Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs
Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs.
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53574 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53574 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. 2014-01-23T00:05:37Z 2014-01-23T00:05:37Z 2005 Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53574 Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs Установка електрохімічного профілювання для діагностування епітаксійних структур The electrochemical profiling arrangement for diagnostics of GaAs semiconductor structures Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| spellingShingle |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title_short |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_full |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_fullStr |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_full_unstemmed |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_sort |
установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур gaas |
| author |
Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. |
| author_facet |
Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. |
| topic |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| publishDate |
2005 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Установка електрохімічного профілювання для діагностування епітаксійних структур The electrochemical profiling arrangement for diagnostics of GaAs semiconductor structures |
| description |
Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53574 |
| citation_txt |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT vakivnm ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT zaverbnyiir ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT zaâčukdm ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT krukovskiisi ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT mryhinio ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT vakivnm ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT zaverbnyiir ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT zaâčukdm ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT krukovskiisi ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT mryhinio ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT vakivnm theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures AT zaverbnyiir theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures AT zaâčukdm theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures AT krukovskiisi theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures AT mryhinio theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures |
| first_indexed |
2025-12-07T20:12:21Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:12:21Z |
| _version_ |
1850881701227528192 |