Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором

Испытан макет датчика давления с пневмомеханическим резонаторам. Показана возможность построения датчиков для бортового оборудования с погрешностью менее 0,1%.

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2005
Автори: Черняк, Н.Г., Бондаренко, А.Н., Скрипковский, Г.А., Лопушенко, В.К.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53573
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором / Н.Г. Черняк, А.Н. Бондаренко, Г.А. Скрипковский, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 36-39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859729841415258112
author Черняк, Н.Г.
Бондаренко, А.Н.
Скрипковский, Г.А.
Лопушенко, В.К.
author_facet Черняк, Н.Г.
Бондаренко, А.Н.
Скрипковский, Г.А.
Лопушенко, В.К.
citation_txt Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором / Н.Г. Черняк, А.Н. Бондаренко, Г.А. Скрипковский, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 36-39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Испытан макет датчика давления с пневмомеханическим резонаторам. Показана возможность построения датчиков для бортового оборудования с погрешностью менее 0,1%.
first_indexed 2025-12-01T12:37:00Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� �� � ��� ������ � �������� �� �� ���� � !������ ���������������� �� "#$% &' ()*+� � ,���- .,/$01230#�456#70 2//50�!84#29 �4�:2,4 �4850#29 / $#083!30;4#2:0/,23 10<!#4�!1!3 ������������������� ������������������ ������ � ������� ��� �� ���������������� �� ����� =������� #�== >,������� ���� ����?����� ��� � � > @ABCDEF GCGHIJKLMNDGCOL KPQARSD RDTO QC �������������� ��!"��� �#$��"%� � ���#�&��'��"!���"��(�)&���&(&����&* ��)����#&)�&+�&��,��&��(&��"%� ��!"* �&#� $%� -&(�&#&.&� &-&(/ &#��"%� �� �&* .(�0�&��,1�������2�34� /����U���V� �WU����� ��X�� ��� X���� �V��A ��� �?��� �� 8 �� W� � � �U ��� � ��� ��� � ����� �� �����W����V� � ���VY����� �?��� � �� ?��� ������� �� X�� ����� �X��������� � ��� ���Z��A �WU��� ��Z��� ������ ��V �� ?��� ������� ���������V� ����� � ���U�A ��� ���X���� �?�V� � ���� �?�V� �� X�� ����� �X�A �������� [ � ��W������\�U ��������U "��W��X� A �� 3$,] ^8�����_� 1���� ��� +JEC`P`JK� 8�����A X�� ��� -� ��� � �?�� ���a�V � �����W���� #��XA ����U�� �V����� � �X��Z��� � ��X� ������ ?�� � V ��W��� ���� ��X���� � ����U� �� � ����� � ��� �A ��VU �����Y��� �������U ��������� �W�� ����A �� � ����� � ��� ��� ��������?����� ����U� ��� ��W��� ���� �������Z��� ��U��X��X� ���� ���X���U U� ������ � �����U� ���a�VU� ������� U� 8U�� � � �U ��� X��ZY�� ���U���� ��������� �� ?��� �� ���V� b�W�?����� ��������� ���� �� ����� �� ?��� U��� �U� Z X���� ���� �� ������A ��� �W�� ������ � X���� ��W��� ��X�� ��U�� Z ��� � ���� ��Z�� �V����� ����?����� ����� ���� ���� !���U �W ���� �� ?���� ������� �� � � �� ?�� � ����U�U�����?����U ��W��� ���U �� ?��� ������� � ����U�U�����?����U ��W�A �� ���U �X����� �V����� � �X��Z��� Z� U� ����A ��?����� ����� ���� ��� ?��� �� ��Z��� Z� � �WU�A � �U�� ����?���� ��������?��� Z� �W�� ������ !�� �����ZW�� � ��� Y����������W���V� �� ?��� � ��������U�?����� ��X�� "c)+)A)BTG� /d4 efg-� X���U� ��?����� �V�� �U��V "3$,] h8�����> e�[ ig � +JEC`P`JK e�g-� � ��X��� ���V� ����������� � "hjQkD @ETN l > e�g- 4� ���U� � � Z� XV�� ��W��X� ��V b�W���A ����A ?����� �����V ��� ����� �� ?���� ������� � ����A U�U�����?����U ��W��� ���U emg $���?���V� ��A W��Z � V ��� ���a��� � W���X�a�VU� �������U��A ��Z�VU� ����������� U� !����� �������U�� ��ZA �V� ����V� �� �������� ��W��Z � �� U���������A �� �� ?���� ����� ��� � ��������VU ����� ����A ���U ��W��XU��� � ����U���U���� � ���?��A ����A ?����� �� ��� ��� ����� � �?�� ef� �g %�� �?���� �U�� � ���� ��V� ��W��Z � V ��Z�� �� ������� �W�� ��� �U��� �� ?��� � ��������VU ����U���A ��� �������U� ��W������� b��U�� c)+)A)BTG ��A ��� �� ?��� ���X���� ���� V � �W�� �������� �U�A � X���� �V����� ������� ������ �WU����� � ?�U ������ �� ?��� ������� � ����U�U�����?����U ��A W��� ���U #�� � \� ��X� � ���� \��� �������U�� ��ZA �VU ����������� U �� ?���� � ��������VU ����U������ �������U �� ������������ XV� ��WA ��X� �� � �W�� ����� U��� � ��� � ���U �� ����� XV� ���U �� V� ����� �� ?�� b��UV c)+)A)BTG $���U�U�����?����� ��W��� �� "$31- U��� � "� ����- ��� �� �W ��W������\��� ���U�� � "1.- 3 � ����U���U��V 5 U�a�� 1. � ��W�����������UVU ������U 6 $���U���U��� � ������ � ���Y��� ���A �V ��������VU ����� �������U � ���� �W��� \���� 7 ��� � ���� � � � ����� � �U���� ���U ��������ZA �VU� �� UVU� �����W U� Y������ ∆ � 1. 8� ���A U ����X���� ��W��� ��� ��W � ����U���U��� 5 ����A ��U���� ���Y�� � � � �a�U�� � � � ��� �Z ��� �� A � ����� �� �?Z ��� �V �?Z �W ����U���U��V $31 U��� � �� � � ?�� � �W����\�U ���U��A �U �� �����X� ��Z��� ��� �UV !� ����?�� � � ��� �� ����a� ��Z��� �X�� ��� �� W� Y����������A ���� ����� �� 8 � ��U�\Z� �U��� ��� ��� �UV �n�A U� 9 � ���� ��U���� ��� ��� �UV : ��WX�a���� ��A ��X���� 1. 8V����VU ����U� ��U� �� ��V� ����A ��� � � �WU�� �UVU ��������U �� �� � � ��X� ���A �� ?�� � � ����X���� ��W��� ��� ;�emg .��� ��� /f "� ����- ��� �UV �n�U� "9 �� ��� f- �� �� � ������ ���U� �� ��V� ��� �� �W ��U����A ��� �� �����������U ����� ��� "!=- '4f � �� ��A �� ��� �� != '4� 0U��� Z /f W����� � �����X� ��W������\��� ���U�� � "3 �� ��� f- � ������� � ���bb����� ����X��W����� ����� �� �� != '4� 1�� f %���������Z�� ���U� U��� � �� ?��� ������� f � � i ;� � m < δ � = m ∆ >? f ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �m ���������� �� �� $���U���� "� ?�� � �� ����X���� 1.- ��� ��� �A \� ���� a��� �� �V���� ����� �� � ��� � � �UA ��� ���VU �� �� ���U� �� ��V� ��� �� �W ����� &'f� ��W�� ���� o�� om � �������� ��� /� . � ��A ��U���� ��� ��� �\� �������� � � ����������A ��U ����� ��� �� != '4i� '4� !X� ������� ��A � ����V �� ���������� ���U� b��Z ��� �� ��V� �U�A � U����U��Z�V� ���bb����� ������� �� ?�� � � ��X� ����V� ����X���� 1. /����� �W �V���� ����� �� ������� �� ���� ��A ��������� ���U�� �� ��� �������� �� ��W�� ��� of� 1�� � .��U�� V U��� � �� ?��� ������� � �� ��������Z�� ����?���V� ������ &'�[&'� ����� ���U�� �U�� ���bb����� ������?� �� U�A �V� �������� "U��ZY�� ������� ���V\��� �����A �� - X��W��� � �������� ? � �����X� ��� ��W���A ������� ��� � ��V� ����X���� ����� ����?��� ��A ��� �� ?��� ������� $�� �����?���� �U��� ��V ����X���� ���bb����� ������?� ����������� ���A U�� � �U��ZY�� � � ? � ������� � � �X���W���� �UA ��� ��V ����X���� 1. 8���?��� �U��� ��V ����X�A ��� 1. ��������� � � ��U�\Z� �� �����U� �� of�� �W �V���� �� ����� ���� a���� ��� � ����� ��� U�\��� � �� != '4� #����W��� ���������� �� � A � �� �Y�� pf ���� ��U���� ��� ��� �UV ��WX�a��A �� "7 �� ��� f- ����X���� ��W������\��� ���U��A � ��U ��UVU W�UV��� � ����a� ��Z�� �X�� �� �� WZ �� �����X� ��Z��� ��� �UV �� ?��� .��U�� V U��� � ��������V �� � ���� 3��� b����������� ��� � ��a�U� ��U�b�A ������ ����X���� ��W�U � ����U���U���� �� � � ��a�U�� �����ZW��\�U ������� Z ��W� � ����U�A ��U��� 8 ��a�U� ��U�b������� efg �WU������ ��XA � ������ ?�� � V ;� $31 ��� ����X� ��Z���� W���� � �����U ���X��a���� ������������Z�� ���bb����� � ξ≈@ξ<� "�U ���� ��- � ���� ��Z���� ��U�b�����A �� "��� U��V� ��� W��?��� �� ξqqf- ]������� 1�� � $���������Z�� ���� ��?���� ���U� U��� �F pf [ �� �Y�� ����� ����� �r /f[/s [ �������� ��Vr of[of� [ �� ���V� ����� ������ r '4f[')� [ ����������V� ����� ���r &'f[&'� [ ����Vr A [ ���� a���� �� ��� ∞ ��� �� �� �� �� �� � ��� ��� � � � � ∞ ��� �� � � � � ��� ��� �� � �� �� ��� � � ��� ��� � � �� ����� �� �� �� �� ��� � � ��� ��� � � �� ��� ��� ��� ��� ��� ��� ��� ��� � � ��� ��� � � � � �� ��� ��� � � �� ∞ ∞ ∞ ∞ ��� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �t ���������� �� �� W��?� ��Z��� ����?��� ����U������ ������ W�W��� 7 "��� f- ����?��� � ���� ��Z���� ��U�b������� ξ� � W��?� � � �WU����� ?�� � V $31� � ����� � �\�A �U�� $�����Z�� ���bb����� ξ W����� � �����A �� <� � � ��X� ����� ?�� � � ;�$31 W����� � ������� < �� ��a�U�� �����ZW��\��� ������� Z ��W�� ����A U������ ������ W��������Z �\� X&�ZY�U�� ? �XV ��W �� ������� �� ��� Z � ����U���U��� "��� �V �A �� Z �W ���- W� ���������� ����X���� 1. . � ��A a�U ��� ���� � ���� �V���� � � ������� ��X� �A �����X��� � $31� ����� �������� � �X���� ����� ��W � ����U���U��� ��Z�� ���Y�� � � "��� �a�A U�� � -� �����?��� ��UU����� a�� ��� Z � ��XA � ������ ?�� � � ; ����X���� $31F ( ) �T �� B; C ;; 2 0 0 2 1 π += � =������ Z ��W� � ?�� � � ����X���� $31 ; W���� � �WU�� �U��� ������� < "�U �X� - $������ �W ��a�U� ��U�b������� � ��a�U ������� � ��W� ����A �?���� ���\�� �� � � �U��ZY����U Y����V ���A ��W�� ∆ � m� �� i� U�U "�� �U W�U��V 1.-� �����?�A ���U ��\��V ����U���U��V δ � �� �U ������� ��A ����� ��Z��� ��������� ��\���� ��� UU "��� �- � �����?����U �U��� ��V DB ����X���� 1. ��? � ����� ,�� �������� Z �U��� ��� DB U�a�� �� �U��� ��� ABu��� ��� 8 ���� a��� �� ���� ����� ��� �UV �n�U� "9 �� ��� f- .������U�� ��Z�� ������� ���ZF [ �V����V� ����� ���� ��� �� ?��� "� ����- �� W��� ?��� ��W��Y���� ������� 4<�A����f� � �����YA ��� Z� ����v � �����W��� �������� <uf f�� � U �� �� U�U� � �X�� ��U� ���� � ���U��Z��� �U���� �A �� "��w/-r [ �U���� ���V� ����� ���� ��� �� ?��� � ��A U���U��� �8�A� � �����W��� �U���� �� x��yz��w/ ��� ���U��Z��U �������� "f � U- �� �� U�U� � �XA �� ��U� ���� ��U���U��Vr [ ���bb����� ������ ��X� ������X��� � �� �?�� ������U� ����� ���� ��� W�����U�� � �V���A ��� ?�� � V ; � �U��� ��V ����X���� 1. "�U��� �A �V AB ����U������ ���� a��� �� ���� ����� ��� �A UV �n�U�-r [ ��� �X��Z��� Z �V������ ?�� � V �� ?��� � ���U��Z�V� ������ � "�������� f � U � �U���� ��� ��w/- [ �- ��� �����U���� �� ��� a���� f U�� �� f� �?��U� X- ��a�U�� �� ��� a���� f� ? �� f� �?��U� �- ��������U���� �� ��� a���� f� �� �� f� �?��U !X��X� �� ��W��Z � �� �������U�� ��Z�V� �����A ������� U��� � "�U �X� - ����W���� ? � ��� X��W�� ������� ����� �� ����� ��� ���� �� ��������� ������� ���� ��� � �� ��� ��� �� !!�"� ���#�������������������������kδ ( ) � � � � W� � �     π ≥δ ∆ δ EB F F ;D C @ , S∆=L∆, Sz=πR2 6 — 4 6,6 0,87 2,5V k kδ = = ⋅ , $� �kV=0,28 �� !!�"� �� �!#��"�%��� �����������& k����������������� �#��#$�����$���� ��$��� 0 2 0 δρ += G <@ ;; < 0,19 — kP 210 2 �=γ= B H @ @ ���$� �km=0,5 kξ���������������� �� �!��#�' $��$���� ��$���f≈f0(1–kξP) 9 10–7 — kξ≈ ( ) ρ      ∆ γ I@ D;@ G ?> C B BH 0 22 2 850 W� � ≈10–6 ( )��������������f������*+��� & �������������� �#��#$�����$��� �������������� �� �!��#�' $��$��� +,�-�." /0��." — 1+2�." 2+2�." 3 ���"��������� ����������� ��� � ���� ���� �����*+���+�-��� & �������������� �#��#$�����$��� �������������� �� �!��#�' $��$��� 4,�." 5+�." 100 30 42�." 50�." 6 � ���#�������$� 7���������������� –30…+60°8 4�." 5 6% 9 ������������������� &� ��������������:���+ ��; � <� ����:���+,��; ���$���������:���+,��#�; ,�5�." ,�0�." ,�-�." 0,3 0,6 0,9 — ��)/$,�����J����("�����$,��'� "��$� &#��"K�������L { | <���Z δ � [ ��\��� ����U���U��Vr � W� [ ������ Z W���� ��W� � ����U���U��� "��� U}� �� ��W����-r DB [ �U��� ��� ����X���� 1.r ; � [ ��X� ����� ?�� � � ����X���� 1. � �����U�r ? [ ����� 1.r ∆ [ Y����� �����W��r = [ ������ W��������� 1.r @H [ ���bb����� �V ��������� �Xn�U� 1.r ρ [ ��� ��� Z U� ������ 1.r G [ ��\��� 1.r γ [ ���bb����� $�������r @B [ ���bb�A ���� ��������� ��� U���V 1.r > [ Y����� 1.r � [ U����Z ������� � U� ������ 1. ������������� a�� ��� Z� C �� u"@F@H -�γ<Mδ � r ���bb����� �bb�� ����� ���\��� 1.r ��������� �� U���� 1.� B �� u@BρGF�b r �bb�� ���� ���\��Z 1. ��� C �� [ @F�[ B�� [ F �b [ ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �s ���������� �� �� 1�� i .������U�� ��Z�V� ����� ���� ��� U��� �F ;Nf � ;N� [ �V����V� � ��a�U� ������� � � ��U�b������� ��W�r ;NO � ;NA��[ �U��A �� ���� � � �U��� ��V ���� a��� ��� �UV �n�U� ;Nf � ~� f�m� f��� f��� ;NP� ~� f��� f��� ;N� � ~� t�� t�t t�f ;NA� ~� sf� tm� t�� f f�� f�i �� � U x�� � z�� O� w/ � ��� f f�� AB� �f f�f f�� f�� �� � U � ��W��Z � �U ����V��\�� ���� �?����� �������A ������ � � ��?�� ���� �?����� � �U����?����� W��A ?���� ?�����V� ���bb����� �� �� ����VY�� � X��ZA Y��� �� ���?��� f�v .������U�� ��Z�V� ����������� ��� ���a��� ����U��U�� Z ��W��X� ����� �� ���U� ����� ��A � ����� �� ?���� ������� � $31 ��a� � �� �� A ?���� � ��������VU ����U������ �������U ����A ���X��W�� ���� � ��U���U�������� �����Y��� �� �� ?��� ������� "�� ����W��� U ��U��� ?��� � ��A ���Y��� Z� f�v- � X���� ��?�� ����� �W�� ��� Z �� A ?�� �VX������ ���� ������ . � ��W���� �U��ZY� Z �� ����� ��f ~� ��� ��� �X��Z��� Z � �� ��fv [ �������� ����������� �����Y��� Z �WU����� /����� �����X��� ����U� �� Z �� ?���� �� ��V� ��X� �� � ��a�U� ��U�b������� $���?���V� � �������� ������� �������U�� � ����� ���� ��� �� ���� �� ?���� U��� �� ���� ����� ���� ���U �� A ?���� �� ������� � ��W�� ������ � ���Z���Y�U �X A W� ��Z�� ��W����� ������V ������������ �� ���A ��X���� ��W����X�� ���� ��W��� ���� �����U�� �� ��W�����\�� ��� ����������� � �� ?���� �� ������A ��� �V� ���� �?����� ������ etg 8 �� ?���� � ��U�A b��������U ����X���� 1. ��?Y� ��WX�a�� Z �VA ��a����V� ����X��� ��W��� ��� � �U� Z �U��� ��A �V� �V��� �� ��� � ���� ��U�������� �� ��Z ����A ��� �� ������a���� W������� �U��� ��V ����X���� ��W��� ���� ��� � � ������� � ��� � ��� U��� � efg 1�W��Z � V U����������� �� ?���� � $31 � ��a�A U� ��U�b������� U�a�� �����ZW��� Z �� ���?� � ��� ���� ����U� �?������ ��U�b������� ���� ��A ?� V� ?��� �� ��Z�V� ���U�� �� �WU��� ���� ��W�V� b�W�?����� ����?�� "��������U� �V� U����U�����A ?����� �� ?��� ������� ������ � � �� - �� ?��� � ����U�U�����?����U ��W��� ���U� ��A ���ZW��\�� ������� Z ��W�� �� � � X���� ������?A � ��Z�VU� �� �WU����� ������� 2� �V��� ?�� � �V�� ��� � X��ZY��A � �� �����U���V� �� ?���� ������� � ���X�V� �� ���Z���Y�� "� �U ?���� � ��b�����- �X��X� �� �������r �� ��W��� �� �X����� X���� �V����� ��XA �� ��� Z�� � W��?� � X���� �V����� � �A X��Z��� Z�� ��U �� ?�� [ U��ZY�U �������� ��X�����U #� ����U� ���A �V� �� ?��� � ��a�U� ������� � U�A �� �WU�� Z ��Z�� �X���� ��� ���A ����� ��Z�� �a�U��UV� ���� "��W��- ,��U� ���� �� W�\� V ���U�� �� $31 �� ?���� ������� � ��������VU ����U������ �������U �X��� ���� � ��W���� �� ���������V� ���� � W�A �� W����� ���X����U� ������U� ��A �� Z �������Z�V� U������ � � �����A U��� �������?�V� ������U� ����VU � ��� � ��� efgF �������Z�V� ����V � � �W�� �� ����������� ���X�� U� ���A ���� ���U�� �� ���� ������ � �WX��A ����� � ��U� ����?����� ?�� ��� �?�A � �� �������U��� ��W� ||| ����U �X��W�U� ��W��X� ���� �� ���U� ���� ��� ����� �� ?���� ������� � ����U�U�����?����U ��W��� ���U ��Y�� �������U�� ��Z��� ��� ���a��A ��� �� ���� ������ �� ��� ����� ���� ���� �� A ?���� 1�W��Z � V ������������ ����WV��� �������A ����� Z ����U�U�����?����� �� ?���� � ��WU�aA ��� Z ��� ����� �������� �VX������ �� U��� ���A ���� ���� ��� ����� ���UV �� ?���� ������� � ��A ������ �����Y��� Z� �WU����� U���� ��fv 1�W��X� ���� ���� ����� ��\�� ����� ���Y�A � � �X��� � �����ZW����� �� ?���� ������� � $31 � � ���Z���Y�U U�a� �X����?� Z �U �������� �A �����X��� Z �� �V��� X�� ����� �X��������� � ���A ���Z��A�WU��� ��Z��� ������ ��V 2/$!56<!84##70 2/�!:#2,2 f 'DBT�� l � 'TIJJ � l � pCKT l � � �TLEQKL o � ) ODI`CPDK� LDCSH`C�B S`TGGQ`T BTCGQ`DK� G�GPTB }} *KGP`QB � )T`JGSCNT *KL [ fs�s [ &JE f� [ 1 �t�[�ts � 4 � ��tss� ///1 �� ?�� ������� � ?�� � �VU �V����U } 2 4 ~����Y ��� [ fs�t [ ]�� � �� � 4 � m�mtts ///1 :�� � �V� �� ?�� ������� } 2 4 ~����Y ���� 8 ~ ,������ [ fst� [ ]�� � �f i 4 � mst��� ///1 :�� � �V� �� ?�� ������� } 2 4 ~����Y ���� 8 ~ ,������ [ fstf [ ]�� � � � $� ffm���i 8�����X�� ���� *BS`JOTBTKP DK `TECPDK� PJ BTPHJLG J� BTCGQ`DK� PHT S`TGGQ`T J� TCGDE� BJODK� BTLDC } � @ )IIJPPG [ fs�s � &DI`CPT OCNQQBA�CQ�T jQkD @ETN l }} *@@@ �`CKGCNPDJKG JK @ETNP`JK 'TODNTG [ fsm� [ &JE i� [ c t [ 1 mt�[mtm m :��� � # ~ � ]��������� 4 # $����W����V� �� ?�� ���A ���� � ����U�U�����?����U ��W��� ���U �� X�� ����� �X�A �������� 54 }} ��������� � ���� ���������� � ��������� A ������ ������ ��� [ ���f [ � � [ � �t[i� t d� ���� ~ � / �X��Z�V� �� ������� ��V U� ���V� � ����U� ���V� ���� [ 3 F 1���� � �� WZ� fst�
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53573
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-01T12:37:00Z
publishDate 2005
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Черняк, Н.Г.
Бондаренко, А.Н.
Скрипковский, Г.А.
Лопушенко, В.К.
2014-01-23T00:02:38Z
2014-01-23T00:02:38Z
2005
Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором / Н.Г. Черняк, А.Н. Бондаренко, Г.А. Скрипковский, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 36-39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53573
Испытан макет датчика давления с пневмомеханическим резонаторам. Показана возможность построения датчиков для бортового оборудования с погрешностью менее 0,1%.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
Експериментальні дослідження датчика тиску з пневмомеханічним резонатором
The experimental research result for pressure sensor with a pneumomechanical resonator
Article
published earlier
spellingShingle Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
Черняк, Н.Г.
Бондаренко, А.Н.
Скрипковский, Г.А.
Лопушенко, В.К.
Сенсоэлектроника
title Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
title_alt Експериментальні дослідження датчика тиску з пневмомеханічним резонатором
The experimental research result for pressure sensor with a pneumomechanical resonator
title_full Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
title_fullStr Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
title_full_unstemmed Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
title_short Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
title_sort экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53573
work_keys_str_mv AT černâkng éksperimentalʹnyeissledovaniâdatčikadavleniâspnevmomehaničeskimrezonatorom
AT bondarenkoan éksperimentalʹnyeissledovaniâdatčikadavleniâspnevmomehaničeskimrezonatorom
AT skripkovskiiga éksperimentalʹnyeissledovaniâdatčikadavleniâspnevmomehaničeskimrezonatorom
AT lopušenkovk éksperimentalʹnyeissledovaniâdatčikadavleniâspnevmomehaničeskimrezonatorom
AT černâkng eksperimentalʹnídoslídžennâdatčikatiskuzpnevmomehaníčnimrezonatorom
AT bondarenkoan eksperimentalʹnídoslídžennâdatčikatiskuzpnevmomehaníčnimrezonatorom
AT skripkovskiiga eksperimentalʹnídoslídžennâdatčikatiskuzpnevmomehaníčnimrezonatorom
AT lopušenkovk eksperimentalʹnídoslídžennâdatčikatiskuzpnevmomehaníčnimrezonatorom
AT černâkng theexperimentalresearchresultforpressuresensorwithapneumomechanicalresonator
AT bondarenkoan theexperimentalresearchresultforpressuresensorwithapneumomechanicalresonator
AT skripkovskiiga theexperimentalresearchresultforpressuresensorwithapneumomechanicalresonator
AT lopušenkovk theexperimentalresearchresultforpressuresensorwithapneumomechanicalresonator