Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs
Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53574 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862740058067435520 |
|---|---|
| author | Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. |
| author_facet | Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. |
| citation_txt | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:12:21Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53574 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:12:21Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. 2014-01-23T00:05:37Z 2014-01-23T00:05:37Z 2005 Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53574 Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs Установка електрохімічного профілювання для діагностування епітаксійних структур The electrochemical profiling arrangement for diagnostics of GaAs semiconductor structures Article published earlier |
| spellingShingle | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_alt | Установка електрохімічного профілювання для діагностування епітаксійних структур The electrochemical profiling arrangement for diagnostics of GaAs semiconductor structures |
| title_full | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_fullStr | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_full_unstemmed | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_short | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_sort | установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур gaas |
| topic | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53574 |
| work_keys_str_mv | AT vakivnm ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT zaverbnyiir ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT zaâčukdm ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT krukovskiisi ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT mryhinio ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT vakivnm ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT zaverbnyiir ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT zaâčukdm ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT krukovskiisi ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT mryhinio ustanovkaelektrohímíčnogoprofílûvannâdlâdíagnostuvannâepítaksíinihstruktur AT vakivnm theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures AT zaverbnyiir theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures AT zaâčukdm theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures AT krukovskiisi theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures AT mryhinio theelectrochemicalprofilingarrangementfordiagnosticsofgaassemiconductorstructures |