Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники

Физически обоснованы и реализованы кремниевые диодные сенсоры температуры с оптимизированными характеристиками. Сенсоры применены в ракетно-космической технике и атомной энергетике....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2005
Main Authors: Шварц, Ю.М., Шварц, М.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53571
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники / Ю.М. Шварц, М.М. Шварц // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 30-33. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859731436674744320
author Шварц, Ю.М.
Шварц, М.М.
author_facet Шварц, Ю.М.
Шварц, М.М.
citation_txt Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники / Ю.М. Шварц, М.М. Шварц // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 30-33. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Физически обоснованы и реализованы кремниевые диодные сенсоры температуры с оптимизированными характеристиками. Сенсоры применены в ракетно-космической технике и атомной энергетике.
first_indexed 2025-12-01T13:46:23Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� �� � ��� ������ � �������� �� !� ���" � # �$ �" ���� � %������ ��������������� �� �� &%'(� � %�����) *+,-%./0,�-%''10 �0-*%�+%�'10 20'2%-1 .,2�-0*3/4'%5 ./0,�-%'+,+ ������������������������������������������������ (������� � ,���� +�� � � 6�7��� ��������������� �8 9 0 /�:���;�� <=>?@AB CDE?FGCH@CI J@KL M? ���������� ������ !�"� �� #�!$��� !�" �#����� "�������"�������#"�%��&�#!� %'#"� �� �&%�����#� !��"��� (!#!�%�� #��%��!����)����#"�&#������"� � #!� ��%�������������*�%�(�������!%����* +��#,�%���� -�7�� �� ���� ��=���8�N����� ������� ��8� ���= ���� � �8��� � ���������� ���� 6�7��� � ������ ��7��� �8���� �� � �8��������� ��7��O� �� ���= O����� �����O�P� 6������������ Q � ������ � ��7= ��� &�O��7� ������P�)� �P����� &����� ���R2) �8= ���� ��� ��7���� �� �������� &�� !� S���)� 8��= �� �P� ����� &�� !� ��)� ��8�N����� ������ ��� ��O����� � � ,���� ���� ����P� ���O����� ����= ��7��N���P� �� ��O� P � ������ � ���� ���:��� 6�� ���� � �� ��8O������������ ��� �� � � ��� � ��� ��8��Q��� ���� ������ T!U %��OP� �� ���� �� ��7���� ���O���� ��� ��8��Q��� ���� ������ ����= � ��� � ���8����P� � ��� ��P T�#"U V��Q� ��:�� ������������ OP�� ��7��O� �� �P= ���� �N���� ���8������� �������� ������� �8��= �� ��P &�2�)� �����O���� ��O� � Q � ������ � 6��= ���� ��� ��8��Q��� ���� ������ # ��7��� �8��= �� ��� ��������� ��8������� +�������8P� � ��O�= � �2� ��7��O� ��P �� O�7� ��������� ��66�7���= ��� ���8P:������ ��������� �7�� ������ ���8= ����P� �����P� N���� +78����� ��8�8� ��N����� ����� ���� �� &�*W) �����= ��� & �8���� ����� 7�����8�� � ������ ���� X��� - �� �����= �� ��� ����������� N���7 ���� ��� � ����� �� 8��� ��� .)��P= ������P �� �� �8� �7��������8 8� ������N����8 � ���� (Y�=3 Z����:��� Q ������X��� ��O�N��� ��� �� 7������8 ������ �� ����P:��� [��!\ *����8��Q��� 7��N���� �������� �O��= �� ��� �:�O�� �78����� �8���� ��P / ��� ��� �� [���� , � �����7��� �8���� �� "��#�]� , � [���� , # � �����7��� ���#��� , ��N��� Q ����O����� �������� �� ��X� [!� 8^ � �����7��� "��#�]� ^ � [�� 8^ � �����7��� �]�#��� ^ 9��Q =�8����P� ����� ���� ��� &93W) ������ �78����P �� �� �8� �7��������8 � ���� � �� ������ ���� !�_!!#!�_� 3 � �����7��� �8���� �� "��#�]� , ���8�� � �������� �O��7��� ���`�� �� ���Q � ����� X������ ���� � �����:��� Q� ������= X��� �8���� ��P �� ��X� [���! , Z����:��� Q �78����� ���� X��� �� ����P:��� [� 8�9� ��� # [�\ 2 �O��Q��� Q �2� ����������� �� �O���������� ��O�N��� � ����� ������P �8���� ��P 90�=�"=!$=$] �� �8 �78����� ���� X��� �� ������� ��� 6�����������8 7��N���� �� 8��� ��� � ������P� �N��� & ����� �N�� ���P &���!R2)� �8����= ��� �������� a? &���]b"bR2) � �8���� ��� 7� ��������� cd &!�b���$�R2)) �� � ����� �� ������ ������� �� ������� ������P �66�� ������ �8���� ������ �����7��� �� 7� �8� ����X���� �� ��X��� ������P �� ������ Q� ���8���� $Ref8�� � ���������������������� ���� �� ���������� �� �8��Q���� ��O�N��� ��� ���= ����� �� ��P� �O����N���� �����7����P� �78���= �� � ���������� �O��� � �8���� �� � � ��N�� ���= ���Q�P8 6�7�N����8 ��78�X��� 8 N��� �� ��Q��= �� ���8�� �� 8P �������� �7 ��� �8� �N����� ��= ���:��� � �78����� �8���� ��P ∆0� �O��������= ��� �X�����P8 ��7������8 ∆0 1�� � �����P8 ∆0 2 34 � ���O��P8 ∆0 2� 54 :�8�8� �����B ∆0gT&∆0 1 )�h&∆0 2 34)�h&∆0 2 54)�U!f�� &!) +����Q7� �P��X��� �� ���� ���Q��� ��� ��= � � 6��� ����� ���� X��� � �O���������P� ����= �P8�� ���O��P8 :�8�8� T�U� ��� �8� �N����� ��= ���:��� � ∆0 2� 34 � ∆0 2� 54 8�X�� ����� ��� Q � ���� ∆0 2� 34�g T"6i07∆ωU!f� fα&0� .)j &�) ∆0 2� 54�g T�8.∆ωU!f� 7 fα&0� .)� &�) -�7��Q � P ���N� � ∆0 1� � ∆0 2 gT&∆0 2� 34)�h&∆0 2 54)�U!f� �� ��7�P� 7��N���� ��� ����7���� N � � �����N���= �8 ��� ����� ��8���7������ � ∆0 ��� � � � :�8� # ���X�� � � � ���O��� � ��� �8��Q:���� ��� ���Q :�8�� ��7��� �� � � 8�`��� Q ����� �� �8��Q:�= � � ����8 �O��7�8� ��`�� ��� ����� ���� �N����� �� .g.8��&0)���� ��P� 8���8�7���� 7�����8�� Q ∆0g∆0&.) ��� ������ �8���� ��� ��8���� ���� 7�����8�� Q .8��� �������� �7 ������ �∆0&.)9�.:�� �8�� ��� .8�� ≈ T8∆ωf�; 34 α�U!f�T!h&�6i0f8- 0 )!f�U�f� &") ��� ∆/ 1� g < # <: ; 34 �# ; 34 : = # > # λ&0) # <; 34 j ���������8� ������ 8�`��� Q� .k-&0�.)j ������� ����� ������� 8�X�� �������8 � ������� �8= ���� ��� �� ���� �78�� � � � =9>kλ&0)j ���� � ��� � 8� �������N����� ������P #?&=����= ���� �� ���:��� ��������� � N���j ���`��Q ������� � ��� ��Pj ���66����� ������������� � ��� 6i� @ 7�g l-9l. # ∆ω # α&0�.) # 8 # ��� � ��� m��Q�8���j ����8�N����� ����� ������� �����j :����� ���� ���Q��� �����Pj N��� �� ��Q��� Q �������j 7�� � ���� ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �! ���������� �� �� ��O� �� �P����N��� �� ��Q�P� �����P� �8���� ��= �P� �������� ��������Q�� ��:����Q 7���N� ��� �= X��� ���O����8�� � ����� � � ����������P8 ��7= ���� �� 8 +�����������Q ��� ��� �O��N��� �� ��X������= �P� ����� � A?B=� ��� ���� n@ 2 ��� ��P �O��N�= �� γ=���� �8� eob� � �� ������ S-p=γ=�� S � 8�`= ��� Q� ��7P ��� ���f� ��� �8���� ��� ��� ^ 3����7 ����N���P� �7 �������8�� ��Q�� �78����= �P� 93W ����P� 7�����8�� �� ��66��������Q���� 6�� ��� �����Q��� � C&.) Cg&8f6i0)&l-flAd.) &�) ����7��� N � �� 93W ��`�� ��� �O��� Q ����� � ��= ���� 7�����8�� Q C&.) ���� ������P� ����� �� Z��= N�8 ������ C&.) O��Q:� �� ���O��N���P� �O��7��� �� ��������� � �O��N���P8� & �����) ��N�� ������= N��� )� � ����� ��� � �� ���� 6�� �� �����Q��� � � ��66��������Q��� ����� ������� 8!�� ������X��P ��� ��� ��������� ��� �� � ��� ��� .≈!�_" 3 m��7�� Q 6�� ��� �����Q��� � C&.) � ������� ���= 7P��� �� �� N � ��8������`�8 � �8�`����� � ���= ������8 ����������� ������� � ��� ��� �� � � ��66�7����P� 8�����78 ����������� � Cg! �� �Oq ����� ��O�����8��� � ������� � �����Q���= � 93W � ����8� �����8�8 �����7��� �8���� �� OP�� �N ��� ��� ��� ����8O����������� ��� � ��� �������P������ ����� ��X������������ ������ ��= �� ��X�� �������P� ���� ���� 8���� 8��Q:� ���= �������� ������ ����� �P���� �� 7��N� ��Q�� ���= �P:�� ����������� ������ ����� ���� ����� � O�7� 9 � �8 ���N�� ���O����8� �N�� Q ����������= ������� �����X������ ���� X��� 8�X�� �������8 ���� X��� �� �O��� � ���� ���� ������� 7�� �� � �� O�7� ������ � ��X� 8���6������ ������������ ������ ����� ��������P� ���� ���� � O�7� �� ����= ����� � �������������8 ���� ���� ��� �����Q��8 ��66�7�����8 8�����78� ����������� r �OP ����N� Q ���� �P��X���� �� 93W� OP�� ������� ���� ���� ������ ������������� ������ ��= ��� ��������P� ���� ���� A&D) � O�7� ��� ��66�7�= �� ∆0 1 ≈∆0 2� ������ ��� ����N��� ��� .8��&0)≈��! 8�3� �� ��� �O����N���� 8����8��Q�� �P����� �N��� Q �78����� # ��� ��� ������Q��� ��� ��� 8�, ,�� ����7�� ����6�7�N����� ���N� ��7��O� ������ ��8� ������� TbU� �P�������P� � �N�= �8 �8���� ���P� 7�����8�� �� ����Q��� �����8= ��� �� ��� ��� � � ���66����� � ������������� � ���� ��� ���� ��� ���P� ���8�� ��� � ��X� �78���= �� � �8���� ���� ��8������`��� 8�����78� �= ���������� � N��� �� ��Q��8 ���8�� �� �����Q7���= ��� ��O�N��� ��� ! 8�3 ��7��� � ��`�� ����� ���= 7� Q �����:��� Q �78����� � ���������� �O��� � �8���� �� +7 ����� ������P� �� ����� ��8�8� ��N����� ��= ��� ���� �� �������� ������� ������ N � ������ 8�`��� Q ����� �� ��� ������P� �8���� ���� �� ���= �P:�� ��� 8�9 �� ��O�N��� ��� ! 8�s � ��� 8�9 �� ��! 8�s� ���� ��� � 7���O�X�P� �������� �� 7��= N���� ��� ��� � ����� �� 8�9 � N � ������� � ��= ���:��� � �78����� �� ������Q��� �� �� 8^ T]#�U �� ��O�N�� ��X�8��� �� ��P� ��7��� � ���= 7� Q ��� ��� ��8���7������ � ���P�� Q �N��� Q �7= 8����� �8���� ��P� � ��7��O� ���P� �2� � �O��= � � ������P� �8���� �� ��O����� � �������� �P= ���� N��� �� ��Q��� Q l-fl0≈_!$� 89f, &�8 �� ��= �� �� ��� !)� �O���������� ���8�N����� ��PX��= ��� �������8�� Q� � ����8����� ������ ��PX�� � O�7� ������� � ��� ��P T!�� !!U ���� ����������!"���� Z��8�� �8P� ��� �8P �8���� ������ ��� ��� �� ������ � ����� � ��� ��� �O��N��� ��8���� � ��8�8� ��� ����� ������ �P��� �7 � �� � ��= ��������P� ��� � ��X� ���P����� �� �������� �� ������Q�� �7=7� ��7��� N��� �� ��Q��� � ���� �� = N���� ���� ����P� ����� ��� ���������� � ����= ����� ������ O��7�� � � 8�� � �� �������� �� ��������� �N��� � �78������ Z��8������ X� �P��= ��N��� �� ��Q�P� �����P� �������� ��7��� � �����= ���� Q � ���N��� ������ ��� �� ���� � ��� �� ��� 8 O�7 �� ��� �N��� � ����7���� T!U Z�� �8� ��� ��7= -�� ! ���8�8� ��N����� ����� ���� ��� ������� ��� ��7��N�P� 7��N��� � ��O�N��� ��� . &�� �� ���� # �8= ���� ���P� 7�����8�� � N��� �� ��Q��� � �������)B E # .:! 8�3j F # .:��! 8�3 � !�� ��� ��� "�� /� , � !� !� �� /� , _�� _!�� _!�� _��� � ! l- fl 0 � 8 9 f, -� i ��� !�� !�� ��� ! � ��b ��$ !�� !�� !�" !�b .� !�_" s !��� !�!$ !�!b !�!" !�!� !�!� !��$ !��b t �� � � �� �� �Q �� � �� C e e ��� ,� Gg� ��� ,� Gg!�] ��� ��� ,� Gg� ��� ,� Gg!�] ��� -�� � u�����8�� � 6�� ��� �����Q��� � C � ��� . ��� �8���� ���� ��� � ��� ^ �� � ����� ��88�=�O��N��� ��7�� Gg!�] ��� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� ����P� C&.)��� � ����� �O��N��� � N � � ��O����� � �������8�� ��Q�� -���N� ���P� 7��N��� ��� � 6��= ��� �����Q��� �� ��� �� � ���`�� �N�� H� ����7��= ��� �� ��� �� ����PB . H g!�!k!�_" s� C H g!�!�� N � ����= :� �������� � � �������8�� ��Q�P8� ����P8� +78����� ��8�8� ��N����� ����� ���� �� �� ��O�N��� ��� !�� 8�3 ����7���� N � �8���� ���P� ������ �P7����P� ��88�=�O��N����8 2�b� ��7�� �� !�b ���� �� ����P:�� 8����8��Q���� 7��N��� ��= ������ �O���� ��� �:�O�� �78����� �8���� ��P & ����#) ,�� ������ �7 ����P� 8� ������N����� �����= ������� � �O��Q��� � �������� �� ��O�N��� ��� !�� 8�3� �8���� ���P� � ������� � ������P� �N= ��� ����� �O��N��� ��7�� !�b ��� �� ����P:�� [� 8, & ����$) 2 �����N����8 ��7P �O��N��� �� !�] ��� ����N��� ∆0 �� ����P:�� ��� , &��� �) ����=����6���8 ����������� T!�U 9P��X���� �� ������� ��� N���7 ���� �8�� ��� +    β−= )fKvI&)& i068--.. G> 3 2 1 )fKvI&)& i068--.;> 2 3 1 1     β−+ � &b) %����� 7�����8�� � C&.) �7 &b) ��� B . . . . .C 2 1 1 ++=)& � &]) ��� .!� � # ����� ���� �N����� ���� .!g�BB� �.G>f�AI �� .�g.;>�f".G> 2�88� � ������ N�� � &]) ��7��� � �����Q�P� ��66�7����P� ��� �� �������P����� ��X����� &� ���� ������8��) � ����8O��������P� �� & �� Q� ������8��) +7 �������� ���� ��������� ������8P� ������ N � � �����N����8 ��� ���8� � �N����� ��= ������� C&.) ��� � �������� 7�����8�� Q� C&.)≈!h h&.f.!) � ����� ���� �N����8 �������8 w!f.! -��N� C&.) � �����Q7������8 ���� ��6�7�N����� � ��������N����� ����8� ��� ������� � ��� ��P ��= ��7��� N � ������ ��� �����N��� ������ ����8O�����= ����� ��� ��� �`�� ����� ���� �N����� ������ ���= �� �O��N��� ������Q�� ��X�� N�8 �� �O��N��� 2��= ���� ��Q��� ���X�� ��`�� ���� Q �N�� ������N��� H �) � � ! � _! � ! � % � �� �� �� � �� � 8 �� �� � �� � 8 , % � �� �� �� � �� �� �� X �� �� � 8 �9 � !� �� �� "� �� b� r���� ������ -�� � ��8���� ���� �����:��� Q� �P7����� ��88�= �O��N����8 2�b� ��7�� !�b � !�] ��� �� !�� !�� ��� ��� ��� ��� /� , ��� ��" ��� ��� ��! ��� ∆0 � , Gg!�] ��� Gg!�b ��� -�� " 2 �O��Q��� Q ���N����� �PO���� �����P� �������� �8���� ��P ����� ��8������������ � �8���� �= �P ������ �N�� ���P � �N�� 7� ��������� ���� &�78����� �P������P ��� �8���� ��� ������ �N�� ���P)B ! # �� �O��N��� j ��# ����� �O��N��� ��88�=���� �8� 2�b� ��7�� !�b ��� O) % � �� �� �� � �� �� �� X �� �� � 8 �9 � " � � ! � � � ! � % � �� �� �� � �� � 8 �� �� � �� � 8 , � !� �� �� "� �� b� r���� ������ ��� . G> � . ;> # β&-) # B B� � A I # ��66�7����P� � ����8O��������P� ��� ���P= `��� � ��� �� � �����j ����8� �� β&-)gA I �KvI&8-f6i0)fB B� �xx!j ���������� � ��O� ����� ������ ���� ����= ����� ��� �� � ����� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� ����8 �O��7�8� ����������� � ����� Q ��7��O�= ���P� �����P� �������� �8���� ��P ��`�� ����� ���������� 7���O�X�P� �������� �����:��� Q �7= 8����� �� ��P�� �P7����� ��� ���8 ��88�=�O��= N��� � ����P:�� � ^ �X� �� ��7P !�b ��� T�U %�"�&����� '� ������ ��7��Q � �� ��8������P� 6�7���= ��= ������N����� � 8� ������N����� ������������ ��8� ��7��O� ��P �����P� ������P �8���� ��P �� ���= 8����� � ������ � ��� �� 6�� ���� ��� ��8��Q= ��� ���� ������ Z� ��������� � �������N�P8� �= ��8� �������� ������Q ����7� Q 8�`��� Q ������= �� ����� �� �� ����=��� ��� ��� �� ���8 �O��7�8� ��`�� ����� ���P�� Q �N��� Q �78����� � �O���= � ��������P� �8���� ��� ��� �NQ �������� �P��= ��� N��� �� ��Q��� � &��� ��� !$� 89f,) � �O��� � ������P� �8���� ��� ���P�� Q ������������ � ��= ��� Q � ��88�=�O��N���� -�7��O� ���P� ������P ���8����P � ������ � ��7���� �� ���8� �N����� 6�� ���� � �O��N��� ��88�=���� �8� 2�b� �� �8���� ������ 8��� ����= �� �Oq�� � y(��P ��z &c{ O��� r3.2) �� ���� � ��� �N�� �78����� � ��� �8P ����� ����� ���8���� ��� 8 Z�� 7������� ���� =���� ���� yu��� =�n|z &� ��8��� ����� � y*������ � �� z) �����P� � ���� �= �� ���� ��=���8�N����� ������ � ������ � ��� �� ���:��� 6�� ���� 8�������� ����P� �� N��� ����= �� ��� �O����N���� ��� ���Q �8���� ���P� ��X�= 8�� 7������� ��������X������� X������ ��������� � O��� ���� P � �N��� Q� �78����� [���� , +2Z%/4u%93''10 +2�%r'+,+ ! }���� ~ * t�7�N�� ������ ������������������ �������� ��� ��8��Q��� ���� ������ # ��� ��� 6�7 =8� ���� # , � �tZ '3'(� ���" � �snsf��| eod�KFKd�K od <AK�GFod@�C �oF <vGFK>K <dL@Fod= >KdGCB �?C?lKd? &�DK �ns)� !���B DGGIBffKvGKAK�G �IA d?C? �oLf �od�KFKd�K � �F?dClM�KFC��! <MFoCKdCoFC p{B �@�KCG o� GK�Dd@�?A I?IKFC o� GDK !!GD cdGKFd?G@od?A eod� od noA@l=nG?GK nKdCoFC ?dl s�GM?GoFC {oA !� � # SMd@�D &aKF>?d�)B nIF@d�KF # ���! " �F?dClM�KFC���B �@�KCG o� GDK !�GD cdGKFd?G@od?A eod�KFKd�K od noA@l=nG?GK nKdCoFC� s�GM?GoFC ?dl S@�FoC�CGK>C # ioCGod &�ns)B nIF@d�KF # ���� � iM�J@d�D?> S � �o@CK @d KAK�GFod@� lKL@�KC ?dl C�CGK>C # �KE �oFJB <AA@C �oFEool |Gl � !�$� b ,��������� Z Y � }���� ~ * � ,��������� 2 Z -��N� = �P� �����7 �����:��� �� �78����� ���8������� �� N��� �8��= �� ��P ff Z��8P:����� ���� ������ # ���� # � �"� � �_� # 2 !�"#!�� ] �M�@d | a eF�o�Kd@� GDKF>o>KGF�B ? FKL@KE o� IFo�FKCC C@d�K !�$� ff eF�o�Kd@�C # !��] # {oA �]� � ] # � �"!#��b $ �olF@AA i e � ̂ F?MCK � ̂ � nE@dKD?FG � � � �?d� { �KF�oF>?d�K �D?F?�GKF@CG@�C o� C@A@�od l@olK �F�o�Kd@� GK>IKF?GMFK CKdCoFff sIIA@�?G@odC o� eF�o�Kd@� �K�DdoAo�� # !��! # {oA !�� � ! # � $�#!�] � �K>IKF?GMFK SK?CMFK>KdG ?dl eodGFoA ff �FolM�G e?G?Ao� ?dl �K�KFKd�K aM@lK �?FG ! o� � # �KCGKFL@AAK� �D@o &�ns)B �M�A@CDKl �� |?JK nDoFK eF�oGFod@�C� cd� # !��� !� nDE?FGC �M S � ̂ odlF?�DMJ s { � nDE?FGC S S � nDI@d?F | c �od=oD>@� SoGG �odlM�G@L@G� ?dl GDKF>o>KGF@� �D?F?�GKF@CG@�C o� DK?L@A� loIKl C@A@�od CGFM�GMFKC ff nK>@�odlM�GoF �D�C@�C� �M?dGM> <AK�GFod@�C � �IGoKAK�GFod@�C # ���� # {oA �� � � # � "��#"�� !! nDE?FGC �M S � nDE?FGC S S � cL?CDKdJo s S KG ?A n@>MA?G@od o� AoE=GK>IKF?GMFK �MFFKdG �AoE ?dl CKdC@G@L@G� @d n@ l@olK GK>IKF?GMFK CKdCoFC ff �JF?@dK � �D�C@�C # ���" # {oA "�� � !� # � !���#!��� !� nDE?FGC �M S � noJoAoL { � � nDE?FGC S S � {Kd�KF < � �?l@?G@od FKC@CG?dG C@A@�od l@olK GK>IKF?GMFK CKdCoFC ff nKdCoFC ?dl s�GM?GoFC s # ���� # � �]_�$ # � �]!#�]� ��#�] 8� ���� � � %����� ���= :�� � ��:� �X� ����������� :��= � 8�X��������� ���N��=���� �= N���� ���6������ y2����8���P� ��6��8������P� � ���� ����P� ��= �������z &�2+.�=�����) ,�� � � ���= �P��`�� ���P� ���6������ OP�� ������7����� � ��������� %������8 ��������Q�P8 ���� ����N����8 ���= ����� � �8 � ��������� X������ ����= ������ � ���� ���������� � ���� = ������ ������ ���� 9 ��O� � ���6�= ������ ���� �� �N�� �� ����� ���= ��� *���� ��� �� ���8P:������ ���� ��� (�����P� �������� ��� � �����P� ��������� P � �� �����8�N�= ���� � � ������P� ��� � � ��� ����= ��� �� � ��7�� � ��� 2'Y 9 Z�����88� ���6������� ��= :�� �$" �������� ����� ������P� �N��P8�� ��������� �8�� �������= �8� �7 37��O���X���� m���������� Y��7��� +�������� *�����P� -��= ���� ����8����� (7O���� ��� � (�= ����P 2���� ���� ���� �������� OP�� ����� ��� ��� 3�� ������ Y��= 8���� � 2}3 ,��6������ ��������� �� ���= ����P� � ��������P� 7������� � -�= O� ��� ������B %O��O� �� �������� 2��8� ��= ���� 2�� �8� ������j +�6��8������P� ��������� ,�8�Q� ���P� ��� �8P � �� �j Z���� ��������� ���� �������= ���� ����7���� �� � ��� ���Q ���� = ����P� ����� �j t���������Q�� ���� ������ *����= � ���� ���������j .������N����� 8��� ����� '��O���� �� �����P8� �� X��= ���� ��,.3� OP�� ��������� �� ������ Z���� ������P� ������P � = ��7��� ��� � �N�� :������ ���� � ���O��8� �� ��P� ��:�� � ���= ������� ������ �� �����8����8 � �= �� 98�� � � �8 ������7� ���8 ���= 6������� � �������8 ������Q ��� �= �� Q ��������Q ���8 �O��7�8� N �= OP 7������� � ��8��� ������ ����= �� ����� �� �8� �N����� ���������� N � �����O� ������ ������� � 8��= 6��� �O��X���� ���O`���� Z� ��������� � ���6�������� �2+.�=���"� �����N����Q ����N�= � �� ����� ������P� �������� 9P= ����� ��� �������� � ������P� '++ � ,m� N � ��7��� � ���� Q� �� ��7��� ���� �� ����� ���8P:= ������ � � ���6������� , ��X������� �� ��� ������N��� �8���� ���OP Q �� �P� ������� 3 7����8� �� � ��6��� �8� �������� � ������ ���6������� &� ��X� � ����= � ������P8� ����P8� ��� �8� ��������) �� 8�X� 7�8��� Q X���= �� �O`��� %����� � ����8 ���6������ ������Q� N�8�� ����N��� �����O� ��= ���� � ��������� ������ �� ��� = X���� ����� ���8��� �� ��������� %N������ � {cc ���6������ �2+.�� ������ � ���b ���� � �����= ���� ������ 8� , � �8� ���8���� �����8� � � X������ ��,.3� �X� O��� ���O�������P 8� �����P �2+.�=������ 7����X����`�� ���= 8��� N� � ���� J��%������!�� � �� � '(���'� �����)� ��* ���������� ��� ������� KKK�36LM�KM==53�7N96OAPL7�43C=
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53571
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-01T13:46:23Z
publishDate 2005
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Шварц, Ю.М.
Шварц, М.М.
2014-01-22T23:58:30Z
2014-01-22T23:58:30Z
2005
Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники / Ю.М. Шварц, М.М. Шварц // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 30-33. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53571
Физически обоснованы и реализованы кремниевые диодные сенсоры температуры с оптимизированными характеристиками. Сенсоры применены в ракетно-космической технике и атомной энергетике.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники
Мікроелектронні термодіодні сенсори екстремальної електроніки
Microelectronic thermodiode sensors of extreme electronics
Article
published earlier
spellingShingle Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники
Шварц, Ю.М.
Шварц, М.М.
Сенсоэлектроника
title Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники
title_alt Мікроелектронні термодіодні сенсори екстремальної електроніки
Microelectronic thermodiode sensors of extreme electronics
title_full Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники
title_fullStr Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники
title_full_unstemmed Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники
title_short Микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники
title_sort микроэлектронные термодиодные сенсоры экстремальной электроники
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53571
work_keys_str_mv AT švarcûm mikroélektronnyetermodiodnyesensoryékstremalʹnoiélektroniki
AT švarcmm mikroélektronnyetermodiodnyesensoryékstremalʹnoiélektroniki
AT švarcûm míkroelektronnítermodíodnísensoriekstremalʹnoíelektroníki
AT švarcmm míkroelektronnítermodíodnísensoriekstremalʹnoíelektroníki
AT švarcûm microelectronicthermodiodesensorsofextremeelectronics
AT švarcmm microelectronicthermodiodesensorsofextremeelectronics