Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
Испытан макет датчика давления с пневмомеханическим резонаторам. Показана возможность построения датчиков для бортового оборудования с погрешностью менее 0,1%.
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53573 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором / Н.Г. Черняк, А.Н. Бондаренко, Г.А. Скрипковский, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 36-39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859729841415258112 |
|---|---|
| author | Черняк, Н.Г. Бондаренко, А.Н. Скрипковский, Г.А. Лопушенко, В.К. |
| author_facet | Черняк, Н.Г. Бондаренко, А.Н. Скрипковский, Г.А. Лопушенко, В.К. |
| citation_txt | Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором / Н.Г. Черняк, А.Н. Бондаренко, Г.А. Скрипковский, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 36-39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Испытан макет датчика давления с пневмомеханическим резонаторам. Показана возможность построения датчиков для бортового оборудования с погрешностью менее 0,1%.
|
| first_indexed | 2025-12-01T12:37:00Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������� ��
��
��
�
���
������
�
��������
�� ��
����
�
!������
����������������
��
"#$%
&'
()*+�
�
,���-
.,/$01230#�456#70
2//50�!84#29
�4�:2,4
�4850#29
/
$#083!30;4#2:0/,23
10<!#4�!1!3
�������������������
������������������ ������
�
�������
���
��
����������������
��
�����
=�������
#�==
>,�������
����
����?�����
���
�
�
>
@ABCDEF
GCGHIJKLMNDGCOL KPQARSD RDTO QC
�������������� ��!"��� �#$��"%� �
���#�&��'��"!���"��(�)&���&(&����&*
��)����#&)�&+�&��,��&��(&��"%� ��!"*
�&#� $%� -&(�&#&.&� &-&(/ &#��"%� �� �&*
.(�0�&��,1�������2�34�
/����U���V�
�WU�����
��X��
���
X����
�V��A
���
�?���
��
8
�� W�
�
�
�U
���
� ���
���
�
�����
��
�����W����V�
�
���VY�����
�?���
�
��
?���
�������
��
X��
�����
�X���������
�
���
���Z��A
�WU���
��Z���
������
��V
��
?���
�������
���������V�
�����
�
���U�A
���
���X����
�?�V�
�
����
�?�V�
��
X��
�����
�X�A
��������
[
�
��W������\�U
��������U
"��W��X�
A
��
3$,]
^8�����_�
1����
���
+JEC`P`JK�
8�����A
X��
��� -�
���
�
�?��
���a�V
�
�����W����
#��XA
����U��
�V�����
�
�X��Z���
�
��X�
������
?��
�
V
��W���
����
��X����
�
����U�
��
�
����� �
���
�A
��VU
�����Y���
�������U
���������
�W��
����A
��
�
�����
�
���
���
��������?�����
����U�
���
��W���
����
�������Z���
��U��X��X�
����
���X���U
U�
������
�
�����U�
���a�VU�
������� U�
8U��
�
�
�U
���
X��ZY��
���U����
���������
��
?���
��
���V�
b�W�?�����
���������
����
��
�����
��
?���
U���
�U�
Z
X����
����
��
������A
���
�W��
������ �
X����
��W���
��X��
��U��
Z
���
�
����
��Z��
�V�����
����?�����
�����
����
����
!���U
�W
����
��
?����
�������
�� �
�
��
?��
�
����U�U�����?����U
��W���
���U
��
?���
�������
�
����U�U�����?����U
��W�A
��
���U
�X�����
�V�����
�
�X��Z���
Z�
U�
����A
��?�����
�����
����
���
?���
��
��Z���
Z�
�
�WU�A
� �U��
����?����
��������?���
Z�
�W��
������
!��
�����ZW��
�
���
Y����������W���V�
��
?���
�
��������U�?�����
��X��
"c)+)A)BTG�
/d4
efg-�
X���U�
��?�����
�V��
�U��V
"3$,]
h8�����>
e�[
ig
�
+JEC`P`JK
e�g-�
�
��X���
���V�
����������� �
"hjQkD
@ETN
l >
e�g-
4�
���U�
�
�
Z�
XV��
��W��X�
��V
b�W���A
����A
?�����
�����V
���
�����
��
?����
�������
�
����A
U�U�����?����U
��W���
���U
emg
$���?���V�
��A
W��Z
�
V
���
���a���
�
W���X�a�VU�
�������U��A
��Z�VU�
����������� U�
!�����
�������U��
��ZA
�V�
����V�
��
��������
��W��Z
�
��
U���������A
��
��
?����
�����
���
�
��������VU
�����
����A
���U
��W��XU���
�
����U���U����
�
���?��A
����A
?�����
��
���
���
�����
�
�?��
ef�
�g
%��
�?����
�U��
�
����
��V�
��W��Z
�
V
��Z��
��
�������
�W��
��� �U���
��
?���
�
��������VU
����U���A
���
�������U�
��W�������
b��U��
c)+)A)BTG
��A
���
��
?���
���X����
����
V
�
�W��
��������
�U�A
�
X����
�V�����
�������
������
�WU����� �
?�U
������
��
?���
�������
�
����U�U�����?����U
��A
W���
���U
#��
� \�
��X�
�
���� \���
�������U��
��ZA
�VU
����������� U
��
?����
�
��������VU
����U������
�������U
��
������������
XV�
��WA
��X�
��
�
�W��
�����
U���
�
���
�
���U
��
�����
XV�
���U ��
V�
�����
��
?��
b��UV
c)+)A)BTG
$���U�U�����?�����
��W���
��
"$31-
U���
�
"�
����-
���
��
�W
��W������\���
���U��
�
"1.-
3
�
����U���U��V
5
U�a��
1.
�
��W�����������UVU
������U
6
$���U���U���
�
������
�
���Y���
���A
�V
��������VU
�����
�������U
�
����
�W���
\����
7
���
�
����
�
�
�
�����
�
�U����
���U
��������ZA
�VU�
�� UVU�
�����W U�
Y������
∆
�
1.
8�
���A
U
����X����
��W���
���
��W
�
����U���U���
5
����A
��U����
���Y�� �
�
�
�a�U��
� �
�
��� �Z
���
��
A
�
�����
��
�?Z
���
�V
�?Z
�W
����U���U��V
$31
U���
�
�� �
�
?��
�
�W����\�U
���U��A
�U
��
�����X�
��Z���
���
�UV
!�
����?��
�
�
���
��
����a�
��Z���
�X��
���
�� W�
Y����������A
����
�����
��
8
�
��U�\Z�
�U���
���
���
�UV
�n�A
U�
9
�
����
��U����
���
���
�UV
:
��WX�a����
��A
��X����
1.
8V����VU
����U�
��U�
��
��V�
����A
��� �
�
�WU�� �UVU
��������U
��
�� �
�
��X�
���A
��
?��
�
�
����X����
��W���
���
;�emg
.���
���
/f
"�
����-
���
�UV
�n�U�
"9
��
���
f-
��
��
�
������
���U�
��
��V�
���
��
�W
��U����A
���
��
�����������U
�����
���
"!=-
'4f
�
��
��A
��
���
��
!=
'4�
0U���
Z
/f
W�����
�
�����X�
��W������\���
���U��
�
"3
��
���
f-
�
������� �
���bb�����
����X��W�����
�����
��
��
!=
'4�
1��
f
%���������Z��
���U�
U���
�
��
?���
�������
f �
�
i ;�
�
m
<
δ �
=
m
∆
>?
f
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�m
���������� ��
��
$���U����
"�
?��
�
��
����X����
1.-
���
��� �A
\�
���� a���
��
�V����
�����
��
�
��� �
�
�UA
���
���VU
��
��
���U�
��
��V�
���
��
�W
�����
&'f�
��W��
����
o��
om
�
��������
���
/�
.
�
��A
��U����
���
��� �\�
��������
�
�
����������A
��U
�����
���
��
!=
'4i�
'4�
!X�
�������
��A
�
����V
��
����������
���U�
b��Z
���
��
��V�
�U�A
�
U����U��Z�V�
���bb�����
�������
��
?��
�
�
��X�
����V�
����X����
1.
/�����
�W
�V����
�����
��
�������
��
����
��A
���������
���U��
��
���
��������
��
��W��
���
of�
1��
�
.��U��
V
U���
�
��
?���
�������
�
��
��������Z��
����?���V�
������
&'�[&'�
�����
���U��
�U��
���bb�����
������?�
��
U�A
�V�
��������
"U��ZY��
�������
���V\���
�����A
�� -
X��W���
�
��������
?
�
�����X�
���
��W���A
�������
���
� ��V�
����X����
�����
����?���
��A
���
��
?���
�������
$��
�����?����
�U���
��V
����X����
���bb�����
������?�
�����������
���A
U��
�
�U��ZY��
� �
?
�
�������
�
�
�X���W����
�UA
���
��V
����X����
1.
8���?���
�U���
��V
����X�A
���
1.
���������
�
�
��U�\Z�
��
�����U�
��
of��
�W
�V����
��
�����
���� a����
���
�
�����
���
U�\���
�
��
!=
'4�
#����W���
����������
�� �
A
�
��
�Y��
pf
����
��U����
���
���
�UV
��WX�a��A
��
"7
��
���
f-
����X����
��W������\���
���U��A
�
��U
��UVU
W�UV���
�
����a�
��Z��
�X��
��
�� WZ
��
�����X�
��Z���
���
�UV
��
?���
.��U��
V
U���
�
��������V
��
�
����
3���
b�����������
���
�
��a�U�
��U�b�A
������
����X����
��W�U
�
����U���U����
��
�
�
��a�U��
�����ZW��\�U
�������
Z
��W�
�
����U�A
��U���
8
��a�U�
��U�b�������
efg
�WU������
��XA
�
������
?��
�
V
;�
$31
���
����X�
��Z����
W����
�
�����U
���X��a����
������������Z��
���bb�����
�
ξ≈@ξ<� "�U
����
��-
�
����
��Z����
��U�b�����A
��
"���
U��V�
���
W��?��� ��
ξqqf-
]�������
1��
�
$���������Z��
����
��?����
���U�
U���
�F
pf
[
��
�Y��
�����
�����
�r
/f[/s
[
��������
��Vr
of[of�
[
��
���V�
�����
������ r
'4f[')�
[
����������V�
�����
���r
&'f[&'�
[
����Vr
A
[
���� a����
��
���
∞
���
��
�� ��
��
��
�
���
���
�
�
�
�
∞
���
��
�
�
�
�
���
���
�� �
��
��
���
�
�
���
���
�
�
��
����� ��
��
�� ��
���
�
�
���
���
�
�
��
��� ���
��� ���
���
���
���
���
�
�
���
���
�
�
�
�
��
���
���
�
� ��
∞
∞
∞ ∞
���
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�t
���������� ��
��
W��?�
��Z���
����?���
����U������
������
W�W���
7
"���
f-
����?���
�
����
��Z����
��U�b�������
ξ�
�
W��?�
�
�
�WU�����
?��
�
V
$31�
�
�����
�
�\�A
�U��
$�����Z��
���bb�����
ξ
W�����
�
�����A
��
<�
�
�
��X�
�����
?��
�
�
;�$31
W�����
�
�������
<
��
��a�U��
�����ZW��\���
�������
Z
��W��
����A
U������
������
W��������Z
�\�
X&�ZY�U��
?
�XV
��W
��
�������
��
���
Z
�
����U���U���
"���
�V
�A
��
Z
�W
���-
W�
����������
����X����
1.
.
�
��A
a�U
���
����
�
����
�V���� �
�
�������
��X�
�A
�����X���
�
$31�
�����
��������
�
�X����
�����
��W
�
����U���U���
��Z��
���Y�� �
�
"���
�a�A
U��
� -�
�����?���
��UU�����
a��
���
Z
�
��XA
�
������
?��
�
�
;
����X����
$31F
( ) �T
��
B;
C
;;
2
0
0
2
1
π
+= �
=������
Z
��W�
�
?��
�
�
����X����
$31
;
W����
�
�WU�� �U���
�������
<
"�U
�X� -
$������
�W
��a�U�
��U�b�������
�
��a�U
�������
�
��W�
����A
�?����
���\��
�� �
�
�U��ZY����U
Y����V
���A
��W��
∆
�
m�
��
i�
U�U
"��
�U
W�U��V
1.-�
�����?�A
���U
��\��V
����U���U��V
δ
�
��
�U
�������
��A
�����
��Z���
���������
��\����
���
UU
"���
�-
�
�����?����U
�U���
��V
DB
����X����
1.
��?
�
�����
,��
��������
Z
�U���
���
DB
U�a��
��
�U���
���
ABu��� ���
8
���� a���
��
����
�����
���
�UV
�n�U�
"9
��
���
f-
.������U��
��Z��
������� ���ZF
[
�V����V�
�����
����
���
��
?���
"�
����-
��
W���
?���
��W��Y����
�������
4<�A����f�
�
�����YA
���
Z�
����v
�
�����W���
��������
<uf f��
�
U
��
�� U�U�
�
�X��
��U�
����
�
���U��Z���
�U����
�A
��
"��w/-r
[
�U����
���V�
�����
����
���
��
?���
�
��A
U���U���
�8�A�
�
�����W���
�U����
��
x��yz��w/
���
���U��Z��U
��������
"f
�
U-
��
�� U�U�
�
�XA
��
��U�
����
��U���U��Vr
[
���bb�����
������
��X�
������X���
�
��
�?��
������U�
�����
����
���
W�����U��
�
�V���A
���
?��
�
V
;
�
�U���
��V
����X����
1.
"�U���
�A
�V
AB
����U������
���� a���
��
����
�����
���
�A
UV
�n�U�-r
[
���
�X��Z���
Z
�V������
?��
�
V
��
?���
�
���U��Z�V�
������ �
"��������
f
�
U
�
�U����
���
��w/-
[
�-
���
�����U����
��
���
a����
f
U��
��
f�
�?��U�
X-
��a�U��
��
���
a����
f�
?
��
f�
�?��U�
�-
��������U����
��
���
a����
f�
��
��
f�
�?��U
!X��X�
��
��W��Z
�
��
�������U��
��Z�V�
�����A
�������
U���
�
"�U
�X� -
����W����
?
�
���
X��W��
������� ����� �� �����
���
����
��
��������� ������� ���� ��� � �� ��� ���
�� !!�"� ���#�������������������������kδ
( )
�
�
�
�
W�
�
�
π
≥δ ∆
δ
EB
F
F
;D
C
@ , S∆=L∆, Sz=πR2
6
—
4
6,6
0,87 2,5V
k
kδ = =
⋅
,
$� �kV=0,28
�� !!�"� ��
�!#��"�%��� �����������&
k�����������������
�#��#$�����$����
��$���
0
2
0 δρ
+=
G
<@
;; <
0,19
—
kP 210
2
�=γ=
B
H
@
@
���$� �km=0,5
k���������������
��
�!��#�' $��$����
��$���f≈f0(1–kξP)
9 10–7 — kξ≈
( )
ρ
∆
γ
I@
D;@
G
?>
C B
BH 0
22
2
850
W�
� ≈10–6
(
)��������������f������*+���
&
��������������
�#��#$�����$���
��������������
��
�!��#�' $��$���
+,�-�."
/0��."
— 1+2�."
2+2�."
3 ���"���������
����������� ���
� ����
���� �����*+���+�-���
&
��������������
�#��#$�����$���
��������������
��
�!��#�' $��$���
4,�."
5+�."
100
30
42�."
50�."
6
� ���#�������$� 7����������������
–30…+60°8
4�."
5
6%
9 �������������������
&�
��������������:���+
��;
� <�
����:���+,��;
���$���������:���+,��#�;
,�5�."
,�0�."
,�-�."
0,3
0,6
0,9
—
��)/$,�����J����("�����$,��'� "��$� &#��"K�������L
{
|
<���Z
δ
�
[
��\���
����U���U��Vr
�
W�
[
������
Z
W����
��W�
�
����U���U���
"���
U}�
��
��W����-r
DB
[
�U���
���
����X����
1.r
;
�
[
��X�
�����
?��
�
�
����X����
1.
�
�����U�r
?
[
�����
1.r
∆
[
Y�����
�����W��r
=
[
������
W���������
1.r
@H
[
���bb�����
�V
���������
�Xn�U�
1.r
ρ
[
���
���
Z
U�
������
1.r
G
[
��\���
1.r
γ
[
���bb�����
$�������r
@B
[
���bb�A
����
���������
���
U���V
1.r
>
[
Y�����
1.r
�
[
U����Z
�������
�
U�
������
1.
�������������
a��
���
Z�
C
��
u"@F@H
-�γ<Mδ
�
r
���bb�����
�bb��
�����
���\���
1.r
���������
��
U����
1.�
B
��
u@BρGF�b
r
�bb��
����
���\��Z
1.
���
C
��
[
@F�[
B��
[
F
�b
[
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�s
���������� ��
��
1��
i
.������U��
��Z�V�
�����
����
���
U���
�F
;Nf
�
;N�
[
�V����V�
�
��a�U�
�������
�
�
��U�b�������
��W�r
;NO
�
;NA��[
�U��A
��
����
�
�
�U���
��V
���� a���
���
�UV
�n�U�
;Nf
�
~�
f�m�
f���
f���
;NP�
~�
f���
f���
;N�
�
~�
t��
t�t
t�f
;NA�
~�
sf�
tm�
t��
f
f��
f�i
��
�
U x��
�
z��
O�
w/
�
���
f
f��
AB�
�f
f�f
f��
f��
��
�
U
�
��W��Z
�
�U
����V��\��
����
�?�����
�������A
������
�
�
��?��
����
�?�����
�
�U����?�����
W��A
?����
?�����V�
���bb�����
��
��
����VY��
�
X��ZA
Y���
��
���?���
f�v
.������U��
��Z�V�
�����������
���
���a���
����U��U��
Z
��W��X�
�����
��
���U�
�����
��A
�
�����
��
?����
�������
�
$31
��a�
�
��
��
A
?����
�
��������VU
����U������
�������U
����A
���X��W��
����
�
��U���U��������
�����Y���
��
��
?���
�������
"��
����W��� U
��U���
?���
�
��A
���Y���
Z�
f�v-
�
X����
��?��
�����
�W��
���
Z
��
A
?��
�VX������
����
������
.
�
��W����
�U��ZY�
Z
��
�����
��f
~�
���
���
�X��Z���
Z
�
��
��fv
[
��������
�����������
�����Y���
Z
�WU�����
/�����
�����X���
����U�
��
Z
��
?����
��
��V�
��X�
��
�
��a�U�
��U�b�������
$���?���V�
�
��������
�������
�������U��
�
�����
����
���
��
����
��
?����
U���
��
����
�����
����
���U
��
A
?����
��
�������
�
��W��
������
�
���Z���Y�U
�X A
W�
��Z��
��W�����
������V
������������
��
���A
��X����
��W����X��
����
��W���
����
�����U��
��
��W�����\��
���
����������� �
��
?����
��
������A
���
�V�
����
�?�����
������
etg
8
��
?����
�
��U�A
b��������U
����X����
1.
��?Y�
��WX�a��
Z
�VA
��a����V�
����X���
��W���
���
�
�U�
Z
�U���
��A
�V�
�V���
��
���
�
����
��U��������
��
��Z
����A
���
��
������a����
W�������
�U���
��V
����X����
��W���
����
���
�
�
�������
�
���
�
���
U���
�
efg
1�W��Z
�
V
U�����������
��
?����
�
$31
�
��a�A
U�
��U�b�������
U�a��
�����ZW���
Z
��
���?�
�
���
����
����U�
�?������
��U�b�������
����
��A
?�
V�
?���
��
��Z�V�
���U��
��
�WU���
����
��W�V�
b�W�?�����
����?��
"��������U�
�V�
U����U�����A
?�����
��
?���
�������
������
�
�
�� -
��
?���
�
����U�U�����?����U
��W���
���U�
��A
���ZW��\��
�������
Z
��W��
�� �
�
X����
������?A
�
��Z�VU�
��
�WU�����
�������
2�
�V���
?��
�
�V��
���
�
X��ZY��A
�
��
�����U���V�
��
?����
������� �
���X�V�
��
���Z���Y��
"�
�U
?����
�
��b�����-
�X��X�
��
�������r
��
��W���
��
�X�����
X����
�V�����
��XA
��
���
Z��
�
W��?�
�
X����
�V�����
�
�A
X��Z���
Z��
��U
��
?��
[
U��ZY�U
��������
��X�����U
#�
����U�
���A
�V�
��
?���
�
��a�U�
�������
�
U�A
��
�WU��
Z
��Z��
�X����
���
���A
�����
��Z��
�a�U��UV�
����
"��W��-
,��U�
����
��
W�\�
V
���U��
��
$31
��
?����
�������
�
��������VU
����U������
�������U
�X���
����
�
��W����
��
���������V�
����
�
W�A
�� W�����
���X����U�
������U�
��A
��
Z
�������Z�V�
U������
� �
�����A
U���
�������?�V�
������U�
����VU
�
���
�
���
efgF
�������Z�V�
����V
� �
�W�� ��
�����������
���X��
U�
���A
����
���U��
��
����
������
�
�WX��A
�����
�
��U�
����?�����
?��
���
�?�A
�
��
�������U���
��W�
|||
����U
�X��W�U�
��W��X�
����
��
���U�
����
���
�����
��
?����
�������
�
����U�U�����?����U
��W���
���U
��Y��
�������U��
��Z���
���
���a��A
���
��
����
������
��
���
�����
����
����
��
A
?����
1�W��Z
�
V
������������
����WV���
�������A
�����
Z
����U�U�����?�����
��
?����
�
��WU�aA
���
Z
���
�����
��������
�VX������
��
U���
���A
����
����
���
�����
���UV
��
?����
�������
�
��A
������
�����Y���
Z�
�WU�����
U����
��fv
1�W��X�
����
����
�����
��\��
�����
���Y�A
� �
�X���
�
�����ZW�����
��
?����
�������
�
$31
�
�
���Z���Y�U
U�a�
�X����?�
Z
�U
��������
�A
�����X���
Z
��
�V���
X��
�����
�X���������
�
���A
���Z��A�WU���
��Z���
������
��V
2/$!56<!84##70
2/�!:#2,2
f 'DBT��
l �
'TIJJ
�
l �
pCKT
l
� �
�TLEQKL
o
�
)
ODI`CPDK�
LDCSH`C�B
S`TGGQ`T
BTCGQ`DK�
G�GPTB
}}
*KGP`QB �
)T`JGSCNT
*KL [
fs�s [
&JE
f� [
1
�t�[�ts
� 4
�
��tss�
///1
��
?��
�������
�
?��
�
�VU
�V����U
}
2
4
~����Y
��� [
fs�t [
]��
�
��
� 4
�
m�mtts
///1
:��
�
�V�
��
?��
�������
}
2
4
~����Y
����
8
~
,������ [
fst� [
]��
�
�f
i 4
�
mst���
///1
:��
�
�V�
��
?��
�������
}
2
4
~����Y
����
8
~
,������ [
fstf [
]��
�
�
� $�
ffm���i
8�����X��
����
*BS`JOTBTKP
DK
`TECPDK�
PJ
BTPHJLG
J�
BTCGQ`DK�
PHT
S`TGGQ`T
J�
TCGDE�
BJODK�
BTLDC
}
�
@
)IIJPPG [
fs�s
� &DI`CPT
OCNQQBA�CQ�T
jQkD
@ETN
l
}}
*@@@
�`CKGCNPDJKG
JK
@ETNP`JK
'TODNTG [
fsm� [
&JE
i� [
c
t [
1
mt�[mtm
m :��� �
#
~ �
]���������
4
#
$����W����V�
��
?��
���A
����
�
����U�U�����?����U
��W���
���U
��
X��
�����
�X�A
��������
54
}}
���������
�
����
����������
�
���������
A
������
������
��� [
���f [
�
� [
�
�t[i�
t
d�
����
~
�
/
�X��Z�V�
��
�������
��V
U�
���V�
�
����U�
���V�
���� [
3 F
1����
�
�� WZ�
fst�
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53573 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T12:37:00Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Черняк, Н.Г. Бондаренко, А.Н. Скрипковский, Г.А. Лопушенко, В.К. 2014-01-23T00:02:38Z 2014-01-23T00:02:38Z 2005 Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором / Н.Г. Черняк, А.Н. Бондаренко, Г.А. Скрипковский, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 36-39. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53573 Испытан макет датчика давления с пневмомеханическим резонаторам. Показана возможность построения датчиков для бортового оборудования с погрешностью менее 0,1%. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Сенсоэлектроника Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором Експериментальні дослідження датчика тиску з пневмомеханічним резонатором The experimental research result for pressure sensor with a pneumomechanical resonator Article published earlier |
| spellingShingle | Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором Черняк, Н.Г. Бондаренко, А.Н. Скрипковский, Г.А. Лопушенко, В.К. Сенсоэлектроника |
| title | Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором |
| title_alt | Експериментальні дослідження датчика тиску з пневмомеханічним резонатором The experimental research result for pressure sensor with a pneumomechanical resonator |
| title_full | Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором |
| title_fullStr | Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором |
| title_full_unstemmed | Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором |
| title_short | Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором |
| title_sort | экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором |
| topic | Сенсоэлектроника |
| topic_facet | Сенсоэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53573 |
| work_keys_str_mv | AT černâkng éksperimentalʹnyeissledovaniâdatčikadavleniâspnevmomehaničeskimrezonatorom AT bondarenkoan éksperimentalʹnyeissledovaniâdatčikadavleniâspnevmomehaničeskimrezonatorom AT skripkovskiiga éksperimentalʹnyeissledovaniâdatčikadavleniâspnevmomehaničeskimrezonatorom AT lopušenkovk éksperimentalʹnyeissledovaniâdatčikadavleniâspnevmomehaničeskimrezonatorom AT černâkng eksperimentalʹnídoslídžennâdatčikatiskuzpnevmomehaníčnimrezonatorom AT bondarenkoan eksperimentalʹnídoslídžennâdatčikatiskuzpnevmomehaníčnimrezonatorom AT skripkovskiiga eksperimentalʹnídoslídžennâdatčikatiskuzpnevmomehaníčnimrezonatorom AT lopušenkovk eksperimentalʹnídoslídžennâdatčikatiskuzpnevmomehaníčnimrezonatorom AT černâkng theexperimentalresearchresultforpressuresensorwithapneumomechanicalresonator AT bondarenkoan theexperimentalresearchresultforpressuresensorwithapneumomechanicalresonator AT skripkovskiiga theexperimentalresearchresultforpressuresensorwithapneumomechanicalresonator AT lopušenkovk theexperimentalresearchresultforpressuresensorwithapneumomechanicalresonator |