Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53554 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862695318129213440 |
|---|---|
| author | Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. |
| author_facet | Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. |
| citation_txt | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:24:46Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53554 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:24:46Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. 2014-01-22T22:01:04Z 2014-01-22T22:01:04Z 2005 Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53554 Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала Нанесення тонких плівок у вакуумі на підкладинках з синтетичного опалу Thin film deposition on synthetic opal substrate Article published earlier |
| spellingShingle | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_alt | Нанесення тонких плівок у вакуумі на підкладинках з синтетичного опалу Thin film deposition on synthetic opal substrate |
| title_full | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_fullStr | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_full_unstemmed | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_short | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_sort | нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53554 |
| work_keys_str_mv | AT panfilovûv nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT samoilovičmi nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT bulyginaev nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT panfilovûv nanesennâtonkihplívokuvakuumínapídkladinkahzsintetičnogoopalu AT samoilovičmi nanesennâtonkihplívokuvakuumínapídkladinkahzsintetičnogoopalu AT bulyginaev nanesennâtonkihplívokuvakuumínapídkladinkahzsintetičnogoopalu AT panfilovûv thinfilmdepositiononsyntheticopalsubstrate AT samoilovičmi thinfilmdepositiononsyntheticopalsubstrate AT bulyginaev thinfilmdepositiononsyntheticopalsubstrate |