Получение и свойства пористого карбида кремния
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862538688241598464 |
|---|---|
| author | Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. |
| author_facet | Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. |
| citation_txt | Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
|
| first_indexed | 2025-11-24T13:50:11Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53530 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T13:50:11Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. 2014-01-21T20:43:53Z 2014-01-21T20:43:53Z 2005 Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530 Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы электроники Получение и свойства пористого карбида кремния Здобування та властивості пористого карбіду кремнію Reception and properties porous silicon carbide Article published earlier |
| spellingShingle | Получение и свойства пористого карбида кремния Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. Материалы электроники |
| title | Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_alt | Здобування та властивості пористого карбіду кремнію Reception and properties porous silicon carbide |
| title_full | Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_fullStr | Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_full_unstemmed | Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_short | Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_sort | получение и свойства пористого карбида кремния |
| topic | Материалы электроники |
| topic_facet | Материалы электроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530 |
| work_keys_str_mv | AT svetličnaâla polučenieisvoistvaporistogokarbidakremniâ AT moskovčenkonn polučenieisvoistvaporistogokarbidakremniâ AT serbapv polučenieisvoistvaporistogokarbidakremniâ AT svetličnaâla zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû AT moskovčenkonn zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû AT serbapv zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû AT svetličnaâla receptionandpropertiesporoussiliconcarbide AT moskovčenkonn receptionandpropertiesporoussiliconcarbide AT serbapv receptionandpropertiesporoussiliconcarbide |