Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2005 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53609 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53609 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Ковальский, К.А. Петухов, К.Ю. 2014-01-25T11:15:44Z 2014-01-25T11:15:44Z 2005 Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53609 Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике Отримання наносгруктурованих плівок AlN та ZnO та їх застосування в електронній техніці Obtaining nanostructural of films AlN and ZnO and their application in electronics Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| spellingShingle |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Ковальский, К.А. Петухов, К.Ю. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| title_full |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| title_fullStr |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| title_full_unstemmed |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике |
| title_sort |
получение наноструктурированных пленок aln и zno и их применение в электронной технике |
| author |
Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Ковальский, К.А. Петухов, К.Ю. |
| author_facet |
Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Ковальский, К.А. Петухов, К.Ю. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2005 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Отримання наносгруктурованих плівок AlN та ZnO та їх застосування в електронній техніці Obtaining nanostructural of films AlN and ZnO and their application in electronics |
| description |
Показаны условия получения и эксплуатационные характеристики слоистых структур, включающих AlN, ZnO, алмаз и алмазоподобный углерод, для акусто- и эмиссионной электроники.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53609 |
| citation_txt |
Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, К.А. Ковальский, К.Ю. Петухов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 46-54. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT belâninaf polučenienanostrukturirovannyhplenokalniznoiihprimenenievélektronnoitehnike AT samoilovičmi polučenienanostrukturirovannyhplenokalniznoiihprimenenievélektronnoitehnike AT kovalʹskiika polučenienanostrukturirovannyhplenokalniznoiihprimenenievélektronnoitehnike AT petuhovkû polučenienanostrukturirovannyhplenokalniznoiihprimenenievélektronnoitehnike AT belâninaf otrimannânanosgrukturovanihplívokalntaznotaíhzastosuvannâvelektronníitehnící AT samoilovičmi otrimannânanosgrukturovanihplívokalntaznotaíhzastosuvannâvelektronníitehnící AT kovalʹskiika otrimannânanosgrukturovanihplívokalntaznotaíhzastosuvannâvelektronníitehnící AT petuhovkû otrimannânanosgrukturovanihplívokalntaznotaíhzastosuvannâvelektronníitehnící AT belâninaf obtainingnanostructuraloffilmsalnandznoandtheirapplicationinelectronics AT samoilovičmi obtainingnanostructuraloffilmsalnandznoandtheirapplicationinelectronics AT kovalʹskiika obtainingnanostructuraloffilmsalnandznoandtheirapplicationinelectronics AT petuhovkû obtainingnanostructuraloffilmsalnandznoandtheirapplicationinelectronics |
| first_indexed |
2025-12-07T20:44:45Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:44:45Z |
| _version_ |
1850883740006350848 |