Способ электродугового восстановления кремния
Путем изготовления электродов состава SiO₂:Zn и их плавления получены кристаллы кремния со степенью чистоты 99,993 мас. %.
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | Соловьев, О.В., Масенко, Б.П., Хлопенова, И.А. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53612 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Способ электродугового восстановления кремния / О.В. Соловьев, Б.П. Масенко, И.А. Хлопенова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 4. — С. 60-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
-
Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
by: Рубцевич, И.И., et al.
Published: (2011) -
Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
by: Смынтына, В.А., et al.
Published: (2011) -
Получение и свойства пористого карбида кремния
by: Светличная, Л.А., et al.
Published: (2005) -
Способ определения доли кристаллов в стеклокерамическом диэлектрике
by: Дмитриев, М.В., et al.
Published: (2009) -
Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния
by: Жавжаров, Е.Л., et al.
Published: (2006)