Перспективы развития тонкопленочных микросборок

Рассмотрены некоторые конструктивно-технологические варианты микросборок и перспективы повышения их интеграции, а также особенности применения резистивных материалов в производстве тонкопленочных микросборок....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2005
Main Author: Спирин, В.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53515
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 03-06. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53515
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-535152025-02-09T09:50:25Z Перспективы развития тонкопленочных микросборок Перспективи розвитку тонкоплівкових мікрозбірок Perspectives of thin-film micromodule development Спирин, В.Г. Техническая политика Рассмотрены некоторые конструктивно-технологические варианты микросборок и перспективы повышения их интеграции, а также особенности применения резистивных материалов в производстве тонкопленочных микросборок. 2005 Article Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 03-06. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53515 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Техническая политика
Техническая политика
spellingShingle Техническая политика
Техническая политика
Спирин, В.Г.
Перспективы развития тонкопленочных микросборок
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены некоторые конструктивно-технологические варианты микросборок и перспективы повышения их интеграции, а также особенности применения резистивных материалов в производстве тонкопленочных микросборок.
format Article
author Спирин, В.Г.
author_facet Спирин, В.Г.
author_sort Спирин, В.Г.
title Перспективы развития тонкопленочных микросборок
title_short Перспективы развития тонкопленочных микросборок
title_full Перспективы развития тонкопленочных микросборок
title_fullStr Перспективы развития тонкопленочных микросборок
title_full_unstemmed Перспективы развития тонкопленочных микросборок
title_sort перспективы развития тонкопленочных микросборок
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2005
topic_facet Техническая политика
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53515
citation_txt Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 03-06. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT spirinvg perspektivyrazvitiâtonkoplenočnyhmikrosborok
AT spirinvg perspektivirozvitkutonkoplívkovihmíkrozbírok
AT spirinvg perspectivesofthinfilmmicromoduledevelopment
first_indexed 2025-11-25T13:52:34Z
last_indexed 2025-11-25T13:52:34Z
_version_ 1849770647668916224
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ���� � � � � ��������� �� ����� �� � ��� ������ � �������� � !� ���" �! #������ ���������� � $%#��&��'(������� %� �! )*���+ ��� ����������������� ,���� � �! -�&�*��� (.. %��*�'-���% /'01234 5607819:101;!<<=>!9? ./,)./@�ABC ,-DBA�AE �#(@#.F/(#G(CH IA@,#)J#,#@ ������ ��������� ��������� ��� ��� ��� ������ �!������������ ��������"�� ������#���#�� ����#���$���%������ � � ��&��'� �� ��(�����"����� ��#������� ��%���)�� �������� ����������#���)��*� � ��� ����#����!����������"����� #��� �& ������K� ��� �����L�� �����*����� *�������� ������ M ��&��L�� ��� ��� � ��������' ��� �����*���K� �����N��OP�� �� �����O�K� ���* $)JA)+ $���� �����Q**+ � ��**� ������K� ��� $� �����Q**+� L � �N��������� �������� *� �� �&' �� ������ ! ������ ��� �����L�� ���R�� ���� ��R' ���P�� ����*� �K *�������� ������ ������ ��K ��� ��� ��� O ��������� NK� ������ ���� ��N�� ��*�� O! # � ��� � )S- � E����� �� ������ ��&�� � ��N*������K� ���������� � ))), � �TU�M�TV� ��! �� ������� ��&��N� K�����O �������� N��OP�� ��N����K� �� �����O�K� ���* $JWA)+ X�� �Y! B ��' &��O � � � � *�������� ����K� �� ���� �� Z������' ���O�� ������������ �*���������� � ������� )JA)! B ����� �TV�'� ����� � ��� �� �� O� ���N[��� �N �� �������* ��&�� �� �� *����� � ������ ���R�� ����� � )S-� ��������� *�������� ��O�K� *���' ��� $I@I+ X�� "Y� �� ��� �� ����� ��[��� � ����' �K�����O �� ��������� JWA)! B ��� � [�� ���* �� �&�� ������ I@I �����O' &�� � ���� ������ L� K��� ���� ��� X�Y4 M I@I'\ M � �����R��� �& � ���� ��� ��� �] M I@I') M � �����R��� �& ����L����� ����' *��� $ ��� ������L�K� JWA)+] M I@I'^ M ���������L�K� � ��� ��K $�����' *��� �� �����R��� �& �� ���� � ��������+] M I@I'_2 M ���������L�K� � ��� ��K � ���' ��R��� �& ���*�� ! ��������� I@I &� ��N�R�* ��������� ��� O �� ��&�������O � �L��O ���������* �*��! /��� � �TVV �! *��OP� ��� �� Z��* )S- &���*����O ��&' ��N� ��� � ����&���� ��* I@I� � � �TT� �! �� ��' ��L�� �� ��� ���� �� ��! #�����K*� �� ��N� �� *� I@I �� � � Z��*K� ��&���[�� ��*�O� ��K! ���' ������ I@I \' ��� ��*������ � ����&���� �� *������ N������� ����L�� ������ ��O�� ��������� *� ������� �� �� �����R��� � ��N� ���K� ������' ��� � �N��������� �� *�� �R� ���� �����! #���' �� �� ������&�* �K��� �NK � I@I N��� ��&���� O' � � � ����� ���P����� ����&���� �� *������ ̂ ' � _2' ���� X�Y! .�� �*� �����& ��� � �� � ������� �� ��&�� � ���������L�K� *�����N���� $I)J+ ����' � ��� � �� ����! B &���L� ��� � [�� ��N� K ����� ����*� ����� ���� ��� ����' ��������L����� ������ �� I)J� ��' �����K� ���������� ���*KP������ O�� � �������' ��K ���KP��� �� �� �������! #�����K� ������' �����*�L����� ����*� �K I)J ��������K � �������! B ��� � [�� ���* � ,����� ����L��� ��&�� �� ��L� �K� ��� K �� � ���� ��� ��� � �� ��������' � ���� *�� �R� ��*����� ��! #����� �� ����L�' ���� ����*� �K� ���R�� ����� ��� ��� O ��������' ��� $� �����Q**+� ��&*�� ��� �� ��� ���[���� ����' ������� � ���� � $∅ ��U **+� � ��R� *���*��O��� ���� � ��� *�R�� � ���� � *� $��� �������� �� *�' ��� ��[��K ��� K+ ���� � ��� �����L���� �� ��' ����� I)J! @��*� ���� ��&�� ������������� O � ��' �� ��� ��� � �� ��&��� � �����L� O ��� ��� O ��*' ������� � ���*�� O ����K� *� ����� �� �� ������ ��*����� �� � N��OP�� ���������*�� *�[��� O�! ��������� �����*���K� ��� � ��&�����P� � �K����*� �*��*� � V�'� ����� ���P���� � ��� � X�� �Y� � ��� � [�� ���* ������ ������L����� ���' ���������� ���� ������ �������� ���� ��� ������� �������� ��� � � �� ������ ����, 10–6���� �������� �� �� � ��������� !��"�� �# $������� %� ������� � ����� �&�� �������� ��������'����� �()���2 ���������� ����3 *�������������� FR-4 5 10 14 0,02 500×500 300—400 0,1 1,8 �������� 5 10 25 0,0015 78×95 — — — *����� 5 20 5 0,015 60×48 200—300 1,14 2,5 ������ 5 20 8 0,3 60×48 320—450 7,98 4 *� +� 10 500 8 0,47 ∅ 76 700 24,0 4 � ����� 50 500 2,3 1,09 ∅ 100 700 2,4 2,3 ��N���� � ` ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � " ��������� �� ����� *������� � �� � �� ������� �� ����&�P�� &�*��� �����*���K� ��� �� � ���� ��� ��� ��K�! a � �� ' &��� � �*� L � �����*���K� ��� K �*�� N���� �K' ����� ��N�� ��*�� O �&�� ������ �� ��������� � �����*���K*� � ���� ��� ��� ��K*� ��� �*�� �� �' �K� �N����L���� ���� R� ��� ��� O ����������� $ �N�! �+! (���� � ��* ��L� �K� � �����*���K� ��� �� � � �� L � �� ��� ���O& �&�� ������ O �� ��' ���O�K� ��&�� ��K! b� ������ �� ��� K ��&�� ���� � *���'�������� �����L���� ��N�� ��*�� O I)J� ���R�� ����R��� O � ��� ��� O �� ��������! (��N��OP� ��� ��� O ����������� � ���������L' ��� I)J �N����L���� � ���*������* ���*��� � ��L�� �� ����� ������ ������ [��� ��� ! ,�&��O � K ������������� ���������K� � X � UY� ��&��� � ���' �� ����� O ���������L�K� ���*�� K �� �� �����K� � ���������K� �����R��� �� &��L� ��O�� *��OP�*� ���*�*� �������L����� ��&*����4 ��M�� *�*! ���O' ���P�� �*��OP���� ��&*���� ����������� �*��O' P�� �K��� ����K� I)J! a � �� &��� � �*� L � ���' �K� �����R�� �*�� �� *�����O��� Z��*�! .�� ��' ������� Z� ���&�� � �� ����� �����R�� �N��&�� � ������ ��[��� �� ����� *�R� � ������O�� ��& ���' ������� O ��[��� ��������� ��� ! B ��&��O � � �' ���� ��Z������ ��������� &���� �� Z� ���&�� � ��� ���*�� �*� Z� �P�N����� L � ������� � �*��O' P���� P����K �����! @��*� ���� �������&����' *�� O ����������� � ��&�� ���� ����P�� � �&'&� ����� �� � �� �����K� � ���������K� �����R��! .��*������ ���N��L� K� ��&�� ���� XVY &��L� ��O�� ���P�� � �����&�� ����� ����*K� ���������L�K� ��' &�� ���� $�.,+ �� ����� �����R��! .�� �*� � ���O� ��[�� ������� ���KP��� �� ������� �� �� �����K� � ���������K� �����R��� R��� ��O�� ���*������ ��&��' ���K� *� ������� � ����O�K* ��������� �K* �����' �������* �� �#*Q ! B � �* ���L�� �����&�� ����� ���' �*K� �., ��� ��� �� #*c� I#*! ��� ��� ���N���� ��� ��N� ��O�K*� �� � � �., � ��*����O�K*� ��' ��� ������ *� ��� #*c��� �#*� � ���� ��P���� &��' L� ��O�� �*��OP� ���[��O ��&�� ����! I���*��O��� P����� ����������� � ������ [�� ������� �& ���*��� *�R�� ����L� O �� �����R��� �& ���Z��� � ���*�� $�M�� *�*+! )��Z�� � ���*��� �� � � *������� ����*�� ��� �*� �� �N����� ��' ��� �� O�� ����� ������ �� ���� � ��������! S�����' �� �� O ��N�L�� ��������� � ���Z��� � ���*�� ��� ' �� � ��� �"M��'*� ������*! .�������� �N� � ��O' � ��� � ��R� � �� � ��� ��� � ������ ��� ��������� Z� ���&�� �� ��&��� � ����L� O *���� P����� ���' �������� �� � �� *������� �����! .���L���� ���Z��� ���� R��� � N��OP�*� &� �� �*� ������� $ �*���� �' �� �������� ���Z��� ��� ��� � ���� @+� � ��� �*� �� �� � � �������������K* ��*��*! @��*� ���� ���' Z�� ��� ��� *�����L����� �N��N� �� �*�� N��OP�� � ���K� L � � �N���������� ��� �K����� � ��*�� O �� ��� �� � ������ ������L����� ���*������! @��*��� ���&��� ��L � �����O�K* � ���� ����' � ����K* *� ������* �� �&�� ������ )JA) � *��' �������������� P������ ���*������ �� ��K� � ��K' �� �� O �� ��������� NK� ���� ��������� ������ ������N� �� ��Z��*����! @��*��� ��R� �� � � ������K* *� ������* *����*������� $ �������� IaI)+! @�� ����� �& �N�! �� ���*��� �� ����* ����L����* ����� ���� ���* � ������O�� ��&� � � � �� ��� ���� ���������� �������L�K� ����*� �K ���� �� ��O�K� *� �������� � �� � ��*�� � &��L� ��O�� �� ���� ��O�� � ���� ��� ��� �! (��*� � �� ����������K� ������'�����*�L����� ����*� �K� ���������L�K� I)J � �����R��*� �& ���*�� �� ������� � � ,d� � � ��L�� � )S-� ���� �L���� �� ���*�� � � ! (� ��P �&�� �� � � �N��������� ������[�*� ������K*� ���L���*�! �! B ��� � [�� ���* ����� ���������*� ����' ��� � *� �� � �� &���L� e����� O � ������� Of! /� �*����� &���L� �KR����� ! @�� � � �� ����������O' ��� �� *����� �������� ��� ���������� ������� ' �� � � &���L� ��P�� �� �� �* ��&��N� �� � ������' �� ���K� ���������� � �� �* ���L �R��� �*��' [��� �K����� ���������� � L�� ��� � ��������� ����� ������! �! @��*���� ���*� � �� �K����� ���L��� O� �' � � � ������* *� ������*! B �� &� � � �* ���N��' ��*� ��P���� &���L� �N����L��� ����� �*K� ��' Z��*���� ��� �N����� ���K ��� � � ������� ���� I)J � �����R��� �& ���*�� ! �! ����������� � ��L�� �� ��&�� ���K� *� ����' ��� � I)J �����O&�� � ��&�� ���K� �����K� ��' ���*�� ,)'�U��� ��� ���*� K� �����*�� @'��)! �� �� ������� ���*�� � ���O�K� ���� ���� � ��� �� �� ��K�� ��� �������� ����� ��������� ����� �� �� ��� ���� �������O ���*�� ! ������ �N� � ��O' � �� ������L���� ���*������ ���*����K� �����R�� � ��������K� I)J! .�� ���������* �*��OP���� ��&*���� �., ��� ���[��O �*��OP�� � ������������O�� �*��OP���� ������ � ��� ��&*���! (����*��� ��� �������� � ���* ����� ������� ��� *�* � �� *�* ���[��O �., �*��OP�� � � � ��&� � ��� �������� � �� *�* M � " ��&�! B � �* ���L�� ���[��O �., ���� �L���� �� ���&K��� ��� �� �� ��� ��� O �������� I)J! .�' � �*� � ��L�� �� ��&�� ������ *� ������ *�R�� ��' ���O&��� O ����&����K� ������� ���*� � ����L���� ����O���� ��������� ���� ����� ������ ρg���!!! ��� #*Q ! ����� ��P���� ������O�� �����L���� ���' [��O �.,� ������ ��� � �* *�R�� &��L� ��O�� ���' &� O ��N�� ��*�� O I)J &� �L� �����L��� ���K' ���� ��&�� ������ *� ������� �� ��K�� ��� �����' ��� ������ � � � ���O��* ��������L����* ����� ����� ���K�����* ������ [��� ��� ! @��*� ���� ���*������ ���*� � ��L�� �� ��&�� ������ *� ����' �� ��&��� � �&�� ������ O �., �� �����R��� �& ���*�� ! $@�� �&��� ��� ���* ���� � ������ ��� ��� ��� ����� ��� � �� ��K* �� ��L��� �������O ���*�� !+ ) �N��O��� O ����� ������ ��&�� ��� �& ������ ���*� ���� �L���� �� �� ���� � �N��O��� � �., �& ��&�� ���K� ������� X�� h! VUM���Y! A&��R�* ��� �� ��������� �&�� ������ ��&��' ���K� � ��� �� �& ���*� �� �����R��� �& ���*�� ! �! d��*�������� �������� ���*�� ��[���� ���M��U *�* �� ��������� � ���*������ ���� ��K! �! (��K����� ������ [�� � ��� ��K � ����&����K* �������* ���*�� �����*�� i9jk3� i9ji?jl2� i9ji?ji9! �! .��������� ������ Z� ��� ����Z��! "! d��*�������� ����������� � ��� �� �K� ���' [����� � ��R� ����K ��&�� ���� �� �* ������� ������ [��� ��� �� ����&������� ������ ���*�! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ���� � � � � ��������� �� ����� �! .��������� � ���� Z� ��� ����Z��! ! d��*�������� P����K ��&�� ���� �� �* ���' ���� ���*�! U! d��*�������� &�[� ��� �&�� ���! #���� �& ���N��* ����&���� �� I)J� ��� � ,��' ���� �� � &� ��N�R�*� �� � � ����� � �� N�����' ����K� ���� ����� $J@+! ) ��L��� �TT�'� ����� �K' ���� ���K� J@ � ,d ������[��! I��� ���� ���*�' � � � ����&���� �� �������K� J@! $a � �������K ����� ���K � �� ���N�� ������ � ��� M NK�P�� ���&�K� �����N���!+ )��� ���K� �&���� ������' ���� ������� � ��&��N� K��� �� ������ ������' ��� ��������� ���� *�� �R� ��*����� �� $�.I@+ �� ��L� �K� ��� �� XTY! #������ ��� � � ������ �& �N�! �� ������� ��K ��&�� � ��L� �K� ��� ���O*� ������L��K� � ���KP���� �� ������� ��&��N� K���' *�� *�������� ������ ������ ��K � � �* ���L�� *�' R� NK O ��� ���� � ��O�� &� �L� ���KP��� ��' ������� )JA)! �� ���KP��� �� ������� I)J *�R�� ����*��' ���� O �� ������ *���'��������� ������&��L���K� �� ��������� ���� *�� �R�� �� ��� K �& �������� X�� h! U Y ��� ���*�� ! B � �* ���L�� � ��L�� �� ������ ' [�� � ��� ��K �����O&�� i9ji?ji9 � ��[���� *��� ���M� *�*! .���� Z��*������� &�[� ��� �&�� ��� ��� ���* �� ��� �� �K� ���[������ ������&��L��' �K� �� *�� �R� *���'��������! D� �* �������K* *� ���* ����&��� ��� L�� �N��R������ ��� �� �K� ���[����! )N���� I)J ������ *� ���*� �.I@! ����� ���� ��� ����' ��������L����� ������ I)J ��&��� � ���K�� O �� ������� �� ��������� � *��' �R�* ��*����� �� �� ��L� ��� ��� � &� �L� �����' L��� ��� ��� � ����������� � Z��*������� �., �� �����R��! @��*� ���� &��L� ��O�� ���LP�� � ��' ��� ��� � ��*����� �� � ��&�� ����! �� ��� L �NK ����� O ��� ��� O �������� ��� ��� ����� ���� ��� ����' ��������L������ ������' � ��� K� ��� � �L�� ����L� � O ���[��O ��&*�[�' �� ��*����� � � ����* � �* R� ����L�� ��* �K��' ��� �� ��� � �� *� ������ �&��R����� � X��Y! a � ���[��O� �N����L����[� ��N��*�� ���������� ������������ ������� � � �K��R����* + , g$-.∆-+$/.∆-+� $�+ D��L���� ∆- ��� �������� L � P����� ��������' ��� ����� P����� &�&��� *�R�� ��*�� �*�� �����' �L����� &�����*�� O ���� X��Y ∆-gX$0 � m0 � 1m0 � 1 h +Q$�2+Y�/ # 34 � 52� $�+ �� ����[��� �KL������� ����R�*4 1g1 h g�"] 5g�]�2g���a � ���L�� ��� �� � ��� ��� � � ���* ����� *� ��**� ����� �� �� ���� ����� � ��*��' ��� K � �" �K����*�� ���L�* �K���K �������R��K �� ���* L� K��* � �����* ��*����� � � ��� ��� &�' ���� �����K! bL� K�� ���������K� ����[��� � � ��R� �� L �� �������� X��Y� 0 � gT�U]�0 � g��"�]�0 � g������Z��*��� $�+ ����N��&�� � � ���� ∆-g�� / # � $�+ .���N��&��* �K��R���� $�+4 + , g-/m∆-$-m/+m∆-�g+m∆_ � m∆_ � g_m∆_� $"+ A����O&� �K��R���� $�+ �������* ���L� ����*� ' ��� $"+� � ��&��O � K ���L� � �����* � �������! B �N�! � ��������� ��R� ��������� ���[���� ��&*�[��� �� ��� � ��&��L�K� ���� �������� ��*����� ��� �����' ����K� � XT� h! VY! D���O #B M �Nn�*�K� �K���K� *��! M *���Z����� � \iii M ����*�L����� *���' ������� _op M ���� *�����K� *���'������! @�� ������ �& �N���K� ��� ��� O �������� ���*' ������ ��� K � J@ *�R� NK O ���KP��� � �M�� ��& �� ��������� � *�� �R�* *���'�������� �� ��L� ' ��� ��� �! (� ��*�* ���� � � ����*�[�� �� �[� �KP�! ���� � �*� L � Z��*��� $�+ NK�� ����L��� ��� ��' ���������� ��L� �K� ��� � � �� � � �� �L����� ���Z' Z����� K $�� ������� *���� ���� ��K�+ ���� *�� &�' ��� � ���*� �� ��������K� � ���� ��! B ��L� ��� ��� � �� ��� �&'&� ����&�K� � ���� �� ��� ���� ��q �� ��������� � X��Y! B ���*������ R� ��� � ���*� � ��������K� � ���� ��� � ��R� ���� � �� *�R�� ��*�� N��� &��L� ��O�� *��OP�� L�* � ��L� ��� ��� �! )��' ���� ��O��� � &��L��� � � �� �L����� ���ZZ�����' �� �� ���*������ ��� K N��� ��R�! @�� ������ �& Z��*��K $�+� ����*�[�� �� ����' �����L��� ��������� � ��� ��� � �������� ��&���' �� ��� �����L���� L���� �K����� ��*����� ��! B ���L�� �� ������ *���'�������� �� ���*������ ���' � �K���KP � ��� ��� � �������� �� � ��O &��L� ��O' �K�! ��* �� *���� �� ��� ��� � ��U�M��U� ��&�! /[� ����* ����*�� �* � ���O&� ���������L��� ��������� �� � � �� L � ��� �N����L���� �K��' ����� � P����� ��*����� �] �����L���� ��N��*��� ��&*��� ��� K � ���� ��O�� ��&*��� ��*����� �! ��� -'�/ M ∆- M ��� +g-/�6 ∆_g∆_ � m∆_ � M ∆_ � g∆-$-./+�M ∆_ � g∆-� M ���[��O ��*����� �] �N[�� �����[���� ���[��� ��� K � ���� ��O�� ���[��� ��*����� �] �����[���� ���[��� ��� K ������� ��� ���] �����[���� ���[��� ��� K � ����� ��� ���! �� , �� ���� l, �� b, �� S, ��2 b , �� ∆l, �� ∆S1, �� 2 ∆S2, �� 2 ∆S, ��2 ∆Sk, �� 2 -����������,�������', .����-! 6,57 5,65 37,12 6,11 6,36 43,48 1 .�"���) 1, 2) 8,57 5,85 50,13 7,21 7,46 57,59 1,32 0,01 0,5 11,18 0,25 11,43 136,4 3,14 LCCC 11,18 11,18 125 0,1 5 111,8 25 114,3 239,3 5,5 SOP 15,4 10,24 157,7 02 10 256,4 100 356,4 514,1 11,8 ��N���� � ��� 0 � ��0 � ��0 � ��4 �� 6 � M � � �� �L����� ���ZZ����� K] L���� �K����� ��*����� �] ������� L���� �K������ ������ ��**� �K����� ���� ��*��' ��� ��� ��&*�[���K� �� ��� �� �������� �� L���� ��*��' ��� ��] L���� ��**� ������K� �����] P����� ���������� � **] ���� � ��� *�R�� ��� �������R�K*� ��� �� �K*� ���' [����*� &����*�� � ��*����� � $� � ����*� � �����O&�' � � �� ��*����� ��� � �� ��K� �K���K �K��� �� ��� ��� �������R�K� � ����K+! 1 h M 2�M / # �M 5�M ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ��������� �� ����� ��� ��������N���R���� � �������L����� N�&����' ��� O! ��� � �L�� ���&� O� L � ��� �������� ��L� ' �K� ��� � � ���K ����� �� V�� � *��� � � *� �����' ���� �� � � ���* ��� ��� �������� ���������L' �K� ��� � � ����&� ��O �� ����KP�� �Q*� X��Y! @ �*� R� ��� �������� *��� �N��&�� � �����K� ��' [�� ��! J��OP� L�� O ��� ����� �� ������� *���� �� �[��� �����K*� �� ����R��[�� ����K� �N��' �K��� � �*�� � �� � �L�K*� ����*�! .�� �*� ��� �N��������� �����*�L����� �������N��&��� � ���' �&���� �� ��L� �K� ��� ���N����*� �L� K�� O &�' �� K �� � ��� ��O� �� �L�� �K� �����R���� � ��' ����N� �� ���O����L����� � ����! @��*� ���� � �� &� � �� �[����* �������K� �������� ���K �� *��O ��' �&N�R�� N��� ��&��� � O $���� ����L�*� � �������' L����� ��N����� � ����&���� �� * ��L� �K� ��� +! # ���� ������ �R��� O &��L� ��O���� ���KP��� ��N�� ��*�� � ����&���� �� ��L� �K� ��� ! ������ (��N��OP�� �� �������� *����*��O�K� ����' � ��� � ��&��� ��N�� ��*�� O �&�� ������ *��' ������ ������ ������ ��K *�R�� ����L� O �� �* ���*����� *�����N���� � �����R��� �& ���*�� ! �� ��[�� ������� �*��OP��� ���[��� �������' ��L�K� ��&�� ���� ������ �����O&��� O ��&�� ��' �K� *� �����K � ρg�!!!�� �#*Q ! B*�� � � �* �*��O' P���� ���* ����� ������� �������L����� ��&*�' ��� ��&�� ���� �� �� *�* � *���� ��&��� � �����O' &��� O � ��L�� �� ��&�� ������ *� ������ ����&���' �K� ������� ���*� � ����L���� ρg���!!!��� #*Q ! .�� � �* ���[��O ��&�� ��� ��&��� �� ��&��L� ��O' ��� � ��N�� ��*�� O �&�� ������ *�����N���� *�' R� NK O ��[�� ����� ���R���! @��*� ���� ���*�' ����� ���*� ��&��� � �&�� ������ O �., �� ���*' ����K� �����R���! (� ���*����K� ��� ���������K� ��� K ��&*�R' �� �� ������ ��� N���������K� ���� ������ �� � ��*����� �� � *���'��������� ������&��L���K� �� ��������� ���� *�� �R�! @�� ������ �& ��������' ���� �����&�� ���[��O ���*������ ��� K *�R� NK O � M�� ��& *��OP� ��L� ��� ��� K� L � &��L� ��O�� �����[�� ��&�K� � ��N�� ��*�� � �� �&�� ������ ! @��*� ���� � � ���� �� ��� ������ � �* �� � � *���*�&��� *������N��� �K� ����� ���� ��� ���' �*�[�� �� ���*������ ��� K � N���������K*� ���' � ����*� N�������K! A).#FrD#B-((C/ A)�#G(A@A �! I�������� ����� ������ ��� �� N���������K� �� �����O' �K� *�������*�� Q A! (! B�R����� W! -! J������ F! -! @������ � ��!M I!4 ,���� � �� &O� �TV�! �! W��O��� W! E!� J����� W! -!� W�&���� -! -! I�� �R *����' ���� ������ ������ ��K!M I!4 ,���� � �� &O� �TV ! �! F��*���! I�������� ��O�K� *����� M �K�����ZZ�� ��' ��� ����� �� �N���� ���K� ��������� )JA) QQ a��� ������!M �TVT!M � !M )! ��M��! "! b�N�� )! I�������� ��O�K� *����� M ������� ����� ������' ����� � �N��� � )JA) QQ a��� ������!M �TVT!M � U!M )! �MU�! �! ����P���L @!� ����P���L B!� ����� B! I�������� ��O�K� *�����4 ���� ����� � �������� � ������� ��� QQ W����K� ��R�' ���4 ���������� ���*KP����K* ����&���� ��*!M ���"!M � �!M )! �"M�7. ! )����� B! W! I� �*� �L����� *����� ����� ������ ��' �������L���� ��&�� ��� � ��&*���*� �� *�* QQ ��������� � ���� ���������� � ��������� ������ ������ ���!M ���"!M � �!M )! �"M� ! U! )����� B! W! ,��L� � ����������� �������� ��R�*� ��' �������L��� *�����N���� QQ B�� ��� IBB#! )��!4 BK����� ��' ������� � ��������� ������� ��Z��*� ��� � �� &�! $(!'(����' ���!+M ����!M BK�! �!M )! ��M�T! V! )����� B! W! #����� ��� �� ����� ������ ���� ����� �� �����P��� O ���������L���� ��&�� ��� QQ ��* R�!M )! ��M�"! T! I����� G!'W!� I�������� )! ��������� ��������� ���� *�� �R�! J���[�� ��������� �N���� � ���� ������!M I!4 I��� �TT�! ��! /��&���� J! -!� I����*�� -! B!� S���� B! A!� S�� �� s! (! #����� ���� ��*�� �R�K� ����*� ��� ��**� ������K� ��� �� ������ � ���� ����� ������� ,a) QQ ��������� � ���� �������' ��� � ��������� ������ ������ ���!M ���"!M � �!M )! �M ! ��! )��N���� I! �!� .��O*���� -! B!� W���� J! -! .��N��*K ��������N���R��� � �������L����� N�&������� � � ���O����' ��������� QQ ��* R�!M )! " M��! � ��������� � � � � �� � � � � � ��������� �� �� ��� ���������������������������� � ��������������� �������� ��� ������������ ���� ����� ���������� �� ������� �� ��������� �������������� �� � ������ �� �� ��� ���������� � � � ���� � ����� ������ � � ��!� �� �� ��� ��� � � � "�# ��� ���� �� ������� ����� ������� �������� ��������� ������ ��� �� � ������� ��� ��� ����� �$ ����������� � ���� � ��� %� ���� �� ��� � � � � � �� ��&����� �������� � ������ �� �����%����� ����&'��������(����� ����� �� ��� $ � � ��� �������� ���$ �����&���� ���� � %� ������� � ��� ��� ������ ������������ ��$ ���� � � �� �� ���� � �"�!��)��&��� � ������������� �� ����(��������� �(� ���������� �������� �� ���� &�� � ����� �� ��%�� ���� �������� � $ ����%������ ����� ��� �� ���(�� ��� ��� � � ��� � �� ��� '��� �������� ��� ��������� ��� � � �� � ����� ���� � �������#�*+������ ������� �� � � ��$ ���� ��&"