Получение и свойства пористого карбида кремния
Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, а также влияние режимов травления на морфологию пористого слоя.
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53530 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение и свойства пористого карбида кремния / Л.А. Светличная, Н.Н. Московченко, П.В. Серба // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 1. — С. 53-57. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Яцунский, И.Р.
Опубліковано: (2013)
Способ электродугового восстановления кремния
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Соловьев, О.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Жавжаров, Е.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кулинич, О.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Получение оптически однородных монокристаллов ниобата лития больших размеров
за авторством: Сольский, И.М., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Сольский, И.М., та інші
Опубліковано: (2005)
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование влияни кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитним полем
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Гладковский, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Получение ультрадисперсного кристаллического карбида кремния методом плазмодинамического синтеза
за авторством: Сивков, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Сивков, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Физические свойства и зонная структура кристаллов (3HgTe)1-x(Al₂Te₃)x, легированных марганцем
за авторством: Марьянчук, П.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Марьянчук, П.Д., та інші
Опубліковано: (2014)
Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Катеринчук, В.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Термоэлектрические свойства сплавов системы TlInTe₂-TlYbTe₂
за авторством: Зарбалиев, М.М., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Зарбалиев, М.М., та інші
Опубліковано: (2004)
Магнитные и кинетические свойства кристаллов Hg1–x–yCdxDyySe
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2014)
Влияние толщины и температуры пленок фталоцианина меди на их свойства
за авторством: Алиева, Х.С.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Алиева, Х.С.
Опубліковано: (2012)
Получение и свойства горячепрессованных материалов на основе карбида кремния с добавками карбидов бора и титана
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Структура полимерных композитов на основе диоксида ванадия и их диэлектрические свойства в диапазоне радиочастот
за авторством: Колбунов, В.Р., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Колбунов, В.Р., та інші
Опубліковано: (2015)
Электрические свойства анизотипных гетеропереходов n-TiO₂:Mn/p-CdTe
за авторством: Мостовой, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Мостовой, А.И., та інші
Опубліковано: (2013)
Влияние содержания серы на сцинтилляционные свойства смешанных кристаллов ZnSxSe1–x
за авторством: Трубаева, O.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Трубаева, O.Г., та інші
Опубліковано: (2018)
Влияние морфологии поверхности подложек ZnSe:Te на их оптические свойства
за авторством: Махний, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Махний, В.П., та інші
Опубліковано: (2016)
Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние электронного облучения на оптические свойства пленок нанокристаллического SiC на подложках из монокристалла Al₂O₃
за авторством: Семенов, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Семенов, A.В., та інші
Опубліковано: (2017)
3D-нанокомпозиты — опаловые матрицы с включениями металлического Со и слоистые структуры «опаловая матрица — Co/Ir»
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Самойлович, М.И., та інші
Опубліковано: (2011)
Наноструктурированная композитная пленка для сенсоров влажности
за авторством: Коваленко, К.Л., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Коваленко, К.Л., та інші
Опубліковано: (2009)
Методика определения параметров структурной и кластерной моделей толстых резистивных пленок
за авторством: Стерхова, А.В., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Стерхова, А.В., та інші
Опубліковано: (2001)
Термостабильные интерференционные оксидные покрытия для активных элементов лазеров ИК-диапазона
за авторством: Загоруйко, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Загоруйко, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Влияние буферного слоя пористого карбида кремния на формирование границы раздела с оксидным слоем (обзор)
за авторством: Охрименко, О.Б.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Охрименко, О.Б.
Опубліковано: (2012)
Элементы твердотельной электроники на основе КНИ-структур и нитевидных кристаллов Si для криогенных температур
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Куликовский, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2008)
Эффективные сцинтилляционные материалы на основе твердых растворов ZnS1–xTex и перспективы их применения
за авторством: Катрунов, К.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Катрунов, К.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Исследование кристаллов Cu₂ZnSnTe₄ и гетеропереходов на их основе
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2015)
Молекулярная модель и химическая связь теллура
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Прогнозирование параметров стеклокерамики со стеклокристаллической матрицей для разных соотношений компонентов и режимов спекания
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Дмитриев, М.В., та інші
Опубліковано: (2009)
Получение пригодного для сенсорики пористого кремния методом неэлектролитического травления MacEtch
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Iatsunskyi, I. R.
Опубліковано: (2013)
Исследование кристаллов Cu₂ZnSnSe₄ и гетеропереходов на их на основе
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Ковалюк, Т.Т., та інші
Опубліковано: (2018)
Пассивация поверхности высокочистых гранулированных металлов: цинка, кадмия, свинца
за авторством: Пироженко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Пироженко, Л.А., та інші
Опубліковано: (2017)
Исследование стойкости слоев поликремния в КНИ-структурах при воздействии электронного облучения и сильного магнитного поля
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ховерко, Ю.Н.
Опубліковано: (2010)
Исследование влияния пропитки кремнием на структуру и свойства горячепрессованного карбида кремния
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Ивженко, В.В., та інші
Опубліковано: (2017)
Разработка сцинтилляторов на основе соединений AIIBVI для медицинского и технического радиационного приборостроения
за авторством: Старжинский, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Старжинский, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
Гибкие фольгированные диэлектрики: классификация и анализ направлений применения и совершенствования
за авторством: Воробьев, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Воробьев, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)