Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862718052541399040 |
|---|---|
| author | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. |
| author_facet | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. |
| citation_txt | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:13:22Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53629 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:13:22Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. 2014-01-25T12:48:43Z 2014-01-25T12:48:43Z 2005 Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629 Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці Strengthening thin film based on AIN in electronics Article published earlier |
| spellingShingle | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. Технологические процессы и оборудование |
| title | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_alt | Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці Strengthening thin film based on AIN in electronics |
| title_full | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_fullStr | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_full_unstemmed | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_short | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_sort | ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе aln в электронной технике |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629 |
| work_keys_str_mv | AT belâninaf udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT samoilovičmi udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT žitkovskiivd udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT kamenevaal udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT belâninaf udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT samoilovičmi udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT žitkovskiivd udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT kamenevaal udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT belâninaf strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics AT samoilovičmi strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics AT žitkovskiivd strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics AT kamenevaal strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics |