Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния

Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2005
1. Verfasser: Крапивко, Г.И.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859713608546516992
author Крапивко, Г.И.
author_facet Крапивко, Г.И.
citation_txt Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.
first_indexed 2025-12-01T06:59:26Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �� � ��� ������ � �������� �� �! ���" � #������ $ ����������� ��� �� �� ���� %&�� � � '�(���� � )���*� ��������������� ����� � %�+,�-� � ��������* ����������� �� -������� .��������� ��������/�$� ����0����� �������� � 1234567 849:;8<=59>?3 9:@ ABC1,D#1 �1)E�-,&,#FBD&1 G#F1,.D#E�& G,1�FB,&�1AHD# DB+,1�#+# I#D#),&E�BAAB ),1ID&J ���������������������� ��!��" �"��� #$%���������&!����'���#�$�����$������ �$$�(��� )����$��( $����#��� $ ����$$ ( ���� $���*��� ���+ ���+�� �����# $�� �������# ���$,� #���K �( �����L�� ���$M��� ��� �����0�$� ���2 K�� �� �� L�(� K������� ���� ���K�� � �����(��� ���� ���N���� �K �� � � '��� ��/��� ��� ���������� ��������� � � �����/(������K ����� ��/�$� ��(���� F�(���� ��� �� K������� ����0����� ���K���� ���������K�� ��(���$K� �K���/��K�� ���������2 ���/ �� K����� ��L� ��� �����K�� O�P )�� �������� �� �$ ����� ������$� (�����K����� �� ��(����2 �� ��(���� �� ��M����/ (���0� E �'��� ����� ���2 ��� �������� ��� ���L�� ������������� � ��� ���2 �Q�� ��������� #������ ��� ������ �( �������2 K�� ��/��� ��L� $ O�P� ��� �L��0���� ��������� � ����� ��� �������������� ��(���$K� �K���/��K� K������������� ��� ��/��� � '�(��$� �������$ ���2 ���� � ������ � ���/��� ������������� � F ��2 L� � O�P K������������ ��(������ � R��� �K��'�(�2 ������$� ����� ���K�� � �0� �K �������������� ����� ��� ��� ����Q�� ��������� �������� �� ���2 �K� ����� '�(������� ��� � �� 0���� �L��0��K�2 �� �L��(�� � (�����K�� � � �� ��/��� � ���K��� �R����� �� ����� (����$M� ����� '�($ ������ ������ O"P ������� �� ��M���� (���0� E �'��� � ���2 ���0����K ���������� (�����K�� � ������ � ���R�2 �� ������$ ��(���� '�( � �K���� ��$ F ��� � Q�� ��L� � �������� � K����/ ��� �2 �������� �������� ��/�� ����� ��� K������� ����2 0������ ���K�� ��� ��(���� ��� �� ��� ��������� / K�������������� �(��0��� ��(���� �0� $���Q� ��2 �� ��� '�(��$� ������Q���� �� ������ �������� B D )��K������� O�� � "�P ( ) ( ) ( )                 ϕ−−= ∫ - .---/0-0 0 0 1 :ST � B������0�$� ������ L$� ����� �����/(���� ��� 0�������K K������������ ��(������ � R��� �K��2 '�(���������� ���K�� O!� UP� ��� ������� ���� ��2 ��(���� ���/�� ��������R������� �������� ������2 � �� ���K���$K K�����(K�K ��� � �� ��$� (���2 �$M�� C���/ R� ����������� � � 0 � ��� ���������� �� � ���� ����(��� �������� � ��(��/ � � ��K�2 ������� (����$M��L��(����� �� ����K����K� K�2 ����(K� ���������� ��� � OVP &(K������ �K���� ��$ K������� ����0������ ���K�� ��� ��(���� ��� �� ��� ��������� / ����2 ���������� ��(������ �(��0��� � �0� �K ��������2 ��/���� ������� �L��(�� �� �K���� ��$ �������� ����$�����/ �� ������ ����K������ �������� ��2 ����������� � +    ∂ ∂ ∂ ∂+= ∂ ∂ x T Txk � x� t � ��� ) ,()()(      ∂ ψ∂− ∂ ϕ∂−+ tt pLtxS ) ,( %�* � �����0�$K� � ��0��/�$K� ������ K� ( ) ���� 0 0) ,( , , ,0 �t��TtxT x T x ===∞→= ∂ ∂ = � %�* �������� �� �0��� 1%2%-*�� %�* ����$��� �$����2 ��� ���� (� �0� �����Q��� ��(������ �(��0��� 7 ) ( )         −−= ∫τ x W dxTx�Tx�RtxS 0 ,exp ,()1() ,( � %�* G�������� ��� 0���� � ������ 0�� � �������� %�* ����$��� K�Q��� / �����$� � ���� � �� �02 ����� ��� ��������� � ���� ����(���� ���K�� C���/ ϕ%2��-*�N ��� ��������� �L��(����M���� � �0�� ) � K�K�� � ���K��� -������ ��0��� �������� W ψ%2��-* N ��� (����� ����(����M���� �������� � �0�� ) � K�K�� � ���K��� -������ ��0��� ���� ����(����� ���0�K ���R�� �$���� /� ������� ϕ%2��-*3ψ%2��-*3γ%2��-*X�� ��� γ%2%-* N ��� K������� ����� �� ���������M�2 ��� � �0�� )�� K�K�� � ���K��� -� ��� 0 � N /%-* N ϕ%-* N ������$� �LY�KW ������ / ��� �W �������� �L��(����M��� � K�K�� ���K��� - ��� �4 �%5*�4 6%2* N 7%2%5* 4 1%2� -* N 8�4 5 �� �N ��� ��� /W ����/�� �����K��� /W �����0�$� ������� �� �0��� %��0/*� ���Q�� �� �2 Q�� �������$� ������ ���� ���� �� �K���� ��$ ���2 � �0��� � ���K�� W ���''����� ������������� �W ������� �� �0���W ���$ � ���� � '�(����� ��������W ��0��/�� �K���� ��� ��� 9�� �%2��5*�N :�� τ N ���''����� $ � ��R��� � �����Q��� W ��� ��� / ������� � ��� ��/��� / ��(������ �K���/��� ��� �� � ����� �" ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �F ��K��� ����� '�(��$� ��������� ��� �L��(�2 ���M��� ����� '�($ �$��R�� � 0���( 0�� � � (���2 �$M��L��(����� ;%-* � ������ / ��� � /<-* OV� � U"P N                 β−=ϕ ∫ ∫ τ t t nt ii dtdttGtJtx 0 )()(exp1) ,( � %"* F ��� � Q�� ��L� � ���� ��� �������� � ���� ��2 ��(���� ����K� ����� � � ��K��� K����� ��������2 �� ��� � OZ� � ��UP� � ����������� � � 0 � ��� ��2 ��� '�($ ��������� (� �0� ����Q����� ���������2 ��/�$� ����� [��K�������� ��R���� ��� ��� �� �K ����K������ ��� � (����$M�� %����(� ��/ � �2 ���� � %"* (X�*� ���0�K (����$M� ������ =2�� ��� K��� ��(���� / ��M/ �� (����� ����(����M��� �0�� ��� ����$��Q��� %= \ 6*2�? ��� F � �K ���0�� �$��R���� �� 0�� � $ (����$M��L��(����� �K�� ��� OV� � U�P �:ST:ST*%         ∆ σπ−    −= >7? ?@ 7? A B 7? C-; 2 %�* G�� ��������� ��� �$ R����� '�($ K��� ��(��2 �� / ��/�� �� ���� ����0����� �0�� ��� ������� ��� � � � � �K ���0�� D%2��-*X�]ϕ%)��-*�OV� > U!P� A�N ������ �� ������ �������� � �K� 0���( ������� ��(2 ���� '�(� @�N K�R� �K��� ���� � ��� %�$�� � K�2 ����� *� σ N ��������� �� ������ ������$ ��(��2 �� '�(� ∆?X?]? ���� ��������� � ∆?X? E5���� ����2 ����(����� 5 N �K���� ��� �������� �� ������ � ��� � �����/(������/ �$��R���� OZ� � ��UP             ∆−−    −= TkT �L kT U h kT atG � exp1exp)( � %!* ��� 8 N ���� � �������� � ���0� � �� ���� � �K F ���������� (���� ��� � Q�� �( �������� � ���2 � ���� ���K�� � ����K� �$ (���0� ������� ���/ ���2 ���Q�K �L��(�K O!P7 [ ] ),( ),(1)()�,()( txtxt,xtxt,x sl αϕ−+ϕ=α � %U* ��� ������$ F � G � ��� � � R����� � ���� ���0�2 ���� '�(�K� ��� �� � ����� -������� %�*N%U* ��M����/ K� ���K �������� [��K� ��(������ �K���/�� (����� '������� O��� � �V"P :%-*X��O:ST%]���-*]:ST%]�^���-*Pτ%-* G��������$� � ������� (��0��� ����K� ��� ���K�� �( $ �( O��P D� ����� ����(��$ ���K���$� (�����K�� � �K��2 �� ��$ ��������� � K������� ����0������ ���K�� ��� ��� ��� � ������� :X ��V F _�K� � ��� F _�K� F����� 0 � �� ��0��/��K � ��� ������� ��L����� � �(��� ��� �� �K���� ����� ������ ����$� ��� ��(����� � K�2 K�� � ��0��� �������� ���K�� � ��� �� � ��� ����2 ����� ������������ ���� ��� F���0��� ������� � 5 ����� ���������K ��� ���� (��0���� ∆?X��� ) ��� ��� :X��V F _>K�� �� � ��� ��� F _>K� C� ���K ∆-`� K�� � ������������ ��K ���� ��Q���� ∆)X���U� K�K %�����!* ��(����� (����$M� R����� '�($� �� ��$� ��� ∆?X��� ) ��0���� ��� � � �$����� ������ /� &(2(� L��/M�� ����0��$ ���$ �� ���� $ '�(����� �������� ���K�� 8���(���������� (����$M�� ���2 ����� � �� ��� ������ � �K��/M���� ��������� �� �������K '��� � ����'�(��� (��$� ����R����� ���� �� � '��K$W ���K ��0��� (����$M��L��(����� � �0�� )W '����� � ��� �� ���� ������� � � K�����(K�K (����$2 M��L��(����� ��� β�4 - � �N ;%-* N C � D %2%�-*W 0���� � �K�� �� ������� ��(����W ��� K������� ����0����� '�($ ����$��Q��� ��� � �� �� ���K K��� ��(���� / ��� �$ ���� ����(���� �0�2 ������� ��� � D%2�-*Xψ%2\@�-*3γ%23@�-*H�]ϕ%23@�-*W ���L��� �������� ��� C�X C � �N D%2�-* N B N ����� �� �������� ����� �� ���� ������� ρ, g��m3 2,329 2,53 �, J/g 0,844 1,04 L, J/g 1780 — k, W��m� 0,3 0,585 R 0,35 0,72 α, �m–1 4478 106 σ, erg��m2 300 — U, eV 1,12 — ,�� � C�����K�� / ���L��$ ��� ��������� ���K�� � ���K��� ��� ��� ��� � ������� �L��0��� :X��V %I* � ��� F _>K� %J* � " V �� �! -� K�� .� K�K ��" ��� ��� ��� � � ,�� � C�����K�� / �K���� ��$ ��������� � ���K�� � ���K��� ��� ��� ��� � ������� ��(������ �L��0�2 �� :X��V F _�K� %I* � ��� F _>K� %J* 5� ) ���� �Z�� �U�� ��� � "#$ ���� ���� � ! �� �" �! "V ����-� K�� � � - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - ------------------------------------------------------------------------------------- I I I I I ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� ��������Q�� ���� ����0����� �L��� �� � ��Q�2 � �����K� (�K������� ������ � ������� ������ ��������� '��� � G�� K������� ���������Q��� ����L/ �L��(�� �������� ������� �� ��������� � ���2 ������ �����0���� ���� �������� � '��K�������� (����� ������$ ���������� (��$� � ����M���� ��� R����� '�($ ����K �L��(�K� �� ��0��/��K � �2 �� �������� K������� ����0������ ���K�� (� ���2 K ∆-X� K�� �� ��������� � �L��(�� � ���� ���2 ����� ��Q���� ∆)X���U ���V K�K � ��� � �0�� �(2 ��� ���������� (���� ∆)X����� K�K %��� �* ���/���M�� ������ ���K�� ��(���$K �(��0���2 �K ������� ����/ � �����0���� ��������� � ������ � ���R��� ��������� '��� �� �� ��$� ��� ���� �� �����K � ��� ����� K����K��/�$� (��0���� G� K��� ������R��� �������� ����L/ �L��(�� � �K��/M��� ��� ������ ��� ���� ������� ��������� ��� ����2 ��� ���R���� ��������� � ������ � ������� ������ � � � K�K�� � ����0��� ��(���� �� ��(������ �(��0�2 �� ������R���� �������� ����L/ �������������� ������Q�� � � ����'�(�� (��� �� �� � �������R2 ��� � �0���� ∆-X! K�� %��� �* C� � � ���K � ��2 (��/ � � � ��� ���� � �LY�K �L��(��� �� ��$� �R� �� ��K�������� � ��(���$K �(��0����K� �������� ���2 ��� /� ��0�(�� � ������� ��������R��� � � ������ ���������� (��$ �� ∆?XZ� )� � �� ��������� � N �� V� ) %��� �* ����K �L��(�K� �� ���K ���� �� ��(������ ��0� �(K������ �� ���K��� ��������� ���� ����0������ ���K�� � ��������R������� �������� ���� ��K�2 �� ���$� ����� �� � ������� � � ���� ���� '�(�2 �$� ������Q���� I����K��/�$� (��0��� �������2 �� � ��������R���� ��� ���� � ��� �� � ����� �� ��0��/�$� � ��� � �������� � ���� ����(���� � ���K���� ����$ ��� ) G�� :X��V F _�K� ��L����2 � � ��� ���������� � ���� ��������� ��� ���0��2 ���� ������ G�� :X��� F _�K� ����$� ���R�� �L2 ��(�� . ��� ��� � ��" KK %�&�'(�)�� G���� �������� K������������ �������� ��� �2 �������� �������� ��/�� ����� ��� K������� ����2 0������ ���K�� ��� ��(���� ��� �� ��� ��������� / �(��0��� ��(��� � �0� �K ���� ��� '�(��$� ���2 ���Q���� ��� ���R���� �������K�� �K ,���� ���� '�(��$� ��������� ����������/ � ��K�Q/� ����K������ K�����(K� (����$M��L��(�2 ���� � ��� � ����� '�($ #���������� 0 � ���K��2 �$� (�����K�� � � ����� ��������� K������� ���� � ��������R���� R����� '�($ ��� �� � ����� �� � �2 �� � �������� � ���� ����(���� ���K�� ��� ��2 K��� ���$� ����� �� � ������� � � ���� ���� '�2 (��$� ������Q���� G����$� (��0��� � ����� ����2 ����� � ��������R���� ��� ��� � V�NZ� ) [�(�2 �$� �������$ ��� ���� � ������ � ���/��� �������2 ������ � G���(���� 0 � �� ���R����� ���K�� �� ����2 ���� '�( ���L����K ��(�� � �K���/���� K�Q��� /� ��K���� K��/M��� 0�K � ������ '�(� &EG#AHC#FBDDa1 &E�#bD&)& � G�������0 F B � I�����0 F A G������� ����(��� K�2 ������ ����� ���K�� ��� ���� ���K ��(���� ��� __ &[c N �ZV� N � "V� � � N E ��!N��� � B���/ ���� I d � )����� E d � )����/0�� d F � �� -����� �������� �(K����� ��������� � ��������������� ��� ��(���� ��� �����������$� ��(���$� �K���/��� __ G��/K� � c�[ N �ZV! N � ��� �$� �V N E ���ZN���� � e������� F d � �����0������ B F � B���������� A D -��02 M���� ��������� � ���K�� (� �0� ��(������ � R��� __G�����2 ��� / [�(���� ��K� � K������� N �ZV! N � � N E ��N!� " E�3� f� g4h5< f � i8<:h j � kl4m n i4h:= T=?o8>@5?9 49o o:T?h5@5?9 ?p 65ql@2:35@@59q h565>?9 949?T4=@5>6:h __ rlsh f:t u N �ZZ� Nn?6 ""� v Z N r "�ZUN"��� � A�(���� ������ � �������� )� " _ G�� ��� B + +����� �� N I 7 F$�M M����� �ZVV ! c���$� E G A�(���$� � R�� �K��'�(���������� ���K2 �� __ cGE N �ZVZ N � ��� � " N E �VZN�Z� U c���$� E G � E������� # A I������������ �������� ���� ����(���� ���K�� __ G�������� / [�(���� ��K� � K�����2 �� N �ZZ� N � �� N E ���N��! V e����/��� F C +��K� ����2���� ��� �$� K����� ���2 � ����(���� N I 7 D����� �ZVZ Z E������ F G � )������ F G E��� ���� ���� ����(��� ��������R����$� R����� �� N I 7 D����� �ZV" �� e������� E & ,���� ����0����� ���� � ������$ ,���2 ���� �� � ��M���� (���0 N I 7 F$�M M����� �ZVU �� l@@T7ww xxx 5?pp: =8w ����������� � � � � � ��� � � � � �������������� �� �� �� � �� ������������ ��� ���� � ������ ��������� �� � !���" #� $� G�0� �$� K�� �R N �������� ����� �� K�R���������� � ���� ������ & � ��� �����M��� �� (���2 � ������$� ����� ���� ��� ���� ����$� �� ���� � ���������� ��0� ���� K�� �R� ��(����� � ����� (� �����0����K �� ������� ���K�� ��� L�($ ��� 0 �L$ �����/(��� / ��� �� ����K�Q�� �� � �����0�2 ��� ��� ��� � ��K������� ���� ����$� �(��� � L����� y��� ������ N ���L���� L$� �� ��(�����Q�2 � �L��� / ����� � ������� ���� ��������� �K�� � ������ ��R�$� ��N� / �� I�� � � � ������2 ��� ��0� �$� ��� � �L���� � K�� �R� ��K����� ��� ��� ��� �Q�� ������ ��0� ���� K�� �R� e�(��$� ��������� ��0� �$� ��� �L��� �� ���$K� ����K�K� � ������� K�� ���M�� � � �� ��(K�R��� � (� �0� �����/(����� �����(������� �L��������� � L���� ��0�� ����$� K� ������� F ����� �(��� ���� ����������� ��������� � ������$ ���K$ ���������� ��������2 0����� ��������� K� �����$� �������$ �� ������� � ��������0������ �L����0��� ����R��� � K�R���������� #�� ������(��0��� �� ���������� ��������(����Q��� � ����(���� �� ��0� �$� ��� e��� ����(�� � ���� ��� ���K� 0 �L$ ��� K���� ���(2 ����� �$L��� / ����� �$� ���K$ ���� ��������� � ����� �( ����/���� ��������2 0������ ��� � �� ����(���� �� G���R� ��/�� ���R� � �� ���0 ���� � �� ������ ��������� ����(���� ��K G�������� ��� ����0����� �������� � �� � �����R�� K�2 �� ����K������ / �� � ��0�� �� �0�L���� ����L� �� ����� z)��� ���������� � ����2 ���� ����(���� �� ���� ������ ������ ��$z
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53555
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-01T06:59:26Z
publishDate 2005
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Крапивко, Г.И.
2014-01-22T22:07:08Z
2014-01-22T22:07:08Z
2005
Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555
Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
Лазерне текстурування поверхні попередньо нагрітого монокристалу кремнію
Laser chasing of surface a single crystal heated up preliminary of Si
Article
published earlier
spellingShingle Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
Крапивко, Г.И.
Технологические процессы и оборудование
title Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
title_alt Лазерне текстурування поверхні попередньо нагрітого монокристалу кремнію
Laser chasing of surface a single crystal heated up preliminary of Si
title_full Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
title_fullStr Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
title_full_unstemmed Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
title_short Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
title_sort лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555
work_keys_str_mv AT krapivkogi lazernoeteksturirovaniepoverhnostipredvaritelʹnonagretogomonokristallakremniâ
AT krapivkogi lazerneteksturuvannâpoverhnípoperednʹonagrítogomonokristalukremníû
AT krapivkogi laserchasingofsurfaceasinglecrystalheateduppreliminaryofsi