Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO₂/Si₃N₄

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2005
• Main Authors: Войцеховский, А.В., Несмелов, С.Н., Кульчицкий Н.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
• Subjects: Функциональная микро- и наноэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53606
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Емкостные свойства МДП-структур HgCdTe/SiO₂/Si₃N₄ / А.В. Войцеховский, С.Н. Несмелов, Н.А. Кульчицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 35-38. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Экспериментальные исследования показали, что использование двухслойногоe диэлектрика SiO₂/Si₃N₄ перспективноe для пассивации поверхности матричных HgCdTe-фотодиодов для инфракрасного диапазона....