Получение и свойства пористого карбида кремния
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
Saved in:
| Date: | 2005 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53530 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-535302025-02-23T19:00:59Z Получение и свойства пористого карбида кремния Здобування та властивості пористого карбіду кремнію Reception and properties porous silicon carbide Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. Материалы электроники Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя. 2005 Article Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Материалы электроники Материалы электроники |
| spellingShingle |
Материалы электроники Материалы электроники Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. Получение и свойства пористого карбида кремния Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя. |
| format |
Article |
| author |
Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. |
| author_facet |
Светличная, Л.А. Московченко, Н.Н. Серба П.В. |
| author_sort |
Светличная, Л.А. |
| title |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_short |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_full |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_fullStr |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_full_unstemmed |
Получение и свойства пористого карбида кремния |
| title_sort |
получение и свойства пористого карбида кремния |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Материалы электроники |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530 |
| citation_txt |
Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT svetličnaâla polučenieisvojstvaporistogokarbidakremniâ AT moskovčenkonn polučenieisvojstvaporistogokarbidakremniâ AT serbapv polučenieisvojstvaporistogokarbidakremniâ AT svetličnaâla zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû AT moskovčenkonn zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû AT serbapv zdobuvannâtavlastivostíporistogokarbídukremníû AT svetličnaâla receptionandpropertiesporoussiliconcarbide AT moskovčenkonn receptionandpropertiesporoussiliconcarbide AT serbapv receptionandpropertiesporoussiliconcarbide |
| first_indexed |
2025-11-24T13:50:11Z |
| last_indexed |
2025-11-24T13:50:11Z |
| _version_ |
1849679897625100288 |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
������
���
��
�
���
������
�
��������
� !�"
���
�!
#������
��������������� ��
��
��
��
$%�&
'�(���
���������������
�)!
*!
+!
,�-���.���
�!
/���0
������
� �����������������
��� �
��
������������������
���
1���� �
������������
�����
����2�����
��������
�
+&34567
859:86;�<3456!9=
>#,?@+A%+
%
B*#CB�*D
>#1%B�#E#
/D1F%�D
/1+GA%H
���������� ������ �!�"#$��%&�!��%�
���'��(��)%���(����%&������(*��+"%&�
�%����*%��+����+"��%&���������"�'%,
!��%���'�� �"�&�
%�
����
�
������������
�����
I�
������()��&
�I�
���������������I�
�
���
��
)�
�������
�� &
(��
�
����
���&��()���I)�
�''��
�)�
�
��������&
������
����)
�(
��� ������
��
��I�
�� �
�
-�&
�����������
'�
���)��������� !
%(
����������&
�����I�
�����
I�
)�
�������
���J����
����-�
�(�&
2���I)
�� �
�
���)���!
��
����
����2��I
(���&
��)��
�
����)�
���
�����
���
���
�
��������2�&
����
��K�)��
L��
�M!
%(�2����
�����
���
���J���
���)��
��2����N
��&
����N��
��(K�
L�M!
>�
���������
�
���)���)
O5P
��&
���K�
����(��
J��N-�
�
���
���I�
��'��
���
����&
2��
��
��I�
���(I���
��Q��
������
��� ���
��
��(&
)��
���!
����
���
�����N(������
�����K���
����2��&
�I�
)���'���������I)
)�
���)
,���
L M�
���)�
�
���
���
��� �
��
�)�
�
��
J����
��'��
�I�
�����K&
���
$���
��
K�
��K�)��
������� 0
R
���
�)
L�M!
1�J�
I
��
������������
�����
���
���J���
���)&
��
�������
�������I
�
������Q��
���������� �7
��(&
��J�
��
)�
����
����2���
�����
���
���J���
���)&
�� �
������������
'�
���)�������
�I�
�����
��
��&
����������
�
���
���I�
�����
�!
S��N�
�
�
N�
�� &
�
�
�J(��
)�
����
����2���
�����
���
���J���
���)&
�� �
������������
���
)��'������
�
��� ��
������&
����
�����K��
��
����)�
�I
�����
���
��� !
#�����I)
)�
���)
'��)�������
�����
��
�
���
��I
�
O5P
�� �
�
)�
��
����
����&
)�2������
�����������
LT�
UM!
*
��J�
�
LTM
�����N&
(������N
2��
�
��))��2�����
����
��I
TVWO5P
$�X���Y
�)W��
'��)�
PZ[[0�
��(�����
���������
��
���\
��
�
��-����
�
���
-!
>��
�������K�I�
�����
����
��I
�)���
��(���
�
����N
�J��J�
��7
��J�2�
����N
$����0O5
�����������N�
���
�������K��
����N
R
-��'������N!
D�����������
���Q��
�� ���N
�
����
����
�
V]7V�^7P�V�^V
_
�7�7�
���
����Q����
���������
�
�J��(��
��
�2����)
��N
��'����
�����
���
�
���
���
(��2��� �
���
���
�
���
R
���
T�
�
���
)D`�)�!
*��)
�������
���J������N
�(
����&
��
�����K����
�����������
(�� ��
2���(
�����K&
��
�
���
��� ��
���
�
�
�
)���
���
��
�
�����!
���&
Q���
�����
���
���J���
���)��
$>//0
�
���
)��&
'�����
������� ���N
��
��������Q�)
����
�����)
)���������
$O[a0
��
�����
�����K��!
*
��(��N
�
�
�����������
JI��
��
���������
2
�
������������
��
2��
N
���
$≈
��
�)0
�)��
�
���&
���
��������
����������I�
���
��J��N-�)�
����&
)�
�
���������
�
������!
A�
���J���
�
�
��
�
)�)
���I
'��)����
���
��
��(�����
���������
��
N
�������!
>�
)���
��(���
���
���J��I
�
���
���
���
�I��������
� �
�
�����
�
����������� ����
�
��&
�������
�
�
����J��
��
���
b���2��c
$���� �0!
>��
�
�)
��Q��
���
2�
��
�������
)�K��
�����K���
�
�����
I)
����)�
2
�
��(��� �
�����N��
�2��
��&
������
N
��Q���
�����
���
��� !
%�����I�
��Q��I
>//
���
���
���
�
���
���
T�
�
���
)D`�)�
���
������)
��������
���
��� ��
�T�
�Y
�
�T
)�)�
���
��
�
������
!
�!
������
N
���
�
���
>//
���������
�����2������N
�
���
�)
���
&
���
�
���
�
���
��� ��
��U��
��T
�
����
)�)`)��!
���������
�
����
����
�
��
�������
�
(�)�
�I)
�()����� )
���������
���
-�������
��
�!
B�����&
������
�2����
-�������
��
N
��
������I�
����&
��
AWO5P
JI��
���
�)�
�
��
����������������
2�&
�
�
�
��
K�
�����K��
���
�����
����
�)!
>���K��
��(��N
�
I
��J�������N
�
��
TAWO5P&�����K��
LYM!
A�����
�����
���
���J���
���)��
TVWO5P
�
�����&
)�
��
����\P
������
�
�()������
���
�
���
��I�
���&
J����
�J��(�
������
d>//R�����K��d!
>��I
��
��N&
��
����������N�
��
�
�()������N
��
��2����!
A��J��N&
-��
�()�����
�J��(�
��K���
������I
���
�����
>//�
�����
������I�
���
���
���
�
���
���
)D`�)�!
A��J&
����)�
�
)�
�
N�
2
�
������K����
��������
������&
)�
�����
���
������N���
�������Q��
��������
��&
1��!
�!
>�����������
�I�
�2��
��
���
�����
���
���&
J���
���)�� 7
�
R
���
�����
�I�
���
�
������)��
����������I)�
���
)��I)�
����)�
�
���������
�
������e
)
R
�
�����
���
�(�J��K����
���
�����
���
���J���
���)��
�0 J0
���
µ3 ���
µ3
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�
���������
������
���
���
���
O5P
���������
�����
�����
���
�)
��
��)
���&
������N����
��� !
$%����N(������
�����
���
O5P
��
�I��Q�����
���
������N����
���
�� �
�
����)
�(
���)������
�����
���
O5P!
+��
���N
R
�)��N-����
�����K���
��'��
��
�
���
������N��)
����
O5P!0
B��������
��Q��
�����
I�
�����
��
�
�����
�I&
����
�)����
������
��������
���
�
��(��� �
����&
����K�
N�
2
�
�
�2����
��J��)���������
�������
JI��
�������
�����
)�)
�����
���
��� !
B������&
��N���
���
������N�I�
���
���Q��
�� ��
��
�
2��
N
>//�
���
���I
�I�
����I
�
����������� ���)
�����������
�
���������
�
�J��(��!
#�����
�����&
������ �
���������I�
��
���)�
LYM�
�����
�
�)�
2
�
������
�����
���
O5P
��
�)����
��
��I-�
����\B
�������
�
�
���������
���
������N����
���
�
��&
�������
�!
*�()�K���
�
�
JI��
�� (���
�
�)�
2
�
������
���������
��
�
�����)�!
*
��J�
�
L"M
����(����
2
�
�
���
���
���
������N&
�I�
�����
���J���
���)��
(�����
�
�
���
��I
�����K��!
*
���2��
�������-�����
�����K��
O5P
'��)��������
�����
���
���
��
�������
�
(��2�&
��N��)�
���2-����
�
���
��I
���
������N����
���
��
���������
�
���
������N�I)�
��� )��
�'��)�&
������I)�
��
�������
�)
O5P!
#�����
�����N(���&
���
�����
I�
J�'���I�
������
�'��)�������I�
��
��2��
����I�
�����K���
O5P�
��(��� �
����2�
N
���
������N�I�
����
O5P
��
���K�����
���
���
N�
����������
�
��'��
��
L���
��M!
*
��J�
�
L��M
�(�2����N
��� ���
���
���
����
��&
��
��
���)���
�������
�
���
���
�
���
.
��
)��&
'������
�����
���
��� !
FI��
��
���������
2
�
���
�����2����
���)���
�������
�
�
��
��
)��
������&
����
���
�����2����
�
�
��2����
�
��
��� ���
$���� �0!
1��
���
���
�
���
���
���
� ���)
���)�&
��
�������
�������
�
����������
����
�
��K�
�
�����2����
��
������
�����
$���� �0!
%()������
���
���
����
����
�
�
V]7V�^7P�V�^V_�7�7�
��
V]7P�V�^V_�7�
����
�2����
��
����� ��
��
)��'�&
�����
�����
���
��� !
>��
����2����
���
>//
��
�����K��
���J���
���)��
���������
�������
(����
�(��J�
�����K&
��
$�������
�����
I�
�J��(��
�
�����
�
�I����I)0!
#�����
������I
�����(�I
�J��(���
�
��(���
����)
���
���
�
���
���
������)
��������
����
�2����
��
�()�� �
�
L�M!
f��2���
��������
�����(�I
/
�
����2�
���I�
�(
���
J�������N�I�
���� K����
g
0
�
(��2���
)��&
����'��)����
:
1
����N
���)���
�
���������
�
�J&
��(���
�
��K�
����-����I
����I�
�
��K��� �
��&
��2���I�
��
��������
��N��)
$�/�0
�
�������
��N&
��)
��'���
�)�
��
$�/�0�
�����
�����I
�
����� �!
B
���
�����
�����-���
��
�����
���
�����������N
��
���������
�������
-����I
��'����������
���&
���
��
��������
)����)�)�
$]hVa0!
>��
�()���&
�� �
��
�/�
�����N(������N
θ�
�
$θ�W
�θ0&)��I
���&
�������� !
i�����
��''�(�������
����
ω
23
���
(��&
2����
�''��
������
���)�
��
���
2!
1�����I
���&
��(�I
����2�
��I
�(
�������)��
��N��
�()�����I�
��������
�
�2�
�)
�(��J�
��������
�����K��
��
���&
�����
���
�
������
���
��(����
��2��
��
�J��J�
��
��J�2��
���)������
$������������0
�
I�N���
����&
������
$-��'�������0
���������
��
�����K��!
1���2�
���I�
��
'��)���
B
����
L��M
J�������N&
�I�
���������N�I�
���� K���
�
�����
�)
���J���
���)��
�� �
�
�K�)��Q�)��
�
����2�
����
��
��)
��'��)���
����N
���)���
�
���������
�
�J&
��(��
ε
1
_δ2`2
�)��
����K�
��N�I�
(���!
>��
���
�
��
��������
�����K��
���
������N��&
��
���
O5P
��K�
�()�� �
�
(���
�(��J�
�J��(���
�
��J����
�
��4#"5��� �����'���+�(%6� %4�����%7� �"��+� !��%����
'�� (��)%��� (����%&� ��� %� !��"�� + ��(����!����#����
'�� ������ 8!%��(�%�"5� 6� �"��+
��� ���
ω/ωds ωθ ωθ–2θ �����
R��
σa,
���
εz,
10–3
arcsec
����������������� –3,40 — — 22/– 20 6,8
��������������������� !�SiC +4,07 –1,34 +2,70 22/– 18 5,5
����"#$�
%&�
2) +2,03 –0,21 +0,41 35/2144 34 7,9
���������������� !����!�SiC +2,28 –0,20 +0,40 28/1010 25 7,6
����"'$�
%&�
2) +1,82 –0,33 +0,66 37/2059 34 7,5
���������������� !����!�SiC +2,14 –0,30 +0,60 30/811 24 6,5
����"($$�
%&�
2) +1,90 –0,36 +0,72 38/1856 37 7,4
���������������� !����!�SiC +2,28 –0,42 +0,84 46/683 40 5,9 1��!
�!
O[a&�(�J��K���
�����
���
���
���
��(��2&
��)
���)���
�������
$�
�
��
)��0
��
35j
�
35j
1��!
�!
O[a&�(�J��K���
)��'������
�����
���
���
���
���
���
�
���
���
���
�
�
T�
)D`�)�
��
3D`k3� ��
3D`k3�
�
3D`k3� T�
3D`k3�
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
������
���
J�������N�I�
�K�)��Q��
���� K���
�
���)
����
���
����
(��2���
σ
0
_W���
E>�!
l��)��������
���
������N�I�
�����
O5P
��Q�&
���
���R�
)�)
��
�����
�)
���J���
���)��
��
�(&
)�� �
(����
�(��J�
�J��(���
��
���������
����
����
�����2����
���
�J����
���
����2��I
�
���������
�
�����
I)
���J���)
���)��
��
�����K��
��
���
�
��� !
1��2�
����(I���
����
����
���K����
J�����&
��N�I�
���� K����
�
���
������N�I�
��� �
��
����&
�
�)
O5P
�
���������
�
�����
I)
���J���)
���)��
��
�����K��
��
���
���
��
����
��
�
T�
)D`�)
�!
*
�
K�
���)
��
���
���
�
���
���
)D`�)
�
���� K�&
��
�
���
������N��)
����
��(�����
�
���������
�
�����
I)
���J���)
���)�� !
�����
���������
)�����(��J�
�J��(���
���
'��&
)��������
��
�����
�)
���J���
���)��
�����
���&
������N�I�
�����
O5P
)�K�
JI
N
�� (���
�
����&
'��)�����
�
���
��I
�������&�I��Q������
�����&
���
���J���
���)�� !
B
�
�)�
����
���
�
�� (���
��K�
����
����
��(���
����
J�������N�I�
���� K����
�
���
������N��)
�����
�I��Q����)
��
�����
�)
���&
J���
���)��
$���
)D`�)
�0
�
)����)��N���
�����
�&
�
N�!
/��
���)������N
�I-��
��
�
�)
�J��(���
��
���&
�I)
O[a�
����(�-��
)����)��N�I�
�()�����
�
���&
��I
�����
���
���
�����
�
K���
�
�����)�!
A��J��&
��)�
��K�
�
)�
�
N
�
(��2�
��N��
)��N-��
��Q���
���
������N����
���
�
�
�)
���2��
$���
)�)0!
*
����)
J�������N�I�
�K�)��Q��
���� K���
�
���
������N�I�
��� �
��
�����
�)
���J���
���)��
�
�T
��(�
��K��
2�)
�
�����
�I��Q����)
��
�����&
���
�����K��
���J���
���)�� !
1��
���������
�()�����
���
(��2���
�����
��
��
J��(���
�
(��2��� )�
����2���I)
�����)�
��2����)
�����J�)�
�
����2��I
�''��
������
���)�
��
���
2�
����2���I�
�
��
K�
��������K��� ��
2
�
�
�
��J�
�
L� M7
'��)�
���
��������2���� �
�I���I
���
��
��&
�������
N
�������K��I
�
����
������
�2���
��-�
&
��!
f��
�
�
����2��I�
)�K��
��������
N
�Jm�)
�
��&
�������
N
�����
���I�
�
��K�
����2��
��
���
9�
���&
��� Q���
��
�
�)�
���������
�
$����� �0!
>��
���2�&
�
JI��
�2
����
2
�
�Jm�)
����������
O5P
��
��
�
���
� ��I)
��
����
��������)I�
�J��(����
!
�!
���
������)
��������
(�� ��
������ Q��
2���(
�����K&
���
������K�����
���
� ��I)!
n
�
���
���K���
�
�)
'��
�)�
2
�
:;≈kojgp!
#2�������
2
�
:;_9<!
%(
�J���I
������
2
�
�Jm�)
���I
�����2����
�
�
���
�)
���
���
�
���
���
������)
���������
���&
����
��N���
�
����2��
��
���
�
�����)
�����(���
���
���
��
���
��
��
�
���
� ��I)
�
���J��(�
��N&
��
����I)
9≈�X��
��
�)W�!
#
����
������
�
2
�
���
�����
��
�
�
���
�)
���
���
�
��������
���
���&
������
��
(�
�2�
��(���
���
����2��
��
���
�
�����
�
(�
�2�
�����2���
�''��
������
���)�
��
���!
>�&
�������
N
K�
���I
�)��N-��
�
�
���
�)
���
���
�
���
(�
�2�
�)��N-���
��Q��I
�����
���
���
�
�������)���I)
�����2����)
���)�
��
���!
1��
��&
���
��
�
�
�����2����)
���
���
�
��������
���
��&
J������
��K�
�
��J�
�
L��M
$���� �0!
A�
�
�)
K�
�������
����(����
2
�
�
�����2����)
���
���
�
���
�''��
����
������
����
����
����
�)��N-��
� !
>�
���
��������)
����I)
��
���������
2
�
�
���&
�����
�2���
�
�()������
�����
��
N
��
�()�� �
�
���
�
K���
�����
���
�J��(��
�����
���
�)
��
��)
���
������N����
���
���J���
���)�� !
*
�
K�
���&
)
$
�J�!
�0
����2��
��
���
���K��
� �
���������
N
�
�Jm�)
�����
���I
�I���
��
!
n
�
'��
)�K��
�Jm ���
N
�����
������
�
���
��I
�����
���
���J�&
��
���)��
���
�I����
�)����
����)
�
K���
�J��(&
����
�
��(��N
�
�
��
����
����(�-��
��� ���
�
���N&
�I�
���
�
�����2����)
��
���)�
���
2
�
�����
��
���!
!
G�K��
��������K�
N�
2
�
�
���
����
����&
�
�����
�I(����
��J��)�����
��Q��
��
���
��
����
�
��K�
��Q��
���Q�)�
�
�����
�)
���J���
���)&
��
)�����2����)�
���� K��� )�!
*�� ���
�����
����������
��
��
�2�����
��&
���
����
���
�����
���
O5P
JI��
�(�2���
�
��J�
�
L��M!
A�
���N��
����������I�
�(�
�)
�����K&
���
�����
I�
����
JI��
(����I�
�
���(��2�I��
��
���J�����������I�
R
����2���I�
�
�����(��2�I�!
>��2���
�
���
�����
�
�)�
2
�
���I�
�)�
���'&
'�����
�
��K��� �
�
��2�I�
�
���''�����
�
�
��&
K���
���������
)�
�������
���������
���
!
*
��J�
�
L�TM
��
TVWO5P
=&
���
�������)��
��
�(��
���������
)�
���)
,����
JI��
�(�2���
��� &
���
�
�����
����������
�����K��
�
��
������
X���UR ��X���Y
k)W�
��
�����
����
���
�����
���
���
R
���)�
�
����
�����
��
N�
������
�����
���!
FI��
��
���������
2
�
�
���N������������I�
���&
��K���
��
���������
��
���J�����������I)�
'��&
1��!
!
f�����)��
N
�''��
�����
������
�����
����
�&
���
�
���
���
�
���
�
���
���
�
���
�������
�
��
��
��
�
��
T�
>��
���
N
����
)D`�)�
>
��
�
��
N
�
��
�
��
U
�)
W�
�T
�
��
��
Y
T
�
���U
���T
����
���
����
/
��
��
�
��
��
��
��
�
��
��
�
)
W�
��J����
�
>���(���%��%(%� �"��+�!��%���'��(��)%���(����%&���
%� !��"�� + ��(����!����#���'�� ������ 8!%��(�%�"5�
� 6� �"��+� ?@A
j)#$�
%&�
2 j)($$�
%&�
2
����
��
�������*�
���� ���+
��*�
�������*�
���� ���+
��*�
h,
�
26 22 16 12
P, % 11,3 — 20 —
Ph, %
�
294 — 330 —
d,
�
22 10–3 52 10–3 28 10–3 77 10–3
V��
�
3 0,986 10–2 4,67 10–2 0,986 10–2 5,6 10–2
N, �
–2 3 1010 0,53 1010 3,25 1010 0,43 1010
S,
�
2 1,8 3,59 1,41 2,9
h — ���,�����������*�� �������� ��
���-� � —� *��.�
���/ +
����� ����������- d — ���
��� ��� - V — ��0
� ��� -�N —
����/ ��.�����- S — ��. ����������� 1
X
X
X
X
X
X
X
X
X
X
X
X
X
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�T
���������
������
���
)����
�
�����
I�
����
�
����)�
)��N-���
���)�
&
��
�
�Jm�)��
��
�
J��N-��
$�
������N��
��(0
������&
������
���!
*
��J�
�
JI��
�����N(����I
��
����������I�
�����K��
=&
����
����������I�
�(�
�)
�
-�����)
�����(���
������
�����!
/�����
����
�����)�����&
��������
���)���
qrWq4
������� ���N
��
)����)�&
)�
�����Q���
���
�
�
�J���
�
λ_T��
�)!
B�2����
�����Q���
'�
���
��
���(�����
�����
����I
)�K&
��
�����
N
���
σ_$����
s���0X��W�Y
�)�!
/�����
��&
��
���)����
�����������
���)
�J��(�)�
������&
���N
�
��
������
X���UR ��X���Y
�)W�!
>����
��������
�)�2������
���
��
�
��
P&����N
�����K��
��
O5&�����
'��)�������
�����
I�
���&
J��
���)��
��
�)
����
����)�2������
�������
�
���
����
V]7V�^7P�V�^V_�7�7�!
���������
�������&
���N
�
������
���
��N
��'����
��I)
���
�)
�
�2�&
���
��
)��
���
���
���
�
���
��
)D`�)�!
���Q���
�����
���
���
��
J��N-��
2��
�
�J��(���
������� &
���N
�
��)�QN�
��������Q���
����
�������
)����&
������
�����
��
N
R
�����)�
��2����)
)�
���)!
��&
�)�
�
���
������� ��
���
��������)
)�
���)
L M!
$*
�
��2��
�
)�
���
�����(�
�(�
��)
�����J���
��(��
���
��(���
�)����
�����
�����N(��������
�
L�M�
���
&
���������
)�
��
��
��(��� �
���
�
�������������
���
��
���)�
��)
��
��K���
�����K���
�
���
��������&
�I�
��(��N
�
�
(�
�
���
)�K��
�2�
�
N
��������&)�
�&
��)�
��
(��� (� �Q�)
�J��(�I!0
1��
���������
�(&
)�����
����������N
��
��������
��N��)
��'���&
�)�
��
$�/�0
�
P=tα�&�(��2����!
B
���
�����
��&
���-���
��
�����
�����
���
���J���
���)��
���
&
�����������N
��
���������
�������
-����I
��'���&
�������
������
��
��������
)����)�)�
$]hVa0
��
��))�
��2����
J�����������
�
��K���
$���T0!
�/�&����I�
��2���
��
����
�J��(���
�����
�&
��
���J���
���)��
��
�����K��
O5P
��������I
��
'��)�
�
���
�
�(
�(����
����
��
-�����)
��''�(&
��)
'���!
B�������
L� M�
�)����
�
�
-�����
��(��&
��
�������
2��
N
�/�&������
��2���
�� (���
�
��''�(�I)
����� ���)
��
�����
��
�
���
����
�
-�&
����
��''�(����
����
ω
23
���
��()�K���
N
�I2��&
��
N
(��2����
�''��
������
���)�
��
���!
%(���
���
2
�
���I
�
���J���
���)��
���
�
���2����
��J�
�)��
���
����2��
�
�������
L��
M!
��)
��
)����
��
�����(�
��(��N
�
��
���
���������
�()������
��&
��(��
����
�
���
��
�''��
������
���)�
��
���
2:8�
�2�
�
N
��
��������2����)��
�
��K�
�2�
�
N�
2
�
�I&
���I
���
��
���������
N
�������K��I
�
����
������
&
���
��
��!
>����)�����
N
�����
�������
���
���K��&
�
�
����I)�
L M�
���
�I2������I�
�(
(��2����
ω
23
��&
��2��I
2:8
������
����
��N��
��������
�
�
����I)�
��������Q��
����
������
)����������!
f�����)��
N
2:8
�
��Q��I
���
�����
���
���J���
���)��
�
����&
������
�����K��
��������I
��
���� �!
f��
��Q���
�����
���
���
;�
�����
��
N
�
2:8�
�����K��
�I2����
N
�Jm�)
�����
���I
�
����2��
��
����
������ Q���
��
�
�)�
���������
�
�����
���
���J���
���)�� !
>�����N��
'��)��������
�����
�&
��
���J���
���)��
��
����
�J��(���
���������
�
���������)
��K�)��
�
)�����
�
(��2�
�
�
�Jm�)
���&
�������
��������)
)�
������
�
�����2�
�
��
�
�)�
JI�
��������
��
����
�J��(���
$≈�
)�`�)�0!
����)
�J��(�)�
����2���I�
��(��N
�
I
���K�I
(�����
N
��N��
�
����������
�����K��
�
��
��'��
���
�!
/��
�����
�(
���!
��
�
���
�)
����������
���&
��K��
��
��� ���
2:8
�)��N-��
�
���)����
�����!
>��
�
�)
����2���
;
�)��
)���)�)�
�
�����
��
N�
��
���
�
�����)
���2��
������������N��
;W��
�)��
���
��
�
�����
)����)�)�
�()�� �N
�
��
������
����
R
�Yu!
B
���
�)
����������
�����K��
�Jm�)
�����
���I
���K��
�
$���� �0
���)����
�
T
��(�
�
������
����
���
���
��
�
�����
��
�
��N��
K�
��(
���
�
!
����)
�J��(�)�
�����2����
����������
�����K��
�������
�
�J��(������
��Q��
�����
J��N-���
����&
2��
��
���
�
)��N-�)
���)�
��)
���
������
��N��
��J��N-�)
�()������
�����
��
�!
%)��Q���
��(J���
����I��
����)��
������
�Jm ���
N
������������
N�
����������
�
����2�)
�
���
���I�
��'��
��!
f�����)��
N
2:8
�
���
���
�
���
������ ���N
��
������N���
�J��(���!
>��
�
�)
�����
I�
���J��
���)&
��
'��)�������
��
��(�I�
�2��
���
������
�
���
K�
�J��(��!
B
���
�)
���
���
�
���
���)�
�
���
���J�
���
�
�
������
N
���
�
�����
���
���
��K�
�����&
2����
� �
���
�
�
L M
��
TVWO5P!
D������2�I�
��&
(��N
�
I
JI��
����2��I
�
��J�
�
L�UM!
f���N
�������&
�����N
�J��(�I
����
����!
��
�������
���
���
&
���
N
���
�������
JI��
���
T�
�
���
)D`�)�
�
���&
)
�������
���
�
�
�
)���
���
��
�
�����!
��
�J&
��(���
�
�����
���
���
���
N
���
JI��
)��N-�
R
��
��
�
��
)D`�)��
�
���)
�������
T��
��
�
��
)��!
A�
���� �
����(��I
(�����)��
�
��()���
���
$00�
����&
�
��
�
$)0
�
��Q��I
�����
���
���
$+0
�
���
��&
�
�
��������
���
��
�
��
�J��(���!
T�
�
��
2
:8
�
j
3
e
;
�
µ
3
�
��
��
��
�
��
qrBq4�
���U
k3W�
1��!
�!
f�����)��
N
�''��
������
���)�
&
��
���
2:8
$C0
�
��Q��I
�����
���
���
;
$D0
�
����������
�����K��
$���
���
N
���
��
)D`�)��
���)
�������
��
)��0
�
��
��
��
�
��
qrWq4�
���U
�3W�
T
�
�
�
�
9
�
�
��
�
�
3
W�
e
<
�
�
�W
�
µ3
�
�
�
�
� � � �
�
�
�
1��!
T!
f�����)��
N
���������
���
������&
�����
���
9
$C0
�
�Jm�)�
�����2���
���I
<
$D0
�
����������
�����K��
���
��
K�
��K�)��
�������
�
�
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�U
���������
������
���
%�
������
������
N
����2���I�
��(��N
�
I
�
�)�
2
�
�(���
��
��
�����
���
O5
L��
�M!
*
���)���
���&
)�
�
���
�
������
N
���
�
�����
���
���
��K�
�����&
2����
�
�
���
�)
���
���
�
����
��
�����
��
N
�)��
��
)����)�)�
�
)���)�)
���
92≈���T!!!���U
�)W�!
/��&
)�
����
���
��������I�
��K�)��
�������
���)�
�
���
�
�����
�)
���)���
�
������N��
��(
)��N-��
2�)
�
�����
�)
���J���
���)�� �
�
�����
��
N
(��&
2�
��N��
�I-��
2
��
��()�K���
�� (���
�
��(��2��)
�������
�� (��
�
����
����2�����
��-�
��
���)��
�
���J���
���)�� !
#
����
������
�I���I7
��&���&
�I��
���N(
��
�)�
�2����
��������
N
�����
��
��&
����
�����
���
��������������
��
������
��
��&�
�&
�I��
��
����2���
�������(����)I�
��(��N
�
��
�����
I�
���J��
���)��
��J��
���N���-���
���N&
�(����
�(�2��� !
vvv
>��������I�
�����������
����(����
2
�
�����&
I�
����
O5P
��
�����K��
)�K��
�����N(���
N
���
J�'���I�
����
��
����2���
J����
�����-���I��
2�)
�����K���
���
������N�I�
�����
O5P!
���N���&
-��
�����������
)���
���
�����
N
�������
�����
N
���)�����
�����
���
���J���
���)��
���
��(��&
J�
��
��
����
�
�I����
�)����
�����
����
�������
�
��
��I�
�''��
����
�����N(��
�
��(��
�
������&
���
N�
R
�����)���
���
��(��J�
��
���
��
��
�
)�Q&
�I�
�����I�
���J�����
�
��(�2���
��
��N�I�
��
&
2�����
�
��������2�����
������� �
��
���������
�����
�������)I�
���)����
�
�����K��!
%B>#,wf#*DAAx+
%B�#@A%/%
�!
y95p4
z!�
O=jo{494
|!
]o934p5oj
4jr
}9o}:9p5:g
o8
}o9o=g
g565koj
8563g
``
~o=9j!
[6:kp9ok{:3!
Ook!R
�"UU!R
zo6!
�� �
q
�!R
�!
�Y�R�"�!
�!
V:95jo
Z!�
�o3k{56
P!�
�4964
P!
:p
46!
�o9og5p;
4jr
}o9:
g5�:
r5gp95�=p5ojg
o8
}o9o=g
g565koj
64;:9g
̀ `
��5r!R
�"YU!R
zo6!
�� �
q
Y!R
�!
�"" R����!
�!
O{o9
~!
O!�
�953�:9�
~!�
h:5gg
�!
:p
46!
P{494kp:95�4p5oj
o8
j4jok9;gp4665p:g
5j
}o9o=g
E&p;}:
TV&O5P``
y}}6!
�{;g!
�:pp!R
�"" !R
zo6!
UT�
q
U!R
�!
� �R � "!
!
B������
A!
B!�
1�
�����
*!
*!�
i�)��
*!
F!
*�� ���
�I��&
��
�)����
������
���
������N����
��������
���
�
�����
O5P
��
�
���
���
�����
���
���J���
���)��
̀ `
l�(���
�
������
����&
�����������!R
����!R
�!
���
�I�!
�!R
P!
��"R�T�!
�!
O4��5j4
q!
O!�
Oo9o�5j
�!
a!�
V=pk{5goj
~!
�!
:p
46!
�[a
4jr
[��
gp=r5:g
o8
TV&O5P
}o9o=g
64;:9
4g
4
g=�gp94p:
8o9
g=�g:�=:jp
{o3o:}5p4�546
�9o�p{
``
a4p:9!
Ok5!
]o9=3!R
����!R
zo6!
�Y"R
�"�!R
�!
�U�R�U !
T!
a4pg=3opo
�!�
�4�4{4g{5
~!�
�434�5
�!
:p
46!
�6=:&�9::j
6=35j:gk:jk:
89o3
}o9o=g
O5P
̀ `
y}}6!
�{;g!
�:pp!R
�"" !R
zo6!
T !R
�!
��TR��Y!
U!
O{o9
~!
O!�
�953�:9�
~!�
h:5gg
�!&�!�
t=9p�
y!
�!
�59:kp
o�g:9�4p5oj
o8
}o9o=g
O5P
8o93:r
�;
4jor5�4p5oj
5j
V]
``
y}}6!
�{;g!
�:pp!R
�""�!R
zo6!
T�!R
�!
�Y�TR�Y�Y!
Y!
a;j�4:�4
a!
�o9o=g
�5r:
�4jr&�4}
g:35kojr=kpo9g7
}9og}:kp5�:
4}}65k4p5ojg
`
y�gp9!
o8
p{:
p{
�jp:9j!
O:35j49
oj
O5P
4jr
Z:64p:r
a4p!R
qo��o9or
p{:
�9:4p!R
����!R
�!
��!
"!
O{=6}5j4
�!
�!�
Z4pj5�o�
z!
z!�
O4��5j4
q!
O!�
O{=34j
z!
�!
Z:46
gp9=kp=9:
o8
{o3o:}5p4�546
O5P&TV
4jr
V
64;:9g
�9o�j
o�:9
}o9o=g
g=�gp94p:g
`
y�gp9!
o8
p{:
�p{
�jp:9j!
O:35j49
oj
O5P
4jr
Z:64p:r
a4p!R
qo��o9or
p{:
�9:4p!R��� !R
�!
��!
��!
a;j�4:�4
a!�
O4rro�
O!
[!�
a:6j;k{=�
�!
:p
46!
P{:35k46
�4}o9
r:}og5p5oj
o8
V
O5P
:}5p4�546
64;:9g
oj
}o9o=g
O5P
g=�gp94p:g
``y}}6!
�{;g!
�:pp!R
����!R
zo6!
UY!R
�!
��UR��"!
��!
O4rro�
O!
[!!�
P{o;�:
h!
~!�
a:6j;k{=�
�!
:p
46!
O5P
r:8:kp
r:jg5p;
9:r=kp5oj
�;
:}5p4�;
o8
}o9o=g
g=984k:g
̀ `
a4p:9!
Ok5!
]o9=3!R
����!R
zo6!
���!R
�!
���R��T!
��!
O=r499k{4j
�!
O!�
t{6:�j5�o�
�!
�!
O565koj
k49�5r:
9:g:49k{
4kp5�5p;
5j
go=p{
k49o65j4
`
y�gp9!
o8
p{:
p{
�jp:9j!
O:35j49
oj
O5P
4jr
Z:64p:r
a4p!R
qo��o9or
p{:
�9:4p!R
����!R
�!
Y�!
��!
Opoj:;
�!
�{:
p:jg5oj
o8
3:p4665k
8563g
r:}og5p:r
�;
:6:kp9o6;g5g
``
�9ok!
Z!
Ook!
�ojroj�
O:9!
y!R
�"�"!R
zo6!
Y�!R
�!
�U�R�U�!
� !
�:66:p
�!�
�o65jo
�!�
�5�:oj
a!
:p
46!
Op=r5:g
o8
ko{:9:jp
4jr
r588=g:
�&94;
gk4pp:95j�
�;
}o9o=g
g565koj
``
~!
y}}6!
�{;g!R
�""�!R
zo6!
U�!R
�!
� �R� "!
��!
O4��5j4
q!
O!�
O{=34j
z!
�!�
Z4pj5�o�
�!
�!
:p
46!
]:4p=9:g
o8
g=�6534p5oj
�9o�p{
oj
}o9o=g
O5P
g=�gp94p:g
`
y�gp9!
o8
p{:
p{
�jp:9j!
O:35j49
oj
O5P
4jr
Z:64p:r
a4p!R
qo��o9or
p{:
�9:4p!R
����!R
�!
�U!
�T!
B������
A!
B!�
i�)��
*!
F!�
1�
�����
*!
*!
*�� ���
����&
������
�����K��
��
����)�
�I
�����
I�
�����
O5P
̀ `
>��N)�
�
��l!R
����!R
�!
�Y�
�I�!
��!R
P!
��R� !
�U!
O4��5j4
q!
O!�
Oo9o�5j
�!
a!�
V=pk{5goj
~!
�!
:p
46!
Zo6:
o8
p{:
r:8:kpg
=jr:9
}o9o=g
g565koj
k49�5r:
8o934p5oj
̀ `
y}}65:r
O=984k:
Ok5:jk:!R
����!R
zo6!
�Y !R
�!
���R��T!
1��!
U!
f�����)��
�
��()���
���
$00�
�����
�&
�
�
$)0
�
��Q��I
�����
���
���
$+0
O5P
�
���
&
���
�
��������
���
��
����
����
�J��(���
1
�(
)
��
�
��
I
�
�)
���
Y�
�
���
��
�
� �
�
��
�
T�
Y�
���
���
�
�0
>��
���
N
����
)D`�)�
>
��
�
��
N
�
��
�
u
J0
>��
���
N
����
)D`�)�
�
��
�
T�
Y�
���
��
�Y
�
��
T
�
�
�
���
��
���
�
�0
�
��
�
T�
Y�
���
>��
���
N
����
)D`�)�
�
��
��
����
�Q
��
�
��
��
�
��
�
��
�
�
)
�)
���
�
�
�
�
���
��
|