Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53554 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53554 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. 2014-01-22T22:01:04Z 2014-01-22T22:01:04Z 2005 Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53554 Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала Нанесення тонких плівок у вакуумі на підкладинках з синтетичного опалу Thin film deposition on synthetic opal substrate Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| spellingShingle |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_full |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_fullStr |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_full_unstemmed |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| title_sort |
нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала |
| author |
Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. |
| author_facet |
Панфилов, Ю.В. Самойлович, М.И. Булыгина, Е.В. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2005 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Нанесення тонких плівок у вакуумі на підкладинках з синтетичного опалу Thin film deposition on synthetic opal substrate |
| description |
Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53554 |
| citation_txt |
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT panfilovûv nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT samoilovičmi nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT bulyginaev nanesenietonkihplenokvvakuumenapodložkiizsintetičeskogoopala AT panfilovûv nanesennâtonkihplívokuvakuumínapídkladinkahzsintetičnogoopalu AT samoilovičmi nanesennâtonkihplívokuvakuumínapídkladinkahzsintetičnogoopalu AT bulyginaev nanesennâtonkihplívokuvakuumínapídkladinkahzsintetičnogoopalu AT panfilovûv thinfilmdepositiononsyntheticopalsubstrate AT samoilovičmi thinfilmdepositiononsyntheticopalsubstrate AT bulyginaev thinfilmdepositiononsyntheticopalsubstrate |
| first_indexed |
2025-12-07T16:24:46Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:24:46Z |
| _version_ |
1850867383183343616 |