Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53609 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862746401728888832 |
|---|---|
| author | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Ковальский, К.А. Петухов, К.Ю. |
| author_facet | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Ковальский, К.А. Петухов, К.Ю. |
| citation_txt | Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:44:45Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53609 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:44:45Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Ковальский, К.А. Петухов, К.Ю. 2014-01-25T11:15:44Z 2014-01-25T11:15:44Z 2005 Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53609 Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике Отримання наносгруктурованих плівок AlN та ZnO та їх застосування в електронній техніці Obtaining nanostructural of films AlN and ZnO and their application in electronics Article published earlier |
| spellingShingle | Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Ковальский, К.А. Петухов, К.Ю. Технологические процессы и оборудование |
| title | Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| title_alt | Отримання наносгруктурованих плівок AlN та ZnO та їх застосування в електронній техніці Obtaining nanostructural of films AlN and ZnO and their application in electronics |
| title_full | Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| title_fullStr | Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| title_full_unstemmed | Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| title_short | Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| title_sort | получение наноструктурированных пленок aln и zno и их применение в электронной технике |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53609 |
| work_keys_str_mv | AT belâninaf polučenienanostrukturirovannyhplenokalniznoiihprimenenievélektronnoitehnike AT samoilovičmi polučenienanostrukturirovannyhplenokalniznoiihprimenenievélektronnoitehnike AT kovalʹskiika polučenienanostrukturirovannyhplenokalniznoiihprimenenievélektronnoitehnike AT petuhovkû polučenienanostrukturirovannyhplenokalniznoiihprimenenievélektronnoitehnike AT belâninaf otrimannânanosgrukturovanihplívokalntaznotaíhzastosuvannâvelektronníitehnící AT samoilovičmi otrimannânanosgrukturovanihplívokalntaznotaíhzastosuvannâvelektronníitehnící AT kovalʹskiika otrimannânanosgrukturovanihplívokalntaznotaíhzastosuvannâvelektronníitehnící AT petuhovkû otrimannânanosgrukturovanihplívokalntaznotaíhzastosuvannâvelektronníitehnící AT belâninaf obtainingnanostructuraloffilmsalnandznoandtheirapplicationinelectronics AT samoilovičmi obtainingnanostructuraloffilmsalnandznoandtheirapplicationinelectronics AT kovalʹskiika obtainingnanostructuraloffilmsalnandznoandtheirapplicationinelectronics AT petuhovkû obtainingnanostructuraloffilmsalnandznoandtheirapplicationinelectronics |