3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов
Представлены характеристики ненакаливаемых катодов и фотодиодов, сформированных на основе слоистых структур со слоем правильных кубических упаковок наносфер SiO₂, и алмазоподобных материалов....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53522 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 31-35. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860191490319319040 |
|---|---|
| author | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. |
| author_facet | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. |
| citation_txt | 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 31-35. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Представлены характеристики ненакаливаемых катодов и фотодиодов, сформированных на основе слоистых структур со слоем правильных кубических упаковок наносфер SiO₂, и алмазоподобных материалов.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:06:43Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������������� ���������
��
�
���
������
�
��������
�� ��
���!
�
"������
�����������������
��
#$��
�
�
%�������
������
�
&��'���(
����������������������������������
������������������������������������
������������������������������������
���� ��� ������ ����������� �� �!�����
������������������"#$%�������&����� �
���������������
)�
���*�
����
���*
#�����%���
���%���*�
#�+(
���� ��,���*�
��������
�����-��
./0�
1
������*�
%�
���*(
�� �
�
���*%
������%
%�
�������
����2
������
�������
,'�
�����
��
������� �
�
�����2
��,���
'�
�3%�����
������
��,�����
����
��
*
#ε(�
,
�
���
����������*�
������ �
�������
�
�� ���2
���
3����4���*�
�
��3��5���*�
,��
�
�*�
�����
#6-�
���*�
3��7(
)�3�,�����
�%*��
�������
���2
��
�8��������
��
��'��
�������,���
'�
ε�
��
�
3�����%��
'�
-�3����
������
�
�������
������
���
�
#-�
����(
�
ε
9
�
��,��
�
�8*,�*�
����
��2
���
��-�����
��
-�
���*�
����
�����
�%��
%��2
�
��
�
���
��������%
�����3����
�
�
��
�,�����
�82
���
��
���
�
�%
���
3��
�����
���'
8����������
�������
��
:�3�����
���%���*�
�*�������� ��,���*�
#��
������
����
����,�����
�
���
��(
�������
�%
���2
3����'
�����'��
����*%
;�5'
�
���������
�
'
��
�
�
���8��%�
��,���
������
'
����
��5��� �
�
�%
,����
3�
�,�
�����'3�����
%�
�������
��
�
���
����
�����
"�����*�
%�
���*
�����
��� �
��8��
���
�����������*�
#�
�������%
��
��8�,�2
���%�
3�����(
8��3���
��
���%�
��
�����-��*
./0��
��3%��*
��
��*�
�
3�����%��
�
�
�������
��
-��2
%�������
%���
���'�����
'�
�
���
��
!��<�%
=���� ���
��������
�����-��
./0�
�8��3��
���2
%�����
��5�
��
�
���3�����
�������,���
'��
��
�2
��
%�>�
8*
'
������
���3�����
���
�+2�������2
5�
���
�
��
���
�%�
�
����%
1
���
-�
���*�
����2
���
���
%�
�����
�
3����4�����
-�
�����
3����
?�@
A��'�
���
� 4��
��8�
*
�� ���'
�3�,����
�
��2
���
�+<������'�*�
��������
�����-��
./0��
-��2
%��������
%���������*�
�
���
���
����,��4��
�
�
���������
�
��3�����
��
��
������
��
����
�
����
2
������
������
�
���,5���*%�
�������
������*%�
�����
����
���%�
����������������������� ��!���� ���"�#�$%&
'
(�� ��!)��* +#�,-
B������
-��%�������
�����
���
��*
��
������
��8�,�����
��������
�����-��
./0�
�
��3%���%�
�-��
�
���
��
!��<�%
���������
�
�����'3������%
�������'����
��������,������
�8���������
B��2
%�� ��
�����8
����,���
�-���,�����
,��
��
���%2
��3�%�
#�%��-�*�
./0�(�
��������*�
��
�������
���2
����3�
�
���-���
��
����%������
�����
*
#
�
��2
�
���������
./#0C�D�(!(
�
�
�����
#:�E�"E(
�
���2
��
�
���
�����������
�%%���
#FD!0D(
?�@
E�
���2
���
�
����
�������
�������3�
�8��3��
�
%�����
��3��
�����*�
����%���*�
,��
��*
���%��3�%��
��2
��*�
3�
�,�
���
������
���������������
������2
4��
�
�
�%��-�*�
,��
��*
�-���,�����
-��%*
B����
�
�
������
������3��
�
�������
�������3�2
�
���� ��,���*�
������
�����
��� �
��8��
�����2
���'
�
�����>����%
>�����
�
��
��1G�<%��
H�
%�2
������8�*��
�����
��%��4���
�
���3����4��
�
�
��>����%
���
�
:-���,�����
,��
��*
./0�
�
�2
���
�
���
���
�%��
����������������
8��3���
�
�2
,�,��%��
���
�%�
���������
��'��
����������'
���2
�����
��
����,�����
�8��3����
����,�
��������
��
��%����� ����
>�����
�
:���
������*�
%�
���
��
�����>���
��3��,�*�
%�
�������
#./�
��������
��
����
�������*�
�����
�
�� (
-��%�������
��
���2
����'��
��3��8�
���*%
%�
�����%�
����,��4�%
�������*
��5��
�
����%��
����
B����
-��%�������
������'���
��������
����2
�-��
./0�
��
��
������
��3��,�*%�
%�
���%�
#%��2
��
������
����*������
CI+2%�
��*�
���>�����
�3
��2
�
����
�
������(
�3��
�������
�
�����
*�
�
���
�2
�*
��
�������
��3��,�*�
%�
�������
�
%�>�-���2
,�����
���
�
*
��������
%�
���*
�
-��%�������
�����
*�
�
���
��
���%�� ���'
��������
�
�������'��
��3��8�
�����
�
�3��
��������
�8����������
?�@
:
������
������*�
%�
����
�-��%�������*�
�3
�����-��
./0�
���%�
��%
���%����
���<�%�
�����3�2
������
%�
���%�
����
������
���
�����
##��./0�
�(�
������,����4��
#��� <��
(
�
�
�%��2�������
%��2
��������
#��� <��
�(
'��������
��(��)*+,-.-�������������� ��.��/
�0+��.1�
������������'��2.3���/�.0
=���� �
�
J������
AE$�$
K�����%�5K
L2MN/OP
QNMRSORT/UVWXYUVZRMNQV [\
�+
:;"$:�]^
:�=_`�_=]
9
`ab^:�9^
":E"9]
E^Ea`a;$9a^J]&
̀ a�"�"9
$
a`�$9E]&
c;^J^E�"9
)"�"�$"�"9
�(
8(
�(
=�� <� <c���
�����2%���������,�����
���%��
��������
%�
���*P
�
1
�8d�%�*�
-���%��
e
1<���������
'e
�
1
�
�%��2������
%���������
���������
�
��������
%�
���*
��
���������
����
������������� ���������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
� �#��./'
����3��*
��3��'
�
*
�3�,���
����'��2
��
�
�����
���%���*�
��������
�����-��
./0�
B��
-��%��������
���8���*�
#��
��
�����>��(
�����2
�*�
%�
���
8��'5��
���'
�
�������������
��-��2
��
�����
-��%�
�
��3%��
�8��3��4��
%�
����
,�2
�
��
./0�
E���,��
��3���*
�
���%�
���
�����-��
∆+f��H
#��� <��
��� (
�������
�
-��%��������
3�����
���
�
�����
#��� <��
�(
����������
�
����
�
���
���
����3%�>�*�
�
�������
%�
����
�-��2
%�������
���8���-��%����%*%�
�-���%�
)���%��
���������
�
������'��
���������*�
�����-��
./0�
�����
�����
��
#��./1�
�
̀ �>��
�-���
./0�
#5��
a
��
��� <��
(
�
������%
���
���5�%
����
����>���
G
������'�*%�
3�3���%�
1
��
�
���*
3�2
3����
�
���
�������>���
�����
�����
���5��
"82
4��
,����
������'�*�
3�3����
%�>��
�-���%�
�
���
��3�
8��'5�
,����
�-��
B��
�%�
�������
����
�-��
./0�
�
����
��'��
��>����
%�>�
8*
'
�����2
������
��8�
��
����>��� %
9�
��8�
��
����>��� %
:
#��� <��
(
B��
�������
������'���
�
��������
#3���������
3�3����
��'��
9�
���
��'��
:(
,����
��3��,�*�
���
���5��
��������
���
�������
��>2
����
���
8������,��
������
9
���
��
�
���
�
�8�2
3��,��� %��
�������*%�
E
9
g����*%�
���
�����'2
3�����*�
�
��8�
�
������ �
�3
�����-��
./0�
-��2
%��������'
��������*�
#��8�,�����(
�
���
��*
hia:9ia:9ihjhi���i���ih
#��� <�(
?��
�
k1�l@
B�����'���
'
��8�,�����
��������
�����-��
./0�
������ �
�
�
���
��������
�
��������
-��%�����2
��
������*�
%�
���
�
%�>�-���,�����
�������*
��3��,�*�
��4��
�
�(
8(
�(
=�� <�
)��%��������
�
���
����
����*�
,��
��
����2
�-��
./0�
#�(
�
��
�8d��������
�
�8d�%���
�
���
���
# (e
�
1
3�����
��
�
������
�8d�%����
-�
������
���2
�
����
��
������
���
���5��
��������
�����-��
#���2
����
3����
����3���
�
�����%��
β
1
����
��3�����
�2
���
3����(
��� � ��! �*)��� +�2)�� �����!������������
�� ��!���� ���"�#�$%&
'
B������
��*
���%�����
�������
���������
�8��2
���4��
���,5���*%�
�����
����
���%��
�� 3��*
�
��3��8�
���
�����������%*�
#��
��%�������*�(
��2
����
��
������
5�����3���*�
���������������*�
#��%�3�
��%�3�����8�*�
��������
mOF
�
������(
%�
�2
�������
�8�����4��
���
����������*�
������ �
�
2
����
��'�*%
����
����*%
�����
��%
?!�<�@
:
�8��'2
�*�
�%�������*�
�����
����
���
��8�����
�
�
��
2
����*�
��
����
?G�<n@�
��
������'��
���
��
��3�����
���%�� �
�
��
����-�,�����
%�
��*�
�
��3%�>��2
�
�
����,���
���
���
�%�����
#��
���(
�*�����
���
2
���
�
��
���������
�
8��'5��
���4���
���
�
�,��
������,��*
9
���
� 4��
��8�
�
�*����
���
���
'
#��
���o��l<�%p�(
���
���
�%�����
��
���4���
8����
������<%%
���
������'
�����'3������%
������*�
%�
���
#��
��<�����(�
�-��%�������*�
��
�����>2
���
�3
./�
��
����
�
����������
������
?k@
B��������
'
������*�
%�
���
�����
��� �
��2
�
�%�
��
����*�
��
����
$3%������
���-��������
#3���
�����(
�-��
./0��
��>�4��
��
���������
��
���2
���
���������%
��
���
�����
�%�
����4���
%�
�2
�����
#��%�3�����8�*�
�������
#aB_(�
mOF(�
���
�
�%
%���
8*
'
�����'3����*
�������*�
����
�3
%�
����
���
������
�����
��
��
��*�
�����
�%�
����4��
����
B��
�����'3������
%�
����
����*����
�--��
3���
����
�� 3��
�
�3%������%
������
��
-��%���2
����
�,��
���
�������
�������>���*�
���
��3��,2
�*%�
����%�
�
����
��'��
��
�,����
����*����
?l@
##��./3�
��� (
9
3�����%��
�
�
��4��*
���>�����2
��
���
%�� �
�
-��%�
���������
��
����,��%��
���
3���
�����
�-��*
./0�
#���
!�
�4�(
9
��,��
��
��������
�����������%���
��
���
��
2
����
�
�
�8��>���
��-��%����
�����'3������'
���2
��
*�
�
���
��*�
����,��4��
����
��
������
�����2
���
%�
���*
#"J(P
"JiF/iaB_�
"JiF/iaB_imOF�
0qiaB_irZ0�
"Ji�/iaB_
�
��
��
���>����
F/�
s/�
aB_�
mOF
�
rZ0
���%�� �2
�
%�
��
%����
�������
����*����
B�����
F/
�
s/
����,���
%����
����*%
��
���
� ���%
���
����*2
�����%
%�5����
�3
F/
���
s/
�
m[2���3%�
B�����
mOF�
rZ0
�
aB_
-��%�������
9b<%����
����*%
���2
�*�����%
mO�
rZ
���
���-�
�
�
��3����
�%���
m[<t<F��
m[<t<0�
���
m[<t<D�
"�
�%��'�*�
������
���>��2
��
������
���
-��%��������
�����
*�
�
���
��
"JimOF�
"JiF/iaB_
�
������
��������*
�
+ ����
,�
B�����
��%�3�����8����
��������
��
���������
'
������*�
%�
���
���>����
��>�
�3
��3����
�%���
CD!tD�
%�
���%�
���4���
�
:9b2��3� ���
##��./4(
c%�
����4�%
%�
������%
�����������%*�
��
�2
���
���>���
������
��%�3�����8����
���������
��2
���>�4��
-�3�
����
����,������
��%�3�
#�
����'
����
����,���
�
u�<�8 H(
B��
���>�����
�������2
�*�
%�
�������
��3�������'
������ �
��3��� �4��
-��%�����
'
������
�
%���%��'�*%
��3%���%
�82
���
��
�������
����
����� �� �
�
�%����
�%
���
2
��
�
���
%����%�%*
���
�%�����
c%�������*�
�����
��
��������*�
������
3��2
,�
��'��
���,5��
�
�
�����,����%
��
��-��
���
�
����
'
��
-��%�������
���
�����%��-����
%�
�2
�����
��
����
�%�
����
���������
3��,����
��2
�(
8( �2�
����
�2�
����
:
a
9
=�� <� <�
1<����
�����2%���������,�����
���%��
-���2
%��
�
�
����,�
��
���������
�
��������
%�
���*
#54
6<1
�
�����
��
��� %
�������
��
v���w(e
1<%����'
,�
*���
#547
��
��� <��
�(
���������
��'��
���
�����2
������*�
�����
�����-��
./0�
�2�
����
!2�
����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������������� ���������
�� >�����
�
����
��,������
��� �
���
��
���%
��2
8�����
�
������
�%����
����
������
������
�
�
��������
�
�
��
��<9i%�%
=�3��8�
����
��
������
?�@
��3������
-��%�����
'
���
��3���
�%����
�2
���
#u���<`(
���
�����%��-�*�
������
aB_
#���2
���
����
��%�3���
-�3*
u�<�8 H(�
,
�
�8����,���2
�
���������
'
�
�����
��������
%�
���*
�
�%��2
�����*�
�����
�
����������
������
B��%������
��
-��%�������
������
aB_
%�
���
���4���
��3� ��
����>����
��3% �,����%
�
���������%
��������
%�
2
���*
���
�%����
����
fl��<`�
���8����%*�
��
��2
��,���
��������*�
������
�
����5�%�
-���������'2
�*%�
�����
����
���%�
`���
����,�����
�
�%��-�*�
������
mOF�
rZ0
�
������
%�
�������
��������
��
���
����
������2
���
'
������
��%�3�����8����
��������
��
���>�2
��
������
�%�����
:���5��
������
aB_
���>��2
���'
��4����
��
���<%�%
B��
���>�����
aB_
��
��������
%�
����
%�
���%
���4���
��3� ��
#����<`(
�%�
����4�
���������
'
������� ���'�
���
�%�
3�3��
%�>��
��
���%
�
�����%
�
��������
�����������
�%�������*�
�����
�
8*�
��3��,�*%
��
���������
�
�%�
���
#���
�
�%
�
���'�*�
����2
�-��*
������ �
����
����������'���
'
1
�%
#��./5(
$3%������
�%�������*�
�����
����
��
�������*�
��
����
��
������
������*�
%�
���
����������'
�
�%���'���%
��>�%�
���
��������
����o��p�<B�
?��@
$����'3�����
�������'��
��3��8�
�����
�����%���
��
������
x�3��
%�>��
��
���%
�
�����%
�
������2
��
�����������
�%�������*�
�����
�
���
��� �
∆j�G�h���<%�%
##��./6(
9���,���
���� >�����
�
����
��,������
���
�
3�3���
%�>��
�����%
�
��
�2
��%
#�����>���
�
����������
�����
��
�
���
����(
������������ ������8� ���9����8� �����������������:��������:�� ���������8� ����������������� �������;
����������� <=>$?@AB��B#��B#CDC
EF
�������� ZnO AlN
����
�
�
����
�����
�
Ni Ti
�
�������
�
�������
Ar +
+(90… �����
�� O2
Ar +
���� �!���
�� O2
Ar +
+��� �"���
�� H2
Ar Ar
#������������$����
��$�����%��� 0,5—2 0,5—2 0,5—2 0,5—2 1—2
&���'(�����)*-�� �'��%�) 130—250 300—550 300—600 — —
+
,�
��-�)*-�� �'��%�)� 80—150 120—200 150—200 — —
.������������
��
($�%�/ 373—573 373—573 373—573 373—573 373—573
&���'(������� �'����
��
'��
�
��
$�%�) — — — 300—400 250—300
.
$��� �'����
��
'��
�
��
$�%�A — — — 1 2
�(
8(
�(
�(
�(
=�� <! <:��%�
��3%�4���
�����>��
#�(
�
��� ���
����
�������
�����>��
�
���������
�
%�5���
��
������
'
���
�
������
mOF
# (e
��1<�3%������
���2
-��������
���������
�
�����-��*
./0�
��������
%�
���*
���
���������
������
mOFe
:
1<�
�%��2
������
%���������
���������
�
������*�
%�
���
��
���>���� e
�
1
�
>�
�����
���>����
y
�(
8(
=�� <� <:
������
���������
�
��������
%�
���*
�����
���>2
����
%�
���%�
%����
�������
����*����
�
:9b2��3� ��
�����������
�
���
��*P
����
�����
��4����
���<%�%
�
����
��%�3�����8����
��������
��4����
���<%�%P
�
1
���%��
������
����������� ���
�������
�
v���w
��������
%�
���*e
1
���
����%
��y
�
�������
�
v���w
�(
8(
=�� <G <:
������
���������
�
��������
%�
���*
#�(
���2
��
���>����
�����������
�
���
��*
1
%�
���%
%��2
��
�������
����*����
���
�
���
��4����
���<%�%
�
%�
���%
���4���
��3� ��
1
���
��%�3�����8����
��������
��4����
���<%�%e
1
�����,���*�
-���%��
�
�*������*�
��
�
�� %�����'����%
�!
���������
����
������������� ���������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�����
*CjCGi∆�
���
G
1
��3���
'
��
��������
%�>2
��
����
����%�
E�
#��./7
�����
������
���'
2�%�����
�����
�2
���
���
�
���
��*
"JiaB_�
�
��
����
����
��%�3�2
����8����
��������
����,��
%�
���%
���4���
��32
� ��
B��
�
�%
����
� ���
%�>��
�������%�
��
��2
%�
#���
��%�
�%�����(
��
������'�*�
� ���
���2
� ���'
���%�
��
�����-��
./0�
�
���
��� ��
���2
%����
���<�%
$3%������
���'
2�%������
�����
���2
�
���
���������
���
������4��
������ �P
3�3��
%�>��
�����%
�
��
���%
���<%�%�
,��
�
�
��<z��
���2
��'���
'
�%���'��
��<%��
��+�2��2)�� �����!��18/�����+)���+#��+�#
B���,���
��3%�>���
'
�3��
������
-�
�������
��
������
�+<�����
*�
�
���
��
B��*5����
�-2
-��
�����
'
����
-�
�������
�� 3���
�
8��'5��
��
��� ���
��
�����
���4��'�
-�
����'
��,�����
�
���
��*
E��8����
�������
���*�
��
'
�����,�2
��
�--��
�����
���4���
���������
�
-�
����'
�2
�,�����
�
���
��
���
%���%��'��%
�8d�%�
1
��2
���'3������
�
��,��
��
�����>��
������*�
%�
���
B��
-��%��������
-�
�������������'3�����
���2
��
��
�
���
���
mOF9rZi��%�39{�
�����>�4��
mOF�
����������*�
�����%�
�
��%�3�
����������*�
8���%
?��@
:
���
���
./imOFPrZi��%�3P{
����,���
�����2
����
��'�*%
-��%��������%
mOF
�
��%�3�
��
����
�����-��
./0��
���>����*�
��
./v���w2�����>��
;����������
������
mOF
�����%
�
��������
��
-��2
%�������
����������'
%�
���%
9b<%����
�������
����*����
���
�����
%�5����
�3��
��������
3�2
���������%
��
mO2%�5���
����
��*
�3
rZ
?l@
��
���
�3�
�����>�4��
��%�3���
-�3�
��������*�
���2
��
%�
���%
�����
��
��
�
���%�� ���'
�������'��
��3��8�
����
��
������
"��>�����
��%�3�
����32
�������'
�
E�t:E!
��3����
�%���
���
��������
�<�B��
�������
��3�
�<�i,�
�%����
����
|2��
���
�2
��
��n�<`
�
�����>��
1
k��1����<`
��
�����2
��
��%�3�
���������������*�
�����
�
���
�
���2
�����
�*��4�����
����������
8���%�
��
��*�
���2
����
�
��%�3���
������
���������%
�3
���-�
���2
��
���
������
#
�%����
���
����
����3����
��%�3�
��n�<`�
�%����
���
���
������
�
8���%
G��1kl�<`(
:
�����,����%
������
�����
�������4��
���%�2
��
�
�������
mOF
�����>����
����
����,�����
-�3*
�%��'5��
�
�
���
������
�����
���%����
�<�
H
��
����*5��
��<�8 H
;������4�
���%��'
��3%�2
4��
�
�
����
�
���'�*�
�
�%��
���
�
����
����2
,������
��
�
�
�%��-���
-�3��
mOF�
�
��>�
���>2
���
�
�
����
����,����
%�
����
�
���
��
�
���4�2
��
��
����
��
�������%
�������
##��./:(�
��
��*��
��
����*%
�>�2����
������
����
��������
�
���
2
���������
��-���
�%�
����
����
'
��
������
�����
���%���
��<�
H
1
���
�����%��-�*�
`�����
����
���%���
#/rZ(
�
�������
mOF�
��2
��,���*�
����*�����%
���
���*�
%�5�����
3�������
�
���
��5���
���4����
mO
�
����
��*
rZ<1
��2
�,����
���%���
��
���������
�
%�5���
�
�8���
�
����*����
#"mO
�
"rZ(�
��
���--�����
��
����*��2
��
#�mO
�
�rZ(
�
�������
��������
���
�
#�������2
>����
�����>��
�
����
��'��
%�5���
�
�� (
:�2
���>����
���%���
rZ
�
������
mOF�
����,�����
���2
�*�����%
���
�����
%�5����
����,�
*���
�
��
��2
�
��5����
/rZj"rZ";rZ�rZi#"mO";mO�mO(�
���
";mO
�
";rZ<1
���4���
���-��
�8���
��
����*����
mO
�
����
��*
rZ�
�3%�����*�
��
���-������%%�%
B��
�����������
���%��'
rZ
�����>�
�
�
����
�
���'�*�
�
�%��
���
�
����
����,������
��
�
�
�%��-���
-�3��
��
����
���%���
:�%%�����
���2
���
�����
���%���
���
����������
%�
���%
����
2
�����23��������
����
���'����
�����3��
���
�
�%
�����>����
���%���
�
�%��-���
�
����
����,�����
-�3��
mOF
������� ��
%�
���%
������������
���'
2
�%����%�
���
#���%�� ���'
%�
�����
���
�������2
%���
�����
������
���
������
-�3
������(
B��
����
%a
����
���k
���!
�
�
�
!
E��� >�����
�9
=�� <k <9��'
2�%�����
�����
����
���
�����
��
�
���2
��*
K������� <%�
����i��%�3�����8�*�<�������K
=�� <l <:��%�
�
�%����
�
�����
���'��
����������*�
�����%
������
mOF
=�� <n <:��%�
��
����
��
��
�3%�����
���'
2�%����*�
�����
����
��
�
������
,����
�%�������*�
���
���
��2
���������%*�
��
����
��
������
�����
��
�
���
��*
K�����>��i./0�i�%�
����4��
����K
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
����
������������� ���������
��3%�4����
�����>��
���
3��*
��3����
��
�����
%�
����
����*�����%
���
�����
%�5���
�
���4�2
�'�
rZ2����
��*
��
���������
�
�8���
�
����*��2
��
mO2%�5���
���%����
���H
����,��*
������
mOF9rZ�
�����>�4��
��%%�����
������
�����
rZ
���%����
����G<�
H
B��
���
�������
�����
rZ
���
������
����
�
������
����*5���
��<%�� H
�
��8��2
�����'
�*�������
���
�����%��-�*�
�
����
����2
,�����
-�3
rZ
�
rZFH
#rZ�F�(
B��
��3����
���
_)2�8��,���
��
���
��
�*�
���4�����
#����
�������3��,����
s/(�
��������*�
��
mOF
�
aB_�
��3�����
���� >����
��
��k<9
##��./0<(
9
�������������
��
����
���
���
mOF
��2
���>��
rZ
�
��%%�����
������
������
����G<�
H
#�
��5����
������
�����
rZ
�
�%��-���
�
����
��2
��,�����
-�3��
������
mOF
���
��� �
���
���
�
�2
����
����
����,���
�
������
!�<�8 H(�
�
������
��2
��
8���
�
��%�3�
���
��� ��
���%����
���l<�%p�
B��%������
������*�
%�
���
�
��,��
��
�����>��
��3��� �
�����,�
'
�8��,��%��
���������
'
��
��2
���
�����������������
�
���
��*
���
�%
>�
�8d�2
%�
��
����
��
:�����
�
%�
�
'�
,
�
�
�<�%�
�����2
���
%�
���*
�
���%�
��%
�����-��
./0�
���<�%
��%2
%����
���������
'
�����-��
���
��� �
��<%�
9
��������
��8�
*
8*��
����������*
�
���
��*�
�����>�4��
����
}N.~�
mOFP.M
#L\�
s~
�
�� (�
rZ0�
{F
�
��
= ��>�����
����%
�8��3�%�
��3��8�
��*
���������
����,�2
��
������*�
%�
���
#������'�*�
��8�,�����
���2
�����
�����-��
./0�(
�
����
�8d�%�*�
%�
�������
�
�����
��
��3��,�*�
�����>���
"������%����
����3���
��3%�>���
'
�����'3�2
����
%�
�������
��
������
������'�*�
��������
�����-��
./0�
�
���
���
�����
*�
�
���
��
K�����2
�� <%�
����i�������������#������
���(K
�
��,��
��
��
����*�
�����������%*�
��
����
�
���
���
'�
���
���
�%�����
��
���o��l<�%p�
B��%������
���� ��,���*�
�����
���
��
��
��2
����
������*�
%�
���
��3��� �
8����
,�%
��
��� 2
���
�����,�
'
�--��
�����
���4��'
��
�����
�
���2
��*
-�
�������
$:B";�x"9aEE]^
$:�"bE$`$
� <:�%������,<J <$ �
`��4���<: <J �
g�� ���<a <)
�
��
$�����������
�����
�
�
�������
��*
���%�����
���%���*�
������%��3�
��
��
������
���� ��,���*�
��������
�����-��
���%��3�%�
i
9
�� P
J�
�����*�
�8����������
�
���������
��2
������
������
�
%����-�
����� 1
_���2_��P<gEA
:"<=aE�
���� 1<: <���1�Gk
� <g�� ���<a <) �
z��' ���<a <9 �
�38��������<E <E
�
��
_�2
������
��
-��%�������
%���������*�
�
���
��
�
�������
��4��
�
�
%�>�-���,�����
���*
�����-��
������*�
%�
���
ii
J�
2�*
�<J�>��������'����
��%�����
�E���
���������
�
-�2
���*�
����
���*� 1<��5���2"�� 1<���� 1<: <G�1n�
� <g����<E <9
:
���
���
����*�
����
�����
�
%�
����,�2
����
-�3 1<J P<$3�2��
aE
:::=�
�l!n
! <D/M�QYO<� <� �
�ZN��<� <m �
INZ<IYUVXYZ<� <m
YX
NO
�\NZX\M
�VRXRS/YO�
R�
�/NMRZ�
#���(<1
N
QXN~OY
ZY�NX/TY2N��/Z/XS
YM/XXY[
ii
�VSQ
�YT 1<�lnl 1<IRO <{<�� 1
� <G�!1G�n
� <{YZ�NM/Z<q <C �
|NZ�<I �
+NT/Q<� <�
YX
NO
0~QY[TNX/RZ
R�
N
ZY�NX/TY
YOYUX[RZ
N��/Z/XS
�R[
VYXY[RY�/XN�/NO
mOF
RZ
N2#GD(1./C#����(
ii
m��O
�VSQ
�YXX 1<�ll! 1<IRO <G!<#�!( 1<� <��kk1��l�
G <.�/XQSZ<{ <I �
rV/[ZRT<I <I �
{ON\X2{ONUVYT<m <F
YX
NO
�/YO�
YM/XXY[Q
~NQY�
RZ
./
X/�Q
�/XV
mOF
URNX/Z�
ii
+/NMRZ�
NZ�
�YONXY�
qNXY[/NOQ 1<�llk 1<F<n 1<� <Gl�1Gl!
n <^������<J <$ �
`��������<z <a �
`������<� <a
�
��
E�2
���������%*�
��
��* 1<J P<:��
������
�ln!
k <g�� ���<a <) �
:�%������,<J <$ �
��
�������<9 <�
�
��
E����������%*�
��
��*
��
������
�+<%�
�������
�
3����4�����
-�
�����
3����
#������*�
%�
���*(
ii
J�
2�*
J�>�����
���, 2
����
���-
�)����%��
��'�*�
���8��%*
���������
�������
���8����
����� � 1<J����� 1<���� 1<: <��1��
l <g�� ���<a <)
B���,����
������
mOF
#�83��(
ii
J�
2�*
n<J�>�����
��%��3
�������
������
�
����
������� 1<��52
���2"�� 1<�llG 1<: <�Gn1���
�� <g�� ���<a <) �
:�%����<a <B �
:�%�����<$ <a
�
��
c%��2
�����*�
�����
��
�����
*�
�
���
��
./i��%�3
�
./i��%�3imOF
ii
J�
2�*
k<J�>�����
���, 2
���
���-
�9*�����
���������
�
���%*5������
�
=������ 1<J����� 1<���� 1<: <���1���
�� <sY[YMYXQ�NSN<� <} �
IN[Z/Z<I <� �
�ROSN�RT<I <�
YX
NO
CVN[NU2
XY[/QNX/RZ
R�
�/NMRZ�
�/OMQ
�[R�Z
RZ
mOFiQ/O/URZ
Q\~QX[NXYQ
NZ�
R�
VYXY[RQX[\UX\[YQ
�/XV
Q\UV
�/OMQ
i
�Z
~RR�P
m��O/UNX/RZQ
R�
+/NMRZ�
�/OMQ
NZ�
�YONXY�
qNXY[/NOQ 1
�.m�<}N/XVY[Q~\[��<�ll� 1<� <!Gl1!n�
E
��
�
>
��
��
�
9
��k
��!
�
�
���
!��
9��% �
%��
aB_P9
#���l
�%p�(
mOFPrZ
#����G
�
H(
"������
%�
����
./
=�� <�� <E��� >�����
��3�����4��
��
���
��
�*�
���4��2
���
�����
��
�
���
��*
aB_P9imOFPrZ
���
_)2�8��,����
��������� �
���
��������
��������
�
�
��������
��
��� ����
������ � ��
���������
�� � �������
�� �����
������� �������� � ��
��� �
�
��
��
���
��� ������������ � ���
��
���� ������
� ���������
�� �
�� � ��� !�"
#�����
�$����� �
��� % ��� ���
���$����� ������
��
��
���"
&����� ���'
���
�������
�
�
�������� #������ �� ���" ()*�+,-*. /0*�1*�2,
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53522 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:06:43Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. 2014-01-21T20:14:19Z 2014-01-21T20:14:19Z 2005 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 31-35. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53522 Представлены характеристики ненакаливаемых катодов и фотодиодов, сформированных на основе слоистых структур со слоем правильных кубических упаковок наносфер SiO₂, и алмазоподобных материалов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микро- и наноэлектроника 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов ЗD шаруваті структури як основа нерозжарюваних катодів та активних елементів фотодіодів 3D-layer structures as cold cathode support and photodiode active elements Article published earlier |
| spellingShingle | 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Функциональная микро- и наноэлектроника |
| title | 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов |
| title_alt | ЗD шаруваті структури як основа нерозжарюваних катодів та активних елементів фотодіодів 3D-layer structures as cold cathode support and photodiode active elements |
| title_full | 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов |
| title_fullStr | 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов |
| title_full_unstemmed | 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов |
| title_short | 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов |
| title_sort | 3d слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов |
| topic | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| topic_facet | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53522 |
| work_keys_str_mv | AT belâninaf 3dsloistyestrukturyvkačestveosnovynenakalivaemyhkatodoviaktivnyhélementovfotodiodov AT samoilovičmi 3dsloistyestrukturyvkačestveosnovynenakalivaemyhkatodoviaktivnyhélementovfotodiodov AT žitkovskiivd 3dsloistyestrukturyvkačestveosnovynenakalivaemyhkatodoviaktivnyhélementovfotodiodov AT belâninaf zdšaruvatístrukturiâkosnovanerozžarûvanihkatodívtaaktivnihelementívfotodíodív AT samoilovičmi zdšaruvatístrukturiâkosnovanerozžarûvanihkatodívtaaktivnihelementívfotodíodív AT žitkovskiivd zdšaruvatístrukturiâkosnovanerozžarûvanihkatodívtaaktivnihelementívfotodíodív AT belâninaf 3dlayerstructuresascoldcathodesupportandphotodiodeactiveelements AT samoilovičmi 3dlayerstructuresascoldcathodesupportandphotodiodeactiveelements AT žitkovskiivd 3dlayerstructuresascoldcathodesupportandphotodiodeactiveelements |