3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов

Представлены характеристики ненакаливаемых катодов и фотодиодов, сформированных на основе слоистых структур со слоем правильных кубических упаковок наносфер SiO₂, и алмазоподобных материалов....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2005
Автори: Белянин, А.Ф., Самойлович, М.И., Житковский, В.Д.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53522
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 31-35. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860191490319319040
author Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Житковский, В.Д.
author_facet Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Житковский, В.Д.
citation_txt 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 31-35. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Представлены характеристики ненакаливаемых катодов и фотодиодов, сформированных на основе слоистых структур со слоем правильных кубических упаковок наносфер SiO₂, и алмазоподобных материалов.
first_indexed 2025-12-07T18:06:43Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������������� ��������� �� � ��� ������ � �������� �� �� ���! � "������ ����������������� �� #$�� � � %������� ������ � &��'���( ���������������������������������� ������������������������������������ ������������������������������������ ���� ��� ������ ����������� �� �!����� ������������������"#$%�������&����� � ��������������� )� ���*� ���� ���* #�����%��� ���%���*� #�+( ���� ��,���*� �������� �����-�� ./0� 1 ������*� %� ���*( �� � � ���*% ������% %� ������� ����2 ������ ������� ,'� ����� �� ������� � � �����2 ��,��� '� �3%����� ������ ��,����� ���� �� * #ε(� , � ��� ����������*� ������ � ������� � �� ���2 ��� 3����4���*� � ��3��5���*� ,�� � �*� ����� #6-� ���*� 3��7( )�3�,����� �%*�� ������� ���2 �� �8�������� �� ��'�� �������,��� '� ε� �� � 3�����%�� '� -�3���� ������ � ������� ������ ��� � #-� ����( � ε 9 � ��,�� � �8*,�*� ���� ��2 ��� ��-����� �� -� ���*� ���� ����� �%�� %��2 � �� � ��� ��������% �����3���� � � �� �,����� �82 ��� �� ��� � �% ��� 3�� ����� ���' 8���������� ������� �� :�3����� ���%���*� �*�������� ��,���*� #�� ������ ���� ����,����� � ��� ��( ������� �% ���2 3����' �����'�� ����*% ;�5' � ��������� � ' �� � � ���8��%� ��,��� ������ ' ���� ��5��� � � �% ,���� 3� �,� �����'3����� %� ������� �� � ��� ���� ����� "�����*� %� ���* ����� ��� � ��8�� ��� �����������*� #� �������% �� ��8�,�2 ���%� 3�����( 8��3��� �� ���%� �� �����-��* ./0�� ��3%��* �� ��*� � 3�����%�� � � ������� �� -��2 %������� %��� ���'����� '� � ��� �� !��<�% =���� ��� �������� �����-�� ./0� �8��3�� ���2 %����� ��5� �� � ���3����� �������,��� '�� �� �2 �� %�>� 8* ' ������ ���3����� ��� �+2�������2 5� ��� � �� ��� �%� � ����% 1 ��� -� ���*� ����2 ��� ��� %� ����� � 3����4����� -� ����� 3���� ?�@ A��'� ��� � 4�� ��8� * �� ���' �3�,���� � ��2 ��� �+<������'�*� �������� �����-�� ./0�� -��2 %�������� %���������*� � ��� ��� ����,��4�� � � ��������� � ��3����� �� �� ������ �� ���� � ���� 2 ������ ������ � ���,5���*%� ������� ������*%� ����� ���� ���%� ����������������������� ��!���� ���"�#�$%& ' (�� ��!)��* +#�,- B������ -��%������� ����� ��� ��* �� ������ ��8�,����� �������� �����-�� ./0� � ��3%���%� �-�� � ��� �� !��<�% ��������� � �����'3������% �������'���� ��������,������ �8��������� B��2 %�� �� �����8 ����,��� �-���,����� ,�� �� ���%2 ��3�%� #�%��-�*� ./0�(� ��������*� �� ������� ���2 ����3� � ���-��� �� ����%������ ����� * # � ��2 � ��������� ./#0C�D�(!( � � ����� #:�E�"E( � ���2 �� � ��� ����������� �%%��� #FD!0D( ?�@ E� ���2 ��� � ���� ������� �������3� �8��3�� � %����� ��3�� �����*� ����%���*� ,�� ��* ���%��3�%�� ��2 ��*� 3� �,� ��� ������ ��������������� ������2 4�� � � �%��-�*� ,�� ��* �-���,����� -��%* B���� � � ������ ������3�� � ������� �������3�2 � ���� ��,���*� ������ ����� ��� � ��8�� �����2 ���' � �����>����% >����� � �� ��1G�<%�� H� %�2 ������8�*�� ����� ��%��4��� � ���3����4�� � � ��>����% ��� � :-���,����� ,�� ��* ./0� � �2 ��� � ��� ��� �%�� ���������������� 8��3��� � �2 ,�,��%�� ��� �%� ��������� ��'�� ����������' ���2 ����� �� ����,����� �8��3���� ����,� �������� �� ��%����� ���� >����� � :��� ������*� %� ��� �� �����>��� ��3��,�*� %� ������� #./� �������� �� ���� �������*� ����� � �� ( -��%������� �� ���2 ����'�� ��3��8� ���*% %� �����%� ����,��4�% �������* ��5�� � ����%�� ���� B���� -��%������� ������'��� �������� ����2 �-�� ./0� �� �� ������ ��3��,�*%� %� ���%� #%��2 �� ������ ����*������ CI+2%� ��*� ���>����� �3 ��2 � ���� � ������( �3�� ������� � ����� *� � ��� �2 �* �� ������� ��3��,�*� %� ������� � %�>�-���2 ,����� ��� � * �������� %� ���* � -��%������� ����� *� � ��� �� ���%�� ���' �������� � �������'�� ��3��8� ����� � �3�� �������� �8���������� ?�@ : ������ ������*� %� ���� �-��%�������*� �3 �����-�� ./0� ���%� ��% ���%���� ���<�%� �����3�2 ������ %� ���%� ���� ������ ��� ����� ##��./0� �(� ������,����4�� #��� <�� ( � � �%��2������� %��2 �������� #��� <�� �( '�������� ��(��)*+,-.-�������������� ��.��/ �0+��.1� ������������'��2.3���/�.0 =���� � � J������ AE$�$ K�����%�5K L2MN/OP QNMRSORT/UVWXYUVZRMNQV [\ �+ :;"$:�]^ :�=_`�_=] 9 `ab^:�9^ ":E"9] E^Ea`a;$9a^J]& ̀ a�"�"9 $ a`�$9E]& c;^J^E�"9 )"�"�$"�"9 �( 8( �( =�� <� <c��� �����2%���������,����� ���%�� �������� %� ���*P � 1 �8d�%�*� -���%�� e 1<��������� 'e � 1 � �%��2������ %��������� ��������� � �������� %� ���* �� ��������� ���� ������������� ��������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � �#��./' ����3��* ��3��' � * �3�,��� ����'��2 �� � ����� ���%���*� �������� �����-�� ./0� B�� -��%�������� ���8���*� #�� �� �����>��( �����2 �*� %� ��� 8��'5�� ���' � ������������� ��-��2 �� ����� -��%� � ��3%�� �8��3��4�� %� ���� ,�2 � �� ./0� E���,�� ��3���* � ���%� ��� �����-�� ∆+f��H #��� <�� ��� ( ������� � -��%�������� 3����� ��� � ����� #��� <�� �( ���������� � ���� � ��� ��� ����3%�>�*� � ������� %� ���� �-��2 %������� ���8���-��%����%*%� �-���%� )���%�� ��������� � ������'�� ���������*� �����-�� ./0� ����� ����� �� #��./1� � ̀ �>�� �-��� ./0� #5�� a �� ��� <�� ( � ������% ��� ���5�% ���� ����>��� G ������'�*%� 3�3���%� 1 �� � ���* 3�2 3���� � ��� �������>��� ����� ����� ���5�� "82 4�� ,���� ������'�*� 3�3���� %�>�� �-���%� � ��� ��3� 8��'5� ,���� �-�� B�� �%� ������� ���� �-�� ./0� � ���� ��'�� ��>���� %�>� 8* ' �����2 ������ ��8� �� ����>��� % 9� ��8� �� ����>��� % : #��� <�� ( B�� ������� ������'��� � �������� #3��������� 3�3���� ��'�� 9� ��� ��'�� :( ,���� ��3��,�*� ��� ���5�� �������� ��� ������� ��>2 ���� ��� 8������,�� ������ 9 ��� �� � ��� � �8�2 3��,��� %�� �������*%� E 9 g����*%� ��� �����'2 3�����*� � ��8� � ������ � �3 �����-�� ./0� -��2 %��������' ��������*� #��8�,�����( � ��� ��* hia:9ia:9ihjhi���i���ih #��� <�( ?�� � k1�l@ B�����'��� ' ��8�,����� �������� �����-�� ./0� ������ � � � ��� �������� � �������� -��%�����2 �� ������*� %� ��� � %�>�-���,����� �������* ��3��,�*� ��4�� � �( 8( �( =�� <� )��%�������� � ��� ���� ����*� ,�� �� ����2 �-�� ./0� #�( � �� �8d�������� � �8d�%��� � ��� ��� # (e � 1 3����� �� � ������ �8d�%���� -� ������ ���2 � ���� �� ������ ��� ���5�� �������� �����-�� #���2 ���� 3���� ����3��� � �����%�� β 1 ���� ��3����� �2 ��� 3����( ��� � ��! �*)��� +�2)�� �����!������������ �� ��!���� ���"�#�$%& ' B������ ��* ���%����� ������� ��������� �8��2 ���4�� ���,5���*%� ����� ���� ���%�� �� 3��* � ��3��8� ��� �����������%*� #�� ��%�������*�( ��2 ���� �� ������ 5�����3���*� ���������������*� #��%�3� ��%�3�����8�*� �������� mOF � ������( %� �2 ������� �8�����4�� ��� ����������*� ������ � � 2 ���� ��'�*% ���� ����*% ����� ��% ?!�<�@ : �8��'2 �*� �%�������*� ����� ���� ��� ��8����� � � �� 2 ����*� �� ���� ?G�<n@� �� ������'�� ��� �� ��3����� ���%�� � � �� ����-�,����� %� ��*� � ��3%�>��2 � � ����,��� ��� ��� �%����� #�� ���( �*����� ��� 2 ��� � �� ��������� � 8��'5�� ���4��� ��� � �,�� ������,��* 9 ��� � 4�� ��8� � �*���� ��� ��� ' #�� ���o��l<�%p�( ��� ��� �%����� �� ���4��� 8���� ���×���<%% ��� ������' �����'3������% ������*� %� ��� #�� ��<�����(� �-��%�������*� �� �����>2 ��� �3 ./� �� ���� � ���������� ������ ?k@ B�������� ' ������*� %� ��� ����� ��� � ��2 � �%� �� ����*� �� ���� $3%������ ���-�������� #3��� �����( �-�� ./0�� ��>�4�� �� ��������� �� ���2 ��� ���������% �� ��� ����� �%� ����4��� %� �2 ����� #��%�3�����8�*� ������� #aB_(� mOF(� ��� � �% %��� 8* ' �����'3����* �������*� ���� �3 %� ���� ��� ������ ����� �� �� ��*� ����� �%� ����4�� ���� B�� �����'3������ %� ���� ����*���� �--�� 3��� ���� �� 3�� � �3%������% ������ �� -��%���2 ���� �,�� ��� ������� �������>���*� ��� ��3��,2 �*%� ����%� � ���� ��'�� �� �,���� ����*���� ?l@ ##��./3� ��� ( 9 3�����%�� � � ��4��* ���>�����2 �� ��� %�� � � -��%� ��������� �� ����,��%�� ��� 3��� ����� �-��* ./0� #��� !� �4�( 9 ��,�� �� �������� �����������%��� �� ��� �� 2 ���� � � �8��>��� ��-��%���� �����'3������' ���2 �� *� � ��� ��*� ����,��4�� ���� �� ������ �����2 ��� %� ���* #"J(P "JiF/iaB_� "JiF/iaB_imOF� 0qiaB_irZ0� "Ji�/iaB_ � �� �� ���>���� F/� s/� aB_� mOF � rZ0 ���%�� �2 � %� �� %���� ������� ����*���� B����� F/ � s/ ����,��� %���� ����*% �� ��� � ���% ��� ����*2 �����% %�5���� �3 F/ ��� s/ � m[2���3%� B����� mOF� rZ0 � aB_ -��%������� 9b<%���� ����*% ���2 �*�����% mO� rZ ��� ���-� � � ��3���� �%��� m[<t<F�� m[<t<0� ��� m[<t<D� "� �%��'�*� ������ ���>��2 �� ������ ��� -��%�������� ����� *� � ��� �� "JimOF� "JiF/iaB_ � ������ ��������* � + ���� ,� B����� ��%�3�����8���� �������� �� ��������� ' ������*� %� ��� ���>���� ��>� �3 ��3���� �%��� CD!tD� %� ���%� ���4��� � :9b2��3� ��� ##��./4( c%� ����4�% %� ������% �����������%*� �� �2 ��� ���>��� ������ ��%�3�����8���� ��������� ��2 ���>�4�� -�3� ���� ����,������ ��%�3� #� ����' ���� ����,��� � u�<�8 H( B�� ���>����� �������2 �*� %� ������� ��3�������' ������ � ��3��� �4�� -��%����� ' ������ � %���%��'�*% ��3%���% �82 ��� �� ������� ���� ����� �� � � �%���� �% ��� 2 �� � ��� %����%�%* ��� �%����� c%�������*� ����� �� ��������*� ������ 3��2 ,� ��'�� ���,5�� � � �����,����% �� ��-�� ��� � ���� ' �� -��%������� ��� �����%��-���� %� �2 ����� �� ���� �%� ���� ��������� 3��,���� ��2 �( 8( �2� ���� �2� ���� : a 9 =�� <� <� 1<���� �����2%���������,����� ���%�� -���2 %�� � � ����,� �� ��������� � �������� %� ���* #54 6<1 � ����� �� ��� % ������� �� v���w(e 1<%����' ,� *��� #547 �� ��� <�� �( ��������� ��'�� ��� �����2 ������*� ����� �����-�� ./0� �2� ���� !2� ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������������� ��������� �� >����� � ���� ��,������ ��� � ��� �� ���% ��2 8����� � ������ �%���� ���� ������ ������ � � �������� � � �� ��<9i%�% =�3��8� ���� �� ������ ?�@ ��3������ -��%����� ' ��� ��3��� �%���� �2 ��� #u���<`( ��� �����%��-�*� ������ aB_ #���2 ��� ���� ��%�3��� -�3* u�<�8 H(� , � �8����,���2 � ��������� ' � ����� �������� %� ���* � �%��2 �����*� ����� � ���������� ������ B��%������ �� -��%������� ������ aB_ %� ��� ���4��� ��3� �� ����>���� ��3% �,����% � ���������% �������� %� 2 ���* ��� �%���� ���� fl��<`� ���8����%*� �� ��2 ��,��� ��������*� ������ � ����5�%� -���������'2 �*%� ����� ���� ���%� `��� ����,����� � �%��-�*� ������ mOF� rZ0 � ������ %� ������� �������� �� ��� ���� ������2 ��� ' ������ ��%�3�����8���� �������� �� ���>�2 �� ������ �%����� :���5�� ������ aB_ ���>��2 ���' ��4���� �� ���<%�% B�� ���>����� aB_ �� �������� %� ���� %� ���% ���4��� ��3� �� #����<`( �%� ����4� ��������� ' ������� ���'� ��� �%� 3�3�� %�>�� �� ���% � �����% � �������� ����������� �%�������*� ����� � 8*� ��3��,�*% �� ��������� � �%� ��� #��� � �% � ���'�*� ����2 �-��* ������ � ���� ����������'��� ' 1 �% #��./5( $3%������ �%�������*� ����� ���� �� �������*� �� ���� �� ������ ������*� %� ��� ����������' � �%���'���% ��>�%� ��� �������� ����o��p�<B� ?��@ $����'3����� �������'�� ��3��8� ����� �����%��� �� ������ x�3�� %�>�� �� ���% � �����% � ������2 �� ����������� �%�������*� ����� � ��� ��� � ∆j�G�h���<%�% ##��./6( 9���,��� ���� >����� � ���� ��,������ ��� � 3�3��� %�>�� �����% � �� �2 ��% #�����>��� � ���������� ����� �� � ��� ����( ������������ ������8� ���9����8� �����������������:��������:�� ���������8� ����������������� �������; ����������� <=>$?@AB��B#��B#CDC EF �������� ZnO AlN ���� � � ���� ����� � Ni Ti � ������� � ������� Ar + +(90… ����� �� O2 Ar + ���� �!��� �� O2 Ar + +��� �"��� �� H2 Ar Ar #������������$���� ��$�����%��� 0,5—2 0,5—2 0,5—2 0,5—2 1—2 &���'(�����)*-�� �'��%�) 130—250 300—550 300—600 — — + ,� ��-�)*-�� �'��%�)� 80—150 120—200 150—200 — — .������������ �� ($�%�/ 373—573 373—573 373—573 373—573 373—573 &���'(������� �'���� �� '�� � �� $�%�) — — — 300—400 250—300 . $��� �'���� �� '�� � �� $�%�A — — — 1 2 �( 8( �( �( �( =�� <! <:��%� ��3%�4��� �����>�� #�( � ��� ��� ���� ������� �����>�� � ��������� � %�5��� �� ������ ' ��� � ������ mOF # (e ��1<�3%������ ���2 -�������� ��������� � �����-��* ./0� �������� %� ���* ��� ��������� ������ mOFe : 1<� �%��2 ������ %��������� ��������� � ������*� %� ��� �� ���>���� e � 1 � >� ����� ���>���� y �( 8( =�� <� <: ������ ��������� � �������� %� ���* ����� ���>2 ���� %� ���%� %���� ������� ����*���� � :9b2��3� �� ����������� � ��� ��*P ���� ����� ��4���� ���<%�% � ���� ��%�3�����8���� �������� ��4���� ���<%�%P � 1 ���%�� ������ ����������� ��� ������� � v���w �������� %� ���*e 1 ��� ����% ��y � ������� � v���w �( 8( =�� <G <: ������ ��������� � �������� %� ���* #�( ���2 �� ���>���� ����������� � ��� ��* 1 %� ���% %��2 �� ������� ����*���� ��� � ��� ��4���� ���<%�% � %� ���% ���4��� ��3� �� 1 ��� ��%�3�����8���� �������� ��4���� ���<%�%e 1 �����,���*� -���%�� � �*������*� �� � �� %�����'����% �! ��������� ���� ������������� ��������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ����� *CjCGi∆� ��� G 1 ��3��� ' �� �������� %�>2 �� ���� ����%� E� #��./7 ����� ������ ���' 2�%����� ����� �2 ��� ��� � ��� ��* "JiaB_� � �� ���� ���� ��%�3�2 ����8���� �������� ����,�� %� ���% ���4��� ��32 � �� B�� � �% ���� � ��� %�>�� �������%� �� ��2 %� #��� ��%� �%�����( �� ������'�*� � ��� ���2 � ���' ���%� �� �����-�� ./0� � ��� ��� �� ���2 %���� ���<�% $3%������ ���' 2�%������ ����� ���2 � ��� ��������� ��� ������4�� ������ �P 3�3�� %�>�� �����% � �� ���% ���<%�%� ,�� � � ��<z�� ���2 ��'��� ' �%���'�� ��<%�� ��+�2��2)�� �����!��18/�����+)���+#��+�# B���,��� ��3%�>��� ' �3�� ������ -� ������� �� ������ �+<����� *� � ��� �� B��*5���� �-2 -�� ����� ' ���� -� ������� �� 3��� � 8��'5�� �� ��� ��� �� ����� ���4��'� -� ����' ��,����� � ��� ��* E��8���� ������� ���*� �� ' �����,�2 �� �--�� ����� ���4��� ��������� � -� ����' �2 �,����� � ��� �� ��� %���%��'��% �8d�%� 1 ��2 ���'3������ � ��,�� �� �����>�� ������*� %� ��� B�� -��%�������� -� �������������'3����� ���2 �� �� � ��� ��� mOF9rZi��%�39{� �����>�4�� mOF� ����������*� �����%� � ��%�3� ����������*� 8���% ?��@ : ��� ��� ./imOFPrZi��%�3P{ ����,��� �����2 ���� ��'�*% -��%��������% mOF � ��%�3� �� ���� �����-�� ./0�� ���>����*� �� ./v���w2�����>�� ;���������� ������ mOF �����% � �������� �� -��2 %������� ����������' %� ���% 9b<%���� ������� ����*���� ��� ����� %�5���� �3�� �������� 3�2 ���������% �� mO2%�5��� ���� ��* �3 rZ ?l@ �� ��� �3� �����>�4�� ��%�3��� -�3� ��������*� ���2 �� %� ���% ����� �� �� � ���%�� ���' �������'�� ��3��8� ���� �� ������ "��>����� ��%�3� ����32 �������' � E�t:E! ��3���� �%��� ��� �������� �<�B�� ������� ��3� �<�i,� �%���� ���� |2�� ��� �2 �� ��n�<` � �����>�� 1 k��1����<` �� �����2 �� ��%�3� ���������������*� ����� � ��� � ���2 ����� �*��4����� ���������� 8���%� �� ��*� ���2 ���� � ��%�3��� ������ ���������% �3 ���-� ���2 �� ��� ������ # �%���� ��� ���� ����3���� ��%�3� ��n�<`� �%���� ��� ��� ������ � 8���% G��1kl�<`( : �����,����% ������ ����� �������4�� ���%�2 �� � ������� mOF �����>���� ���� ����,����� -�3* �%��'5�� � � ��� ������ ����� ���%���� �<� H �� ����*5�� ��<�8 H ;������4� ���%��' ��3%�2 4�� � � ���� � ���'�*� � �%�� ��� � ���� ����2 ,������ �� � � �%��-��� -�3�� mOF� � ��>� ���>2 ��� � � ���� ����,���� %� ���� � ��� �� � ���4�2 �� �� ���� �� �������% ������� ##��./:(� �� ��*�� �� ����*% �>�2���� ������ ���� �������� � ��� 2 ��������� ��-��� �%� ���� ���� ' �� ������ ����� ���%��� ��<� H 1 ��� �����%��-�*� `����� ���� ���%��� #/rZ( � ������� mOF� ��2 ��,���*� ����*�����% ��� ���*� %�5����� 3������� � ��� ��5��� ���4���� mO � ���� ��* rZ<1 ��2 �,���� ���%��� �� ��������� � %�5��� � �8��� � ����*���� #"mO � "rZ(� �� ���--����� �� ����*��2 �� #�mO � �rZ( � ������� �������� ��� � #�������2 >���� �����>�� � ���� ��'�� %�5��� � �� ( :�2 ���>���� ���%��� rZ � ������ mOF� ����,����� ���2 �*�����% ��� ����� %�5���� ����,� *��� � �� ��2 � ��5���� /rZj"rZ";rZ�rZi#"mO";mO�mO(� ��� ";mO � ";rZ<1 ���4��� ���-�� �8��� �� ����*���� mO � ���� ��* rZ� �3%�����*� �� ���-������%%�% B�� ����������� ���%��' rZ �����>� � � ���� � ���'�*� � �%�� ��� � ���� ����,������ �� � � �%��-��� -�3�� �� ���� ���%��� :�%%����� ���2 ��� ����� ���%��� ��� ���������� %� ���% ���� 2 �����23�������� ���� ���'���� �����3�� ��� � �% �����>���� ���%��� � �%��-��� � ���� ����,����� -�3�� mOF ������� �� %� ���% ������������ ���' 2 �%����%� ��� #���%�� ���' %� ����� ��� �������2 %��� ����� ������ ��� ������ -�3 ������( B�� ���� %a ���� ���k ���! � � � ! E��� >����� �9 =�� <k <9��' 2�%����� ����� ���� ��� ����� �� � ���2 ��* K������� <%� ����i��%�3�����8�*�<�������K =�� <l <:��%� � �%���� � ����� ���'�� ����������*� �����% ������ mOF =�� <n <:��%� �� ���� �� �� �3%����� ���' 2�%����*� ����� ���� �� � ������ ,���� �%�������*� ��� ��� ��2 ���������%*� �� ���� �� ������ ����� �� � ��� ��* K�����>��i./0�i�%� ����4�� ����K ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ���� ������������� ��������� ��3%�4���� �����>�� ��� 3��* ��3���� �� ����� %� ���� ����*�����% ��� ����� %�5��� � ���4�2 �'� rZ2���� ��* �� ��������� � �8��� � ����*��2 �� mO2%�5��� ���%���� ���H ����,��* ������ mOF9rZ� �����>�4�� ��%%����� ������ ����� rZ ���%���� ����G<� H B�� ��� ������� ����� rZ ��� ������ ���� � ������ ����*5��� ��<%�� H � ��8��2 �����' �*������� ��� �����%��-�*� � ���� ����2 ,����� -�3 rZ � rZFH #rZ�F�( B�� ��3���� ��� _)2�8��,��� �� ��� �� �*� ���4����� #���� �������3��,���� s/(� ��������*� �� mOF � aB_� ��3����� ���� >���� �� ��k<9 ##��./0<( 9 ������������� �� ���� ��� ��� mOF ��2 ���>�� rZ � ��%%����� ������ ������ ����G<� H #� ��5���� ������ ����� rZ � �%��-��� � ���� ��2 ��,����� -�3�� ������ mOF ��� ��� � ��� ��� � �2 ���� ���� ����,��� � ������ !�<�8 H(� � ������ ��2 �� 8��� � ��%�3� ��� ��� �� ���%���� ���l<�%p� B��%������ ������*� %� ��� � ��,�� �� �����>�� ��3��� � �����,� ' �8��,��%�� ��������� ' �� ��2 ��� ����������������� � ��� ��* ��� �% >� �8d�2 %� �� ���� �� :����� � %� � '� , � � �<�%� �����2 ��� %� ���* � ���%� ��% �����-�� ./0� ���<�% ��%2 %���� ��������� ' �����-�� ��� ��� � ��<%� 9 �������� ��8� * 8*�� ����������* � ��� ��*� �����>�4�� ���� }N.~� mOFP.M #L\� s~ � �� (� rZ0� {F � �� = ��>����� ����% �8��3�%� ��3��8� ��* ��������� ����,�2 �� ������*� %� ��� #������'�*� ��8�,����� ���2 ����� �����-�� ./0�( � ���� �8d�%�*� %� ������� � ����� �� ��3��,�*� �����>��� "������%���� ����3��� ��3%�>��� ' �����'3�2 ���� %� ������� �� ������ ������'�*� �������� �����-�� ./0� � ��� ��� ����� *� � ��� �� K�����2 �� <%� ����i�������������#������ ���(K � ��,�� �� �� ����*� �����������%*� �� ���� � ��� ��� '� ��� ��� �%����� �� ���o��l<�%p� B��%������ ���� ��,���*� ����� ��� �� �� ��2 ���� ������*� %� ��� ��3��� � 8���� ,�% �� ��� 2 ��� �����,� ' �--�� ����� ���4��' �� ����� � ���2 ��* -� ������� $:B";�x"9aEE]^ $:�"bE$`$ � <:�%������,<J <$ � `��4���<: <J � g�� ���<a <) � �� $����������� ����� � � ������� ��* ���%����� ���%���*� ������%��3� �� �� ������ ���� ��,���*� �������� �����-�� ���%��3�%� i 9 �� P J� �����*� �8���������� � ��������� ��2 ������ ������ � %����-� ����� 1 _���2_��P<gEA :"<=aE� ���� 1<: <���1�Gk � <g�� ���<a <) � z��' ���<a <9 � �38��������<E <E � �� _�2 ������ �� -��%������� %���������*� � ��� �� � ������� ��4�� � � %�>�-���,����� ���* �����-�� ������*� %� ��� ii J� 2�* �<J�>��������'���� ��%����� �E��� ��������� � -�2 ���*� ���� ���*� 1<��5���2"�� 1<���� 1<: <G�1n� � <g����<E <9 : ��� ��� ����*� ���� ����� � %� ����,�2 ���� -�3 1<J P<$3�2�� aE :::=� �l!n ! <D/M�QYO<� <� � �ZN��<� <m � INZ<IYUVXYZ<� <m YX NO �\NZX\M �VRXRS/YO� R� �/NMRZ� #���(<1 N QXN~OY ZY�NX/TY2N��/Z/XS YM/XXY[ ii �VSQ �YT 1<�lnl 1<IRO <{<�� 1 � <G�!1G�n � <{YZ�NM/Z<q <C � |NZ�<I � +NT/Q<� <� YX NO 0~QY[TNX/RZ R� N ZY�NX/TY YOYUX[RZ N��/Z/XS �R[ VYXY[RY�/XN�/NO mOF RZ N2#GD(1./C#����( ii m��O �VSQ �YXX 1<�ll! 1<IRO <G!<#�!( 1<� <��kk1��l� G <.�/XQSZ<{ <I � rV/[ZRT<I <I � {ON\X2{ONUVYT<m <F YX NO �/YO� YM/XXY[Q ~NQY� RZ ./ X/�Q �/XV mOF URNX/Z� ii +/NMRZ� NZ� �YONXY� qNXY[/NOQ 1<�llk 1<F<n 1<� <Gl�1Gl! n <^������<J <$ � `��������<z <a � `������<� <a � �� E�2 ���������%*� �� ��* 1<J P<:�� ������ �ln! k <g�� ���<a <) � :�%������,<J <$ � �� �������<9 <� � �� E����������%*� �� ��* �� ������ �+<%� ������� � 3����4����� -� ����� 3���� #������*� %� ���*( ii J� 2�* J�>����� ���, 2 ���� ���- �)����%�� ��'�*� ���8��%* ��������� ������� ���8���� ����� � 1<J����� 1<���� 1<: <��1�� l <g�� ���<a <) B���,���� ������ mOF #�83��( ii J� 2�* n<J�>����� ��%��3 ������� ������ � ���� ������� 1<��52 ���2"�� 1<�llG 1<: <�Gn1��� �� <g�� ���<a <) � :�%����<a <B � :�%�����<$ <a � �� c%��2 �����*� ����� �� ����� *� � ��� �� ./i��%�3 � ./i��%�3imOF ii J� 2�* k<J�>����� ���, 2 ��� ���- �9*����� ��������� � ���%*5������ � =������ 1<J����� 1<���� 1<: <���1��� �� <sY[YMYXQ�NSN<� <} � IN[Z/Z<I <� � �ROSN�RT<I <� YX NO CVN[NU2 XY[/QNX/RZ R� �/NMRZ� �/OMQ �[R�Z RZ mOFiQ/O/URZ Q\~QX[NXYQ NZ� R� VYXY[RQX[\UX\[YQ �/XV Q\UV �/OMQ i �Z ~RR�P m��O/UNX/RZQ R� +/NMRZ� �/OMQ NZ� �YONXY� qNXY[/NOQ 1 �.m�<}N/XVY[Q~\[��<�ll� 1<� <!Gl1!n� E �� � > �� �� � 9 ��k ��! � � ��� !�� 9��% � %�� aB_P9 #���l �%p�( mOFPrZ #����G � H( "������ %� ���� ./ =�� <�� <E��� >����� ��3�����4�� �� ��� �� �*� ���4��2 ��� ����� �� � ��� ��* aB_P9imOFPrZ ��� _)2�8��,���� ��������� � ��� �������� �������� � � �������� �� ��� ���� ������ � �� ��������� �� � ������� �� ����� ������� �������� � �� ��� � � �� �� ��� ��� ������������ � ��� �� ���� ������ � ��������� �� � �� � ��� !�" #����� �$����� � ��� % ��� ��� ���$����� ������ �� �� ���" &����� ���' ��� ������� � � �������� #������ �� ���" ()*�+,-*. /0*�1*�2,
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53522
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:06:43Z
publishDate 2005
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Житковский, В.Д.
2014-01-21T20:14:19Z
2014-01-21T20:14:19Z
2005
3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 31-35. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53522
Представлены характеристики ненакаливаемых катодов и фотодиодов, сформированных на основе слоистых структур со слоем правильных кубических упаковок наносфер SiO₂, и алмазоподобных материалов.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Функциональная микро- и наноэлектроника
3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов
ЗD шаруваті структури як основа нерозжарюваних катодів та активних елементів фотодіодів
3D-layer structures as cold cathode support and photodiode active elements
Article
published earlier
spellingShingle 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов
Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Житковский, В.Д.
Функциональная микро- и наноэлектроника
title 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов
title_alt ЗD шаруваті структури як основа нерозжарюваних катодів та активних елементів фотодіодів
3D-layer structures as cold cathode support and photodiode active elements
title_full 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов
title_fullStr 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов
title_full_unstemmed 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов
title_short 3D слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов
title_sort 3d слоистые структуры в качестве основы ненакаливаемых катодов и активных элементов фотодиодов
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53522
work_keys_str_mv AT belâninaf 3dsloistyestrukturyvkačestveosnovynenakalivaemyhkatodoviaktivnyhélementovfotodiodov
AT samoilovičmi 3dsloistyestrukturyvkačestveosnovynenakalivaemyhkatodoviaktivnyhélementovfotodiodov
AT žitkovskiivd 3dsloistyestrukturyvkačestveosnovynenakalivaemyhkatodoviaktivnyhélementovfotodiodov
AT belâninaf zdšaruvatístrukturiâkosnovanerozžarûvanihkatodívtaaktivnihelementívfotodíodív
AT samoilovičmi zdšaruvatístrukturiâkosnovanerozžarûvanihkatodívtaaktivnihelementívfotodíodív
AT žitkovskiivd zdšaruvatístrukturiâkosnovanerozžarûvanihkatodívtaaktivnihelementívfotodíodív
AT belâninaf 3dlayerstructuresascoldcathodesupportandphotodiodeactiveelements
AT samoilovičmi 3dlayerstructuresascoldcathodesupportandphotodiodeactiveelements
AT žitkovskiivd 3dlayerstructuresascoldcathodesupportandphotodiodeactiveelements