Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2005
• Main Authors: Панфилов, Ю.В., Самойлович, М.И., Булыгина, Е.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53554
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала / Ю.В. Панфилов, М.И. Самойлович, Е.В. Булыгина // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 49-52.— Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Рассмотрено влияние методов термического испарения, ионно-плазменного магнетронного распыления и осаждения тонких пленок из ионного пучка на характеристики поверхности фотонных кристаллов....