Перспективы развития тонкопленочных микросборок
Рассмотрены некоторые конструктивно-технологические варианты микросборок и перспективы повышения их интеграции, а также особенности применения резистивных материалов в производстве тонкопленочных микросборок....
Gespeichert in:
| Datum: | 2005 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53515 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 03-06. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53515 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-535152025-02-09T09:50:25Z Перспективы развития тонкопленочных микросборок Перспективи розвитку тонкоплівкових мікрозбірок Perspectives of thin-film micromodule development Спирин, В.Г. Техническая политика Рассмотрены некоторые конструктивно-технологические варианты микросборок и перспективы повышения их интеграции, а также особенности применения резистивных материалов в производстве тонкопленочных микросборок. 2005 Article Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 03-06. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53515 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Техническая политика Техническая политика |
| spellingShingle |
Техническая политика Техническая политика Спирин, В.Г. Перспективы развития тонкопленочных микросборок Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрены некоторые конструктивно-технологические варианты микросборок и перспективы повышения их интеграции, а также особенности применения резистивных материалов в производстве тонкопленочных микросборок. |
| format |
Article |
| author |
Спирин, В.Г. |
| author_facet |
Спирин, В.Г. |
| author_sort |
Спирин, В.Г. |
| title |
Перспективы развития тонкопленочных микросборок |
| title_short |
Перспективы развития тонкопленочных микросборок |
| title_full |
Перспективы развития тонкопленочных микросборок |
| title_fullStr |
Перспективы развития тонкопленочных микросборок |
| title_full_unstemmed |
Перспективы развития тонкопленочных микросборок |
| title_sort |
перспективы развития тонкопленочных микросборок |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Техническая политика |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53515 |
| citation_txt |
Перспективы развития тонкопленочных микросборок / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 03-06. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT spirinvg perspektivyrazvitiâtonkoplenočnyhmikrosborok AT spirinvg perspektivirozvitkutonkoplívkovihmíkrozbírok AT spirinvg perspectivesofthinfilmmicromoduledevelopment |
| first_indexed |
2025-11-25T13:52:34Z |
| last_indexed |
2025-11-25T13:52:34Z |
| _version_ |
1849770647668916224 |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
����
�
�
�
�
���������
��
�����
��
�
���
������
�
��������
� !�
���"
�!
#������
����������
�
$%#��&��'(������� %�
�!
)*���+
���
�����������������
,���� �
�!
-�&�*���
(..
%��*�'-���%
/'01234
5607819:101;!<<=>!9?
./,)./@�ABC
,-DBA�AE
�#(@#.F/(#G(CH
IA@,#)J#,#@
������
���������
���������
���
���
���
������ �!������������
��������"��
������#���#��
����#���$���%������
� �
��&��'� ��
��(�����"�����
��#�������
��%���)��
��������
����������#���)��*�
�
���
����#����!����������"�����
#���
�&
������K�
���
�����L��
�����*�����
*��������
������
M
��&��L��
���
���
�
��������'
���
�����*���K�
�����N��OP��
��
�����O�K�
���*
$)JA)+
$����
�����Q**+
�
��**�
������K�
���
$�
�����Q**+�
L
�
�N���������
�������� *�
��
�&'
��
������ !
������
���
�����L��
���R��
����
��R'
���P��
����*�
�K
*��������
������
������
��K
���
���
���
O
���������
NK�
������
����
��N��
��*��
O!
#
�
���
�
)S-
�
E�����
��
������
��&��
�
��N*������K�
����������
�
))),
�
�TU�M�TV�
��!
��
�������
��&��N�
K�����O
��������
N��OP��
��N����K�
��
�����O�K�
���*
$JWA)+
X��
�Y!
B
��'
&��O
�
�
�
�
*��������
����K�
��
����
��
Z������'
���O��
������������
�*����������
�
�������
)JA)!
B
�����
�TV�'�
�����
�
���
�� ��
O�
���N[���
�N
��
�������*
��&��
��
��
*�����
�
������
���R��
�����
�
)S-�
���������
*��������
��O�K�
*���'
���
$I@I+
X��
"Y�
��
���
��
�����
��[���
�
����'
�K�����O
��
���������
JWA)!
B
���
� [��
���*
��
�&��
������
I@I
�����O'
&��
�
����
������
L�
K���
����
���
X�Y4
M
I@I'\
M
�
�����R���
�&
�
����
���
���
�]
M
I@I')
M
�
�����R���
�&
����L�����
����'
*���
$
���
������L�K�
JWA)+]
M
I@I'^
M
���������L�K�
�
���
��K
$�����'
*���
��
�����R���
�&
��
����
�
��������+]
M
I@I'_2
M
���������L�K�
�
���
��K
�
���'
��R���
�&
���*�� !
���������
I@I
&�
��N�R�*
���������
���
O
��
��&�������O
�
�L��O
���������*
�*��!
/���
�
�TVV
�!
*��OP�
���
��
Z��*
)S-
&���*����O
��&'
��N�
���
�
����&����
��*
I@I�
�
�
�TT�
�!
��
��'
��L��
��
���
����
��
��!
#�����K*�
��
��N�
�� *�
I@I
�� �
�
Z��*K�
��&���[��
��*�O�
��K!
���'
������
I@I
\'
���
��*������
�
����&����
��
*������
N�������
����L��
������
��O��
���������
*�
�������
��
��
�����R���
�
��N�
���K�
������'
���
�
�N���������
��
*��
�R�
����
�����!
#���'
��
��
������&�*
�K���
�NK
�
I@I
N���
��&����
O'
�
�
�
�����
���P�����
����&����
��
*������
̂ '
�
_2'
����
X�Y!
.��
�*�
�����&
���
� ��
�
�������
��
��&��
�
���������L�K�
*�����N����
$I)J+
����'
�
��� �
��
����!
B
&���L�
���
� [��
��N�
K
�����
����*�
�����
����
���
����'
��������L�����
������
��
I)J�
��'
�����K�
����������
���*KP������
O��
�
�������'
��K
���KP���
��
��
�������!
#�����K�
������'
�����*�L�����
����*�
�K
I)J
��������K
�
�������!
B
���
� [��
���*
�
,�����
����L���
��&��
��
��L�
�K�
���
K
��
�
����
���
���
�
��
��������'
�
����
*��
�R�
��*�����
��!
#�����
��
����L�'
����
����*�
�K�
���R��
�����
���
���
O
��������'
���
$�
�����Q**+�
��&*��
���
��
���
���[����
����'
�������
�
����
�
$∅ ��U
**+�
�
��R�
*���*��O���
����
� ���
*�R��
�
����
� *�
$���
��������
��
*�'
���
��[��K
���
K+
����
�
���
�����L����
��
��'
�����
I)J!
@��*�
����
��&��
�������������
O
�
��'
��
���
���
�
��
��&��� �
�����L�
O
���
���
O
��*'
�������
�
���*��
O
����K�
*�
�����
��
��
������
��*�����
��
�
N��OP��
���������*��
*�[���
O�!
���������
�����*���K�
���
�
��&�����P� �
�K����*�
�*��*�
�
V�'�
�����
���P����
�
���
�
X��
�Y�
�
���
� [��
���*
������
������L�����
���'
����������
����
������ �������� ����
���
������� ��������
���
�
� ��
������
����,
10–6����
��������
�� ��
�
���������
!��"�� �#
$�������
%�
�������
�
�����
�&��
��������
��������'�����
�()���2
����������
����3
*��������������
FR-4
5 10 14 0,02 500×500 300—400 0,1 1,8
�������� 5 10 25 0,0015 78×95 — — —
*����� 5 20 5 0,015 60×48 200—300 1,14 2,5
������
5 20 8 0,3 60×48 320—450 7,98 4
*� +�
10 500 8 0,47 ∅ 76 700 24,0 4
�
����� 50 500 2,3 1,09 ∅ 100 700 2,4 2,3
��N����
�
`
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
"
���������
��
�����
*�������
�
��
� ��
�������
��
����&�P��
&�*���
�����*���K�
���
��
�
����
���
���
��K�!
a
�
�� '
&���
�
�*�
L
�
�����*���K�
���
K
�*��
N����
�K'
�����
��N��
��*��
O
�&��
������
��
���������
�
�����*���K*�
�
����
���
���
��K*�
���
�*��
��
�'
�K�
�N����L����
����
R�
���
���
O
�����������
$
�N�!
�+!
(����
�
��*
��L�
�K�
�
�����*���K�
���
�� �
�
��
L
�
��
���
���O&
�&��
������
O
��
��'
���O�K�
��&��
��K!
b�
������
��
���
K
��&��
����
�
*���'��������
�����L����
��N��
��*��
O
I)J�
���R��
����R���
O
�
���
���
O
��
��������!
(��N��OP�
���
���
O
�����������
�
���������L'
���
I)J
�N����L����
�
���*������*
���*���
�
��L��
��
�����
������
������ [���
��� !
,�&��O
�
K
�������������
���������K�
�
X �
UY�
��&��� �
���'
��
�����
O
���������L�K�
���*��
K
��
��
�����K�
�
���������K�
�����R���
��
&��L�
��O��
*��OP�*�
���*�*�
�������L�����
��&*����4
��M��
*�*!
���O'
���P��
�*��OP����
��&*����
�����������
�*��O'
P��
�K���
����K�
I)J!
a
�
�� &���
�
�*�
L
�
���'
�K�
�����R��
�*��
�� *�����O���
Z��*�!
.��
��'
�������
Z�
���&��
�
��
�����
�����R��
�N��&��
�
������
��[���
��
�����
*�R�
�
������O��
��&
���'
�������
O
��[���
���������
��� !
B
��&��O
�
�
�'
����
��Z������
���������
&����
��
Z�
���&��
�
���
���*��
�*�
Z�
�P�N�����
L
�
�������
�
�*��O'
P����
P����K
�����!
@��*�
����
�������&����'
*��
O
�����������
�
��&��
����
����P��
�
�&'&�
�����
��
�
��
�����K�
�
���������K�
�����R��!
.��*������
���N��L�
K�
��&��
����
XVY
&��L�
��O��
���P�� �
�����&��
�����
����*K�
���������L�K�
��'
&��
����
$�.,+
��
�����
�����R��!
.��
�*�
�
���O�
��[��
�������
���KP���
��
�������
��
��
�����K�
�
���������K�
�����R���
R���
��O��
���*������
��&��'
���K�
*�
�������
�
����O�K*
���������
�K*
�����'
�������*
��
�#*Q !
B
�
�*
���L��
�����&��
�����
���'
�*K�
�.,
���
���
��
#*c�
I#*!
���
���
���N����
���
��N�
��O�K*�
�� �
�
�.,
�
��*����O�K*�
��'
���
������ *�
���
#*c���
�#*�
�
����
��P����
&��'
L�
��O��
�*��OP�
���[��O
��&��
����!
I���*��O���
P�����
�����������
�
������ [��
�������
�&
���*���
*�R��
����L�
O
��
�����R���
�&
���Z���
�
���*��
$�M��
*�*+!
)��Z��
�
���*���
�� �
�
*�������
����*��
���
�*�
��
�N�����
��'
���
��
O��
�����
������
��
����
�
��������!
S�����'
��
��
O
��N�L��
���������
�
���Z���
�
���*��
���
'
��
�
���
�"M��'*�
������*!
.��������
�N�
�
��O'
�
���
�
��R�
�
��
�
���
���
�
������
���
���������
Z�
���&��
��
��&��� �
����L�
O
*����
P�����
���'
��������
��
�
��
*�������
�����!
.���L����
���Z���
���� R���
�
N��OP�*�
&�
��
�*�
�������
$
�*����
�'
��
��������
���Z���
���
��� �
����
@+�
�
���
�*�
��
�� �
�
�������������K*
��*��*!
@��*�
����
���'
Z��
���
���
*�����L�����
�N��N�
��
�*��
N��OP��
�
���K�
L
�
�
�N����������
���
�K�����
�
��*��
O
��
���
��
�
������
������L�����
���*������!
@��*���
���&���
��L
�
�����O�K*
�
����
����'
�
����K*
*�
������*
��
�&��
������
)JA)
�
*��'
��������������
P������
���*������
��
��K�
�
��K'
��
��
O
��
���������
NK�
����
���������
������
������N�
��
��Z��*����!
@��*���
��R�
�� �
�
������K*
*�
������*
*����*�������
$
��������
IaI)+!
@��
�����
�&
�N�!
��
���*���
��
����*
����L����*
�����
����
���*
�
������O��
��&�
�
�
�
��
��� ����
����������
�������L�K�
����*�
�K
����
��
��O�K�
*�
��������
�
��
�
��*��
�
&��L�
��O��
��
����
��O��
�
����
���
���
�!
(��*�
�
��
����������K�
������'�����*�L�����
����*�
�K�
���������L�K�
I)J
�
�����R��*�
�&
���*��
��
�������
� �
,d�
�
�
��L��
�
)S-�
����
�L����
��
���*�� �
� !
(�
��P
�&�� ��
�
�
�N���������
������[�*�
������K*�
���L���*�!
�!
B
���
� [��
���*
�����
���������*�
����'
���
� *�
��
�
��
&���L�
e�����
O
�
�������
Of!
/�
�*�����
&���L�
�KR����� !
@��
�
�
��
����������O'
���
��
*�����
��������
���
����������
������� '
��
�
�
&���L�
��P��
��
��
�*
��&��N�
��
�
������'
��
���K�
����������
�
��
�*
���L
�R���
�*��'
[���
�K�����
����������
�
L��
���
�
���������
�����
������!
�!
@��*����
���*�
�
��
�K�����
���L���
O�
�'
� �
�
������*
*�
������*!
B
�� &�
�
�
�*
���N��'
��*�
��P����
&���L�
�N����L���
�����
�*K�
��'
Z��*����
���
�N�����
���K
��� �
�
�������
����
I)J
�
�����R���
�&
���*�� !
�!
�����������
�
��L��
��
��&��
���K�
*�
����'
���
�
I)J
�����O&��
�
��&��
���K�
�����K�
��'
���*��
,)'�U���
���
���*�
K�
�����*��
@'��)!
��
��
�������
���*�� �
���O�K�
����
����
�
���
��
��
��K��
���
��������
�����
���������
�����
��
��
���
����
�������O
���*�� !
������
�N�
�
��O'
�
��
������L����
���*������
���*����K�
�����R��
�
��������K�
I)J!
.��
���������*
�*��OP����
��&*����
�.,
���
���[��O
�*��OP��
�
������������O��
�*��OP����
������
�
���
��&*���!
(����*���
���
��������
�
���*
�����
�������
���
*�*
�
��
*�*
���[��O
�.,
�*��OP��
�
�
�
��&�
�
���
��������
�
��
*�*
M
�
"
��&�!
B
�
�*
���L��
���[��O
�.,
����
�L����
��
���&K���
��� ��
��
���
���
O
��������
I)J!
.�'
�
�*�
�
��L��
��
��&��
������
*�
������
*�R��
��'
���O&���
O
����&����K�
�������
���*�
�
����L����
����O����
���������
����
�����
������
ρg���!!!
���
#*Q !
�����
��P����
������O��
�����L����
���'
[��O
�.,�
������
���
�
�*
*�R��
&��L�
��O��
���'
&�
O
��N��
��*��
O
I)J
&�
�L�
�����L���
���K'
����
��&��
������
*�
�������
��
��K��
���
�����'
���
������
�
�
�
���O��*
��������L����*
�����
�����
���K�����*
������ [���
��� !
@��*�
����
���*������
���*�
�
��L��
��
��&��
������
*�
����'
��
��&��� �
�&��
������
O
�.,
��
�����R���
�&
���*�� !
$@��
�&���
���
���*
����
�
������
���
��� ���
�����
���
�
��
��K*
��
��L���
�������O
���*�� !+
)
�N��O���
O
�����
������
��&��
���
�&
������
���*�
����
�L����
��
��
����
�
�N��O���
�
�.,
�&
��&��
���K�
�������
X��
h!
VUM���Y!
A&��R�*
���
��
���������
�&��
������
��&��'
���K�
�
���
��
�&
���*�
��
�����R���
�&
���*�� !
�!
d��*��������
��������
���*��
��[����
���M��U
*�*
��
���������
�
���*������
����
��K!
�!
(��K�����
������ [��
�
���
��K
�
����&����K*
�������*
���*��
�����*��
i9jk3�
i9ji?jl2�
i9ji?ji9!
�!
.���������
������
Z�
���
����Z��!
"!
d��*��������
�����������
�
���
��
�K�
���'
[�����
�
��R�
����K
��&��
����
��
�*
�������
������ [���
���
��
����&�������
������
���*�!
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
����
�
�
�
�
���������
��
�����
�!
.���������
�
����
Z�
���
����Z��!
!
d��*��������
P����K
��&��
����
��
�*
���'
����
���*�!
U!
d��*��������
&�[�
���
�&�� ���!
#����
�&
���N��*
����&����
��
I)J�
���
�
,��'
����
��
�
&�
��N�R�*�
�� �
�
�����
�
��
N�����'
����K�
����
�����
$J@+!
)
��L���
�TT�'�
�����
�K'
����
���K�
J@
�
,d
������[��!
I���
����
���*�'
�
�
�
����&����
��
�������K�
J@!
$a
�
�������K
�����
���K
�
��
���N��
������
�
���
M
NK�P��
���&�K�
�����N���!+
)���
���K�
�&����
������'
����
�������
�
��&��N�
K���
��
������
������'
���
���������
����
*��
�R�
��*�����
��
$�.I@+
��
��L�
�K�
���
��
XTY!
#������
���
�
�
������
�&
�N�!
��
�������
��K
��&��
�
��L�
�K�
���
���O*�
������L��K�
�
���KP����
��
�������
��&��N�
K���'
*��
*��������
������
������
��K
�
�
�*
���L��
*�'
R�
NK
O
���
����
�
��O��
&�
�L�
���KP���
��'
�������
)JA)!
��
���KP���
��
�������
I)J
*�R��
����*��'
����
O
��
������
*���'���������
������&��L���K�
��
���������
����
*��
�R��
��
���
K
�&
��������
X��
h!
U Y
���
���*�� !
B
�
�*
���L��
�
��L��
��
������ '
[��
�
���
��K
�����O&��
i9ji?ji9
�
��[����
*���
���M�
*�*!
.����
Z��*�������
&�[�
���
�&�� ���
���
���*
��
���
��
�K�
���[������
������&��L��'
�K�
��
*��
�R�
*���'��������!
D�
�*
�������K*
*�
���*
����&���
��� L��
�N��R������
���
��
�K�
���[����!
)N����
I)J
������
*�
���*�
�.I@!
�����
����
���
����'
��������L�����
������
I)J
��&��� �
���K��
O
��
�������
��
���������
�
*��'
�R�*
��*�����
��
��
��L�
���
���
�
&�
�L�
�����'
L���
���
���
�
�����������
�
Z��*�������
�.,
��
�����R��!
@��*�
����
&��L�
��O��
���LP��
�
��'
���
���
�
��*�����
��
�
��&��
����!
��
���
L
�NK
�����
O
���
���
O
��������
���
���
�����
����
���
����'
��������L������
������'
�
���
K�
���
�
�L��
����L�
�
O
���[��O
��&*�[�'
��
��*�����
�
�
����*
�
�*
R�
����L��
��*
�K��'
���
��
���
�
��
*�
������
�&��R�����
�
X��Y!
a
�
���[��O�
�N����L����[�
��N��*��
����������
������������
������� �
�
�K��R����*
+
,
g$-.∆-+$/.∆-+�
$�+
D��L����
∆-
���
��������
L
�
P�����
��������'
���
�����
P�����
&�&���
*�R��
��*��
�*��
�����'
�L�����
&�����*��
O
����
X��Y
∆-gX$0
�
m0
�
1m0
�
1
h
+Q$�2+Y�/
#
34
�
52�
$�+
��
����[���
�KL�������
����R�*4
1g1
h
g�"]
5g�]�2g���a
�
���L��
���
��
�
���
���
�
�
���*
����� *�
��**�
�����
��
��
����
�����
�
��*��'
���
K
�
�"
�K����*��
���L�*
�K���K
�������R��K
��
���*
L�
K��*
�
�����*
��*�����
�
�
���
���
&�'
����
�����K!
bL�
K��
���������K�
����[��� �
�
��R�
��
L
��
��������
X��Y�
0
�
gT�U]�0
�
g��"�]�0
�
g������Z��*���
$�+
����N��&��
�
�
����
∆-g��
/
#
�
$�+
.���N��&��*
�K��R����
$�+4
+
,
g-/m∆-$-m/+m∆-�g+m∆_
�
m∆_
�
g_m∆_�
$"+
A����O&�
�K��R����
$�+
�������*
���L�
����*�
'
���
$"+�
�
��&��O
�
K
���L�
�
�����*
�
�������!
B
�N�!
�
���������
��R�
���������
���[����
��&*�[���
��
���
�
��&��L�K�
����
��������
��*�����
���
�����'
����K�
�
XT�
h!
VY!
D���O
#B
M
�Nn�*�K�
�K���K�
*��!
M
*���Z����� �
\iii
M
����*�L�����
*���'
�������
_op
M
����
*�����K�
*���'������!
@��
������
�&
�N���K�
���
���
O
��������
���*'
������
���
K
�
J@
*�R�
NK
O
���KP���
�
�M��
��&
��
���������
�
*��
�R�*
*���'��������
��
��L�
'
���
���
�!
(�
��*�*
����
�
�
����*�[��
��
�[�
�KP�!
����
�
�*�
L
�
Z��*���
$�+
NK��
����L���
���
��'
����������
��L�
�K�
���
�
�
��
�
�
��
�L�����
���Z'
Z�����
K
$��
�������
*����
����
��K�+
���� *��
&�'
���
�
���*�
��
��������K�
�
����
��!
B
��L�
���
���
�
��
���
�&'&�
����&�K�
�
����
��
���
����
��q
��
���������
�
X��Y!
B
���*������
R�
���
�
���*�
�
��������K�
�
����
���
�
��R�
����
� ��
*�R��
��*��
N���
&��L�
��O��
*��OP��
L�*
�
��L�
���
���
�!
)��'
����
��O���
�
&��L���
�
�
��
�L�����
���ZZ�����'
��
��
���*������
���
K
N���
��R�!
@��
������
�&
Z��*��K
$�+�
����*�[��
��
����'
�����L���
���������
�
���
���
�
��������
��&���'
��
���
�����L����
L����
�K�����
��*�����
��!
B
���L��
��
������
*���'��������
��
���*������
���'
�
�K���KP
�
���
���
�
��������
��
�
��O
&��L�
��O'
�K�!
��*
��
*����
��
���
��� �
��U�M��U�
��&�!
/[�
����*
����*��
�*
�
���O&�
���������L���
���������
�� �
�
��
L
�
���
�N����L����
�K��'
�����
�
P�����
��*�����
�]
�����L����
��N��*���
��&*���
���
K
�
����
��O��
��&*���
��*�����
�!
���
-'�/
M
∆-
M
���
+g-/�6
∆_g∆_
�
m∆_
�
M
∆_
�
g∆-$-./+�M
∆_
�
g∆-�
M
���[��O
��*�����
�]
�N[��
�����[����
���[���
���
K
�
����
��O��
���[���
��*�����
�]
�����[����
���[���
���
K
�������
��� ���]
�����[����
���[���
���
K
�
�����
��� ���!
�� , ��
���� l, �� b, �� S, ��2 b , �� ∆l, �� ∆S1, ��
2 ∆S2, ��
2 ∆S, ��2 ∆Sk, ��
2 -����������,�������',
.����-! 6,57 5,65 37,12 6,11 6,36 43,48 1
.�"���) 1, 2) 8,57 5,85 50,13 7,21 7,46 57,59 1,32 0,01 0,5
11,18
0,25
11,43 136,4 3,14
LCCC 11,18 11,18 125
0,1 5 111,8 25 114,3 239,3 5,5
SOP 15,4 10,24 157,7 02 10 256,4 100 356,4 514,1 11,8
��N����
�
���
0
�
��0
�
��0
�
��4
��
6
�
M
�
�
��
�L�����
���ZZ�����
K]
L����
�K�����
��*�����
�]
�������
L����
�K������
������
��**�
�K�����
����
��*��'
���
���
��&*�[���K�
��
���
��
��������
��
L����
��*��'
���
��]
L����
��**�
������K�
�����]
P�����
����������
�
**]
����
� ���
*�R��
���
�������R�K*�
���
��
�K*�
���'
[����*�
&����*��
�
��*�����
�
$�
�
����*�
�
�����O&�'
�
�
��
��*�����
���
�
��
��K�
�K���K
�K���
��
���
���
�������R�K�
�
����K+!
1
h
M
2�M
/
#
�M
5�M
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
���������
��
�����
���
��������N���R����
�
�������L�����
N�&����'
���
O!
���
�
�L��
���&�
O�
L
�
���
��������
��L�
'
�K�
���
�
�
���K
�����
��
V��
�
*���
�
�
*�
�����'
����
��
�
�
���*
���
���
��������
���������L'
�K�
���
�
�
����&�
��O
��
����KP��
�Q*�
X��Y!
@
�*�
R�
���
��������
*���
�N��&��
�
�����K�
��'
[��
��!
J��OP�
L��
O
���
�����
��
�������
*����
�� �[���
�����K*�
��
����R��[��
����K�
�N��'
�K���
�
�*��
�
��
�
�L�K*�
����*�!
.��
�*�
���
�N���������
�����*�L�����
�������N��&���
�
���'
�&����
��
��L�
�K�
���
���N����*�
�L�
K��
O
&�'
��
K
��
�
���
��O�
��
�L��
�K�
�����R����
�
��'
����N�
��
���O����L�����
�
����!
@��*�
����
�
�� &�
�
��
�[����*
�������K�
��������
���K
��
*��O
��'
�&N�R��
N���
��&���
�
O
$����
����L�*�
�
�������'
L�����
��N�����
�
����&����
�� *
��L�
�K�
���
+!
#
����
������
�R���
O
&��L�
��O����
���KP���
��N��
��*��
�
����&����
��
��L�
�K�
���
!
������
(��N��OP��
��
��������
*����*��O�K�
����'
�
���
�
��&���
��N��
��*��
O
�&��
������
*��'
������
������
������
��K
*�R��
����L�
O
��
�*
���*�����
*�����N����
�
�����R���
�&
���*�� !
��
��[��
�������
�*��OP���
���[���
�������'
��L�K�
��&��
����
������
�����O&���
O
��&��
��'
�K�
*�
�����K
�
ρg�!!!��
�#*Q !
B*��
�
�
�*
�*��O'
P����
���*
�����
�������
�������L�����
��&*�'
���
��&��
����
��
��
*�*
�
*����
��&��� �
�����O'
&���
O
�
��L��
��
��&��
������
*�
������
����&���'
�K�
�������
���*�
�
����L����
ρg���!!!���
#*Q !
.��
�
�*
���[��O
��&��
���
��&���
��
��&��L�
��O'
���
�
��N��
��*��
O
�&��
������
*�����N����
*�'
R�
NK
O
��[��
�����
���R���!
@��*�
����
���*�'
�����
���*�
��&��� �
�&��
������
O
�.,
��
���*'
����K�
�����R���!
(�
���*����K�
���
���������K�
���
K
��&*�R'
��
��
������
���
N���������K�
����
������
��
�
��*�����
��
�
*���'���������
������&��L���K�
��
���������
����
*��
�R�!
@��
������
�&
��������'
����
�����&��
���[��O
���*������
���
K
*�R�
NK
O
�
M��
��&
*��OP�
��L�
���
���
K�
L
�
&��L�
��O��
�����[��
��&�K�
�
��N��
��*��
�
��
�&��
������ !
@��*�
����
�
�
���� ��
���
������
�
�*
�� �
�
*���*�&���
*������N���
�K�
�����
����
���
���'
�*�[��
��
���*������
���
K
�
N���������K*�
���'
�
����*�
N�������K!
A).#FrD#B-((C/
A)�#G(A@A
�! I��������
�����
������
���
��
N���������K�
��
�����O'
�K�
*�������*��
Q
A!
(!
B�R�����
W!
-!
J������
F!
-!
@������
�
��!M
I!4
,����
�
�� &O�
�TV�!
�!
W��O���
W!
E!�
J�����
W!
-!�
W�&����
-!
-!
I��
�R
*����'
����
������
������
��K!M
I!4
,����
�
�� &O�
�TV !
�!
F��*���!
I��������
��O�K�
*�����
M
�K�����ZZ��
��'
���
�����
��
�N����
���K�
���������
)JA)
QQ
a���
������!M
�TVT!M
�
!M
)!
��M��!
"!
b�N��
)!
I��������
��O�K�
*�����
M
�������
�����
������'
�����
�
�N���
�
)JA)
QQ
a���
������!M
�TVT!M
�
U!M
)!
�MU�!
�! ����P���L
@!�
����P���L
B!�
�����
B!
I��������
��O�K�
*�����4
����
����� �
�������� �
�������
���
QQ
W����K�
��R�'
���4
����������
���*KP����K*
����&����
��*!M
���"!M
�
�!M
)!
�"M�7.
! )�����
B!
W!
I�
�*�
�L�����
*�����
�����
������
��'
�������L����
��&��
���
�
��&*���*�
��
*�*
QQ
���������
�
����
����������
�
���������
������
������
���!M
���"!M
�
�!M
)!
�"M� !
U! )�����
B!
W!
,��L�
�
�����������
��������
��R�*�
��'
�������L���
*�����N����
QQ
B��
���
IBB#!
)��!4
BK�����
��'
�������
�
���������
�������
��Z��*�
���
�
�� &�!
$(!'(����'
���!+M
����!M
BK�!
�!M
)!
��M�T!
V! )�����
B!
W!
#�����
��� ��
�����
������
����
�����
��
�����P���
O
���������L����
��&��
���
QQ
��*
R�!M
)!
��M�"!
T!
I�����
G!'W!�
I��������
)!
���������
���������
����
*��
�R�!
J���[��
���������
�N����
�
����
������!M
I!4
I���
�TT�!
��!
/��&����
J!
-!�
I����*��
-!
B!�
S����
B!
A!�
S�� ��
s!
(!
#�����
����
��*��
�R�K�
����*�
���
��**�
������K�
���
��
������
�
����
�����
�������
,a)
QQ
���������
�
����
�������'
���
�
���������
������
������
���!M
���"!M
�
�!M
)!
�M !
��!
)��N����
I!
�!�
.��O*����
-!
B!�
W����
J!
-!
.��N��*K
��������N���R���
�
�������L�����
N�&�������
�
�
���O����'
���������
QQ
��*
R�!M
)!
" M��!
�
���������
�
�
�
�
��
�
�
�
�
�
���������
��
��
���
����������������������������
�
���������������
��������
���
������������
����
�����
���������� ��
�������
��
��������� ��������������
��
� ������
��
��
���
����������
�
�
�
����
�
�����
������
�
�
��!�
��
��
���
���
�
�
�
"�#
���
���� ��
�������
����� ������� ��������
���������
������
���
�� �
������� ��� ���
����� �$
����������� �
����
�
���
%�
����
�� ���
�
�
�
�
�
��
��&�����
��������
�
������
��
�����%�����
����&'��������(����� �����
�� ���
$
�
�
���
�������� ���$
�����&����
����
�
%�
�������
�
���
���
������
������������ ��$
���� �
�
��
��
����
�
�"�!��)��&���
�
������������� ��
����(���������
�(�
����������
��������
��
����
&��
�
�����
�� ��%��
����
��������
�
$
����%������
�����
���
��
���(��
���
���
�
�
���
�
�� ���
'���
��������
���
���������
���
�
�
�� �
����� ����
�
�������#�*+������ �������
�� �
�
��$
���� ��&"
|