Получение и свойства пористого карбида кремния

Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2005
Автори: Светличная, Л.А., Московченко, Н.Н., Серба П.В.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859481872891904000
author Светличная, Л.А.
Московченко, Н.Н.
Серба П.В.
author_facet Светличная, Л.А.
Московченко, Н.Н.
Серба П.В.
citation_txt Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
first_indexed 2025-11-24T13:50:11Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� �� � ��� ������ � �������� � !�" ��� �! #������ ��������������� �� �� �� �� $%�& '�(��� ��������������� �)! *! +! ,�-���.��� �! /���0 ������ � ����������������� ��� � �� ������������������ ��� 1���� � ������������ ����� ����2����� �������� � +&34567 859:86;�<3456!9= >#,?@+A%+ % B*#CB�*D >#1%B�#E# /D1F%�D /1+GA%H ���������� ������ �!�"#$��%&�!��%� ���'��(��)%���(����%&������(*��+"%&� �%����*%��+����+"��%&���������"�'%, !��%���'�� �"�&� %� ���� � ������������ ����� I� ������()��& �I� ���������������I� � ��� �� )� ������� �� & (�� � ���� ���&��()���I)� �''�� �)� � ��������& ������ ����) �( ��� ������ �� ��I� �� � � -�& ����������� '� ���)��������� ! %( ����������& �����I� ����� I� )� ������� ���J���� ����-� �(�& 2���I) �� � � ���)���! �� ���� ����2��I (���& ��)�� � ����)� ��� ����� ��� ��� � ��������2�& ���� ��K�)�� L�� �M! %(�2���� ����� ��� ���J��� ���)�� ��2����N ��& ����N�� ��(K� L�M! >� ��������� � ���)���) O5P ��& ���K� ����(�� J��N-� � ��� ���I� ��'�� ��� ����& 2�� �� ��I� ���(I��� ��Q�� ������ ��� ��� �� ��(& )�� ���! ���� ��� �����N(������ �����K��� ����2��& �I� )���'���������I) )� ���) ,��� L M� ���)� � ��� ��� ��� � �� �)� � �� J���� ��'�� �I� �����K& ��� $��� �� K� ��K�)�� ������� 0 R ��� �) L�M! 1�J� I �� ������������ ����� ��� ���J��� ���)& �� ������� �������I � ������Q�� ���������� �7 ��(& ��J� �� )� ���� ����2��� ����� ��� ���J��� ���)& �� � ������������ '� ���)������� �I� ����� �� ��& ���������� � ��� ���I� ����� �! S��N� � � N� �� & � � �J(�� )� ���� ����2��� ����� ��� ���J��� ���)& �� � ������������ ��� )��'������ � ��� �� ������& ���� �����K�� �� ����)� �I ����� ��� ��� ! #�����I) )� ���) '��)������� ����� �� � ��� ��I � O5P �� � � )� �� ���� ����& )�2������ ����������� LT� UM! * ��J� � LTM �����N& (������N 2�� � ��))��2����� ���� ��I TVWO5P $�X���Y �)W�� '��)� PZ[[0� ��(����� ��������� �� ���\ �� � ��-���� � ��� -! >�� �������K�I� ����� ���� ��I �)��� ��(��� � ����N �J��J� ��7 ��J�2� ����N $����0O5 �����������N� ��� �������K�� ����N R -��'������N! D����������� ���Q�� �� ���N � ���� ���� � V]7V�^7P�V�^V _ �7�7� ��� ����Q���� ��������� � �J��(�� �� �2����) ��N ��'���� ����� ��� � ��� ��� (��2��� � ��� ��� � ��� R ��� T� � ��� )D`�)�! *��) ������� ���J������N �( ����& �� �����K���� ����������� (�� �� 2���( �����K& �� � ��� ��� �� ��� � � � )��� ��� �� � �����! ���& Q��� ����� ��� ���J��� ���)�� $>//0 � ��� )��& '����� ������� ���N �� ��������Q�) ���� �����) )��������� $O[a0 �� ����� �����K��! * ��(��N � � ����������� JI�� �� ��������� 2 � ������������ �� 2�� N ��� $≈ �� �)0 �)�� � ���& ��� �������� ����������I� ��� ��J��N-�)� ����& )� � ��������� � ������! A� ���J��� � � �� � )�) ���I '��)���� ��� �� ��(����� ��������� �� N �������! >� )��� ��(��� ��� ���J��I � ��� ��� ��� �I�������� � � � ����� � ����������� ���� � ��& ������� � � ����J�� �� ��� b���2��c $���� �0! >�� � �) ��Q�� ��� 2� �� ������� )�K�� �����K��� � ����� I) ����)� 2 � ��(��� � �����N�� �2�� ��& ������ N ��Q��� ����� ��� ��� ! %�����I� ��Q��I >// ��� ��� ��� � ��� ��� T� � ��� )D`�)� ��� ������) �������� ��� ��� �� �T� �Y � �T )�)� ��� �� � ������ ! �! ������ N ��� � ��� >// ��������� �����2������N � ��� �) ��� & ��� � ��� � ��� ��� �� ��U�� ��T � ���� )�)`)��! ��������� � ���� ���� � �� ������� � (�)� �I) �()����� ) ��������� ��� -������� �� �! B�����& ������ �2���� -������� �� N �� ������I� ����& �� AWO5P JI�� ��� �)� � �� ���������������� 2�& � � � �� K� �����K�� ��� ����� ���� �)! >���K�� ��(��N � I ��J�������N � �� TAWO5P&�����K�� LYM! A����� ����� ��� ���J��� ���)�� TVWO5P � �����& )� �� ����\P ������ � �()������ ��� � ��� ��I� ���& J���� �J��(� ������ d>//R�����K��d! >��I �� ��N& �� ����������N� �� � �()������N �� ��2����! A��J��N& -�� �()����� �J��(� ��K��� ������I ��� ����� >//� ����� ������I� ��� ��� ��� � ��� ��� )D`�)�! A��J& ����)� � )� � N� 2 � ������K���� �������� ������& )� ����� ��� ������N��� �������Q�� �������� ��& 1��! �! >����������� �I� �2�� �� ��� ����� ��� ���& J��� ���)�� 7 � R ��� ����� �I� ��� � ������)�� ����������I)� ��� )��I)� ����)� � ��������� � ������e ) R � ����� ��� �(�J��K���� ��� ����� ��� ���J��� ���)�� �0 J0 ��� µ3 ��� µ3 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � ��������� ������ ��� ��� ��� O5P ��������� ����� ����� ��� �) �� ��) ���& ������N���� ��� ! $%����N(������ ����� ��� O5P �� �I��Q����� ��� ������N���� ��� �� � � ����) �( ���)������ ����� ��� O5P! +�� ���N R �)��N-���� �����K��� ��'�� �� � ��� ������N��) ���� O5P!0 B�������� ��Q�� ����� I� ����� �� � ����� �I& ���� �)���� ������ �������� ��� � ��(��� � ����& ����K� N� 2 � � �2���� ��J��)��������� ������� JI�� ������� ����� )�) ����� ��� ��� ! B������& ��N��� ��� ������N�I� ��� ���Q�� �� �� �� � 2�� N >//� ��� ���I �I� ����I � ����������� ���) ����������� � ��������� � �J��(��! #����� �����& ������ � ���������I� �� ���)� LYM� ����� � �)� 2 � ������ ����� ��� O5P �� �)���� �� ��I-� ����\B ������� � � ��������� ��� ������N���� ��� � ��& ������� �! *�()�K��� � � JI�� �� (��� � �)� 2 � ������ ��������� �� � �����)�! * ��J� � L"M ����(���� 2 � � ��� ��� ��� ������N& �I� ����� ���J��� ���)�� (����� � � ��� ��I �����K��! * ���2�� �������-����� �����K�� O5P '��)�������� ����� ��� ��� �� ������� � (��2�& ��N��)� ���2-���� � ��� ��I ��� ������N���� ��� �� ��������� � ��� ������N�I)� ��� )�� �'��)�& ������I)� �� ������� �) O5P! #����� �����N(���& ��� ����� I� J�'���I� ������ �'��)�������I� �� ��2�� ����I� �����K��� O5P� ��(��� � ����2� N ��� ������N�I� ���� O5P �� ���K����� ��� ��� N� ���������� � ��'�� �� L��� ��M! * ��J� � L��M �(�2����N ��� ��� ��� ��� ���� ��& �� �� ���)��� ������� � ��� ��� � ��� . �� )��& '������ ����� ��� ��� ! FI�� �� ��������� 2 � ��� �����2���� ���)��� ������� � � �� �� )�� ������& ���� ��� �����2���� � � ��2���� � �� ��� ��� $���� �0! 1�� ��� ��� � ��� ��� ��� � ���) ���)�& �� ������� ������� � ���������� ���� � ��K� � �����2���� �� ������ ����� $���� �0! %()������ ��� ��� ���� ���� � � V]7V�^7P�V�^V_�7�7� �� V]7P�V�^V_�7� ���� �2���� �� ����� �� �� )��'�& ����� ����� ��� ��� ! >�� ����2���� ��� >// �� �����K�� ���J��� ���)�� ��������� ������� (���� �(��J� �����K& �� $������� ����� I� �J��(�� � ����� � �I����I)0! #����� ������I �����(�I �J��(��� � ��(��� ����) ��� ��� � ��� ��� ������) �������� ���� �2���� �� �()�� � � L�M! f��2��� �������� �����(�I / � ����2� ���I� �( ��� J�������N�I� ���� K���� g 0 � (��2��� )��& ����'��)���� : 1 ����N ���)��� � ��������� � �J& ��(��� � ��K� ����-����I ����I� � ��K��� � ��& ��2���I� �� �������� ��N��) $�/�0 � ������� ��N& ��) ��'��� �)� �� $�/�0� ����� �����I � ����� �! B ��� ����� �����-��� �� ����� ��� �����������N �� ��������� ������� -����I ��'���������� ���& ��� �� �������� )����)�)� $]hVa0! >�� �()���& �� � �� �/� �����N(������N θ� � $θ�W �θ0&)��I ���& �������� ! i����� ��''�(������� ���� ω 23 ��� (��& 2���� �''�� ������ ���)� �� ��� 2! 1�����I ���& ��(�I ����2� ��I �( �������)�� ��N�� �()�����I� �������� � �2� �) �(��J� �������� �����K�� �� ���& ����� ��� � ������ ��� ��(���� ��2�� �� �J��J� �� ��J�2�� ���)������ $������������0 � I�N��� ����& ������ $-��'�������0 ��������� �� �����K��! 1���2� ���I� �� '��)��� B ���� L��M J�������N& �I� ���������N�I� ���� K��� � ����� �) ���J��� ���)�� �� � � �K�)��Q�)�� � ����2� ���� �� ��) ��'��)��� ����N ���)��� � ��������� � �J& ��(�� ε 1 _δ2`2 �)�� ����K� ��N�I� (���! >�� ��� � �� �������� �����K�� ��� ������N��& �� ��� O5P ��K� �()�� � � (��� �(��J� �J��(��� � ��J���� � ��4#"5��� �����'���+�(%6� %4�����%7� �"��+� !��%���� '�� (��)%��� (����%&� ��� %� !��"�� + ��(����!����#���� '�� ������ 8!%��(�%�"5� 6� �"��+ ��� ��� ω/ωds ωθ ωθ–2θ ����� R�� σa, ��� εz, 10–3 arcsec ����������������� –3,40 — — 22/– 20 6,8 ��������������������� !�SiC +4,07 –1,34 +2,70 22/– 18 5,5 ����"#$� %&� 2) +2,03 –0,21 +0,41 35/2144 34 7,9 ���������������� !����!�SiC +2,28 –0,20 +0,40 28/1010 25 7,6 ����"'$� %&� 2) +1,82 –0,33 +0,66 37/2059 34 7,5 ���������������� !����!�SiC +2,14 –0,30 +0,60 30/811 24 6,5 ����"($$� %&� 2) +1,90 –0,36 +0,72 38/1856 37 7,4 ���������������� !����!�SiC +2,28 –0,42 +0,84 46/683 40 5,9 1��! �! O[a&�(�J��K��� ����� ��� ��� ��� ��(��2& ��) ���)��� ������� $� � �� )��0 �� 35j � 35j 1��! �! O[a&�(�J��K��� )��'������ ����� ��� ��� ��� ��� ��� � ��� ��� ��� � � T� )D`�)� �� 3D`k3� �� 3D`k3� � 3D`k3� T� 3D`k3� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� J�������N�I� �K�)��Q�� ���� K��� � ���) ���� ��� ���� (��2��� σ 0 _W��� E>�! l��)�������� ��� ������N�I� ����� O5P ��Q�& ��� ���R� )�) �� ����� �) ���J��� ���)�� �� �(& )�� � (���� �(��J� �J��(��� �� ��������� ���� ���� �����2���� ��� �J���� ��� ����2��I � ��������� � ����� I) ���J���) ���)�� �� �����K�� �� ��� � ��� ! 1��2� ����(I��� ���� ���� ���K���� J�����& ��N�I� ���� K���� � ��� ������N�I� ��� � �� ����& � �) O5P � ��������� � ����� I) ���J���) ���)�� �� �����K�� �� ��� ��� �� ���� �� � T� )D`�) �! * � K� ���) �� ��� ��� � ��� ��� )D`�) � ���� K�& �� � ��� ������N��) ���� ��(����� � ��������� � ����� I) ���J���) ���)�� ! ����� ��������� )�����(��J� �J��(��� ��� '��& )�������� �� ����� �) ���J��� ���)�� ����� ���& ������N�I� ����� O5P )�K� JI N �� (��� � ����& '��)����� � ��� ��I �������&�I��Q������ �����& ��� ���J��� ���)�� ! B � �)� ���� ��� � �� (��� ��K� ���� ���� ��(��� ���� J�������N�I� ���� K���� � ��� ������N��) ����� �I��Q����) �� ����� �) ���& J��� ���)�� $��� )D`�) �0 � )����)��N��� ����� �& � N�! /�� ���)������N �I-�� �� � �) �J��(��� �� ���& �I) O[a� ����(�-�� )����)��N�I� �()����� � ���& ��I ����� ��� ��� ����� � K��� � �����)�! A��J��& ��)� ��K� � )� � N � (��2� ��N�� )��N-�� ��Q��� ��� ������N���� ��� � � �) ���2�� $��� )�)0! * ����) J�������N�I� �K�)��Q�� ���� K��� � ��� ������N�I� ��� � �� ����� �) ���J��� ���)�� � �T ��(� ��K�� 2�) � ����� �I��Q����) �� �����& ��� �����K�� ���J��� ���)�� ! 1�� ��������� �()����� ��� (��2��� ����� �� �� J��(��� � (��2��� )� ����2���I) �����)� ��2����) �����J�)� � ����2��I �''�� ������ ���)� �� ��� 2� ����2���I� � �� K� ��������K��� �� 2 � � � ��J� � L� M7 '��)� ��� ��������2���� � �I���I ��� �� ��& ������� N �������K��I � ���� ������ �2��� ��-� & ��! f�� � � ����2��I� )�K�� �������� N �Jm�) � ��& ������� N ����� ���I� � ��K� ����2�� �� ��� 9� ���& ��� Q��� �� � �)� ��������� � $����� �0! >�� ���2�& � JI�� �2 ���� 2 � �Jm�) ���������� O5P �� �� � ��� � ��I) �� ���� ��������)I� �J��(���� ! �! ��� ������) �������� (�� �� ������ Q�� 2���( �����K& ��� ������K����� ��� � ��I)! n � ��� ���K��� � �) '�� �)� 2 � :;≈kojgp! #2������� 2 � :;_9<! %( �J���I ������ 2 � �Jm�) ���I �����2���� � � ��� �) ��� ��� � ��� ��� ������) ��������� ���& ���� ��N��� � ����2�� �� ��� � �����) �����(��� ��� ��� �� ��� �� �� � ��� � ��I) � ���J��(� ��N& �� ����I) 9≈�X�� �� �)W�! # ���� ������ � 2 � ��� ����� �� � � ��� �) ��� ��� � �������� ��� ���& ������ �� (� �2� ��(��� ��� ����2�� �� ��� � ����� � (� �2� �����2��� �''�� ������ ���)� �� ���! >�& ������� N K� ���I �)��N-�� � � ��� �) ��� ��� � ��� (� �2� �)��N-��� ��Q��I ����� ��� ��� � �������)���I) �����2����) ���)� �� ���! 1�� ��& ��� �� � � �����2����) ��� ��� � �������� ��� ��& J������ ��K� � ��J� � L��M $���� �0! A� � �) K� ������� ����(���� 2 � � �����2����) ��� ��� � ��� �''�� ���� ������ ���� ���� ���� �)��N-�� � ! >� ��� ��������) ����I) �� ��������� 2 � � ���& ����� �2��� � �()������ ����� �� N �� �()�� � � ��� � K��� ����� ��� �J��(�� ����� ��� �) �� ��) ��� ������N���� ��� ���J��� ���)�� ! * � K� ���& ) $ �J�! �0 ����2�� �� ��� ���K�� � � ��������� N � �Jm�) ����� ���I �I��� �� ! n � '�� )�K�� �Jm ��� N ����� ������ � ��� ��I ����� ��� ���J�& �� ���)�� ��� �I���� �)���� ����) � K��� �J��(& ���� � ��(��N � � �� ���� ����(�-�� ��� ��� � ���N& �I� ��� � �����2����) �� ���)� ��� 2 � ����� �� ���! ! G�K�� ��������K� N� 2 � � ��� ���� ����& � ����� �I(���� ��J��)����� ��Q�� �� ��� �� ���� � ��K� ��Q�� ���Q�)� � ����� �) ���J��� ���)& �� )�����2����)� ���� K��� )�! *�� ��� ����� ���������� �� �� �2����� ��& ��� ���� ��� ����� ��� O5P JI�� �(�2��� � ��J� � L��M! A� ���N�� ����������I� �(� �) �����K& ��� ����� I� ���� JI�� (����I� � ���(��2�I�� �� ���J�����������I� R ����2���I� � �����(��2�I�! >��2��� � ��� ����� � �)� 2 � ���I� �)� ���'& '����� � ��K��� � � ��2�I� � ���''����� � � ��& K��� ��������� )� ������� ��������� ��� ! * ��J� � L�TM �� TVWO5P =& ��� �������)�� �� �(�� ��������� )� ���) ,���� JI�� �(�2��� ��� & ��� � ����� ���������� �����K�� � �� ������ X���UR ��X���Y k)W� �� ����� ���� ��� ����� ��� ��� R ���)� � ���� ����� �� N� ������ ����� ���! FI�� �� ��������� 2 � � ���N������������I� ���& ��K��� �� ��������� �� ���J�����������I)� '��& 1��! ! f�����)�� N �''�� ����� ������ ����� ���� �& ��� � ��� ��� � ��� � ��� ��� � ��� ������� � �� �� �� � �� T� >�� ��� N ���� )D`�)� > �� � �� N � �� � �� U �) W� �T � �� �� Y T � ���U ���T ���� ��� ���� / �� �� � �� �� �� �� � �� �� � ) W� ��J���� � >���(���%��%(%� �"��+�!��%���'��(��)%���(����%&��� %� !��"�� + ��(����!����#���'�� ������ 8!%��(�%�"5� � 6� �"��+� ?@A j)#$� %&� 2 j)($$� %&� 2 ���� �� �������*� ���� ���+ ��*� �������*� ���� ���+ ��*� h, � 26 22 16 12 P, % 11,3 — 20 — Ph, % � 294 — 330 — d, � 22 10–3 52 10–3 28 10–3 77 10–3 V�� � 3 0,986 10–2 4,67 10–2 0,986 10–2 5,6 10–2 N, � –2 3 1010 0,53 1010 3,25 1010 0,43 1010 S, � 2 1,8 3,59 1,41 2,9 h — ���,�����������*�� �������� �� ���-� � —� *��.� ���/ + ����� ����������- d — ��� ��� ��� - V — ��0 � ��� -�N — ����/ ��.�����- S — ��. ����������� 1 X X X X X X X X X X X X X ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �T ��������� ������ ��� )���� � ����� I� ���� � ����)� )��N-��� ���)� & �� � �Jm�)�� �� � J��N-�� $� ������N�� ��(0 ������& ������ ���! * ��J� � JI�� �����N(����I �� ����������I� �����K�� =& ���� ����������I� �(� �) � -�����) �����(��� ������ �����! /����� ���� �����)�����& �������� ���)��� qrWq4 ������� ���N �� )����)�& )� �����Q��� ��� � � �J��� � λ_T�� �)! B�2���� �����Q��� '� ��� �� ���(����� ����� ����I )�K& �� ����� N ��� σ_$���� s���0X��W�Y �)�! /����� ��& �� ���)���� ����������� ���) �J��(�)� ������& ���N � �� ������ X���UR ��X���Y �)W�! >���� �������� �)�2������ ��� �� � �� P&����N �����K�� �� O5&����� '��)������� ����� I� ���& J�� ���)�� �� �) ���� ����)�2������ ������� � ��� ���� V]7V�^7P�V�^V_�7�7�! ��������� �������& ���N � ������ ��� ��N ��'���� ��I) ��� �) � �2�& ��� �� )�� ��� ��� ��� � ��� �� )D`�)�! ���Q��� ����� ��� ��� �� J��N-�� 2�� � �J��(��� ������� & ���N � ��)�QN� ��������Q��� ���� ������� )����& ������ ����� �� N R �����)� ��2����) )� ���)! ��& �)� � ��� ������� �� ��� ��������) )� ���) L M! $* � ��2�� � )� ��� �����(� �(� ��) �����J��� ��(�� ��� ��(��� �)���� ����� �����N(�������� � L�M� ��� & ��������� )� �� �� ��(��� � ��� � ������������� ��� �� ���)� ��) �� ��K��� �����K��� � ��� ��������& �I� ��(��N � � (� � ��� )�K�� �2� � N ��������&)� �& ��)� �� (��� (� �Q�) �J��(�I!0 1�� ��������� �(& )����� ����������N �� �������� ��N��) ��'���& �)� �� $�/�0 � P=tα�&�(��2����! B ��� ����� ��& ���-��� �� ����� ����� ��� ���J��� ���)�� ��� & �����������N �� ��������� ������� -����I ��'���& ������� ������ �� �������� )����)�)� $]hVa0 �� ��))� ��2���� J����������� � ��K��� $���T0! �/�&����I� ��2��� �� ���� �J��(��� ����� �& �� ���J��� ���)�� �� �����K�� O5P ��������I �� '��)� � ��� � �( �(���� ���� �� -�����) ��''�(& ��) '���! B������� L� M� �)���� � � -����� ��(��& �� ������� 2�� N �/�&������ ��2��� �� (��� � ��''�(�I) ����� ���) �� ����� �� � ��� ���� � -�& ���� ��''�(���� ���� ω 23 ��� ��()�K��� N �I2��& �� N (��2���� �''�� ������ ���)� �� ���! %(��� ��� 2 � ���I � ���J��� ���)�� ��� � ���2���� ��J� �)�� ��� ����2�� � ������� L�� M! ��) �� )���� �� �����(� ��(��N � �� ��� ��������� �()������ ��& ��(�� ���� � ��� �� �''�� ������ ���)� �� ��� 2:8� �2� � N �� ��������2����)�� � ��K� �2� � N� 2 � �I& ���I ��� �� ��������� N �������K��I � ���� ������ & ��� �� ��! >����)����� N ����� ������� ��� ���K��& � � ����I)� L M� ��� �I2������I� �( (��2���� ω 23 ��& ��2��I 2:8 ������ ���� ��N�� �������� � � ����I)� ��������Q�� ���� ������ )����������! f�����)�� N 2:8 � ��Q��I ��� ����� ��� ���J��� ���)�� � ����& ������ �����K�� ��������I �� ���� �! f�� ��Q��� ����� ��� ��� ;� ����� �� N � 2:8� �����K�� �I2���� N �Jm�) ����� ���I � ����2�� �� ���� ������ Q��� �� � �)� ��������� � ����� ��� ���J��� ���)�� ! >�����N�� '��)�������� ����� �& �� ���J��� ���)�� �� ���� �J��(��� ��������� � ���������) ��K�)�� � )����� � (��2� � � �Jm�) ���& ������� ��������) )� ������ � �����2� � �� � �)� JI� �������� �� ���� �J��(��� $≈� )�`�)�0! ����) �J��(�)� ����2���I� ��(��N � I ���K�I (����� N ��N�� � ���������� �����K�� � �� ��'�� ��� �! /�� ����� �( ���! �� � ��� �) ���������� ���& ��K�� �� ��� ��� 2:8 �)��N-�� � ���)���� �����! >�� � �) ����2��� ; �)�� )���)�)� � ����� �� N� �� ��� � �����) ���2�� ������������N�� ;W�� �)�� ��� �� � ����� )����)�)� �()�� �N � �� ������ ���� R �Yu! B ��� �) ���������� �����K�� �Jm�) ����� ���I ���K�� � $���� �0 ���)���� � T ��(� � ������ ���� ��� ��� �� � ����� �� � ��N�� K� ��( ��� � ! ����) �J��(�)� �����2���� ���������� �����K�� ������� � �J��(������ ��Q�� ����� J��N-��� ����& 2�� �� ��� � )��N-�) ���)� ��) ��� ������ ��N�� ��J��N-�) �()������ ����� �� �! %)��Q��� ��(J��� ����I�� ����)�� ������ �Jm ��� N ������������ N� ���������� � ����2�) � ��� ���I� ��'�� ��! f�����)�� N 2:8 � ��� ��� � ��� ������ ���N �� ������N��� �J��(���! >�� � �) ����� I� ���J�� ���)& �� '��)������� �� ��(�I� �2�� ��� ������ � ��� K� �J��(��! B ��� �) ��� ��� � ��� ���)� � ��� ���J� ��� � � ������ N ��� � ����� ��� ��� ��K� �����& 2���� � � ��� � � L M �� TVWO5P! D������2�I� ��& (��N � I JI�� ����2��I � ��J� � L�UM! f���N �������& �����N �J��(�I ���� ����! �� ������� ��� ��� & ��� N ��� ������� JI�� ��� T� � ��� )D`�)� � ���& ) ������� ��� � � � )��� ��� �� � �����! �� �J& ��(��� � ����� ��� ��� ��� N ��� JI�� )��N-� R �� �� � �� )D`�)�� � ���) ������� T�� �� � �� )��! A� ���� � ����(��I (�����)�� � ��()��� ��� $00� ����& � �� � $)0 � ��Q��I ����� ��� ��� $+0 � ��� ��& � � �������� ��� �� � �� �J��(���! T� � �� 2 :8 � j 3 e ; � µ 3 � �� �� �� � �� qrBq4� ���U k3W� 1��! �! f�����)�� N �''�� ������ ���)� & �� ��� 2:8 $C0 � ��Q��I ����� ��� ��� ; $D0 � ���������� �����K�� $��� ��� N ��� �� )D`�)�� ���) ������� �� )��0 � �� �� �� � �� qrWq4� ���U �3W� T � � � � 9 � � �� � � 3 W� e < � � �W � µ3 � � � � � � � � � � � 1��! T! f�����)�� N ��������� ��� ������& ����� ��� 9 $C0 � �Jm�)� �����2��� ���I < $D0 � ���������� �����K�� ��� �� K� ��K�)�� ������� � � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �U ��������� ������ ��� %� ������ ������ N ����2���I� ��(��N � I � �)� 2 � �(��� �� �� ����� ��� O5 L�� �M! * ���)��� ���& )� � ��� � ������ N ��� � ����� ��� ��� ��K� �����& 2���� � � ��� �) ��� ��� � ���� �� ����� �� N �)�� �� )����)�)� � )���)�) ��� 92≈���T!!!���U �)W�! /��& )� ���� ��� ��������I� ��K�)�� ������� ���)� � ��� � ����� �) ���)��� � ������N�� ��( )��N-�� 2�) � ����� �) ���J��� ���)�� � � ����� �� N (��& 2� ��N�� �I-�� 2 �� ��()�K��� �� (��� � ��(��2��) ������� �� (�� � ���� ����2����� ��-� �� ���)�� � ���J��� ���)�� ! # ���� ������ �I���I7 ��&���& �I�� ���N( �� �)� �2���� �������� N ����� �� ��& ���� ����� ��� �������������� �� ������ �� ��&� �& �I�� �� ����2��� �������(����)I� ��(��N � �� ����� I� ���J�� ���)�� ��J�� ���N���-��� ���N& �(���� �(�2��� ! vvv >��������I� ����������� ����(���� 2 � �����& I� ���� O5P �� �����K�� )�K�� �����N(��� N ��� J�'���I� ���� �� ����2��� J���� �����-���I�� 2�) �����K��� ��� ������N�I� ����� O5P! ���N���& -�� ����������� )��� ��� ����� N ������� ����� N ���)����� ����� ��� ���J��� ���)�� ��� ��(��& J� �� �� ���� � �I���� �)���� ����� ���� ������� � �� ��I� �''�� ���� �����N(�� � ��(�� � ������& ��� N� R �����)��� ��� ��(��J� �� ��� �� �� � )�Q& �I� �����I� ���J����� � ��(�2��� �� ��N�I� �� & 2����� � ��������2����� ������� � �� ��������� ����� �������)I� ���)���� � �����K��! %B>#,wf#*DAAx+ %B�#@A%/% �! y95p4 z!� O=jo{494 |! ]o934p5oj 4jr }9o}:9p5:g o8 }o9o=g g565koj 8563g `` ~o=9j! [6:kp9ok{:3! Ook!R �"UU!R zo6! �� � q �!R �! �Y�R�"�! �! V:95jo Z!� �o3k{56 P!� �4964 P! :p 46! �o9og5p; 4jr }o9: g5�: r5gp95�=p5ojg o8 }o9o=g g565koj 64;:9g ̀ ` ��5r!R �"YU!R zo6! �� � q Y!R �! �"" R����! �! O{o9 ~! O!� �953�:9� ~!� h:5gg �! :p 46! P{494kp:95�4p5oj o8 j4jok9;gp4665p:g 5j }o9o=g E&p;}: TV&O5P`` y}}6! �{;g! �:pp!R �"" !R zo6! UT� q U!R �! � �R � "! ! B������ A! B!� 1� ����� *! *!� i�)�� *! F! *�� ��� �I��& �� �)���� ������ ��� ������N���� �������� ��� � ����� O5P �� � ��� ��� ����� ��� ���J��� ���)�� ̀ ` l�(��� � ������ ����& �����������!R ����!R �! ��� �I�! �!R P! ��"R�T�! �! O4��5j4 q! O!� Oo9o�5j �! a!� V=pk{5goj ~! �! :p 46! �[a 4jr [�� gp=r5:g o8 TV&O5P }o9o=g 64;:9 4g 4 g=�gp94p: 8o9 g=�g:�=:jp {o3o:}5p4�546 �9o�p{ `` a4p:9! Ok5! ]o9=3!R ����!R zo6! �Y"R �"�!R �! �U�R�U ! T! a4pg=3opo �!� �4�4{4g{5 ~!� �434�5 �! :p 46! �6=:&�9::j 6=35j:gk:jk: 89o3 }o9o=g O5P ̀ ` y}}6! �{;g! �:pp!R �"" !R zo6! T !R �! ��TR��Y! U! O{o9 ~! O!� �953�:9� ~!� h:5gg �!&�!� t=9p� y! �! �59:kp o�g:9�4p5oj o8 }o9o=g O5P 8o93:r �; 4jor5�4p5oj 5j V] `` y}}6! �{;g! �:pp!R �""�!R zo6! T�!R �! �Y�TR�Y�Y! Y! a;j�4:�4 a! �o9o=g �5r: �4jr&�4} g:35kojr=kpo9g7 }9og}:kp5�: 4}}65k4p5ojg ` y�gp9! o8 p{: p{ �jp:9j! O:35j49 oj O5P 4jr Z:64p:r a4p!R qo��o9or p{: �9:4p!R ����!R �! ��! "! O{=6}5j4 �! �!� Z4pj5�o� z! z!� O4��5j4 q! O!� O{=34j z! �! Z:46 gp9=kp=9: o8 {o3o:}5p4�546 O5P&TV 4jr V 64;:9g �9o�j o�:9 }o9o=g g=�gp94p:g ` y�gp9! o8 p{: �p{ �jp:9j! O:35j49 oj O5P 4jr Z:64p:r a4p!R qo��o9or p{: �9:4p!R��� !R �! ��! ��! a;j�4:�4 a!� O4rro� O! [!� a:6j;k{=� �! :p 46! P{:35k46 �4}o9 r:}og5p5oj o8 V O5P :}5p4�546 64;:9g oj }o9o=g O5P g=�gp94p:g ``y}}6! �{;g! �:pp!R ����!R zo6! UY!R �! ��UR��"! ��! O4rro� O! [!!� P{o;�: h! ~!� a:6j;k{=� �! :p 46! O5P r:8:kp r:jg5p; 9:r=kp5oj �; :}5p4�; o8 }o9o=g g=984k:g ̀ ` a4p:9! Ok5! ]o9=3!R ����!R zo6! ���!R �! ���R��T! ��! O=r499k{4j �! O!� t{6:�j5�o� �! �! O565koj k49�5r: 9:g:49k{ 4kp5�5p; 5j go=p{ k49o65j4 ` y�gp9! o8 p{: p{ �jp:9j! O:35j49 oj O5P 4jr Z:64p:r a4p!R qo��o9or p{: �9:4p!R ����!R �! Y�! ��! Opoj:; �! �{: p:jg5oj o8 3:p4665k 8563g r:}og5p:r �; :6:kp9o6;g5g `` �9ok! Z! Ook! �ojroj� O:9! y!R �"�"!R zo6! Y�!R �! �U�R�U�! � ! �:66:p �!� �o65jo �!� �5�:oj a! :p 46! Op=r5:g o8 ko{:9:jp 4jr r588=g: �&94; gk4pp:95j� �; }o9o=g g565koj `` ~! y}}6! �{;g!R �""�!R zo6! U�!R �! � �R� "! ��! O4��5j4 q! O!� O{=34j z! �!� Z4pj5�o� �! �! :p 46! ]:4p=9:g o8 g=�6534p5oj �9o�p{ oj }o9o=g O5P g=�gp94p:g ` y�gp9! o8 p{: p{ �jp:9j! O:35j49 oj O5P 4jr Z:64p:r a4p!R qo��o9or p{: �9:4p!R ����!R �! �U! �T! B������ A! B!� i�)�� *! F!� 1� ����� *! *! *�� ��� ����& ������ �����K�� �� ����)� �I ����� I� ����� O5P ̀ ` >��N)� � ��l!R ����!R �! �Y� �I�! ��!R P! ��R� ! �U! O4��5j4 q! O!� Oo9o�5j �! a!� V=pk{5goj ~! �! :p 46! Zo6: o8 p{: r:8:kpg =jr:9 }o9o=g g565koj k49�5r: 8o934p5oj ̀ ` y}}65:r O=984k: Ok5:jk:!R ����!R zo6! �Y !R �! ���R��T! 1��! U! f�����)�� � ��()��� ��� $00� ����� �& � � $)0 � ��Q��I ����� ��� ��� $+0 O5P � ��� & ��� � �������� ��� �� ���� ���� �J��(��� 1 �( ) �� � �� I � �) ��� Y� � ��� �� � � � � �� � T� Y� ��� ��� � �0 >�� ��� N ���� )D`�)� > �� � �� N � �� � u J0 >�� ��� N ���� )D`�)� � �� � T� Y� ��� �� �Y � �� T � � � ��� �� ��� � �0 � �� � T� Y� ��� >�� ��� N ���� )D`�)� � �� �� ���� �Q �� � �� �� � �� � �� � � ) �) ��� � � � � ��� ��
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53530
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-24T13:50:11Z
publishDate 2005
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Светличная, Л.А.
Московченко, Н.Н.
Серба П.В.
2014-01-21T20:43:53Z
2014-01-21T20:43:53Z
2005
Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Материалы электроники
Получение и свойства пористого карбида кремния
Здобування та властивості пористого карбіду кремнію
Reception and properties porous silicon carbide
Article
published earlier
spellingShingle Получение и свойства пористого карбида кремния
Светличная, Л.А.
Московченко, Н.Н.
Серба П.В.
Материалы электроники
title Получение и свойства пористого карбида кремния
title_alt Здобування та властивості пористого карбіду кремнію
Reception and properties porous silicon carbide
title_full Получение и свойства пористого карбида кремния
title_fullStr Получение и свойства пористого карбида кремния
title_full_unstemmed Получение и свойства пористого карбида кремния
title_short Получение и свойства пористого карбида кремния
title_sort получение и свойства пористого карбида кремния
topic Материалы электроники
topic_facet Материалы электроники
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530
work_keys_str_mv AT svetličnaâla polučenieisvoistvaporistogokarbidakremniâ
AT moskovčenkonn polučenieisvoistvaporistogokarbidakremniâ
AT serbapv polučenieisvoistvaporistogokarbidakremniâ
AT svetličnaâla zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû
AT moskovčenkonn zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû
AT serbapv zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû
AT svetličnaâla receptionandpropertiesporoussiliconcarbide
AT moskovčenkonn receptionandpropertiesporoussiliconcarbide
AT serbapv receptionandpropertiesporoussiliconcarbide