕ (ÀËÌÀÇÎÏÎÄÎÁÍÛÕ) ÏËÅÍÎÊ
ρS, Îì/
80
60
40
20
0
W Nb Hf Ta Mo Cr Ti Al Cu Re Me
Ðèñ. 1. Äèàãðàììà èçìåíåíèÿ óäåëüíîãî ïîâåðõíîñòíî-
ãî ñîïðîòèâëåíèÿ ÀÏÏ ρS â çàâèñèìîñòè îò òèïà ëåãèðó-
þùåãî ìåòàëëà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 6
59
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ ìåõàíèçìà âíåäðåíèÿ ìåòàëëà â
ìàòðèöó ÀÏÏ èññëåäîâàëàñü ïëîòíîñòü ïëåíîê â çà-
âèñèìîñòè îò ñòåïåíè ëåãèðîâàíèÿ (óäåëüíîãî ñîïðî-
òèâëåíèÿ). Íà ðèñ. 2 ïðåäñòàâëåíà çàâèñèìîñòü ïëîò-
íîñòè ïëåíîê îò óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ äëÿ ÀÏÏ:Íf
è ÀÏÏ:Nb. Õàðàêòåð çàâèñèìîñòè âåñüìà ñõîæ. Òèï
ìåòàëëà çàìåòíî âëèÿåò íà ðåçóëüòèðóþùóþ ïëîòíîñòü
ïëåíêè.
Ñóùåñòâåííûì ôàêòîðîì, âëèÿþùèì íà ñòðóêòó-
ðó è ñâîéñòâà ïëåíîê, ÿâëÿþòñÿ ìåõàíè÷åñêèå íàïðÿ-
æåíèÿ, âîçíèêàþùèå â ñòðóêòóðå ïðè ñîâìåñòíîì
ðàñïûëåíèè ìåòàëëà è ñèíòåçå ÀÏÏ. Ïðè÷èíû âîç-
íèêíîâåíèÿ íàïðÿæåíèé ìîãóò áûòü ðàçëè÷íû. Ýòî è
ðàçëè÷èå êîýôôèöèåíòîâ ëèíåéíîãî ðàñøèðåíèÿ ïîä-
ëîæêè è ïëåíêè, è ñîáñòâåííûå íàïðÿæåíèÿ â íåé,
âîçíèêàþùèå ïðè áîëüøèõ êîíöåíòðàöèÿõ ëåãèðóþ-
ùåé ïðèìåñè. Îïðåäåëåíèå ñóììàðíûõ íàïðÿæåíèé
ñòðóêòóðû "ïîäëîæêà�ïëåíêà" ïðîèçâîäèëîñü ïóòåì
èçìåðåíèÿ èçãèáà êðåìíèåâîé ïëàñòèíû ñ íàíåñåí-
íîé ïëåíêîé ìåòîäîì ðåíòãåíîâñêîé äèôðàêöèè.
Ïîñëå èîííîé î÷èñòêè â ñòàíäàðòíîì ðåæèìå øå-
ðîõîâàòîñòü ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè óëó÷øàåòñÿ çà
ñ÷åò óäàëåíèÿ ìèêðîðåëüåôà. Ìàêðîðåëüåô ïðè ýòîì
ïðàêòè÷åñêè íå èçìåíÿåòñÿ. Ïîñëå íàíåñåíèÿ ÀÏÏ:Me
åå ïîâåðõíîñòíàÿ øåðîõîâàòîñòü íå ïîâòîðÿåò ñòðóê-
òóðó èñõîäíîé ïîâåðõíîñòè.
Èññëåäîâàíèå ñòðóêòóðû ïëåíîê ïðîâîäèëîñü ìå-
òîäàìè ïðîñâå÷èâàþùåé ýëåêòðîííîé ìèêðîñêîïèè,
îæå-ýëåêòðîííîé ñïåêòðîñêîïèè, ýëåêòðîíîãðàôèè,
ðåíòãåíîâñêîé äèôðàêöèè, ðàñòðîâîé ýëåêòðîííîé
ìèêðîñêîïèè. Ïëåíêè äëÿ èññëåäîâàíèé âûðàùèâàëè
íà ïîäëîæêàõ èç ñèòàëëà, ãðàôèòà, êðåìíèÿ è àðñåíè-
äà ãàëëèÿ. Áûëî èçó÷åíî òàêæå, êàê âëèÿåò íà ñòðóêòóðó
îòæèã ïëåíîê ïðè Ò=600°Ñ. Îòæèã ïðîâîäèëñÿ â âà-
êóóìå ñ îñòàòî÷íûì äàâëåíèåì (2,6�3,9)·10�3 Ïà â
òå÷åíèå 30 ìèí. Ïðè èññëåäîâàíèè ïëåíîê íà ïîäëîæ-
êàõ èç ñèòàëëà ñ ïîìîùüþ ïðîñâå÷èâàþùåé ýëåêò-
ðîííîé ìèêðîñêîïèè îáðàçöû ãîòîâèëèñü ïî äâóì ìå-
òîäèêàì: 1) ìåõàíè÷åñêîé øëèôîâêîé ñ ïîñëåäóþùèì
óòîíüøåíèåì èîííûì òðàâëåíèåì; 2) ñêàëûâàíèåì.
Äëÿ èññëåäîâàíèÿ ðàñïðåäåëåíèÿ ëåãèðóþùåé
ïðèìåñè â ÀÏÏ:Ìå èñïîëüçîâàëàñü ýëåêòðîííàÿ îæå-
ñïåêòðîñêîïèÿ. Â ïëåíêàõ, ëåãèðîâàííûõ Ñu, íàáëþ-
äàåòñÿ îáðàçîâàíèå êëàñòåðîâ ìåäè ðàçìåðîì 20�
30 ìêì. Â ïëåíêàõ, ëåãèðîâàííûõ Ñr è Íf, ðàñïðåäå-
ëåíèå ïðèìåñè áîëåå ðàâíîìåðíîå. Èññëåäîâàíèå
ñòðóêòóðíîãî ñîñòîÿíèÿ ïëåíêè ñ ëåãèðóþùåé ïðè-
ìåñüþ ïîñëå îñàæäåíèÿ è ïîñëå îòæèãà ïðîâîäèëîñü
ìåòîäîì ñúåìêè â êàìåðå Äåáàÿ ñ ïîìîùüþ êîñîãî
øëèôà. Òî÷å÷íûå ðåôëåêñû íà äåáàåãðàììàõ ñîîò-
âåòñòâóþò îòðàæåíèÿì oò ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîé ïîä-
ëîæêè. Óñòàíîâëåíî, ÷òî ñòðóêòóðíîå ñîñòîÿíèå ïëåí-
êè è ïðèìåñè ïðè ëåãèðîâàíèè Ñr äèôðàêöèîííî-
àìîðôíîå äî è ïîñëå îòæèãà â âàêóóìå. Ëåãèðîâà-
íèå ïëåíîê ãàôíèåì ïðèâîäèò ê îáðàçîâàíèþ êàðáè-
äà ãàôíèÿ, êîòîðûé ïðèñóòñòâóåò â ïëåíêå è ïîñëå
îòæèãà. Ïðè ëåãèðîâàíèè ïëåíêè ìåäüþ îáðàçóåòñÿ
ñòðóêòóðà, óñòîé÷èâàÿ ê îòæèãó.
Ñ öåëüþ óñòàíîâëåíèÿ ñîñòîÿíèÿ è ôàçîâîãî ñî-
ñòàâà ïîâåðõíîñòíîãî ñëîÿ ïëåíêè áûë ïðîâåäåí ýëåê-
òðîíîãðàôè÷åñêèé ôàçîâûé àíàëèç. Îí îñóùåñòâëÿë-
ñÿ íà ýëåêòðîíîãðàôå ÝÌÐ-100 ïðè óñêîðÿþùåì íà-
ïðÿæåíèè 75 ê â ðåæèìå ñúåìêè «íà îòðàæåíèå».
Íà ýëåêòðîíîãðàììàõ ïëåíîê, ëåãèðîâàííûõ Hf è Cr,
îòñóòñòâîâàëè äèôðàêöèîííûå ðåôëåêñû, ÷òî ñâèäå-
òåëüñòâîâàëî î äèôðàêöèîííî-àìîðôíîì ñîñòîÿíèè
ïðèïîâåðõíîñòíîãî ñëîÿ. Íà ýëåêòðîíîãðàììå ïëåí-
êè, ëåãèðîâàííîé Ñu, ïðèñóòñòâîâàëè ðåôëåêñû îò
îêñèäà ìåäè.
Ýëåêòðîïðîâîäíûå ïëåíêè èìåþò ñïåöèôè÷åñêèå
è âàæíûå äëÿ íóæä ýëåêòðîíèêè è ýëåêòðîòåõíèêè
ñâîéñòâà:
� íèçêàÿ âåëè÷èíà ÒÊÑ � 10�6�10�4 Ê�1;
� øèðîêèé äèàïàçîí óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ:
îò 10�4 äî 109 Îì·ñì;
� âûñîêàÿ ñòîéêîñòü ê ñâåðõáîëüøèì ïëîòíîñ-
òÿì òîêà (áîëåå 106 À/ñì2);
� âûñîêàÿ ðàäèàöèîííàÿ ñòîéêîñòü;
� âûñîêàÿ îäíîðîäíîñòü, òåðìîñòîéêîñòü è íèç-
êèé óðîâåíü øóìîâ.
Ýòè ñâîéñòâà ïîçâîëèëè ðàçðàáîòàòü íîâûé êëàññ
ðåçèñòîðîâ íà îñíîâå àëìàçîïîäîáíûõ ïëåíîê. Â íèõ
â êà÷åñòâå ïîäëîæêè èñïîëüçóåòñÿ êåðàìèêà èç Al2O3
(ÂÊ-94, ÂÊ-100), AlN, Si3N4. Ýòî ïîçâîëÿåò óâåëè-
÷èòü òåïëîîòäà÷ó è óìåíüøèòü ÒÊÑ ýëåìåíòîâ.
Ê áåçóñëîâíûì ïðåèìóùåñòâàì ðåçèñòîðîâ íà
îñíîâå ÀÏÏ ñëåäóåò îòíåñòè: íèçêóþ ìàòåðèàëîåì-
êîñòü, òåðìîñòîéêîñòü ðåçèñòèâíîé ïëåíêè, âûñîêóþ
ñòàáèëüíîñòü âî âðåìåíè, ñòîéêîñòü ê ñâåðõâûñîêèì
òîêàì (äî 106 À/ñì2), âîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿ ìîù-
íûõ ðåçèñòîðîâ ñ ìàëûìè çíà÷åíèÿìè ÒÊÑ, îòñóò-
ñòâèå ðåàêòèâíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ [3].
 ÀÏÏ íàáëþäàåòñÿ çàâèñèìîñòü ÒÊÑ îò ñîïðî-
òèâëåíèÿ (ðèñ. 3). Ïðè íàïûëåíèè ÀÏÏ ñ ñîïðîòèâëå-
íèåì âûøå 3000 Îì/ îòðèöàòåëüíîå çíà÷åíèå ÒÊÑ
d, ã/ñì3
10
8
6
4
2
0 �1 �2 �3 lg ρ, Îì·ñì
ÀÏÏ:Hf
ÀÏÏ:Nb
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü ïëîòíîñòè d ïëåíîê ÀÏÏ:Íf è
ÀÏÏ:Nb îò óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ
ÒÊÑ
+1·10�4
+8·10�5
+2·10�5
0
�1·10�4
1 2000 3000 ρS, Îì/
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü ÒÊÑ îò óäåëüíîãî ïîâåðõíîñòíîãî
ñîïðîòèâëåíèÿ íàïûëåííîé ðåçèñòèâíîé ïëåíêè ÀÏÏ:Ti
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 6
60
ÌÀÒÅÐÈÀËÛ ÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
ðàñòåò. Ïîëó÷åííûé ðåçèñòîð áóäåò èìåòü íåóäîâëåò-
âîðèòåëüíóþ çàâèñèìîñòü èçìåíåíèÿ ñîïðîòèâëåíèÿ
îò òåìïåðàòóðû. Ïîýòîìó äëÿ ïîëó÷åíèÿ ðåçèñòîðîâ
ñ íèçêèì çíà÷åíèåì ÒÊÑ è âûñîêèì ñîïðîòèâëåíè-
åì íåîáõîäèìî èñïîëüçîâàòü ïîäãîíêó åãî âåëè÷èíû
ê çàäàííûì çíà÷åíèÿì ñ îïðåäåëåííîé òî÷íîñòüþ.
 êà÷åñòâå èíñòðóìåíòà ïîäãîíêè èñïîëüçóåòñÿ
ëàçåðíàÿ óñòàíîâêà äëÿ îáðàáîòêè òâåðäûõ òåë.
Ñðàâíèòåëüíûé àíàëèç ñâîéñòâ ðåçèñòîðîâ, ïðî-
èçâîäèìûõ ÑÏ «ËÀÝÒ», è ðåçèñòîðîâ äðóãèõ ôèðì
ïðåäñòàâëåí â òàáëèöå. Ê áåçóñëîâíûì äîñòîèíñòâàì
ìîùíûõ ðåçèñòîðîâ íà îñíîâå àëìàçîïîäîáíûõ ïëå-
íîê ÑÏ «ËÀÝÒ» îòíîñÿòñÿ øèðîêèé äèàïàçîí ñîïðî-
òèâëåíèé (îò 0,1 Îì äî 10 ÌÎì), íèçêîå çíà÷åíèå
ÒÊÑ (íå áîëåå 2·10�5 Ê�1), øèðîêèé äèàïàçîí ðàáî-
÷èõ òåìïåðàòóð, âûñîêàÿ òåðìîñòîéêîñòü ðåçèñòèâ-
íîé ïëåíêè (íå ìåíåå 550°Ñ), íàïðÿæåíèå ïðîáîÿ íå
ìåíåå 3000 Â.
Âûâîäû
1. Èñïîëüçóåìûé ìåòîä ëåãèðîâàíèÿ óãëåðîäíûõ
ïëåíîê ïîçâîëÿåò ââîäèòü â íèõ â êà÷åñòâå ïðèìåñè
òàêèå ìåòàëëû êàê W, Mo, Ta, Ti, Nb, Hf, Cr, Al, Cu,
Re â êîíöåíòðàöèè, äîñòàòî÷íîé äëÿ óïðàâëåíèÿ ýëåê-
Ï
ð
î
è
çâ
î
ä
è
òå
ë
ü
Ì
àð
ê
à
ð
åç
è
ñò
î
ð
à
Ò
è
ï
ð
åç
è
ñò
î
ð
à
Ð
àç
ì
åð
û
,
ì
ì
Ì
àñ
ñà
,
ã,
í
å
á
î
ë
åå
Ä
è
àï
àç
î
í
ñ
î
ï
ð
î
òè
â
-
ë
åí
è
é
Ò
Ê
Ñ
,
1
0
–5
Ê
–1
Ð
àá
î
÷
àÿ
ò
åì
ï
åð
àò
ó
ð
à
ï
ð
è
í
î
ì
è
í
àë
üí
î
é
ì
î
ù
í
î
ñò
è
,
°Ñ
Ï
ð
åä
åë
ü
í
àÿ
òå
ì
ï
åð
àò
ó
ð
à,
°
Ñ
Í
àï
ð
ÿ
æ
åí
è
å
ï
ð
î
á
î
ÿ
,
Â
,
í
å
ì
åí
åå
È
í
ä
ó
ê
òè
â
í
î
ñò
ü
Î
ñî
á
åí
í
î
ñò
è
ó
ñò
à-
í
î
â
ê
è
Ä
î
ï
î
ë
í
è
òå
ë
üí
û
å
î
ñî
á
åí
í
î
ñò
è
ÑÏ
"ËÀÝÒ",
Îäåññà
ÐÀ-6-100 Âò
Ïëå-
íî÷íûé
16×22×3,2 5
0,1 Îì —
10 ÌÎì
20—80 –60—+80 250 3000 Íåò
Óñòàíîâêà
íà øàññè,
ðàäèàòîð
Ýëåêòðîèçî-
ëèðîâàí
Òî æå ÐÀ-7-100 Âò Òî æå 16×31×3,8 8
0,1 Îì —
10 ÌÎì
20—80 –60—+300 550 3000 " Òî æå
Ýëåêòðîèçî-
ëèðîâàí. Ìî-
æåò áûòü èñ-
ïîëüçîâàí êàê
íàãðåâàòåëü
äëÿ áûòîâîé
òåõíèêè,
ïðåññ-ôîðì
è ò. ä.
" ÐÀ-7-250 Âò " 16×31×3,8 8
0,1 Îì —
10 ÌÎì
20—80 –60—+120 550 3000 " " Òî æå
ÐÅÎÌ,
Ñ.-Ïåòåð-
áóðã
Ð1-69-100 Âò
Ìåòàë-
ëîïëå-
íî÷íûé
300×21×21 180
17; 21;
37,5;
50,75 Îì
200—
500
–60—+55 200 … "
Ðàäèàòîð íå
òðåáóåòñÿ
Ïîñòàâëÿåòñÿ
áåç îòâîäà.
Íå èçîëèðî-
âàí
Pacific
resistor
(ÑØÀ)
110CH
Ïðîâî-
ëî÷íûé
89×45×71 400 Äî 90 êÎì 20—90 –60—+25 275 5500
Íèç-
êàÿ
Óñòàíîâêà
íà øàññè,
ðàäèàòîð
Ýëåêòðîèçî-
ëèðîâàí
Òî æå MP9100
Ïëå-
íî÷íûé 16×21×4,95 5
0,05 Îì
— 100 Îì
20—80 –55—+25 175 1500 Íåò
Óñòàíîâêà
íà ðàäèà-
òîð, øàññè
Òî æå
" HDP247 Òî æå 16×20×4 5
0,05 —
10 êÎì
100 –55—+25 200 750 " Òî æå
Íå èçîëèðî-
âàí
Ñðàâíåíèå ìîùíûõ ðåçèñòîðîâ, âûïóñêàåìûõ ðàçíûìè ôèðìàìè
òðè÷åñêèì ñîïðîòèâëåíèåì â øèðîêîì äèàïàçîíå (îò
0,1 Îì äî 10 ÌÎì).
Îòëè÷èòåëüíîé îñîáåííîñòüþ òàêèõ ïëåíîê îò ðà-
íåå èçâåñòíûõ ÿâëÿåòñÿ âîçìîæíîñòü óïðàâëåíèÿ òåì-
ïåðàòóðíûì êîýôôèöèåíòîì ñîïðîòèâëåíèÿ îò �2·10�5
äî +10�7 K�1. Èõ âûãîäíî îòëè÷àåò ñïîñîáíîñòü
âûäåðæèâàòü ïëîòíîñòü òîêà äî 106 À/ñì2 è îòñóò-
ñòâèå ðåàêòèâíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ.
2. Óêàçàííûå ñâîéñòâà ïîçâîëèëè ïîëó÷èòü ðåçè-
ñòîðû íîâîãî ïîêîëåíèÿ, ñïîñîáíûå ðàññåèâàòü ìîù-
íîñòü äî 250 Âò ïðè ðàçìåðàõ 16×31×3,8 ìì è ñîõðà-
íÿòü ðàáîòîñïîñîáíîñòü äî òåìïåðàòóðû 270°Ñ. Ïî-
äîáíûå ðåçèñòîðû íå èìåþò àíàëîãîâ â ìèðîâîé ïðàê-
òèêå èçãîòîâëåíèÿ ïàññèâíûõ ýëåìåíòîâ ðàäèîýëåêò-
ðîíèêè.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Kumar S., Trodahl H. J. Nonmetallic films precipitation
machine // Thin Solid Films.� 1990.� N 193/194.� P. 72�76.
2. Biederman H., Chnctacek J., Slavinska D. et al. Diamondlike
materials thin films // Vacuum.� 1989.� Vol. 39, N 1.� P. 13�15.
3. Dimigen H., Hubsh H., Memming R. Diamondlike resistors
properties // Appl. Phis. Lett.� 1987.� Vol. 50, N 16.� P. 1056�
1058.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53401 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T09:47:22Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Ротнер, С.М. Мокрицкий, В.А. Лагутин, В.В. Медведенко, Ю.С. 2014-01-19T22:38:25Z 2014-01-19T22:38:25Z 2006 Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок / С.М. Ротнер, В.А. Мокрицкий, В.В. Лагутин, Ю.С. Медведенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 58-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53401 Рассматриваются свойства и предлагаются условия синтеза и легирования углеродных (алмазоподобных) пленок для изготовления на их основе мощных резисторов нового поколения. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок Потужні резистори нового покоління на основі вуглецевих (алмазоподібних) плівок Powerfull resistors of new generation on base carbon (diamondlike) films Article published earlier |
| spellingShingle | Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок Ротнер, С.М. Мокрицкий, В.А. Лагутин, В.В. Медведенко, Ю.С. Материалы электроники |
| title | Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок |
| title_alt | Потужні резистори нового покоління на основі вуглецевих (алмазоподібних) плівок Powerfull resistors of new generation on base carbon (diamondlike) films |
| title_full | Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок |
| title_fullStr | Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок |
| title_full_unstemmed | Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок |
| title_short | Мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок |
| title_sort | мощные резисторы нового поколения на основе углеродных (алмазоподобных) пленок |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53401 |
| work_keys_str_mv | AT rotnersm moŝnyerezistorynovogopokoleniânaosnoveuglerodnyhalmazopodobnyhplenok AT mokrickiiva moŝnyerezistorynovogopokoleniânaosnoveuglerodnyhalmazopodobnyhplenok AT lagutinvv moŝnyerezistorynovogopokoleniânaosnoveuglerodnyhalmazopodobnyhplenok AT medvedenkoûs moŝnyerezistorynovogopokoleniânaosnoveuglerodnyhalmazopodobnyhplenok AT rotnersm potužnírezistorinovogopokolínnânaosnovívuglecevihalmazopodíbnihplívok AT mokrickiiva potužnírezistorinovogopokolínnânaosnovívuglecevihalmazopodíbnihplívok AT lagutinvv potužnírezistorinovogopokolínnânaosnovívuglecevihalmazopodíbnihplívok AT medvedenkoûs potužnírezistorinovogopokolínnânaosnovívuglecevihalmazopodíbnihplívok AT rotnersm powerfullresistorsofnewgenerationonbasecarbondiamondlikefilms AT mokrickiiva powerfullresistorsofnewgenerationonbasecarbondiamondlikefilms AT lagutinvv powerfullresistorsofnewgenerationonbasecarbondiamondlikefilms AT medvedenkoûs powerfullresistorsofnewgenerationonbasecarbondiamondlikefilms |