Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники
Физически обоснованы и реализованы кремниевые диодные сенсоры температуры с оптимизированными характеристиками. Сенсоры применены в ракетно-космической технике и атомной энергетике....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53571 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники / Ю.М. Шварц, М.М. Шварц // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 30-33. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859731436674744320 |
|---|---|
| author | Шварц, Ю.М. Шварц, М.М. |
| author_facet | Шварц, Ю.М. Шварц, М.М. |
| citation_txt | Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники / Ю.М. Шварц, М.М. Шварц // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 30-33. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Физически обоснованы и реализованы кремниевые диодные сенсоры температуры с оптимизированными характеристиками. Сенсоры применены в ракетно-космической технике и атомной энергетике.
|
| first_indexed | 2025-12-01T13:46:23Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������� ��
��
��
�
���
������
�
��������
�� !�
���"
�
#
�$ �"
����
�
%������
��������������� ��
��
&%'(�
�
%�����)
*+,-%./0,�-%''10
�0-*%�+%�'10
20'2%-1
.,2�-0*3/4'%5
./0,�-%'+,+
������������������������������������������������
(�������
�
,����
+��
�
�
6�7���
���������������
�8
9
0
/�:���;��
<=>?@AB
CDE?FGCH@CI J@KL M?
���������� ������ !�"� �� #�!$��� !�"
�#����� "�������"�������#"�%��&�#!�
%'#"� �� �&%�����#� !��"��� (!#!�%��
#��%��!����)����#"�&#������"� � #!�
��%�������������*�%�(�������!%����*
+��#,�%����
-�7��
��
����
��=���8�N�����
�������
��8� ���=
����
�
�8���
�
����������
����
6�7���
�
������
��7���
�8����
��
�
�8���������
��7��O�
��
���=
O�����
�����O�P�
6������������
Q
�
������ �
��7=
���
&�O��7�
������P�)�
�P�����
&�����
���R2)
�8=
����
���
��7����
��
��������
&��
!�
S���)�
8��=
��
�P�
�����
&��
!�
��)�
��8�N�����
������
���
��O�����
�
�
,����
����
����P�
���O�����
����=
��7��N���P�
��
��O�
P
�
������ �
����
���:���
6��
����
�
��
��8O������������
��� �� �
�
���
�
���
��8��Q���
����
������
T!U
%��OP�
��
����
��
��7����
���O����
���
��8��Q���
����
������
����=
�
��� �
���8����P�
�
���
��P
T�#"U
V��Q�
��:��
������������
OP��
��7��O�
��
�P=
����
�N����
���8�������
��������
�������
�8��=
��
��P
&�2�)�
�����O����
��O�
�
Q
�
������ �
6��=
����
���
��8��Q���
����
������
#
��7���
�8��=
��
���
���������
��8�������
+�������8P�
�
��O�=
�
�2�
��7��O�
��P
��
O�7�
���������
��66�7���=
���
���8P:������
���������
�7��
������
���8=
����P�
�����P�
N����
+78�����
��8�8�
��N�����
�����
����
��
&�*W)
�����=
���
&
�8����
�����
7�����8��
�
������
���� X���
-
��
�����=
��
���
�����������
N���7
����
���
� �����
�� 8���
���
.)��P=
������P
��
��
�8�
�7��������8
8�
������N����8
�
����
(Y�=3
Z����:���
Q
������X���
��O�N���
���
��
7������8
������
��
����P:���
[��!\
*����8��Q���
7��N����
��������
�O��=
��
���
�:�O��
�78�����
�8����
��P
/
���
��� ��
[����
,
�
�����7���
�8����
��
"��#�]�
,
�
[����
,
#
�
�����7���
���#���
,
��N���
Q
����O�����
��������
��
��X�
[!�
8^
�
�����7���
"��#�]�
^
�
[��
8^
�
�����7���
�]�#���
^
9��Q
=�8����P�
�����
����
���
&93W)
������
�78����P
��
��
�8�
�7��������8
�
����
�
��
������
����
!�_!!#!�_�
3
�
�����7���
�8����
��
"��#�]�
,
���8��
�
��������
�O��7���
���`��
�� ���Q
�
�����
X������
����
�
�����:���
Q�
������=
X���
�8����
��P
��
��X�
[���!
,
Z����:���
Q
�78�����
���� X���
��
����P:���
[�
8�9�
���
#
[�\
2
�O��Q���
Q
�2�
�����������
��
�O����������
��O�N���
�
�����
������P
�8����
��P
90�=�"=!$=$]
��
�8
�78�����
���� X���
��
�������
���
6�����������8
7��N����
�� 8���
���
�
������P�
�N���
&
�����
�N��
���P
&���!R2)�
�8����=
���
��������
a?
&���]b"bR2)
�
�8����
���
7�
���������
cd
&!�b���$�R2))
��
�
�����
��
������
�������
��
�������
������P
�66��
������
�8����
������
�����7���
��
7�
�8�
����X����
��
��X���
������P
��
������
Q�
���8����
$Ref8��
�
����������������������
����
��
����������
��
�8��Q����
��O�N���
���
���=
�����
��
��P�
�O����N����
�����7����P�
�78���=
��
�
����������
�O���
�
�8����
��
�
�
��N��
���=
���Q�P8
6�7�N����8
��78�X���
8
N���
��
��Q��=
��
���8��
��
8P
��������
�7
���
�8�
�N�����
��=
���:���
�
�78�����
�8����
��P
∆0�
�O��������=
���
�X�����P8
��7������8
∆0
1��
�
�����P8
∆0
2
34
�
���O��P8
∆0
2�
54
:�8�8�
�����B
∆0gT&∆0
1
)�h&∆0
2
34)�h&∆0
2
54)�U!f��
&!)
+����Q7�
�P��X���
��
����
���Q���
���
��=
�
�
6���
�����
���� X��� �
�O���������P�
����=
�P8��
���O��P8
:�8�8�
T�U�
���
�8�
�N�����
��=
���:���
�
∆0
2�
34
�
∆0
2�
54
8�X��
�����
���
Q
�
����
∆0
2�
34�g
T"6i07∆ωU!f�
fα&0�
.)j
&�)
∆0
2�
54�g
T�8.∆ωU!f�
7
fα&0�
.)�
&�)
-�7��Q
�
P
���N�
�
∆0
1�
�
∆0
2
gT&∆0
2�
34)�h&∆0
2
54)�U!f�
��
��7�P�
7��N����
���
����7����
N
�
�
�����N���=
�8
���
�����
��8���7������
�
∆0
���
�
�
�
:�8�
#
���X��
� �
�
���O���
�
���
�8��Q:����
���
���Q
:�8��
��7���
��
�
�
8�`���
Q
����� ��
�8��Q:�=
�
�
����8
�O��7�8�
��`��
���
�����
����
�N�����
��
.g.8��&0)����
��P�
8���8�7����
7�����8��
Q
∆0g∆0&.)
���
������
�8����
���
��8����
����
7�����8��
Q
.8���
��������
�7
������
�∆0&.)9�.:��
�8��
���
.8��
≈
T8∆ωf�;
34
α�U!f�T!h&�6i0f8-
0
)!f�U�f�
&")
���
∆/
1�
g
<
#
<:
;
34
�#
;
34
:
=
#
>
#
λ&0)
#
<;
34
j
���������8�
������
8�`���
Q�
.k-&0�.)j
�������
�����
�������
8�X��
�������8
�
�������
�8=
����
���
��
����
�78�� �
� �
=9>kλ&0)j
����
� ���
�
8�
�������N�����
������P
#?&=����=
����
��
���:���
���������
�
N���j
���`��Q
�������
�
���
��Pj
���66�����
�������������
�
���
6i�
@
7�g
l-9l.
#
∆ω #
α&0�.)
#
8
#
���
� ���
m��Q�8���j
����8�N�����
�����
�������
�����j
:�����
����
���Q���
�����Pj
N���
��
��Q���
Q
�������j
7�� �
����
����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�!
���������� ��
��
��O�
��
�P����N���
��
��Q�P�
�����P�
�8����
��=
�P�
��������
��������Q��
��:����Q
7���N�
���
�=
X���
���O����8��
�
�����
�
�
����������P8
��7=
����
�� 8
+�����������Q
��� ���
�O��N���
��
��X������=
�P�
�����
�
A?B=�
���
����
n@
2
���
��P
�O��N�=
��
γ=����
�8�
eob�
�
��
������
S-p=γ=��
S
�
8�`=
���
Q�
��7P
���
���f�
���
�8����
���
���
^
3����7
����N���P�
�7
�������8��
��Q��
�78����=
�P�
93W
����P�
7�����8��
��
��66��������Q����
6��
���
�����Q���
�
C&.)
Cg&8f6i0)&l-flAd.)
&�)
����7���
N
�
��
93W
��`��
���
�O���
Q
�����
�
��=
����
7�����8��
Q
C&.)
����
������P�
�����
��
Z��=
N�8
������
C&.)
O��Q:�
��
���O��N���P�
�O��7���
��
���������
�
�O��N���P8�
&
�����)
��N��
������=
N���
)�
�
�����
���
�
��
����
6��
��
�����Q���
�
�
��66��������Q���
�����
�������
8!��
������X��P
��� ���
���������
���
��
�
���
���
.≈!�_"
3
m��7��
Q
6��
���
�����Q���
�
C&.)
�
�������
���=
7P���
��
��
N
�
��8������`�8
�
�8�`�����
�
���=
������8
�����������
�������
�
���
���
�� �
�
��66�7����P�
8�����78
�����������
�
Cg!
��
�Oq �����
��O�����8���
�
�������
�
�����Q���=
�
93W
�
����8�
�����8�8
�����7���
�8����
��
OP��
�N
���
��� ���
����8O�����������
���
�
���
�������P������
�����
��X������������
������
��=
��
��X��
�������P�
����
����
8����
8��Q:�
���=
��������
������
�����
�P����
��
7��N�
��Q��
���=
�P:��
�����������
������
�����
����
�����
�
O�7�
9
�
�8
���N��
���O����8�
�N��
Q
����������=
�������
�����X������
���� X���
8�X��
�������8
���� X���
��
�O���
�
����
����
�������
7�� ��
�
��
O�7�
������
�
��X�
8���6������
������������
������
�����
��������P�
����
����
�
O�7�
��
����=
�����
�
�������������8
����
����
���
�����Q��8
��66�7�����8
8�����78�
�����������
r
�OP
����N�
Q
����
�P��X����
��
93W�
OP��
�������
����
����
������
�������������
������
��=
���
��������P�
����
����
A&D)
�
O�7�
���
��66�7�=
��
∆0
1
≈∆0
2�
������
���
����N���
���
.8��&0)≈��!
8�3�
��
���
�O����N����
8����8��Q��
�P�����
�N���
Q
�78�����
#
��� ���
������Q���
���
���
8�,
,��
����7��
����6�7�N�����
���N�
��7��O�
������
��8�
�������
TbU�
�P�������P�
�
�N�=
�8
�8����
���P�
7�����8��
��
����Q���
�����8=
���
��
���
���
�
�
���66�����
�
�������������
�
����
���
����
���
���P�
���8��
���
�
��X�
�78���=
��
�
�8����
����
��8������`���
8�����78�
�=
����������
�
N���
��
��Q��8
���8��
��
�����Q7���=
���
��O�N���
���
!
8�3
��7��� �
��`��
�����
���=
7�
Q
�����:���
Q
�78�����
�
����������
�O���
�
�8����
��
+7
�����
������P�
��
�����
��8�8�
��N�����
��=
���
����
��
��������
�������
������
N
�
������
8�`���
Q
����� ��
���
������P�
�8����
����
��
���=
�P:��
���
8�9
��
��O�N���
���
!
8�s
�
���
8�9
��
��!
8�s�
����
���
�
7���O�X�P�
��������
��
7��=
N����
���
��� �
�����
��
8�9
�
N
�
�������
�
��=
���:���
�
�78�����
��
������Q���
��
��
8^
T]#�U
��
��O�N��
��X�8���
��
��P�
��7��� �
���=
7�
Q
��� ���
��8���7������
�
���P��
Q
�N���
Q
�7=
8�����
�8����
��P�
�
��7��O�
���P�
�2�
�
�O��=
�
�
������P�
�8����
��
��O�����
�
��������
�P=
����
N���
��
��Q���
Q
l-fl0≈_!$�
89f,
&�8
��
��=
��
��
���
!)�
�O����������
���8�N�����
��PX��=
���
�������8��
Q�
�
����8�����
������
��PX��
�
O�7�
�������
�
���
��P
T!��
!!U
���� ����������!"����
Z��8�� �8P�
���
�8P
�8����
������
���
���
��
������
�
�����
�
��� ���
�O��N���
��8����
�
��8�8�
���
�����
������
�P���
�7
�
��
�
��=
��������P�
��� �
��X�
���P�����
��
��������
��
������Q��
�7=7�
��7���
N���
��
��Q���
�
����
��
=
N����
����
����P�
�����
���
����������
�
����=
�����
������
O��7��
�
�
8��
�
��
��������
��
���������
�N���
�
�78������
Z��8������
X�
�P��=
��N���
��
��Q�P�
�����P�
��������
��7��� �
�����=
����
Q
�
���N���
������
���
��
����
� ���
��
���
8
O�7
��
���
�N���
�
����7����
T!U
Z��
�8�
���
��7=
-��
!
���8�8�
��N�����
�����
����
���
�������
���
��7��N�P�
7��N��� �
��O�N���
���
.
&��
��
����
#
�8=
����
���P�
7�����8��
�
N���
��
��Q���
�
�������)B
E
#
.:!
8�3j
F
#
.:��!
8�3
�
!��
���
���
"��
/�
,
�
!�
!�
��
/�
,
_��
_!��
_!��
_���
�
!
l-
fl
0
�
8
9
f,
-�
i
���
!��
!��
��� !
�
��b
��$
!��
!��
!�"
!�b
.�
!�_"
s
!���
!�!$
!�!b
!�!"
!�!�
!�!�
!��$
!��b
t
��
�
�
��
��
�Q
��
�
��
C
e
e
���
,�
Gg�
���
,�
Gg!�]
���
���
,�
Gg�
���
,�
Gg!�]
���
-��
�
u�����8��
�
6��
���
�����Q���
�
C
�
���
.
���
�8����
����
���
�
���
^
��
�
�����
��88�=�O��N���
��7��
Gg!�]
���
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������� ��
��
����P�
C&.)���
�
�����
�O��N��� �
N
�
�
��O�����
�
�������8��
��Q��
-���N�
���P�
7��N���
���
�
6��=
���
�����Q���
��
���
��
�
���`��
�N��
H�
����7��=
���
��
���
��
����PB
.
H
g!�!k!�_"
s�
C
H
g!�!��
N
�
����=
:�
��������
�
�
�������8��
��Q�P8�
����P8�
+78�����
��8�8�
��N�����
�����
����
��
��
��O�N���
���
!��
8�3
����7����
N
�
�8����
���P�
������
�P7����P�
��88�=�O��N����8
2�b�
��7��
��
!�b
����
��
����P:��
8����8��Q����
7��N���
��=
������
�O����
���
�:�O��
�78�����
�8����
��P
&
����#)
,��
������
�7
����P�
8�
������N�����
�����=
�������
�
�O��Q���
�
��������
��
��O�N���
���
!��
8�3�
�8����
���P�
�
�������
�
������P�
�N=
���
�����
�O��N���
��7��
!�b
���
��
����P:��
[�
8,
&
����$)
2
�����N����8
��7P
�O��N���
��
!�]
���
����N���
∆0
��
����P:��
���
,
&���
�)
����=����6���8
�����������
T!�U
9P��X����
��
�������
���
N���7
����
�8��
���
+
β−= )fKvI&)& i068--.. G> 3
2
1
)fKvI&)& i068--.;> 2
3
1
1
β−+ �
&b)
%�����
7�����8��
�
C&.)
�7
&b)
���
B
.
.
.
.
.C 2
1
1 ++=)& �
&])
���
.!�
�
#
�����
����
�N�����
����
.!g�BB�
�.G>f�AI
��
.�g.;>�f".G>
2�88�
�
������
N��
�
&])
��7��� �
�����Q�P�
��66�7����P�
���
��
�������P�����
��X�����
&�
����
������8��)
�
����8O��������P�
��
&
��
Q�
������8��)
+7
��������
����
���������
������8P�
������
N
�
�
�����N����8
���
���8�
�
�N�����
��=
�������
C&.)
���
�
��������
7�����8��
Q�
C&.)≈!h
h&.f.!)
�
�����
����
�N����8
�������8
w!f.!
-��N�
C&.)
�
�����Q7������8
����
��6�7�N�����
�
��������N�����
����8�
���
�������
�
���
��P
��=
��7���
N
�
������
���
�����N���
������
����8O�����=
�����
���
��� �`��
�����
����
�N�����
������
���=
��
�O��N���
������Q��
��X��
N�8
��
�O��N���
2��=
����
��Q���
���X��
��`��
����
Q
�N��
������N���
H
�)
�
�
!
�
_!
�
!
�
%
�
��
��
��
�
��
�
8
��
��
�
��
�
8
,
%
�
��
��
��
�
��
��
��
X
��
��
�
8
�9
�
!�
��
��
"�
��
b�
r����
������
-��
�
��8����
����
�����:���
Q�
�P7�����
��88�=
�O��N����8
2�b�
��7��
!�b
�
!�]
���
��
!��
!��
���
���
���
���
/�
,
���
��"
���
���
��!
���
∆0
�
,
Gg!�]
���
Gg!�b
���
-��
"
2
�O��Q���
Q
���N�����
�PO����
�����P�
��������
�8����
��P
�����
��8������������
�
�8����
�=
�P
������
�N��
���P
�
�N��
7�
���������
����
&�78�����
�P������P
���
�8����
���
������
�N��
���P)B
!
#
��
�O��N��� j
��#
�����
�O��N���
��88�=����
�8�
2�b�
��7��
!�b
���
O)
%
�
��
��
��
�
��
��
��
X
��
��
�
8
�9
�
"
�
�
!
�
�
�
!
�
%
�
��
��
��
�
��
�
8
��
��
�
��
�
8
,
�
!�
��
��
"�
��
b�
r����
������
���
.
G>
�
.
;>
#
β&-)
#
B
B�
�
A
I
#
��66�7����P�
�
����8O��������P�
���
���P=
`��� �
���
��
�
�����j
����8�
��
β&-)gA
I
�KvI&8-f6i0)fB
B�
�xx!j
����������
�
��O�
�����
������
����
����=
�����
���
��
�
�����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������� ��
��
����8
�O��7�8�
�����������
�
�����
Q
��7��O�=
���P�
�����P�
��������
�8����
��P
��`��
�����
����������
7���O�X�P�
��������
�����:���
Q
�7=
8�����
��
��P��
�P7�����
��� ���8
��88�=�O��=
N��� �
����P:��
�
^
�X�
��
��7P
!�b
���
T�U
%�"�&�����
'�
������
��7��Q
�
��
��8������P�
6�7���=
��=
������N�����
�
8�
������N�����
������������
��8�
��7��O�
��P
�����P�
������P
�8����
��P
��
���=
8�����
�
������ �
��� ��
6��
����
���
��8��Q=
���
����
������
Z�
���������
�
�������N�P8�
�=
��8�
��������
������Q
����7�
Q
8�`���
Q
������=
��
����� ��
��
����=���
��� ���
��
���8
�O��7�8�
��`��
�����
���P��
Q
�N���
Q
�78�����
�
�O���=
�
��������P�
�8����
���
���
�NQ
��������
�P��=
���
N���
��
��Q���
�
&��� ���
!$�
89f,)
�
�O���
�
������P�
�8����
���
���P��
Q
������������
�
��=
���
Q
�
��88�=�O��N����
-�7��O�
���P�
������P
���8����P
�
������ �
��7����
��
���8�
�N�����
6��
����
�
�O��N���
��88�=����
�8�
2�b�
��
�8����
������
8���
����=
��
�Oq��
�
y(��P
��z
&c{
O���
r3.2)
��
����
� ���
�N��
�78�����
�
���
�8P
�����
�����
���8����
���
8
Z��
7�������
����
=����
����
yu���
=�n|z
&�
��8���
�����
�
y*������
�
��
z)
�����P�
�
����
�=
��
����
��=���8�N�����
������
�
������ �
��� ��
���:���
6��
����
8��������
����P�
��
N���
����=
��
���
�O����N����
���
���Q
�8����
���P�
��X�=
8��
7�������
��������X�������
X������
���������
�
O���
����
P
�
�N���
Q�
�78�����
[����
,
+2Z%/4u%93''10
+2�%r'+,+
!
}����
~
*
t�7�N��
������
������������������
��������
���
��8��Q���
����
������ #
���
���
6�7 =8�
���� #
, �
�tZ
'3'(�
���"
�
�snsf��|
eod�KFKd�K
od
<AK�GFod@�C
�oF
<vGFK>K
<dL@Fod=
>KdGCB
�?C?lKd?
&�DK
�ns)�
!���B
DGGIBffKvGKAK�G �IA d?C? �oLf
�od�KFKd�K
�
�F?dClM�KFC��!
<MFoCKdCoFC
p{B
�@�KCG
o�
GK�Dd@�?A
I?IKFC
o�
GDK
!!GD
cdGKFd?G@od?A
eod�
od
noA@l=nG?GK
nKdCoFC
?dl
s�GM?GoFC
{oA
!�
� #
SMd@�D
&aKF>?d�)B
nIF@d�KF #
���!
"
�F?dClM�KFC���B
�@�KCG
o�
GDK
!�GD
cdGKFd?G@od?A
eod�KFKd�K
od
noA@l=nG?GK
nKdCoFC�
s�GM?GoFC
?dl
S@�FoC�CGK>C #
ioCGod
&�ns)B
nIF@d�KF #
����
�
iM�J@d�D?>
S
�
�o@CK
@d
KAK�GFod@�
lKL@�KC
?dl
C�CGK>C #
�KE
�oFJB
<AA@C
�oFEool
|Gl �
!�$�
b
,���������
Z
Y �
}����
~
* �
,���������
2
Z
-��N�
=
�P�
�����7
�����:���
��
�78�����
���8�������
��
N���
�8��=
��
��P
ff
Z��8P:�����
����
������ #
���� #
�
�"�
�
�_� #
2
!�"#!��
]
�M�@d
|
a
eF�o�Kd@�
GDKF>o>KGF�B
?
FKL@KE
o�
IFo�FKCC
C@d�K
!�$�
ff
eF�o�Kd@�C #
!��] #
{oA
�]�
�
] #
�
�"!#��b
$
�olF@AA
i
e �
̂ F?MCK
�
̂ �
nE@dKD?FG
�
� �
�?d�
{
�KF�oF>?d�K
�D?F?�GKF@CG@�C
o�
C@A@�od
l@olK
�F�o�Kd@�
GK>IKF?GMFK
CKdCoFff
sIIA@�?G@odC
o�
eF�o�Kd@�
�K�DdoAo�� #
!��! #
{oA
!��
�
! #
�
$�#!�]
�
�K>IKF?GMFK
SK?CMFK>KdG
?dl
eodGFoA
ff
�FolM�G
e?G?Ao�
?dl
�K�KFKd�K
aM@lK
�?FG
!
o�
� #
�KCGKFL@AAK�
�D@o
&�ns)B
�M�A@CDKl
��
|?JK
nDoFK
eF�oGFod@�C�
cd� #
!���
!�
nDE?FGC
�M
S �
̂ odlF?�DMJ
s
{ �
nDE?FGC
S
S �
nDI@d?F
|
c
�od=oD>@�
SoGG
�odlM�G@L@G�
?dl
GDKF>o>KGF@�
�D?F?�GKF@CG@�C
o�
DK?L@A�
loIKl
C@A@�od
CGFM�GMFKC
ff
nK>@�odlM�GoF
�D�C@�C�
�M?dGM>
<AK�GFod@�C
�
�IGoKAK�GFod@�C #
���� #
{oA
��
�
� #
�
"��#"��
!!
nDE?FGC
�M
S �
nDE?FGC
S
S �
cL?CDKdJo
s
S
KG
?A
n@>MA?G@od
o�
AoE=GK>IKF?GMFK
�MFFKdG
�AoE
?dl
CKdC@G@L@G�
@d
n@
l@olK
GK>IKF?GMFK
CKdCoFC
ff
�JF?@dK
�
�D�C@�C #
���" #
{oA
"��
�
!� #
�
!���#!���
!�
nDE?FGC
�M
S �
noJoAoL
{
� �
nDE?FGC
S
S �
{Kd�KF
<
�
�?l@?G@od
FKC@CG?dG
C@A@�od
l@olK
GK>IKF?GMFK
CKdCoFC
ff
nKdCoFC
?dl
s�GM?GoFC
s #
���� #
�
�]_�$ #
�
�]!#�]�
��#�]
8�
����
�
�
%�����
���=
:��
�
��:�
�X�
�����������
:��=
�
8�X���������
���N��=����
�=
N����
���6������
y2����8���P�
��6��8������P�
�
����
����P�
��=
�������z
&�2+.�=�����)
,��
�
�
���=
�P��`��
���P�
���6������
OP��
������7�����
�
���������
%������8
��������Q�P8
����
����N����8
���=
�����
�
�8
�
���������
X������
����=
������
�
����
����������
�
����
=
������
������
����
9
��O�
�
���6�=
������
���� ��
�N��
��
�����
���=
���
*����
���
��
���8P:������
����
���
(�����P�
��������
���
�
�����P�
���������
P
� ��
�����8�N�=
����
�
�
������P�
���
�
�
���
����=
���
��
�
��7��
�
���
2'Y
9
Z�����88�
���6�������
��=
:��
�$"
��������
�����
������P�
�N��P8��
���������
�8��
�������=
�8�
�7
37��O���X����
m����������
Y��7���
+��������
*�����P�
-��=
����
����8�����
(7O����
���
�
(�=
����P
2����
����
����
��������
OP��
�����
���
���
3��
������
Y��=
8����
�
2}3
,��6������
���������
��
���=
����P�
�
��������P�
7������� �
-�=
O�
���
������B
%O��O�
��
��������
2��8�
��=
����
2��
�8�
������j
+�6��8������P�
���������
,�8�Q�
���P�
���
�8P
�
��
�j
Z����
���������
����
�������=
����
����7����
��
�
���
���Q
����
=
����P�
�����
�j
t���������Q��
����
������
*����=
�
����
���������j
.������N�����
8���
�����
'��O����
��
�����P8�
��
X��=
����
��,.3�
OP��
���������
��
������
Z����
������P�
������P
�
=
��7���
���
�
�N��
:������
����
�
���O��8�
��
��P�
��:��
�
���=
�������
������
��
�����8����8
�
�=
��
98��
�
�
�8
������7�
���8
���=
6�������
�
�������8
������Q
���
�=
��
Q
��������Q
���8
�O��7�8�
N
�=
OP
7�������
�
��8���
������
����=
��
�����
��
�8�
�N�����
����������
N
�
�����O�
������
�������
�
8��=
6���
�O��X����
���O`����
Z�
���������
�
���6��������
�2+.�=���"�
�����N����Q
����N�=
�
��
�����
������P�
��������
9P=
�����
���
��������
�
������P�
'++
�
,m�
N
�
��7��� �
����
Q�
��
��7���
����
��
�����
���8P:=
������
�
�
���6�������
,
��X�������
��
���
������N���
�8����
���OP
Q
��
�P�
�������
3
7����8�
��
�
��6���
�8�
��������
�
������
���6�������
&�
��X�
�
����=
�
������P8�
����P8�
���
�8�
��������)
��
8�X�
7�8���
Q
X���=
��
�O`���
%�����
�
����8
���6������
������Q�
N�8��
����N���
�����O�
��=
����
�
���������
������
��
���
=
X����
�����
���8���
��
���������
%N������ �
{cc
���6������
�2+.��
������
�
���b
����
�
�����=
����
������
8�
,
�
�8�
���8����
�����8� �
�
X������
��,.3�
�X�
O���
���O�������P
8�
�����P
�2+.�=������
7����X����`��
���=
8���
N�
�
����
J��%������!�� �
�� �
'(���'�
�����)� ��*
����������
���
�������
KKK�36LM�KM==53�7N96OAPL7�43C=
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53571 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T13:46:23Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Шварц, Ю.М. Шварц, М.М. 2014-01-22T23:58:30Z 2014-01-22T23:58:30Z 2005 Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники / Ю.М. Шварц, М.М. Шварц // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 30-33. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53571 Физически обоснованы и реализованы кремниевые диодные сенсоры температуры с оптимизированными характеристиками. Сенсоры применены в ракетно-космической технике и атомной энергетике. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Сенсоэлектроника Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники Мікроелектронні термодіодні сенсори екстремальної електроніки Microelectronic thermodiode sensors of extreme electronics Article published earlier |
| spellingShingle | Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники Шварц, Ю.М. Шварц, М.М. Сенсоэлектроника |
| title | Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники |
| title_alt | Мікроелектронні термодіодні сенсори екстремальної електроніки Microelectronic thermodiode sensors of extreme electronics |
| title_full | Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники |
| title_fullStr | Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники |
| title_full_unstemmed | Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники |
| title_short | Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники |
| title_sort | микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники |
| topic | Сенсоэлектроника |
| topic_facet | Сенсоэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53571 |
| work_keys_str_mv | AT švarcûm mikroélektronnyetermodiodnyesensoryékstremalʹnoiélektroniki AT švarcmm mikroélektronnyetermodiodnyesensoryékstremalʹnoiélektroniki AT švarcûm míkroelektronnítermodíodnísensoriekstremalʹnoíelektroníki AT švarcmm míkroelektronnítermodíodnísensoriekstremalʹnoíelektroníki AT švarcûm microelectronicthermodiodesensorsofextremeelectronics AT švarcmm microelectronicthermodiodesensorsofextremeelectronics |