Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки - Ануфриев, Л.П.; Баранов, В.В.; Соловьев, Я.А.; Тарасиков, М.В. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2005)
Термическое испарение палладия в высоком вакууме позволяет получать слои Pd₂Si непосредственно в процессе напыления без последующей термообработки.