Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862642595917725696 |
|---|---|
| author | Крапивко, Г.И. |
| author_facet | Крапивко, Г.И. |
| citation_txt | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.
|
| first_indexed | 2025-12-01T06:59:26Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53555 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T06:59:26Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Крапивко, Г.И. 2014-01-22T22:07:08Z 2014-01-22T22:07:08Z 2005 Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555 Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния Лазерне текстурування поверхні попередньо нагрітого монокристалу кремнію Laser chasing of surface a single crystal heated up preliminary of Si Article published earlier |
| spellingShingle | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния Крапивко, Г.И. Технологические процессы и оборудование |
| title | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_alt | Лазерне текстурування поверхні попередньо нагрітого монокристалу кремнію Laser chasing of surface a single crystal heated up preliminary of Si |
| title_full | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_fullStr | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_full_unstemmed | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_short | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_sort | лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555 |
| work_keys_str_mv | AT krapivkogi lazernoeteksturirovaniepoverhnostipredvaritelʹnonagretogomonokristallakremniâ AT krapivkogi lazerneteksturuvannâpoverhnípoperednʹonagrítogomonokristalukremníû AT krapivkogi laserchasingofsurfaceasinglecrystalheateduppreliminaryofsi |