Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859713608546516992 |
|---|---|
| author | Крапивко, Г.И. |
| author_facet | Крапивко, Г.И. |
| citation_txt | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.
|
| first_indexed | 2025-12-01T06:59:26Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
��
�
���
������
�
��������
�� �!
���"
�
#������
$
�����������
��� ��
��
����
%&��
�
�
'�(����
�
)���*�
��������������� �����
�
%�+,�-�
�
��������*
����������� ��
-�������
.���������
��������/�$�
����0�����
��������
�
1234567
849:;8<=59>?3 9:@
ABC1,D#1
�1)E�-,&,#FBD&1
G#F1,.D#E�&
G,1�FB,&�1AHD#
DB+,1�#+#
I#D#),&E�BAAB
),1ID&J
���������������������� ��!��" �"���
#$%���������&!����'���#�$�����$������
�$$�(��� )����$��( $����#��� $ ����$$
( ���� $���*��� ���+ ���+�� �����# $��
�������# ���$,�
#���K
�(
�����L��
���$M���
���
�����0�$�
���2
K��
��
��
L�(�
K�������
����
���K��
�
�����(���
����
���N����
�K
�� �
�
'���
��/���
���
����������
���������
�
�
�����/(������K
�����
��/�$�
��(����
F�(����
���
��
K�������
����0�����
���K����
���������K��
��(���$K�
�K���/��K��
���������2
���/
��
K�����
��L�
���
�����K��
O�P
)��
��������
��
�$ �����
������$�
(�����K�����
��
��(����2
��
��(����
��
��M����/
(���0�
E
�'���
�����
���2
���
��������
���
���L��
�������������
�
���
���2
�Q��
���������
#������
���
������
�(
�������2
K��
��/���
��L�
$
O�P�
���
�L��0����
���������
�
�����
���
��������������
��(���$K�
�K���/��K�
K�������������
���
��/���
�
'�(��$�
�������$
���2
����
�
������ �
���/���
�������������
�
F
��2
L�
�
O�P
K������������
��(������
�
R���
�K��'�(�2
������$�
�����
���K��
�
�0�
�K
��������������
�����
���
���
����Q��
���������
��������
��
���2
�K�
�����
'�(�������
���
� ��
0����
�L��0��K�2
��
�L��(��
�
(�����K��
�
�
��
��/���
�
���K���
�R�����
�� �����
(����$M�
�����
'�($
������
������
O"P
�������
��
��M����
(���0�
E
�'���
�
���2
���0����K
����������
(�����K��
�
������
�
���R�2
��
������$
��(����
'�(
�
�K����
��$
F
���
� Q��
��L�
�
��������
�
K����/
���
�2
��������
��������
��/��
�����
���
K�������
����2
0������
���K��
���
��(����
���
��
���
���������
/
K��������������
�(��0���
��(����
�0�
$���Q�
��2
��
���
'�(��$�
������Q����
��
������
��������
B
D
)��K�������
O��
�
"�P
( ) ( ) ( )
ϕ−−= ∫
-
.---/0-0
0
0 1
:ST �
B������0�$�
������
L$�
�����
�����/(����
���
0�������K
K������������
��(������
�
R���
�K��2
'�(����������
���K��
O!�
UP�
���
�������
����
��2
��(����
���/��
��������R�������
��������
������2
� ��
���K���$K
K�����(K�K
���
�
��
��$�
(���2
�$M��
C���/
R�
�����������
� �
0
�
���
����������
��
�
����
����(���
��������
�
��(��/
�
�
��K�2
�������
(����$M��L��(�����
��
����K����K�
K�2
����(K�
����������
���
�
OVP
&(K������
�K����
��$
K�������
����0������
���K��
���
��(����
���
��
���
���������
/
����2
����������
��(������
�(��0���
�
�0�
�K
��������2
��/����
�������
�L��(��
��
�K����
��$
��������
����$�����/
��
������
����K������
��������
��2
�����������
�
+
∂
∂
∂
∂+=
∂
∂
x
T
Txk
�
x�
t
�
��� ) ,()()(
∂
ψ∂−
∂
ϕ∂−+
tt
pLtxS ) ,(
%�*
�
�����0�$K�
�
��0��/�$K�
������ K�
( ) ����
0
0) ,( , , ,0 �t��TtxT
x
T
x
===∞→=
∂
∂
=
�
%�*
��������
��
�0���
1%2%-*��
%�*
����$���
�$����2
���
����
(�
�0�
�����Q���
��(������
�(��0��� 7
) ( )
−−= ∫τ
x
W dxTx�Tx�RtxS
0
,exp ,()1() ,( �
%�*
G��������
���
0����
�
������
0��
�
��������
%�*
����$���
K�Q���
/
�����$�
�
����
�
��
�02
�����
���
���������
�
����
����(����
���K��
C���/
ϕ%2��-*�N
���
���������
�L��(����M����
�
�0��
)
�
K�K��
�
���K���
-������
��0���
�������� W
ψ%2��-*
N
���
(�����
����(����M����
��������
�
�0��
)
�
K�K��
�
���K���
-������
��0���
����
����(�����
���0�K
���R��
�$����
/�
�������
ϕ%2��-*3ψ%2��-*3γ%2��-*X��
���
γ%2%-*
N
���
K�������
�����
��
���������M�2
���
�
�0��
)��
K�K��
�
���K���
-�
���
0
�
N
/%-*
N
ϕ%-*
N
������$�
�LY�KW
������
/
���
�W
��������
�L��(����M���
�
K�K��
���K���
-
���
�4
�%5*�4
6%2*
N
7%2%5*
4
1%2�
-*
N
8�4
5
��
�N
���
���
/W
����/��
�����K���
/W
�����0�$�
�������
��
�0���
%��0/*�
���Q��
�� �2
Q��
�������$�
������
����
����
��
�K����
��$
���2
�
�0���
�
���K�� W
���''�����
�������������
�W
�������
��
�0���W
���$
�
����
�
'�(�����
��������W
��0��/��
�K����
���
���
9��
�%2��5*�N
:��
τ
N
���''�����
$
�
��R���
�
�����Q��� W
���
���
/
�������
�
���
��/���
/
��(������
�K���/���
���
��
�
�����
�"
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�F
��K���
�����
'�(��$�
���������
���
�L��(�2
���M���
�����
'�($
�$��R��
�
0���(
0��
�
�
(���2
�$M��L��(�����
;%-*
�
������
/
���
�
/<-*
OV�
�
U"P
N
β−=ϕ ∫ ∫
τ
t
t
nt
ii dtdttGtJtx
0
)()(exp1) ,( �
%"*
F
���
� Q��
��L�
�
����
���
��������
�
����
��2
��(����
����K�
�����
�
�
��K���
K�����
��������2
��
���
�
OZ�
�
��UP�
�
�����������
� �
0
�
���
��2
���
'�($
���������
(�
�0�
����Q�����
���������2
��/�$�
�����
[��K��������
��R����
���
���
��
�K
����K������
���
�
(����$M��
%����(�
��/
�
�2
����
�
%"*
(X�*�
���0�K
(����$M�
������
=2��
���
K���
��(����
/
��M/
��
(�����
����(����M���
�0��
���
����$��Q���
%=
\
6*2�?
���
F
�
�K
���0��
�$��R����
��
0��
�
$
(����$M��L��(�����
�K��
���
OV�
�
U�P
�:ST:ST*%
∆
σπ−
−=
>7?
?@
7?
A
B
7?
C-;
2
%�*
G��
���������
���
�$
R�����
'�($
K���
��(��2
��
/
��/��
��
����
����0�����
�0��
���
�������
��� �
�
�
�
�K
���0��
D%2��-*X�]ϕ%)��-*�OV�
>
U!P�
A�N
������
��
������
��������
�
�K�
0���(
�������
��(2
����
'�(�
@�N
K�R�
�K���
����
� ���
%�$��
�
K�2
����� *�
σ
N
���������
��
������
������$
��(��2
��
'�(�
∆?X?]?
����
���������
�
∆?X?
E5����
����2
����(�����
5
N
�K����
���
��������
��
������
�
���
�
�����/(������/
�$��R����
OZ�
�
��UP
∆−−
−=
TkT
�L
kT
U
h
kT
atG
�
exp1exp)( �
%!*
���
8
N
����
�
��������
�
���0�
�
��
����
�
�K
F
����������
(����
���
� Q��
�(
��������
�
���2
�
����
���K�� �
����K�
�$
(���0�
������� ���/
���2
���Q�K
�L��(�K
O!P7
[ ] ),( ),(1)()�,()( txtxt,xtxt,x sl αϕ−+ϕ=α �
%U*
���
������$
F
�
G
�
���
�
�
R�����
�
����
���0�2
����
'�(�K�
���
��
�
�����
-�������
%�*N%U*
��M����/
K�
���K
��������
[��K�
��(������
�K���/��
(�����
'�������
O���
�
�V"P
:%-*X��O:ST%]���-*]:ST%]�^���-*Pτ%-*
G��������$�
�
�������
(��0���
����K�
���
���K��
�(
$
�(
O��P
D�
�����
����(��$
���K���$�
(�����K��
�
�K��2
��
��$
���������
�
K�������
����0������
���K��
���
���
���
�
�������
:X
��V
F
_�K�
�
���
F
_�K�
F�����
0
�
��
��0��/��K
�
���
�������
��L�����
�
�(���
���
��
�K����
�����
������
����$�
���
��(�����
�
K�2
K��
�
��0���
��������
���K��
�
���
��
�
���
����2
�����
������������
����
���
F���0���
�������
�
5
�����
���������K
���
����
(��0����
∆?X���
)
���
���
:X��V
F
_>K��
��
�
���
���
F
_>K�
C�
���K
∆-`�
K��
�
������������
��K
����
��Q����
∆)X���U�
K�K
%�����!*
��(�����
(����$M�
R�����
'�($�
��
��$�
���
∆?X���
)
��0����
���
�
�
�$�����
������
/�
&(2(�
L��/M��
����0��$
���$
��
����
$
'�(�����
��������
���K��
8���(����������
(����$M��
���2
�����
�
��
���
������
�
�K��/M����
���������
��
�������K
'���
�
����'�(���
(��$�
����R�����
����
��
�
'��K$W
���K
��0���
(����$M��L��(�����
�
�0��
)W
'����� �
���
��
����
������� �
�
K�����(K�K
(����$2
M��L��(�����
���
β�4
-
�
�N
;%-*
N
C
�
D %2%�-*W
0����
�
�K��
��
�������
��(����W
���
K�������
����0�����
'�($
����$��Q���
��� �
��
��
���K
K���
��(����
/
���
�$
����
����(����
�0�2
�������
��� �
D%2�-*Xψ%2\@�-*3γ%23@�-*H�]ϕ%23@�-*W
���L���
��������
���
C�X
C
�
�N
D%2�-*
N
B
N
����� ��
��������
�����
�� ����
�������
ρ, g��m3 2,329 2,53
�, J/g
0,844 1,04
L, J/g 1780 —
k, W��m�
0,3 0,585
R 0,35 0,72
α, �m–1 4478 106
σ, erg��m2 300 —
U, eV 1,12 —
,��
�
C�����K��
/
���L��$
���
���������
���K��
�
���K���
���
���
���
�
�������
�L��0���
:X��V
%I*
�
���
F
_>K�
%J*
�
"
V
��
�!
-�
K��
.�
K�K
��"
���
���
��� �
�
,��
�
C�����K��
/
�K����
��$
���������
�
���K��
�
���K���
���
���
���
�
�������
��(������
�L��0�2
��
:X��V
F
_�K�
%I*
�
���
F
_>K�
%J*
5�
)
����
�Z��
�U��
���
� "#$
����
����
�
!
��
�"
�!
"V ����-�
K��
�
�
- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
-------------------------------------------------------------------------------------
I I I I I
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
��������Q��
����
����0�����
�L���
��
�
��Q�2
�
�����K�
(�K�������
������
�
�������
������
���������
'���
�
G��
K�������
���������Q���
����L/
�L��(��
��������
�������
��
���������
�
���2
������
�����0����
����
��������
�
'��K��������
(�����
������$
����������
(��$�
�
����M����
���
R�����
'�($
����K
�L��(�K�
��
��0��/��K
�
�2
��
��������
K�������
����0������
���K��
(�
���2
K
∆-X�
K��
��
���������
�
�L��(��
�
����
���2
�����
��Q����
∆)X���U ���V
K�K
�
���
�
�0��
�(2
���
����������
(����
∆)X�����
K�K
%���
�*
���/���M��
������
���K��
��(���$K
�(��0���2
�K
�������
����/
�
�����0����
���������
�
������
�
���R���
���������
'���
��
��
��$�
���
����
��
�����K
�
���
�����
K����K��/�$�
(��0����
G�
K���
������R���
��������
����L/
�L��(��
�
�K��/M���
���
������
���
����
�������
���������
���
����2
���
���R����
���������
�
������
�
�������
������ �
�
�
K�K��
�
����0���
��(����
��
��(������
�(��0�2
��
������R����
��������
����L/
��������������
������Q��
�
�
����'�(��
(���
��
��
�
�������R2
���
�
�0����
∆-X!
K��
%���
�*
C�
�
�
���K
�
��2
(��/
�
�
�
���
����
�
�LY�K
�L��(���
��
��$�
�R�
��
��K��������
�
��(���$K
�(��0����K�
��������
���2
���
/�
��0�(��
�
�������
��������R���
�
�
������
����������
(��$
��
∆?XZ�
)�
�
��
���������
�
N
��
V�
)
%���
�*
����K
�L��(�K�
��
���K
����
��
��(������
��0�
�(K������
��
���K���
���������
����
����0������
���K��
�
��������R�������
��������
����
��K�2
��
���$�
�����
��
�
������� �
�
����
����
'�(�2
�$�
������Q����
I����K��/�$�
(��0���
�������2
��
�
��������R����
���
����
�
���
��
�
�����
��
��0��/�$�
�
��� �
��������
�
����
����(����
�
���K����
����$
���
)
G��
:X��V
F
_�K�
��L����2
�
�
���
����������
�
����
���������
���
���0��2
����
������
G��
:X���
F
_�K�
����$�
���R��
�L2
��(��
.
���
��� �
��"
KK
%�&�'(�)��
G����
��������
K������������
��������
���
�2
��������
��������
��/��
�����
���
K�������
����2
0������
���K��
���
��(����
���
��
���
���������
/
�(��0���
��(���
�
�0�
�K
����
���
'�(��$�
���2
���Q����
���
���R����
�������K��
�K
,����
����
'�(��$�
���������
����������/
�
��K�Q/�
����K������
K�����(K�
(����$M��L��(�2
����
�
���
�
�����
'�($
#����������
0
�
���K��2
�$�
(�����K��
�
�
�����
���������
K�������
����
�
��������R����
R�����
'�($
���
��
�
�����
��
�
�2
�� �
��������
�
����
����(����
���K��
���
��2
K���
���$�
�����
��
�
������� �
�
����
����
'�2
(��$�
������Q����
G����$�
(��0���
�
�����
����2
�����
�
��������R����
���
��� �
V�NZ�
)
[�(�2
�$�
�������$
���
����
�
������ �
���/���
�������2
������
�
G���(����
0
�
��
���R�����
���K��
��
����2
����
'�(
���L����K
��(��
�
�K���/����
K�Q���
/�
��K����
K��/M���
0�K
�
������
'�(�
&EG#AHC#FBDDa1
&E�#bD&)&
�
G�������0
F
B �
I�����0
F
A
G�������
����(���
K�2
������
�����
���K��
���
����
���K
��(����
���
__
&[c N
�ZV� N
�
"V�
�
� N
E
��!N���
�
B���/ ����
I
d �
)�����
E
d �
)����/0��
d
F
�
��
-�����
��������
�(K�����
���������
�
���������������
���
��(����
���
�����������$�
��(���$�
�K���/���
__
G��/K�
�
c�[ N
�ZV! N
�
���
�$�
�V N
E
���ZN����
�
e�������
F
d �
�����0������
B
F �
B����������
A
D
-��02
M����
���������
�
���K��
(�
�0�
��(������
�
R���
__G�����2
���
/
[�(����
��K� �
K������� N
�ZV! N
�
� N
E
��N!�
"
E�3�
f�
g4h5<
f �
i8<:h
j �
kl4m
n
i4h:=
T=?o8>@5?9
49o
o:T?h5@5?9
?p
65ql@2:35@@59q
h565>?9
949?T4=@5>6:h
__
rlsh
f:t
u N
�ZZ� Nn?6
""�
v
Z N
r
"�ZUN"���
�
A�(����
������
�
��������
)�
"
_
G��
���
B
+
+����� �� N
I 7
F$�M
M�����
�ZVV
!
c���$�
E
G
A�(���$�
�
R��
�K��'�(����������
���K2
��
__
cGE N
�ZVZ N
�
���
�
" N
E
�VZN�Z�
U
c���$�
E
G �
E�������
#
A
I������������
��������
����
����(����
���K��
__
G��������
/
[�(����
��K� �
K�����2
�� N
�ZZ� N
�
�� N
E
���N��!
V
e����/���
F
C
+��K�
����2����
���
�$�
K�����
���2
�
����(���� N
I 7
D�����
�ZVZ
Z
E������
F
G �
)������
F
G
E���
����
����
����(���
��������R����$�
R�����
�� N
I 7
D�����
�ZV"
��
e�������
E
&
,����
����0�����
����
�
������$
,���2
����
��
�
��M����
(���0 N
I 7
F$�M
M�����
�ZVU
��
l@@T7ww
xxx 5?pp: =8w
�����������
�
�
�
�
�
���
�
�
�
�
��������������
��
�� ��
�
�� ������������ ���
����
�
������
���������
�� � !���" #� $�
G�0�
�$�
K��
�R
N
��������
�����
��
K�R����������
�
����
������
&
�
���
�����M���
��
(���2
�
������$�
�����
����
���
����
����$�
��
����
�
����������
��0�
����
K��
�R�
��(�����
�
�����
(�
�����0����K
��
�������
���K��
���
L�($
���
0
�L$
�����/(���
/
���
��
����K�Q��
��
�
�����0�2
���
���
���
�
��K�������
����
����$�
�(���
�
L�����
y���
������
N
���L����
L$�
��
��(�����Q�2
�
�L���
/
�����
�
�������
����
���������
�K�� �
������
��R�$�
��N�
/
��
I�� �
�
�
������2
���
��0�
�$�
���
�
�L����
�
K��
�R�
��K�����
���
���
��� �Q��
������
��0�
����
K��
�R�
e�(��$�
���������
��0�
�$�
���
�L���
��
���$K�
����K�K�
�
������� K��
���M�� �
�
��
��(K�R���
�
(�
�0�
�����/(�����
�����(�������
�L��������� �
L����
��0��
����$�
K�
�������
F
�����
�(���
����
�����������
���������
�
������$
���K$
����������
��������2
0�����
���������
K�
�����$�
�������$
��
�������
�
��������0������
�L����0���
����R���
�
K�R����������
#��
������(��0���
��
����������
��������(����Q���
�
����(����
��
��0�
�$�
���
e���
����(��
�
����
���
���K�
0
�L$
���
K����
���(2
�����
�$L���
/
�����
�$�
���K$
����
��������� �
�����
�(
����/����
��������2
0������
���
� ��
����(����
��
G���R�
��/��
���R�
�
��
���0
����
�
��
������
���������
����(����
��K
G��������
���
����0�����
��������
�
��
�
�����R��
K�2
��
����K������
/
��
�
��0��
��
�0�L����
����L�
��
�����
z)���
����������
�
����2
����
����(����
��
����
������
������
��$z
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53555 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T06:59:26Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Крапивко, Г.И. 2014-01-22T22:07:08Z 2014-01-22T22:07:08Z 2005 Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555 Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния Лазерне текстурування поверхні попередньо нагрітого монокристалу кремнію Laser chasing of surface a single crystal heated up preliminary of Si Article published earlier |
| spellingShingle | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния Крапивко, Г.И. Технологические процессы и оборудование |
| title | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_alt | Лазерне текстурування поверхні попередньо нагрітого монокристалу кремнію Laser chasing of surface a single crystal heated up preliminary of Si |
| title_full | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_fullStr | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_full_unstemmed | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_short | Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| title_sort | лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555 |
| work_keys_str_mv | AT krapivkogi lazernoeteksturirovaniepoverhnostipredvaritelʹnonagretogomonokristallakremniâ AT krapivkogi lazerneteksturuvannâpoverhnípoperednʹonagrítogomonokristalukremníû AT krapivkogi laserchasingofsurfaceasinglecrystalheateduppreliminaryofsi |