Cover Image

Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки

Термическое испарение палладия в высоком вакууме позволяет получать слои Pd₂Si непосредственно в процессе напыления без последующей термообработки.

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:	2005
Main Authors:	Ануфриев, Л.П., Баранов, В.В., Соловьев, Я.А., Тарасиков, М.В.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Subjects:	Технологические процессы и оборудование
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53610
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки / Л.П. Ануфриев, В.В. Баранов, Я.А. Соловьев, М.В. Тарасиков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 55-56. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
by: Anufriev, L. P., et al.
Published: (2005)

Исследование качества пайки кристаллов мощных транзисторов релаксационным импеданс-спектрометром
by: Турцевич, А.С., et al.
Published: (2012)

Получение активных слоев InP в составе гетероструктур для диодов Ганна
by: Вакив, Н.М., et al.
Published: (2010)

Тонкопленочные элементы кремниевых диодов Шоттки для высокотемпературного микромонтажа
by: Баранов, В.В., et al.
Published: (2007)

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления
by: Болтовец, Н.С., et al.
Published: (2009)

Направленная кристаллизация силицидных пленок на кремниевой подложке
by: Белоусов, И.В.
Published: (2007)

Технология сборки микросхем на гибком полиимидном носителе
by: Плис, Н.И., et al.
Published: (2010)

Формирование наноструктурированных пленок иридия и поликластерного алмаза
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2007)

Технология изготовления гибких терморезисторов на полиимидной основе
by: Динев, Д.А., et al.
Published: (2013)

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
by: Дружинин, А.A., et al.
Published: (2007)

Физико-технологические основы получения резкого p–n-перехода
by: Каримов, А.В., et al.
Published: (2006)

Технология изготовления контактов к карбиду кремния
by: Кудрик, Я.Я., et al.
Published: (2013)

Технология создания легированных бором слоев на алмазе
by: Зяблюк, К.Н., et al.
Published: (2012)

Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
by: Конакова, Р.В., et al.
Published: (2010)

Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
by: Панфилов, Ю.В., et al.
Published: (2005)

Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
by: Рогов, Р.В., et al.
Published: (2005)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
by: Венгер, Е.Ф., et al.
Published: (2014)

Технология и оборудование для обработки алмазных материалов современной электроники
by: Митягин, А.Ю., et al.
Published: (2009)

Электроосаждение конформных электродов для получения туннельного перехода с вакуумным нанозазором
by: Джангидзе, Л.Б., et al.
Published: (2009)

Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
by: Наливайко, О.Ю., et al.
Published: (2012)

Осаждение пленок TiN и TiO₂ в обращенном цилиндрическом магнетроне методом реактивного распыления
by: Костин, Е.Г., et al.
Published: (2008)

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
by: Наливайко, О.Ю., et al.
Published: (2012)

Получение наноструктурированных пленок AlN и ZnO и их применение в электронной технике
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2005)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
by: Гладковский, В.В., et al.
Published: (2014)

Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
by: Баранов, В.В.
Published: (2005)

Повышение надежности диодов Шоттки при воздействии разрядов cтатического электричества
by: Солодуха, В.А., et al.
Published: (2012)

Статистический анализ и оптимизация параметров технологии изготовления биполярного транзистора с изолированным затвором
by: Баранов, В.В., et al.
Published: (2015)

Предэпитаксиальная обработка подложек GaSb для жидкофазного выращивания гомоэпитаксиальных слоев
by: Андронова, Е.В., et al.
Published: (2008)

Приборное обеспечение измерения параметров ультразвуковых воздействий в технологических процессах
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2008)

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2010)

Выбор микропривода механизма зажима и подачи проволоки в установках термозвуковой микросварки
by: Ланин, В.Л., et al.
Published: (2010)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
by: Пилипенко, В.А., et al.
Published: (2013)

Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
by: Одиноков, В.В., et al.
Published: (2011)

Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2009)

Особенности конструкции и технологии сборки микроэлектронных координатно-чувствительных детекторов
by: Сидоренко, В.П., et al.
Published: (2018)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
by: Дудин, С.В., et al.
Published: (2011)

Получение эффективных катодолюминесцентных структур на базе пленочной технологии
by: Коваленко, Л.Ф., et al.
Published: (2008)

Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур
by: Бойко, Ю.В., et al.
Published: (2007)

Сравнительный анализ методов сборки микросхем на гибких полиимидных носителях
by: Вербицкий, В.Г., et al.
Published: (2013)

Безадгезивные акустические мембраны на полиимидной основе
by: Воробьев, А.В., et al.
Published: (2014)