Получение и свойства пористого карбида кремния

Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2005
Hauptverfasser: Светличная, Л.А., Московченко, Н.Н., Серба П.В.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53530
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-535302025-02-23T19:00:59Z Получение и свойства пористого карбида кремния Здобування та властивості пористого карбіду кремнію Reception and properties porous silicon carbide Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. Материалы электроники Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя. 2005 Article Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Материалы электроники
Материалы электроники
spellingShingle Материалы электроники
Материалы электроники
Светличная, Л.А.
Московченко, Н.Н.
Серба П.В.
Получение и свойства пористого карбида кремния
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
format Article
author Светличная, Л.А.
Московченко, Н.Н.
Серба П.В.
author_facet Светличная, Л.А.
Московченко, Н.Н.
Серба П.В.
author_sort Светличная, Л.А.
title Получение и свойства пористого карбида кремния
title_short Получение и свойства пористого карбида кремния
title_full Получение и свойства пористого карбида кремния
title_fullStr Получение и свойства пористого карбида кремния
title_full_unstemmed Получение и свойства пористого карбида кремния
title_sort получение и свойства пористого карбида кремния
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2005
topic_facet Материалы электроники
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530
citation_txt Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT svetličnaâla polučenieisvojstvaporistogokarbidakremniâ
AT moskovčenkonn polučenieisvojstvaporistogokarbidakremniâ
AT serbapv polučenieisvojstvaporistogokarbidakremniâ
AT svetličnaâla zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû
AT moskovčenkonn zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû
AT serbapv zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû
AT svetličnaâla receptionandpropertiesporoussiliconcarbide
AT moskovčenkonn receptionandpropertiesporoussiliconcarbide
AT serbapv receptionandpropertiesporoussiliconcarbide
first_indexed 2025-11-24T13:50:11Z
last_indexed 2025-11-24T13:50:11Z
_version_ 1849679897625100288
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� �� � ��� ������ � �������� � !�" ��� �! #������ ��������������� �� �� �� �� $%�& '�(��� ��������������� �)! *! +! ,�-���.��� �! /���0 ������ � ����������������� ��� � �� ������������������ ��� 1���� � ������������ ����� ����2����� �������� � +&34567 859:86;�<3456!9= >#,?@+A%+ % B*#CB�*D >#1%B�#E# /D1F%�D /1+GA%H ���������� ������ �!�"#$��%&�!��%� ���'��(��)%���(����%&������(*��+"%&� �%����*%��+����+"��%&���������"�'%, !��%���'�� �"�&� %� ���� � ������������ ����� I� ������()��& �I� ���������������I� � ��� �� )� ������� �� & (�� � ���� ���&��()���I)� �''�� �)� � ��������& ������ ����) �( ��� ������ �� ��I� �� � � -�& ����������� '� ���)��������� ! %( ����������& �����I� ����� I� )� ������� ���J���� ����-� �(�& 2���I) �� � � ���)���! �� ���� ����2��I (���& ��)�� � ����)� ��� ����� ��� ��� � ��������2�& ���� ��K�)�� L�� �M! %(�2���� ����� ��� ���J��� ���)�� ��2����N ��& ����N�� ��(K� L�M! >� ��������� � ���)���) O5P ��& ���K� ����(�� J��N-� � ��� ���I� ��'�� ��� ����& 2�� �� ��I� ���(I��� ��Q�� ������ ��� ��� �� ��(& )�� ���! ���� ��� �����N(������ �����K��� ����2��& �I� )���'���������I) )� ���) ,��� L M� ���)� � ��� ��� ��� � �� �)� � �� J���� ��'�� �I� �����K& ��� $��� �� K� ��K�)�� ������� 0 R ��� �) L�M! 1�J� I �� ������������ ����� ��� ���J��� ���)& �� ������� �������I � ������Q�� ���������� �7 ��(& ��J� �� )� ���� ����2��� ����� ��� ���J��� ���)& �� � ������������ '� ���)������� �I� ����� �� ��& ���������� � ��� ���I� ����� �! S��N� � � N� �� & � � �J(�� )� ���� ����2��� ����� ��� ���J��� ���)& �� � ������������ ��� )��'������ � ��� �� ������& ���� �����K�� �� ����)� �I ����� ��� ��� ! #�����I) )� ���) '��)������� ����� �� � ��� ��I � O5P �� � � )� �� ���� ����& )�2������ ����������� LT� UM! * ��J� � LTM �����N& (������N 2�� � ��))��2����� ���� ��I TVWO5P $�X���Y �)W�� '��)� PZ[[0� ��(����� ��������� �� ���\ �� � ��-���� � ��� -! >�� �������K�I� ����� ���� ��I �)��� ��(��� � ����N �J��J� ��7 ��J�2� ����N $����0O5 �����������N� ��� �������K�� ����N R -��'������N! D����������� ���Q�� �� ���N � ���� ���� � V]7V�^7P�V�^V _ �7�7� ��� ����Q���� ��������� � �J��(�� �� �2����) ��N ��'���� ����� ��� � ��� ��� (��2��� � ��� ��� � ��� R ��� T� � ��� )D`�)�! *��) ������� ���J������N �( ����& �� �����K���� ����������� (�� �� 2���( �����K& �� � ��� ��� �� ��� � � � )��� ��� �� � �����! ���& Q��� ����� ��� ���J��� ���)�� $>//0 � ��� )��& '����� ������� ���N �� ��������Q�) ���� �����) )��������� $O[a0 �� ����� �����K��! * ��(��N � � ����������� JI�� �� ��������� 2 � ������������ �� 2�� N ��� $≈ �� �)0 �)�� � ���& ��� �������� ����������I� ��� ��J��N-�)� ����& )� � ��������� � ������! A� ���J��� � � �� � )�) ���I '��)���� ��� �� ��(����� ��������� �� N �������! >� )��� ��(��� ��� ���J��I � ��� ��� ��� �I�������� � � � ����� � ����������� ���� � ��& ������� � � ����J�� �� ��� b���2��c $���� �0! >�� � �) ��Q�� ��� 2� �� ������� )�K�� �����K��� � ����� I) ����)� 2 � ��(��� � �����N�� �2�� ��& ������ N ��Q��� ����� ��� ��� ! %�����I� ��Q��I >// ��� ��� ��� � ��� ��� T� � ��� )D`�)� ��� ������) �������� ��� ��� �� �T� �Y � �T )�)� ��� �� � ������ ! �! ������ N ��� � ��� >// ��������� �����2������N � ��� �) ��� & ��� � ��� � ��� ��� �� ��U�� ��T � ���� )�)`)��! ��������� � ���� ���� � �� ������� � (�)� �I) �()����� ) ��������� ��� -������� �� �! B�����& ������ �2���� -������� �� N �� ������I� ����& �� AWO5P JI�� ��� �)� � �� ���������������� 2�& � � � �� K� �����K�� ��� ����� ���� �)! >���K�� ��(��N � I ��J�������N � �� TAWO5P&�����K�� LYM! A����� ����� ��� ���J��� ���)�� TVWO5P � �����& )� �� ����\P ������ � �()������ ��� � ��� ��I� ���& J���� �J��(� ������ d>//R�����K��d! >��I �� ��N& �� ����������N� �� � �()������N �� ��2����! A��J��N& -�� �()����� �J��(� ��K��� ������I ��� ����� >//� ����� ������I� ��� ��� ��� � ��� ��� )D`�)�! A��J& ����)� � )� � N� 2 � ������K���� �������� ������& )� ����� ��� ������N��� �������Q�� �������� ��& 1��! �! >����������� �I� �2�� �� ��� ����� ��� ���& J��� ���)�� 7 � R ��� ����� �I� ��� � ������)�� ����������I)� ��� )��I)� ����)� � ��������� � ������e ) R � ����� ��� �(�J��K���� ��� ����� ��� ���J��� ���)�� �0 J0 ��� µ3 ��� µ3 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � ��������� ������ ��� ��� ��� O5P ��������� ����� ����� ��� �) �� ��) ���& ������N���� ��� ! $%����N(������ ����� ��� O5P �� �I��Q����� ��� ������N���� ��� �� � � ����) �( ���)������ ����� ��� O5P! +�� ���N R �)��N-���� �����K��� ��'�� �� � ��� ������N��) ���� O5P!0 B�������� ��Q�� ����� I� ����� �� � ����� �I& ���� �)���� ������ �������� ��� � ��(��� � ����& ����K� N� 2 � � �2���� ��J��)��������� ������� JI�� ������� ����� )�) ����� ��� ��� ! B������& ��N��� ��� ������N�I� ��� ���Q�� �� �� �� � 2�� N >//� ��� ���I �I� ����I � ����������� ���) ����������� � ��������� � �J��(��! #����� �����& ������ � ���������I� �� ���)� LYM� ����� � �)� 2 � ������ ����� ��� O5P �� �)���� �� ��I-� ����\B ������� � � ��������� ��� ������N���� ��� � ��& ������� �! *�()�K��� � � JI�� �� (��� � �)� 2 � ������ ��������� �� � �����)�! * ��J� � L"M ����(���� 2 � � ��� ��� ��� ������N& �I� ����� ���J��� ���)�� (����� � � ��� ��I �����K��! * ���2�� �������-����� �����K�� O5P '��)�������� ����� ��� ��� �� ������� � (��2�& ��N��)� ���2-���� � ��� ��I ��� ������N���� ��� �� ��������� � ��� ������N�I)� ��� )�� �'��)�& ������I)� �� ������� �) O5P! #����� �����N(���& ��� ����� I� J�'���I� ������ �'��)�������I� �� ��2�� ����I� �����K��� O5P� ��(��� � ����2� N ��� ������N�I� ���� O5P �� ���K����� ��� ��� N� ���������� � ��'�� �� L��� ��M! * ��J� � L��M �(�2����N ��� ��� ��� ��� ���� ��& �� �� ���)��� ������� � ��� ��� � ��� . �� )��& '������ ����� ��� ��� ! FI�� �� ��������� 2 � ��� �����2���� ���)��� ������� � � �� �� )�� ������& ���� ��� �����2���� � � ��2���� � �� ��� ��� $���� �0! 1�� ��� ��� � ��� ��� ��� � ���) ���)�& �� ������� ������� � ���������� ���� � ��K� � �����2���� �� ������ ����� $���� �0! %()������ ��� ��� ���� ���� � � V]7V�^7P�V�^V_�7�7� �� V]7P�V�^V_�7� ���� �2���� �� ����� �� �� )��'�& ����� ����� ��� ��� ! >�� ����2���� ��� >// �� �����K�� ���J��� ���)�� ��������� ������� (���� �(��J� �����K& �� $������� ����� I� �J��(�� � ����� � �I����I)0! #����� ������I �����(�I �J��(��� � ��(��� ����) ��� ��� � ��� ��� ������) �������� ���� �2���� �� �()�� � � L�M! f��2��� �������� �����(�I / � ����2� ���I� �( ��� J�������N�I� ���� K���� g 0 � (��2��� )��& ����'��)���� : 1 ����N ���)��� � ��������� � �J& ��(��� � ��K� ����-����I ����I� � ��K��� � ��& ��2���I� �� �������� ��N��) $�/�0 � ������� ��N& ��) ��'��� �)� �� $�/�0� ����� �����I � ����� �! B ��� ����� �����-��� �� ����� ��� �����������N �� ��������� ������� -����I ��'���������� ���& ��� �� �������� )����)�)� $]hVa0! >�� �()���& �� � �� �/� �����N(������N θ� � $θ�W �θ0&)��I ���& �������� ! i����� ��''�(������� ���� ω 23 ��� (��& 2���� �''�� ������ ���)� �� ��� 2! 1�����I ���& ��(�I ����2� ��I �( �������)�� ��N�� �()�����I� �������� � �2� �) �(��J� �������� �����K�� �� ���& ����� ��� � ������ ��� ��(���� ��2�� �� �J��J� �� ��J�2�� ���)������ $������������0 � I�N��� ����& ������ $-��'�������0 ��������� �� �����K��! 1���2� ���I� �� '��)��� B ���� L��M J�������N& �I� ���������N�I� ���� K��� � ����� �) ���J��� ���)�� �� � � �K�)��Q�)�� � ����2� ���� �� ��) ��'��)��� ����N ���)��� � ��������� � �J& ��(�� ε 1 _δ2`2 �)�� ����K� ��N�I� (���! >�� ��� � �� �������� �����K�� ��� ������N��& �� ��� O5P ��K� �()�� � � (��� �(��J� �J��(��� � ��J���� � ��4#"5��� �����'���+�(%6� %4�����%7� �"��+� !��%���� '�� (��)%��� (����%&� ��� %� !��"�� + ��(����!����#���� '�� ������ 8!%��(�%�"5� 6� �"��+ ��� ��� ω/ωds ωθ ωθ–2θ ����� R�� σa, ��� εz, 10–3 arcsec ����������������� –3,40 — — 22/– 20 6,8 ��������������������� !�SiC +4,07 –1,34 +2,70 22/– 18 5,5 ����"#$� %&� 2) +2,03 –0,21 +0,41 35/2144 34 7,9 ���������������� !����!�SiC +2,28 –0,20 +0,40 28/1010 25 7,6 ����"'$� %&� 2) +1,82 –0,33 +0,66 37/2059 34 7,5 ���������������� !����!�SiC +2,14 –0,30 +0,60 30/811 24 6,5 ����"($$� %&� 2) +1,90 –0,36 +0,72 38/1856 37 7,4 ���������������� !����!�SiC +2,28 –0,42 +0,84 46/683 40 5,9 1��! �! O[a&�(�J��K��� ����� ��� ��� ��� ��(��2& ��) ���)��� ������� $� � �� )��0 �� 35j � 35j 1��! �! O[a&�(�J��K��� )��'������ ����� ��� ��� ��� ��� ��� � ��� ��� ��� � � T� )D`�)� �� 3D`k3� �� 3D`k3� � 3D`k3� T� 3D`k3� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� J�������N�I� �K�)��Q�� ���� K��� � ���) ���� ��� ���� (��2��� σ 0 _W��� E>�! l��)�������� ��� ������N�I� ����� O5P ��Q�& ��� ���R� )�) �� ����� �) ���J��� ���)�� �� �(& )�� � (���� �(��J� �J��(��� �� ��������� ���� ���� �����2���� ��� �J���� ��� ����2��I � ��������� � ����� I) ���J���) ���)�� �� �����K�� �� ��� � ��� ! 1��2� ����(I��� ���� ���� ���K���� J�����& ��N�I� ���� K���� � ��� ������N�I� ��� � �� ����& � �) O5P � ��������� � ����� I) ���J���) ���)�� �� �����K�� �� ��� ��� �� ���� �� � T� )D`�) �! * � K� ���) �� ��� ��� � ��� ��� )D`�) � ���� K�& �� � ��� ������N��) ���� ��(����� � ��������� � ����� I) ���J���) ���)�� ! ����� ��������� )�����(��J� �J��(��� ��� '��& )�������� �� ����� �) ���J��� ���)�� ����� ���& ������N�I� ����� O5P )�K� JI N �� (��� � ����& '��)����� � ��� ��I �������&�I��Q������ �����& ��� ���J��� ���)�� ! B � �)� ���� ��� � �� (��� ��K� ���� ���� ��(��� ���� J�������N�I� ���� K���� � ��� ������N��) ����� �I��Q����) �� ����� �) ���& J��� ���)�� $��� )D`�) �0 � )����)��N��� ����� �& � N�! /�� ���)������N �I-�� �� � �) �J��(��� �� ���& �I) O[a� ����(�-�� )����)��N�I� �()����� � ���& ��I ����� ��� ��� ����� � K��� � �����)�! A��J��& ��)� ��K� � )� � N � (��2� ��N�� )��N-�� ��Q��� ��� ������N���� ��� � � �) ���2�� $��� )�)0! * ����) J�������N�I� �K�)��Q�� ���� K��� � ��� ������N�I� ��� � �� ����� �) ���J��� ���)�� � �T ��(� ��K�� 2�) � ����� �I��Q����) �� �����& ��� �����K�� ���J��� ���)�� ! 1�� ��������� �()����� ��� (��2��� ����� �� �� J��(��� � (��2��� )� ����2���I) �����)� ��2����) �����J�)� � ����2��I �''�� ������ ���)� �� ��� 2� ����2���I� � �� K� ��������K��� �� 2 � � � ��J� � L� M7 '��)� ��� ��������2���� � �I���I ��� �� ��& ������� N �������K��I � ���� ������ �2��� ��-� & ��! f�� � � ����2��I� )�K�� �������� N �Jm�) � ��& ������� N ����� ���I� � ��K� ����2�� �� ��� 9� ���& ��� Q��� �� � �)� ��������� � $����� �0! >�� ���2�& � JI�� �2 ���� 2 � �Jm�) ���������� O5P �� �� � ��� � ��I) �� ���� ��������)I� �J��(���� ! �! ��� ������) �������� (�� �� ������ Q�� 2���( �����K& ��� ������K����� ��� � ��I)! n � ��� ���K��� � �) '�� �)� 2 � :;≈kojgp! #2������� 2 � :;_9<! %( �J���I ������ 2 � �Jm�) ���I �����2���� � � ��� �) ��� ��� � ��� ��� ������) ��������� ���& ���� ��N��� � ����2�� �� ��� � �����) �����(��� ��� ��� �� ��� �� �� � ��� � ��I) � ���J��(� ��N& �� ����I) 9≈�X�� �� �)W�! # ���� ������ � 2 � ��� ����� �� � � ��� �) ��� ��� � �������� ��� ���& ������ �� (� �2� ��(��� ��� ����2�� �� ��� � ����� � (� �2� �����2��� �''�� ������ ���)� �� ���! >�& ������� N K� ���I �)��N-�� � � ��� �) ��� ��� � ��� (� �2� �)��N-��� ��Q��I ����� ��� ��� � �������)���I) �����2����) ���)� �� ���! 1�� ��& ��� �� � � �����2����) ��� ��� � �������� ��� ��& J������ ��K� � ��J� � L��M $���� �0! A� � �) K� ������� ����(���� 2 � � �����2����) ��� ��� � ��� �''�� ���� ������ ���� ���� ���� �)��N-�� � ! >� ��� ��������) ����I) �� ��������� 2 � � ���& ����� �2��� � �()������ ����� �� N �� �()�� � � ��� � K��� ����� ��� �J��(�� ����� ��� �) �� ��) ��� ������N���� ��� ���J��� ���)�� ! * � K� ���& ) $ �J�! �0 ����2�� �� ��� ���K�� � � ��������� N � �Jm�) ����� ���I �I��� �� ! n � '�� )�K�� �Jm ��� N ����� ������ � ��� ��I ����� ��� ���J�& �� ���)�� ��� �I���� �)���� ����) � K��� �J��(& ���� � ��(��N � � �� ���� ����(�-�� ��� ��� � ���N& �I� ��� � �����2����) �� ���)� ��� 2 � ����� �� ���! ! G�K�� ��������K� N� 2 � � ��� ���� ����& � ����� �I(���� ��J��)����� ��Q�� �� ��� �� ���� � ��K� ��Q�� ���Q�)� � ����� �) ���J��� ���)& �� )�����2����)� ���� K��� )�! *�� ��� ����� ���������� �� �� �2����� ��& ��� ���� ��� ����� ��� O5P JI�� �(�2��� � ��J� � L��M! A� ���N�� ����������I� �(� �) �����K& ��� ����� I� ���� JI�� (����I� � ���(��2�I�� �� ���J�����������I� R ����2���I� � �����(��2�I�! >��2��� � ��� ����� � �)� 2 � ���I� �)� ���'& '����� � ��K��� � � ��2�I� � ���''����� � � ��& K��� ��������� )� ������� ��������� ��� ! * ��J� � L�TM �� TVWO5P =& ��� �������)�� �� �(�� ��������� )� ���) ,���� JI�� �(�2��� ��� & ��� � ����� ���������� �����K�� � �� ������ X���UR ��X���Y k)W� �� ����� ���� ��� ����� ��� ��� R ���)� � ���� ����� �� N� ������ ����� ���! FI�� �� ��������� 2 � � ���N������������I� ���& ��K��� �� ��������� �� ���J�����������I)� '��& 1��! ! f�����)�� N �''�� ����� ������ ����� ���� �& ��� � ��� ��� � ��� � ��� ��� � ��� ������� � �� �� �� � �� T� >�� ��� N ���� )D`�)� > �� � �� N � �� � �� U �) W� �T � �� �� Y T � ���U ���T ���� ��� ���� / �� �� � �� �� �� �� � �� �� � ) W� ��J���� � >���(���%��%(%� �"��+�!��%���'��(��)%���(����%&��� %� !��"�� + ��(����!����#���'�� ������ 8!%��(�%�"5� � 6� �"��+� ?@A j)#$� %&� 2 j)($$� %&� 2 ���� �� �������*� ���� ���+ ��*� �������*� ���� ���+ ��*� h, � 26 22 16 12 P, % 11,3 — 20 — Ph, % � 294 — 330 — d, � 22 10–3 52 10–3 28 10–3 77 10–3 V�� � 3 0,986 10–2 4,67 10–2 0,986 10–2 5,6 10–2 N, � –2 3 1010 0,53 1010 3,25 1010 0,43 1010 S, � 2 1,8 3,59 1,41 2,9 h — ���,�����������*�� �������� �� ���-� � —� *��.� ���/ + ����� ����������- d — ��� ��� ��� - V — ��0 � ��� -�N — ����/ ��.�����- S — ��. ����������� 1 X X X X X X X X X X X X X ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �T ��������� ������ ��� )���� � ����� I� ���� � ����)� )��N-��� ���)� & �� � �Jm�)�� �� � J��N-�� $� ������N�� ��(0 ������& ������ ���! * ��J� � JI�� �����N(����I �� ����������I� �����K�� =& ���� ����������I� �(� �) � -�����) �����(��� ������ �����! /����� ���� �����)�����& �������� ���)��� qrWq4 ������� ���N �� )����)�& )� �����Q��� ��� � � �J��� � λ_T�� �)! B�2���� �����Q��� '� ��� �� ���(����� ����� ����I )�K& �� ����� N ��� σ_$���� s���0X��W�Y �)�! /����� ��& �� ���)���� ����������� ���) �J��(�)� ������& ���N � �� ������ X���UR ��X���Y �)W�! >���� �������� �)�2������ ��� �� � �� P&����N �����K�� �� O5&����� '��)������� ����� I� ���& J�� ���)�� �� �) ���� ����)�2������ ������� � ��� ���� V]7V�^7P�V�^V_�7�7�! ��������� �������& ���N � ������ ��� ��N ��'���� ��I) ��� �) � �2�& ��� �� )�� ��� ��� ��� � ��� �� )D`�)�! ���Q��� ����� ��� ��� �� J��N-�� 2�� � �J��(��� ������� & ���N � ��)�QN� ��������Q��� ���� ������� )����& ������ ����� �� N R �����)� ��2����) )� ���)! ��& �)� � ��� ������� �� ��� ��������) )� ���) L M! $* � ��2�� � )� ��� �����(� �(� ��) �����J��� ��(�� ��� ��(��� �)���� ����� �����N(�������� � L�M� ��� & ��������� )� �� �� ��(��� � ��� � ������������� ��� �� ���)� ��) �� ��K��� �����K��� � ��� ��������& �I� ��(��N � � (� � ��� )�K�� �2� � N ��������&)� �& ��)� �� (��� (� �Q�) �J��(�I!0 1�� ��������� �(& )����� ����������N �� �������� ��N��) ��'���& �)� �� $�/�0 � P=tα�&�(��2����! B ��� ����� ��& ���-��� �� ����� ����� ��� ���J��� ���)�� ��� & �����������N �� ��������� ������� -����I ��'���& ������� ������ �� �������� )����)�)� $]hVa0 �� ��))� ��2���� J����������� � ��K��� $���T0! �/�&����I� ��2��� �� ���� �J��(��� ����� �& �� ���J��� ���)�� �� �����K�� O5P ��������I �� '��)� � ��� � �( �(���� ���� �� -�����) ��''�(& ��) '���! B������� L� M� �)���� � � -����� ��(��& �� ������� 2�� N �/�&������ ��2��� �� (��� � ��''�(�I) ����� ���) �� ����� �� � ��� ���� � -�& ���� ��''�(���� ���� ω 23 ��� ��()�K��� N �I2��& �� N (��2���� �''�� ������ ���)� �� ���! %(��� ��� 2 � ���I � ���J��� ���)�� ��� � ���2���� ��J� �)�� ��� ����2�� � ������� L�� M! ��) �� )���� �� �����(� ��(��N � �� ��� ��������� �()������ ��& ��(�� ���� � ��� �� �''�� ������ ���)� �� ��� 2:8� �2� � N �� ��������2����)�� � ��K� �2� � N� 2 � �I& ���I ��� �� ��������� N �������K��I � ���� ������ & ��� �� ��! >����)����� N ����� ������� ��� ���K��& � � ����I)� L M� ��� �I2������I� �( (��2���� ω 23 ��& ��2��I 2:8 ������ ���� ��N�� �������� � � ����I)� ��������Q�� ���� ������ )����������! f�����)�� N 2:8 � ��Q��I ��� ����� ��� ���J��� ���)�� � ����& ������ �����K�� ��������I �� ���� �! f�� ��Q��� ����� ��� ��� ;� ����� �� N � 2:8� �����K�� �I2���� N �Jm�) ����� ���I � ����2�� �� ���� ������ Q��� �� � �)� ��������� � ����� ��� ���J��� ���)�� ! >�����N�� '��)�������� ����� �& �� ���J��� ���)�� �� ���� �J��(��� ��������� � ���������) ��K�)�� � )����� � (��2� � � �Jm�) ���& ������� ��������) )� ������ � �����2� � �� � �)� JI� �������� �� ���� �J��(��� $≈� )�`�)�0! ����) �J��(�)� ����2���I� ��(��N � I ���K�I (����� N ��N�� � ���������� �����K�� � �� ��'�� ��� �! /�� ����� �( ���! �� � ��� �) ���������� ���& ��K�� �� ��� ��� 2:8 �)��N-�� � ���)���� �����! >�� � �) ����2��� ; �)�� )���)�)� � ����� �� N� �� ��� � �����) ���2�� ������������N�� ;W�� �)�� ��� �� � ����� )����)�)� �()�� �N � �� ������ ���� R �Yu! B ��� �) ���������� �����K�� �Jm�) ����� ���I ���K�� � $���� �0 ���)���� � T ��(� � ������ ���� ��� ��� �� � ����� �� � ��N�� K� ��( ��� � ! ����) �J��(�)� �����2���� ���������� �����K�� ������� � �J��(������ ��Q�� ����� J��N-��� ����& 2�� �� ��� � )��N-�) ���)� ��) ��� ������ ��N�� ��J��N-�) �()������ ����� �� �! %)��Q��� ��(J��� ����I�� ����)�� ������ �Jm ��� N ������������ N� ���������� � ����2�) � ��� ���I� ��'�� ��! f�����)�� N 2:8 � ��� ��� � ��� ������ ���N �� ������N��� �J��(���! >�� � �) ����� I� ���J�� ���)& �� '��)������� �� ��(�I� �2�� ��� ������ � ��� K� �J��(��! B ��� �) ��� ��� � ��� ���)� � ��� ���J� ��� � � ������ N ��� � ����� ��� ��� ��K� �����& 2���� � � ��� � � L M �� TVWO5P! D������2�I� ��& (��N � I JI�� ����2��I � ��J� � L�UM! f���N �������& �����N �J��(�I ���� ����! �� ������� ��� ��� & ��� N ��� ������� JI�� ��� T� � ��� )D`�)� � ���& ) ������� ��� � � � )��� ��� �� � �����! �� �J& ��(��� � ����� ��� ��� ��� N ��� JI�� )��N-� R �� �� � �� )D`�)�� � ���) ������� T�� �� � �� )��! A� ���� � ����(��I (�����)�� � ��()��� ��� $00� ����& � �� � $)0 � ��Q��I ����� ��� ��� $+0 � ��� ��& � � �������� ��� �� � �� �J��(���! T� � �� 2 :8 � j 3 e ; � µ 3 � �� �� �� � �� qrBq4� ���U k3W� 1��! �! f�����)�� N �''�� ������ ���)� & �� ��� 2:8 $C0 � ��Q��I ����� ��� ��� ; $D0 � ���������� �����K�� $��� ��� N ��� �� )D`�)�� ���) ������� �� )��0 � �� �� �� � �� qrWq4� ���U �3W� T � � � � 9 � � �� � � 3 W� e < � � �W � µ3 � � � � � � � � � � � 1��! T! f�����)�� N ��������� ��� ������& ����� ��� 9 $C0 � �Jm�)� �����2��� ���I < $D0 � ���������� �����K�� ��� �� K� ��K�)�� ������� � � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �U ��������� ������ ��� %� ������ ������ N ����2���I� ��(��N � I � �)� 2 � �(��� �� �� ����� ��� O5 L�� �M! * ���)��� ���& )� � ��� � ������ N ��� � ����� ��� ��� ��K� �����& 2���� � � ��� �) ��� ��� � ���� �� ����� �� N �)�� �� )����)�)� � )���)�) ��� 92≈���T!!!���U �)W�! /��& )� ���� ��� ��������I� ��K�)�� ������� ���)� � ��� � ����� �) ���)��� � ������N�� ��( )��N-�� 2�) � ����� �) ���J��� ���)�� � � ����� �� N (��& 2� ��N�� �I-�� 2 �� ��()�K��� �� (��� � ��(��2��) ������� �� (�� � ���� ����2����� ��-� �� ���)�� � ���J��� ���)�� ! # ���� ������ �I���I7 ��&���& �I�� ���N( �� �)� �2���� �������� N ����� �� ��& ���� ����� ��� �������������� �� ������ �� ��&� �& �I�� �� ����2��� �������(����)I� ��(��N � �� ����� I� ���J�� ���)�� ��J�� ���N���-��� ���N& �(���� �(�2��� ! vvv >��������I� ����������� ����(���� 2 � �����& I� ���� O5P �� �����K�� )�K�� �����N(��� N ��� J�'���I� ���� �� ����2��� J���� �����-���I�� 2�) �����K��� ��� ������N�I� ����� O5P! ���N���& -�� ����������� )��� ��� ����� N ������� ����� N ���)����� ����� ��� ���J��� ���)�� ��� ��(��& J� �� �� ���� � �I���� �)���� ����� ���� ������� � �� ��I� �''�� ���� �����N(�� � ��(�� � ������& ��� N� R �����)��� ��� ��(��J� �� ��� �� �� � )�Q& �I� �����I� ���J����� � ��(�2��� �� ��N�I� �� & 2����� � ��������2����� ������� � �� ��������� ����� �������)I� ���)���� � �����K��! %B>#,wf#*DAAx+ %B�#@A%/% �! y95p4 z!� O=jo{494 |! ]o934p5oj 4jr }9o}:9p5:g o8 }o9o=g g565koj 8563g `` ~o=9j! [6:kp9ok{:3! Ook!R �"UU!R zo6! �� � q �!R �! �Y�R�"�! �! V:95jo Z!� �o3k{56 P!� �4964 P! :p 46! �o9og5p; 4jr }o9: g5�: r5gp95�=p5ojg o8 }o9o=g g565koj 64;:9g ̀ ` ��5r!R �"YU!R zo6! �� � q Y!R �! �"" R����! �! O{o9 ~! O!� �953�:9� ~!� h:5gg �! :p 46! P{494kp:95�4p5oj o8 j4jok9;gp4665p:g 5j }o9o=g E&p;}: TV&O5P`` y}}6! �{;g! �:pp!R �"" !R zo6! UT� q U!R �! � �R � "! ! B������ A! B!� 1� ����� *! *!� i�)�� *! F! *�� ��� �I��& �� �)���� ������ ��� ������N���� �������� ��� � ����� O5P �� � ��� ��� ����� ��� ���J��� ���)�� ̀ ` l�(��� � ������ ����& �����������!R ����!R �! ��� �I�! �!R P! ��"R�T�! �! O4��5j4 q! O!� Oo9o�5j �! a!� V=pk{5goj ~! �! :p 46! �[a 4jr [�� gp=r5:g o8 TV&O5P }o9o=g 64;:9 4g 4 g=�gp94p: 8o9 g=�g:�=:jp {o3o:}5p4�546 �9o�p{ `` a4p:9! Ok5! ]o9=3!R ����!R zo6! �Y"R �"�!R �! �U�R�U ! T! a4pg=3opo �!� �4�4{4g{5 ~!� �434�5 �! :p 46! �6=:&�9::j 6=35j:gk:jk: 89o3 }o9o=g O5P ̀ ` y}}6! �{;g! �:pp!R �"" !R zo6! T !R �! ��TR��Y! U! O{o9 ~! O!� �953�:9� ~!� h:5gg �!&�!� t=9p� y! �! �59:kp o�g:9�4p5oj o8 }o9o=g O5P 8o93:r �; 4jor5�4p5oj 5j V] `` y}}6! �{;g! �:pp!R �""�!R zo6! T�!R �! �Y�TR�Y�Y! Y! a;j�4:�4 a! �o9o=g �5r: �4jr&�4} g:35kojr=kpo9g7 }9og}:kp5�: 4}}65k4p5ojg ` y�gp9! o8 p{: p{ �jp:9j! O:35j49 oj O5P 4jr Z:64p:r a4p!R qo��o9or p{: �9:4p!R ����!R �! ��! "! O{=6}5j4 �! �!� Z4pj5�o� z! z!� O4��5j4 q! O!� O{=34j z! �! Z:46 gp9=kp=9: o8 {o3o:}5p4�546 O5P&TV 4jr V 64;:9g �9o�j o�:9 }o9o=g g=�gp94p:g ` y�gp9! o8 p{: �p{ �jp:9j! O:35j49 oj O5P 4jr Z:64p:r a4p!R qo��o9or p{: �9:4p!R��� !R �! ��! ��! a;j�4:�4 a!� O4rro� O! [!� a:6j;k{=� �! :p 46! P{:35k46 �4}o9 r:}og5p5oj o8 V O5P :}5p4�546 64;:9g oj }o9o=g O5P g=�gp94p:g ``y}}6! �{;g! �:pp!R ����!R zo6! UY!R �! ��UR��"! ��! O4rro� O! [!!� P{o;�: h! ~!� a:6j;k{=� �! :p 46! O5P r:8:kp r:jg5p; 9:r=kp5oj �; :}5p4�; o8 }o9o=g g=984k:g ̀ ` a4p:9! Ok5! ]o9=3!R ����!R zo6! ���!R �! ���R��T! ��! O=r499k{4j �! O!� t{6:�j5�o� �! �! O565koj k49�5r: 9:g:49k{ 4kp5�5p; 5j go=p{ k49o65j4 ` y�gp9! o8 p{: p{ �jp:9j! O:35j49 oj O5P 4jr Z:64p:r a4p!R qo��o9or p{: �9:4p!R ����!R �! Y�! ��! Opoj:; �! �{: p:jg5oj o8 3:p4665k 8563g r:}og5p:r �; :6:kp9o6;g5g `` �9ok! Z! Ook! �ojroj� O:9! y!R �"�"!R zo6! Y�!R �! �U�R�U�! � ! �:66:p �!� �o65jo �!� �5�:oj a! :p 46! Op=r5:g o8 ko{:9:jp 4jr r588=g: �&94; gk4pp:95j� �; }o9o=g g565koj `` ~! y}}6! �{;g!R �""�!R zo6! U�!R �! � �R� "! ��! O4��5j4 q! O!� O{=34j z! �!� Z4pj5�o� �! �! :p 46! ]:4p=9:g o8 g=�6534p5oj �9o�p{ oj }o9o=g O5P g=�gp94p:g ` y�gp9! o8 p{: p{ �jp:9j! O:35j49 oj O5P 4jr Z:64p:r a4p!R qo��o9or p{: �9:4p!R ����!R �! �U! �T! B������ A! B!� i�)�� *! F!� 1� ����� *! *! *�� ��� ����& ������ �����K�� �� ����)� �I ����� I� ����� O5P ̀ ` >��N)� � ��l!R ����!R �! �Y� �I�! ��!R P! ��R� ! �U! O4��5j4 q! O!� Oo9o�5j �! a!� V=pk{5goj ~! �! :p 46! Zo6: o8 p{: r:8:kpg =jr:9 }o9o=g g565koj k49�5r: 8o934p5oj ̀ ` y}}65:r O=984k: Ok5:jk:!R ����!R zo6! �Y !R �! ���R��T! 1��! U! f�����)�� � ��()��� ��� $00� ����� �& � � $)0 � ��Q��I ����� ��� ��� $+0 O5P � ��� & ��� � �������� ��� �� ���� ���� �J��(��� 1 �( ) �� � �� I � �) ��� Y� � ��� �� � � � � �� � T� Y� ��� ��� � �0 >�� ��� N ���� )D`�)� > �� � �� N � �� � u J0 >�� ��� N ���� )D`�)� � �� � T� Y� ��� �� �Y � �� T � � � ��� �� ��� � �0 � �� � T� Y� ��� >�� ��� N ���� )D`�)� � �� �� ���� �Q �� � �� �� � �� � �� � � ) �) ��� � � � � ��� ��