Cover Image

Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния

Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:	2005
Main Author:	Крапивко, Г.И.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Subjects:	Технологические процессы и оборудование
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53555
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
by: Иванчиков, А.Э., et al.
Published: (2008)

Монтаж микросборок с подложкой из кремния
by: Спирин, В.Г.
Published: (2005)

Технология изготовления контактов к карбиду кремния
by: Кудрик, Я.Я., et al.
Published: (2013)

Конструкторско-технологические варианты коммутационных плат с подложкой из кремния
by: Спирин, В.Г.
Published: (2005)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
by: Голишников, А.А., et al.
Published: (2014)

Формирование полированной поверхности халькогенидов Bi и Sb в травильных композициях K₂Cr₂O₇–HBr
by: Павлович, И.И., et al.
Published: (2011)

Метод определения температуры и теплового сопротивления точек поверхности кристалла интегральной схемы
by: Попов, В.М., et al.
Published: (2011)

Лазерная абляция и фотостимулированная пассивация поверхности кристаллов Cd1–хZnхTe
by: Загоруйко, Ю.А., et al.
Published: (2011)

Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
by: Рогов, Р.В., et al.
Published: (2005)

Получение поверхностно-барьерных структур на основе четырехкомпонентных твердых растворов А⁴В⁶
by: Ткачук, А.И., et al.
Published: (2007)

Повышение адгезионной прочности никелевых контактов ветвей термоэлектрических модулей
by: Ащеулов, А.А., et al.
Published: (2006)

Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
by: Вербицкий, В.Г., et al.
Published: (2013)

Установка для регенерации сорбентов в электромагнитном поле
by: Головко, М.И., et al.
Published: (2005)

Особенности изготовления Cd1-xZnxTe-детектора ионизирующего излучения
by: Томашик, З.Ф., et al.
Published: (2013)

Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники
by: Борисенко, А.Г.
Published: (2013)

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
by: Дружинин, А.A., et al.
Published: (2007)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
by: Плис, Н.И., et al.
Published: (2010)

Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
by: Одиноков, В.В., et al.
Published: (2011)

Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов
by: Никитинский, В.А., et al.
Published: (2006)

Высокочувствительная установка для оценки изменения показателя преломления водных растворов
by: Подкамень, Л.И., et al.
Published: (2011)

Методика расчета параметров УЗ-преобразователей повышенной частоты
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2013)

Получение соединений повышенной плотности термозвуковой микросваркой в 3D интегральных микросхемах
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2014)

Информационные параметры для реализации адаптивной зарядки вторичных химических источников тока
by: Житник, Н.Е., et al.
Published: (2008)

Источник магнитных полей сложной энергочастотной и поляризационной структуры
by: Житник, Н.Е., et al.
Published: (2008)

Приборно-технологическое моделирование автоэмиссионных кремниевых микрокатодов
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2008)

Подключающее МЭМС-устройство для контроля BGA-компонентов
by: Невлюдов, И.Ш., et al.
Published: (2012)

Аналитические электронные весы с цифроаналоговым каналом компенсации
by: Липинский, А.Ю., et al.
Published: (2005)

Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)

Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
by: Панфилов, Ю.В., et al.
Published: (2005)

Испаритель для термического напыления материалов в вакууме
by: Босый, В.И., et al.
Published: (2008)

Химическое осаждение из газовой фази гетеро- и наноструктур соединений III–V
by: Воронин, В.А., et al.
Published: (2008)

Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
by: Глушко, А.А., et al.
Published: (2007)

Исследование качества пайки кристаллов мощных транзисторов релаксационным импеданс-спектрометром
by: Турцевич, А.С., et al.
Published: (2012)

Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
by: Бойко, Ю.В., et al.
Published: (2007)

Оптимизация струйной технологии изготовления токопроводящих элементов печатных плат
by: Лесюк, Р.И., et al.
Published: (2010)

СВЧ плазмохимическое осаждение структур для высокоапертурных планарных оптических волноводов
by: Григорьянц, В.В., et al.
Published: (2005)

Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2005)

Получение двухсторонних высоковольтных эпитаксиальных кремниевых p—i—n-структур методом ЖФЭ
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2013)

Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
by: Джангидзе, Л.Б., et al.
Published: (2009)

Повышение помехоустойчивости бинаризации изображений фотошаблонов в пространстве вейвлет-преобразования
by: Щербакова, Г.Ю., et al.
Published: (2011)