Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике

Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2005
Автори: Белянин, А.Ф., Самойлович, М.И., Житковский, В.Д., Каменева, А.Л.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860208624059547648
author Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Житковский, В.Д.
Каменева, А.Л.
author_facet Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Житковский, В.Д.
Каменева, А.Л.
citation_txt Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.
first_indexed 2025-12-07T18:13:22Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� � ���� ���� ���������������� �������� �� �� �� �� ������ ������ � ������������������ � ����� ������� ���� ����� ���� �� ����������������� ����������� � � ������� �������� ��� � ��� ���������� �� ��������!���" ���� ��� ����� � ������ �� ���� ������ ��� ���� � �� ������! � ��� �������� ������������ ��� �"� ��#"�� � ����� ����� ����"������! ���$% &�������� � ����� �� '()*+,�)�� �����$ ����� � �� ���� ��� ������-� �� ���� '() ���#� "� �� �� � ������-� �!��� ������ �� � �������� � � ���� +,�)� ���"����� � � ������-������ �� "��� �� % .��� � � �� � ��� ��� ��� ��� ����� � �� ���� "����� ! � �� "��� �� �"����� ����� ��% /����� � ����! � �� �"�-� � ���� ���� ��� � �� ��0� �% 1� ��� � �� ��-��� ������ �� ���� ������ ������ � ������ � �� "��� �� �"����� ��� ����-����� ����� �� ���0���� ������� ���� ����� �����-��� ����� � �� ������ +,2% .�0�� +,2 �0��� ������ ��� ������� ���"�� $! 3456 �� 7���� 8�� ���9 � ���������"��� $! 3:;�<�6�=. *3�>?99� � ��� #� ����-����� ���� ��� $! �� � -�� ��� �� � ����� � $! � �� "��� ��! ����� � ����-��% @����-��� ����� � +,2 ���� 0� $ �A������� ���� ��� ������ � ������� A� �� ���� ����� ����� ��� ������-���� ��� ������� ����� ������ .B� � �� ��� � ���� ��� ������������ "��"��� ���� ����� .B������������� ����������� ������ ��-���� � ��� #� ������ ������ �C��� � � � � ��!�������� ���� ��-��� ����� �� D:5;E% / " �� �"�� � ��7������� "����� �������"�� "� ����-��� ��� ��� ������ �� ������ �� ���� ������ ������% &�������� ���� ��"���� ��� ����� � ������� A� � � ���� ����� ������� ������-���� ��� ����� �� ��� � ������� �� 3:���=?9 ������ ����� � ����������� �������� � ����-����� ��"��#��% . ���! �-���"$ ����� ��� ���� �C� � � � � +, ��0�� �������� ����7���� �����-���� ����� � ��!���� 3- � �����"� � ��� �� ���� �������! �����"�����9% 1� A���������� ��� ���� ����� � � � ����� �� � �� "��� ��! �"����� ����� ��� �����"�� �� �� "� ����� ������� � "��"���� ��������� � � ��#� ��������� ������ ��-��� D�54E% 1����� �� �"� ����� ��� �! � ������������ $! �� ��� �������0� �� �!��� -�� �C � �������������� ������ �� A��� �������� �����-���� ����� � % . �������� � � ������� �����"��� ���C���� � � �����"� � �� ��-� ��� � ����� ���� ����-��� � 3��"��#���� ���� ��� ��-����� A� � � �0F��� �����-���� ����� � � # 9� � ��� ����"������� ������ ��� ���C���� 5 � �0�� �� ����! �����7����� ������$��� ��� �� �����-��� ����� ��� ��� �� !���� � ����� � � ���� ���"�0� ��� ��7� ��� � ��"� �������� ��� � ����� % 1� ���� ��-��� ����� �� +,2 3� ��� ��� �!�C� �9 ������$� ��� ��� �������"� � ����������� G���:H% @�� A��� ��������� +,2 � ������������� ������ � ��$ ��� � ��� ����"� �����"�� � ������������ ��� ������� 3������� �9% . �0F��� �����-���� ����� � A������! � ��� ���0�� ��� ���� "���� ��� ���5: ���� �� �� �� �� ����������! ��� G���:H ��� ���% 8� �" ���� �� ������� .B���������� �� ��� � ����-� $ ��� � ����������� �����-��� ����� � +,2�����!��� �������� �� � ������� �� ������� � �� ������ �� �������� ��������� � 3�� ���� �� ����-����� ���� �� �� �� �� ����� ����9% &� ��� ��������� "�A��� �������� 3���% :� 9� �� �� � �����-��� ����� �� +,2� � �0��� � 0���� ������� ����� �θI:�<:;�J ��0�!"�! � "�A���C�� ����� ���������� ��� �� � ��!��� � ��#��� � ��$� �� 3����9 � 3���;9 +,2�3�θI�K��;J � �θI4K�;�J� LM$α� � ��-����9� �� ���� ��� �� � ��! ��#������� ��� ���� � �� %&'� ������ ���;N� � ��:�;K=��% O �� � ��� "����� � ��#���� � ���� ����-����� �����-��� ��� ��� �� +,2 �0��������� ����-��� ��� ��� ��� � � ��$! �� G���:H% /� ����� �C� ���� � ���� ��$�� ��� G���:H� � ������� �� "�A��� �������� ��-�� �� � ����"� � � ���"���� ���5���J 3���% :� (9% @�� ����� ������ � ���#"��� �����-��� ������ ��� � ��#� � � �� � ��� ��� ��� ����� ����-��� ��� ��#� ��$���� ���� ��-������ ������� �� ��"��#� ��"��#� ���� A������! � �����-��� ����� � � ��� � � ��� � ���������� �� ���� "�-����� ���� ��� �� �� 3������� �9% P ������� ������� ��� � � �����0� � ��� A����������! ���� ���� �� � ��"� ������� 3���% �� (9% Q��� �� ����� �C�� ���#��� ������� � ������� � ��"��#�� �������� ��� ��� � � "� ���-��� ���� ��� � �0F�"������ ����"��� �������� - � ��� ��� ��� �� ��� 0��$7�� ���� "�-���� � ��� ��� �����-���� ����� � � A����������� ������-����� ��� ��� 3���% �� � �� ��� �� ���"� ������ ���� ��� ��������� ����-���� �� � ��#����9% R ������ ������� ��� � �0�� ����� � ����� �����-���� ����� � +,2� ����-������ �� ��"��#�� � +,�)�3 0112 9� ���� ���� Q1S/OR�OT?PU �SVP�&WU @XU&OB&WU @O?/W�PY &S OR&O.U +Z2 . [XU?�/O&&OT �U\&P?U �"��"��")*"�+"�,-./010���"��"��"��")2"�1"�3*245.4617� �"��"��")6"��"�819$463$15���"��"��")*"�."�$*2-0-6* /���� � �% 8������ ]&P�P ^�������7^� �% _��� ����� @������� ���% ����-����� ��� `�ab(,c dbaef,eg(hijklhimeabdi%nM� obalmlgbjpdkM%nM 1� � ��� ������ � ��"��C�! ��%�4 ���� �% O������ �"��"��"�:"�*"�;*<4=>5$4 3P�� �������� ������ �% \��$���9 �K ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � /��% �% R ������ �����-��� ����� �� +,2� �A������������ �� ��"��#��� � ���������� ����C� 3�� (9 � � +,�)� 3 2101 9 3 � �9 �9 : ��� R �� � �� "� �# �� �9 � ��� R �� � �� �� �� + ,2 09 � ��� R �� � �� "� �# �� R �� � �� �� �� + ,2 �9 � ��� R �� � �� �� �� + ,2 R �� � �� "� �# �� : � � /��%=:% � 5 h ������ �����-���� ����� � +,2� ���!���� ��� ���� ��� ��� ��� � ��0�-�� ��������� � ��"��#�� �� ���� γq (�5 "�A��� ������� ��-��� ��A����� 3����9 �����-���� ������ � +,2 �� ��������� ����C�q 5 ��� ��������� "�A��� ������ �� �����-��� ����� �� +,2� �A������������ .B=����� ���� ��� ����������� �� ��"��#���c ? 5 '(r:::sq @ 5 ��������� ����Cq A 5 +,�)�r���:sq B 5 α�+,�)�r 2101 s R �� � �� �� �� + ,2 / �� � �� � �� �� �� �� $ + ,2 �9 : ��� G���:H γ 09 3����9 +,2 :� ��θ�J �9 �� �� ;� �� K� 4� : � � ; 3: :: 9 ' ( 3� �� �9 + ,2 3: :: 9 S �� � 3� �� �9 + ,2 3� �� �9 + ,2 3� �� K9 αt + , � ) � 3� �� �9 + ,2 3� �� ;u 9 αt + , � ) � �θ�J ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �4 ��������� � ���� ���� ���������������� � 3��� ��� �� � ��!��� � ������ � ������ ��� ���� C���� ���#"��� 9 ������" ���� ��-� ��� � ����� � �������� �� � ����� ����� �� � ����������� ����� �� 3���% �� �9% Q��� ������� ��� ��� ��� 3γ9 � ��0�-�� ������� ��� � ��"��#�� ����"�� �� �� "�A��� �������� ��-��� % Q��� ������� ��� ��� ���� ���� ��� ��$� �� � ���������� �� ��� �������0�� �!��� -�� �C� ����� N�J 3��$ ��� ��� ������"���� ��� ��0�-�� ��������� � ��"��#��9 "� �����-��� ����� ��� �A������������ �� ��"��#���� �� ���������� ���� �� C�� �� ��7���% .���-��� ���� ������� ��� ��� ��� � ��0�-�� ��������� � ��"��#�� ����� � ���� ���C�� ���� �� ������� �� �-���� � � ������� ����#��� ��"� ��#�� � ��7���% &�������� ����$7���� ���� ������ �� ��� ��� ��� � ��0�-�� ��������� � ��"��#�� �� ���� �"����� ��"��#�� � C�� �� ��7��� ��� ��� � � �������� :J �� �=�� ��� "�� ��C�� ̂ ��7��$ 5 ��"��#��^ K�=��� ���� � ��� :4=�� � C�� �� ��� 7��� "� ��� ������� ���$C����� � "� ����� �� � ��=�� "� ���7���� ���$C����� � "� ����� ��% Q� ��-���� $ ��� ����������� �����-��� ������ �� +,2 � �� ���!��� ����� ��� ��7�� -�� � ��� � ���� ����� � �� ������ '()�t+,�)�% O�� �0����-�� ��� � ��� ��� 0��$7�� ���C�� ��C�� � ��� ��� ��� ��� �� ���� ����-������ +,2� �� � ��� ��� �� � ��� ��-��� �� ��$��� 0����� � ��������� $! ��� ���� ����� � �� ���0���� ���"��� ����������! ����� ����-����� ��7� �� +,2 5 G���:H 3� ��� ��� ��� ��� �� �� ������ '()�t+,�)�� �A������������ � � ��� ���� �� �"���� ��� ��� � �� � ��� 9% &��0��$� 7� ���"�� $ +,2�� ����������� G���:H �0F �� � � ��� - � ��� ����� ����������� �� � � ����������� �� ���0���� ��� ��� �������� ��� � ���� � ���� ��� ��-����� ��7� ��% 8�������$��� ��� ��� �AA�� �������� ����-������ ��� ��� �"����� � �� ���!� ��� ����� ��� "�� ���� � ��� �������#���� ��� ��� � ��� G���:H � �����"�!��� � ��� ���� ���� ����� �� ��" ����� γH4�J � ������� � ��"��#��% @���7���� �� ��-���� � � �"����� ����� ��� ����$-� �� � ��� ��� ����� ����� ��������� ������ ���$�� ��� ��� ��� � ��������$�� "��� ��! �"��� ��� ����� ��� ����"�� � � � "�� A�� ����% . ���� � ����� +,2 �� � ��� ���� �!�C� � ���� � "�� ��� ������ ��� ��� ����$#��� 5 r1010 s � r���:s% .� ��#��� $ �-�� � �� ��� ���� ��� ��� ����$� #��� � ���� �-����� "�A����C�� �C������ � A��� ���� v��"� 3C9c CI=hedϕud(mα� �"� ϕ 5 ���� ��#� "� ������������ ����� �� � ������$! � ������� � ����$#��� � � α 5 ���� ��#"� ������������ ��� ��� �� � �"����% @�� �����"���� ���������� �"��� � ��� ���� 3�������9 A�� �� v��"� "� �0��� ���� �� ����$#��� ����� ���! 3� ���-�� r1010 s ϕI�� αI�� � "� r���:s ϕI:� αI�9� ��"� ��� ��� �������� "���� ���������� �"��� � ��� ������� A�� �� v��"� � ��-�� � ��� % U��� ���� ��� � � �������� ��� ��� ��� 3��� �������9 � ���������� �"��� 3���� ���$ � ������� � ��"��#��9 �� :�J� A�� �� v��"� "� ��� ��� ����$#��� r���:s*D1120 E ����� ��:� 3��������$�� �� ��#��� ��-���� A�� ��� v�� � ���9% @�����$�� �0�� ������ ����� � ������� �� ��� �� ��#�� �� ������-���� ����� ����$#��� � �� � ���������� ���� �-����� "�A����C�� � ���� ����� ��-���� � ����� ����� �� ������ ��#��� ��$��% @����� ���C���� ���� �-����� "�A����C�� � �� ������ � ��� �� ��7��� �� ��#�� ������� �� � ��7���� �� �����C�� ���� � �� ������� � ������� � � ��� �� ���� 3������� $ ������� � "� ���� ��� ��� �� � ��� ���� �!�C� � r1010 s ��������$�� ��� ��������! �"���9% R��"�� ��� � $� - � � "��$��� ������� �����-���� ����� � ��� � � ������� � ��� ������ ������� 3�� ��� �0��� � ������� ���� ����� �� �����-��� ����� �� +,2������ ;�5K�=��9% . ���-�� �����-���� ����� � � ��� � ���� � ���� ������� ���� ����� � �� #� ��� ���� �� G���:H� �����#���� �����"� � �0�� �����! �� �� ������ ����� �� ������� � r1010 s 3�� ���� �� ! � ��� ������� �� ������� �� �� � �����C��� ���� �� ���9� � ��#� � �����"�!���� ��������! �������� ��-��� �����"������ �����7�����! � ������� ��� �����! ��� ���� ��� % . ������������ �� ��� ��� ����� A���������� ����� ������ .B������������� �����#� �� ��#"� ��������� �������� ����A��� A� �� +,2% [ � ��"� ���#"�� � �9 ���#������ �� �������� �� ��A� ������ 3����9� ����� � �� ���$�� ����#����! ��� � ���q 09 � �� � ���� ���"��� ������� ����� ����� "� �0�-��� ��������� ����-����� �����-��� ����� �� 3�"� �� ��7���� �"� � �������� �� ������� �9% . ��� ��������A��� �����-��� ����� �� �0�-�� ��� 0�!"�� � ���"��� ������� �� ����� �����0��� ���� ���� ��� $� �� ����� ���������-���� ����� �! � � � � � ������� � ����� % . ������ �������� ���� -�� � ��� ��� �����-���� ����� � ���"� ��� � ���� �� � � ������������ ������ ����$-� ��� �������� �� � ���$�� 7������� �� 0������ ��������� $!� ���� ��#� �� ��#"� �� ����� ������ $! �������� ����� ��� ��� � ���� ����A��� A� ��% .���" � � �� ��� ��0� � � �"������ ����� � ���� ���� ������ �� ���� ������ ������� ��� ������-� �!��� �������� �0�������� ��� ���� �������� � � �������� ��� ���� ����� � % &����� ��� ��� ���� �����"�!��� � ��$! ���� �����-��� �� ����� � � � ��0�-�� ��������� � ��"��#�� �� ���� ���$7� 4�J �����"� � �� ���� �����-���! ���� � �-����� "�A����C�� � ����"� ������-� �!��� ������� � � �� ��� ��� ���������� ��� ���� ��� ��� � � �� ����� � ��� ���C����� �������� ��� �������-��� �����"����� � �� �� ����% /� ��7�� ��� �� ������� � ��#� �������"� $ �� ��$�� ��� ������-����� �"����� �� � ��� ����C������ - � ��� #��� ��$�� "� ������-� �!��� �������� ��0� �!� ��� ��$�� �� �� ������% @�� ������ ��� ���� ����� � G:=��� ����� ��-� �!�� ������� 3�@w9 ����"� � � �� � ��� ��$ � � �������� �� ��7��� � �������" ����� �-�� ��"��� � � � ��������� � ����� ���� ����-��� � �� ��� ���"� ��� � ���� ��"�� � �-�� ���� ����#��� ��� � ����$-� ��� 3�������� ���9 � ����� � ��� �� � !���� �� ������ � �"�� A���������� ��� ���% @�� ������ ��� ���� ����� � 0���� :�=��� �@w -��� ��5;�=-���� ����" � � �� � �� ��$ � � ���� ��������� � � �������� ��� ���� ����� � �� �6 ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � /��% �%=[��� ����������������-����� ������ � � ������ A������ �� ������-��� �� �� �� ��8� � �� ���� �� �� �� �� � �����"���� �A����������c � 5=�� �"�� ����-������ ������� q ( 5=�� �"�� ���"������� 3/&[ 5 �� �� ����� ������� ��$��� ������ 9 ? 5="� ��-��� ������� �C��q @ 5=-��� :��=-q A 5=-��� K��=- ���� ����� �� P�� � ��������������� ���� �C ������� �� �� �� �— ���������� ����� ������ ������� �������� �� T��� U��, ! AlN�� 0,8 60 �"#$ N2 + +40 �"#$ Ar 90 573 (473*) –50 AlN�� 0,8 60 �"#$ N2 + +40 �"#$ Ar 90 573 (473*) +45 Al2O3 �� 0,8 60…70 �"#$ O2 + +40…30 �"#$ Ar 90 573 (473*) –50 %������& � ��������'� ����(-28. ��0��C�=: D�������������!�� �� �� ����� ������ � �����������!����� ������ E �9 R��� ������������� ��� ���� ����� � R��� �����"���� 3LntLMt2(9 : ��� +,2�� ∆ F +,3LntLMt2(9 +,�)� +,2�� R� ��� �� ����� �� �� 09 � �� � �� � �� +, +,2 ���)� +5+ +,�)� ���)�t+,�)�t+,2 ��t+,�)�t+,2 ��t+,t+,2 xb � ��� ��; ��K ��6 :�� :�� �� : � � + + R� ��� ��� ��� ��� ��� ��� ��� /&[ ���-��� �����-��� ��� ������ ���� #���� � ���� ��-��� ����� �� � "�� �#���� ��� �-����� ����� -��� ��� ������ �����-���� ����� � �������� :�=���% . ��-�� �� ��� ��� ����� �� �� ���� � ����� ��-� � ���� 0� $ �����$ ����� �����-��� ������ � +,2� ���" ��� � ��� �� ������������ � ��� ��% 8����������� ��� ��� ����� � ����-��� ��� ���"��� ��$��� ���������� �� ��������� � ������� -� �!��� �� ��C D6E ����� ����A��� S,2 � S,�O� 3S,2��� S,�O���9� � ��#� ���� ����-������ S,2 3S,2��9 � ��� ������ �������� �� � ������� ��� % B� ����� ������� ��� ��� ����� �� +,2��*+,2��*S:�O���*+,2�� ���������-��� ������-� �!��� �� ��C 3��89 A��� �������� .B������������ +,���7���% . ���C���� ���� ������ �����"��� ��$�� �� ���������� �� ���! ����$ � +nt2�=��� +ntO� � � ��C� ��$��� ��� ����#� ��$� ��� ���� ��-����� �������� �� ��"��#��"��#� ��� 3G��9 3�������9% R��� +,2�� 3 ������ ���5��;=���� ���������"��� $ λ≈���=. *3�>?99 �0����-���� �"��� �! ������������� ����� � � ��� � ����� �� �� ��� ������-� �!��� �� ��C� � �������� ��� ���#� "���� +,�)�% R��� ����A���� +,�)� 3���5��;=���� λ≈:�=. *3�>?99 A���������� ������� �� ��� � ��� �� �� ����� �0����-��� ��-�� �� ��-� �% ?�-�� �� ��-� � ������������ ��#� �� "����� � ���� +,2�� ��������� � S:�O�>S:2 ������� ��;=���� A����� ������ ����������� +, � �� ���� ����� +ntO�t2�% 8�����-����� ���� #����� ��� ���� ����� � � ��� � ����� ����� $! ������ �� � ��� � ����$ ����� ����-��� � 3#9 A���������� ����� +,2�� 3 ������ :��5:��=��� � ��K5��K=���� λI���<�6�=. *3�>?99% O���� �C� ���� ���� ����-����� A� � ��� �� � � ������ ����������! �� "��� �� ������-����� ����� �� � ���C���� ������� �C�� �� ��C�% R��� ����� ������ ��� ���� ����� � ������-� �� !��� ������� ����"�� ���$ ������ �� A������� ���� �� �� ���� � �����"�����% ���� ��� ����� � ���������$ � �����$ ������ �� ��"���� ��������� �����7������ �� ������ Q.&�K�@��� ?S�O1�:8 D;E � ���C���$�� �� ��0�� ����� �� ������� ���������� C����"��-����� ���� �� ������ @XS�8S��8] D:E% 8��������� � �� ��� �������$ �� �� ������� ��"��#��� �� ����� ��S,O�% R��� ��S,O� ����-��� ���������� �� ����-������ �����-���� ����� � � ���"��� �� ��� ��� �� ��� ���� � S, "� ��� �A������������� ����������� ��� ����� ��7��� 3S,t��� :c: �� ��������� �9% R��� ����� ������ ��� ���� ����� � "��#�� �0��� ��-��� $ ∆FI���=��� 3����� � �9% @��������� ���C���� ���"������� �� ������ ����$7� $ 3�� ��������! � ���C������ ������� 9 ���� � � ������ �� ��������� � �� ��C� "� ���5 ���=��� ��� ��������� ������ S,������"����� � ��=�� �� ������ ��� � ������ �=���� � ���"��� ��$� ��� � �������$�� ���0��"���! ������ ��� ���� ����� � � ��������� ��-���� �� ���� ��� ��� �� �5�=��� 3���% �� (9% R ������ ����� ��� +,�)�� ��� ��-������ �� �"�� ���"������� � ���� ��� �� ����!"% ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �N ��������� � ���� ���� ���������������� /��% ;%=[��� ������������ �����-����� ������ ���� �� ��� +,�)�� �A����� ��������� ���� ���� �-�� ���� ���������� +, ��� ��� ���& ����� ��'� ������ AlN Al2O3 AlN !����� ���"��� � ��) ����'� �� ��� ���� � ��)�� ��$ � ��)� � 0,2 0,1 2 >250 65 — 0,2 0,2 2 >250 15 — 0,2 0,4 2 >250 12 — 0,2 0,5 1,5 — — *���� �� ����& � ���� ����'� �������+����� � ��� � 0,2 0,3 0,8 15 16 ������� ��� ,� �-��� �������� �� �� ��'� ���� �� ����& � ���� ���� ��0��C�=� =� ��H����� ������ �� ��(��������(���� � ������ � �����&��@IA&���� �������� ��������!�� /��% �%=R ������ �����-��� ����� �� +,2� �����$ ��� ��� � ��-�� �� ��� ��� ����� �� "� -����c � 5 ������-��� ���� �����-���� ����� � ������� � ��� 3���� ���� ���� ����� ���������� 9q (�5 �����-��� ����� �� ��� ����� ��=�� 3������-���!�� ���� ����� ���������� 9 ��� ��� �9 09 :� �� /� ��$ � � ���� ���� ��0� ������0��� � ������ ������� ��� ��� ����� ��� ���������� ����� ���� ��� ������������ ���"� ������ � �����!�% y����������� ����� S,2��tS,�O�=��tS,2�� ��� � ���� ����� � ��8��6 "� ������-� �!��� �� � ��C �����"����$ ��� 9�G;4�=? � �� � � ���������� �� ������ 'mu.( 3 ������ ��� �������� ���=?9� ��� �������� �� ��� �� ��� �����"��% @����"��� ���� ��� �� ��C � ������ � �� "��� � �� �"����� ����� ��c -�� � � �"���� ������-� �!� ��� ������� ��=wCq "�������� "��� ��!��� �� ������� ��� $ �@w � ����� �� ��� �� � � ����-��� �� ��$��� 0������ �>:��=�@�q "�� ��$��� $ �����$�� ��-� � :�=��% [������ �C� ��� ����� �� ��C � ��-���� ��� ���� ��� �� ���$ ��� ������ � ��-� � �:= ���*�� "������� ���#��� ���>:��=�@�� "�� ��$��� � �����$�� ��-� � :�=��% ��� ������ �� �� ��� � ���C���� ������� �C�� �� ��C �� ���������$ "� �4�=?% . �� ��$ � � ���� ���� 0��� �0����#���� - � ���� �� ������� �C�� � �-���� K��=- ����$7���� ����� �� ��� ���� ����� � ��� ��� � G:�z% P ����� ��� ���� ��-������ ����� ������ ����� �� ��� � ���C� ���� ���� �� �����7�� t:�z% @���� K��=- ������� �C�� 3;��>:�4=C����� ��-� �9 �� ��C� �� �� � � ��0� ������0��� 3���% �� (9% /����� ��0� � ��� �� ����� �� ��C � ��� ��� ����� ��� � S,2 ��� ����� ���5�=��� 0���� -�� � ���=�� �����7�� ������ ��0� � �������-��� �� ��C� ����������� � "���� ������� ��� ��� ����� ��� �� ������ '()�=3���=���9 � S,�O�=3���=���9% �� ���� ���� ���� 3HK��=-9 � � ������� � ��� ��� ����� �� �� �0����#���% P��� ��� ���� ���� - � �� ��C� � ��� ��� ����� ��� �� ������ S,2 ��0� ������0�� � "����� ��� ������ �� � �:� "� ���=? � ���#��� � 6�5 N�z DNE% P����$ ������ ����� � � ��� ��� ����� ��-� �!��� �� ��C �� ������ �����-� $ ���� ���#� 0� ������-� �!��� �� ���� � �������� � �=�� �% &�������� ������������� ��� ���� ����� � �� ��� ���� +,2 3���� � '()�*'(*'(�2;9 �� �� ��C� � �� �� � ��� ���� �����-��� �� ������ 0���� -�� � �=�� �% _��� ������ ���� �� ��#��� $ ����-��� �� �� ��� ����� �� �� ������ +,2 "� � ����� ��$��� "� -����% @����"����� ����� ���� ��� - � �����-��� ��� ��� � � ���#"����� �� �"��� ��������� � ��"��#� ��� ��������A��! A� �� ��� � ��!� �� �� ��$ � �� �#������ ������ ���� �������� 3�#������ ������ ���������� � �� ���� ������� ���������� x`'Z+ {'����9� � � � � � ��!���� 3:c:9% R ����$ ���� ��� ��-��� � �����-��� ����� �� +:2 � �������� � � ������� �����"��� ���C���� ���#"��� � ��� � � � � 3����A��� �����-��� ����� � 9 "� :��z% RA��� ���������� ����� ������ ����������� �����-��� ����� � +:2 ���! �������� �� 3� ��0-� ��9 � ���� ��� � ����� ��������� ������� �� G���:H� ��� �� � � ��!���� ����������! ��� ��� ��� 3�����#9% /�� � ��������A�� A� � �����-��� ����� �� ����� � �����#� �� ��#"� ���������% 1� ���� �-������ ��������� � ��-�� �� ��� � ��� ����� �� � ���� ��$��� "� -���� ��0�! � ���� ��-��� ����� � �� � ����$! ���� ����-��� � ��5 K�=�0%z% R ��� ��� ����� ��� � �������� ����-����� ��� ��� ������������ �� G���:H +,2 0��� � �� ��� ���� "� -��� �������� � �������� �������������� ��� D:��=::E� �� ���� �� �����������$ � ����"��� � ��� ������ ��� � �� ���� ��� �� �C���������� "� �0F�� �� ��������� ������% P �� �������� "� -�� �� ��0� ��� � ������ � 0� ���� % ������� ����� ������ ��� +,2 ��"0������$ ���� �0�� ��� - �0� ��� ��� �� � ������ ��������� ���������� �� ��� 0�-�� "���� ����� � ��� ��� �� λ�I���<���=���% ��������� $ �� �-������ ���������� 3τ9 � λ� � ���� ?�6� �����$ ������ "� � �� ������ �� �-����� ��� ���� � � ���� ?�6 � �����-��� ����� ��� +,2 ������� :=��� �����"��� �� �����$% P �� �������� ��� �� ����� �� ��-��� ����� � ��-����� �� ���� � ���"� ��� �� ��0�� �� �-����� � ���� � ���������� �� ���� �� ��� ����� � Ln 3 ��� ���� ��:=���� �������$��� 7����� �=��� � 7�� ;=���� �����%9% O0��� $ � �� ��� ����� Ln �������� �� ��� ��� �����-��� ����� ��� +,2% ;� ��������� � ���� ���� ���������������� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � /��% 4%=@��A��������� ��������� � ��� ��c ? 5=������ Ln �� ��������� ����C�q @ 5= � #� � ��� ��� � �����-��� ����� ��� +,2 K :� :6 ��� � ��; ��� ��: � �� � �� ���������� & � ���� ����'� � ���& �� ��& � ���� ����'� ��� ��� (��� - ���� ��� ���& �� �����Cr, ��� -�� ) �� �������' ����� ����& � ���� ����'� � -���� ��� � �������'��. ��"������ ����� � ���� ��� �� ��������) *��"� ��� � ������ ���� � ���� ���� ��� ������� AlN 2,1 1 /�� ��� ��� <0001> !���� ���� 82 >250 — AlN 9,5 1 ����� ����� 75 >250 — AlN 11 1 " " 80 26 �������� �� �� ������ �� � SiO+Al2O3 5,4 (0,5+4,9) 1 — �� ��� �����0 �� — 16 ����� SiO+Al2O3 4 (1,5+2,5) 1 — ��� ��� '����� � — 20 " SiO2+Al2O3 6,3 (2,5+3,8) 1 — ����� — 12 " SiO2+Al2O3 6,7 (0,5+6,2) 1 — �� ��� �����0 �� — 8 " ��0��C� � 3���� � � � ���� �� ������ ��� ����H ���������� �� ������ �� ��� � Q "� -���� ��0� �!���� � ������� ��� �� ����� " � � ��� �� �% /����� ��0� � � ���� ��$��� ���� ��� 0� ��� ���� ����� � � ��0� �!��� � �����$� ������� ������������ #�"��� �� 5 :�=-����% R ��� ��� �����-��� ����� ��� �� ������ +,2 �� �"�� ��� � �� ��7�� � � �� ����� ������� �C�� � �-���� 0���� ���=-% /����� ��0� � � :�K ��������� ��� ��� ��� � "�� � ����� � ����� �"�� �=�� 3���� ��� ���#��� ��� ��� ��:=�@�9 �� �����"� � ��"�� ��� � ������ � ��� ���� ����� � % /� ��7�!�� �����0��� $ �� ���� �� 5 ��:=���% S������-�� ���� ���C� � ���"�� ��-���� "� ��0� � � ��#��� 0� ���� � 0��� �����$ ����� � "� -��� ��������� ���������� A� ���������� ��� ���� �� � ���� �� ���� ��� ��� ���"�� y� ��� ����% /� ���� "� -��� :4×;�=��� �� ���� ������� �� "� -��� �×����|�����=��� 7�� ��#"� ������ �� �� "� -��� � ����N "� ��6=��% @��� ��� "� -��� ��� ������! � � � ���� ��:=��% &�������� ��� ��� ����� �� �����"��� ��� ���� "�!��� ������ �c =I��6 @�� 32� IK�=�0%z� 0IN�=��� 9�I;4�=?% P����$ ������$ ��"���� ��������� ��� ������ Q.&�K�@�� � ?S�O1�:8% ���� ��� ������ �� +,2 3��� ����A����� �� � ���� ����-������ � ��� ��� 9 �� ������ "���� � ����� ����� ���� ���#0� �� ���� �� "� �>:�;=- ��� ������$��� ������ � ���� ���� �C�� � �� ��������� � ���� ���"�% 1� ����� ������ 0��� �����"����� ��� ��� �����-��� ����� � '()� � +,�)�� �� ���� ������� ���$ �� �"�� ���� ��������-����� �������� �� ��� ������ Q.&��8�:% @���-����� �����-��� ������ � 0��� ��� ��������A���� ��� ��������� ����� -������ � ����-���� �0��� �� ������� ���� ������ �� ��� ��������� ��-�� 3O?/9 �5;=�� �� �� "��� ��� ���� ������ ������������ �� ����� ��� ���� ���� �������� ��� � ����� % ������� ���������� �����-��� ����� �� '()� ��� ��� �� ���5:��=���� � +,�)� 5 ���5�=��� ��� ��������� ������ �� �� ���� ����� � ;5K=���% P��� ��� ���� ���� - � � ������ � �� "��� �� �� ���!��� ����� �� C���� ��� $ ��������� ���� ��� �� � ��� ��� ����� ��� �� ������ +,2 ��� ����� �����7�� �������-��� ������ �� �� ���� � � ��� ��� ����� ��� � '()� � +,�)� 5 �� ����� ���� ��������" ��� +,2 �� ����� ���"�� �% . �����! �����"��� ����� � � �����$ ����� "� �� �� � � �� ����� D:�E% /��% K%!��������� $ �� �-������ ���������� � "���� ����� "� �0�� C�� � � ���� � � ���� � �����-��� ����� ��� +,2 ;�� K�� 6�� λ�� �� τ� z 6� 4� K� 5 R ���� ?�6 5 @����� +,2 �� � ���� ?�6 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � ;: ��������� � ���� ���� ���������������� &�'�()*+�* P����$ ������ ��� ���� ����� � ��8��6 �� ������ +,2 � ��� ��� ������-� �!��� �� ��C ��� ������ �����-� $ ���� ���#0� ������-� �!��� �� ���� � ��- � � �=�� �% &�������� ������������� ��� ���� ����� � �� ������ +,2 3���� � '()�*'(* '(�2;9 �� �� ��C� � �� �� ��� ���� �����-��� �� ������ 0���� -�� � �=�� �% ���� ��� ����� �� +,2 3��� ����A����� �� � ���� ����-������ � ����� 9 �� ������ "���� � ����� ����� ���� ���#0� �� ���� �� "� �>:�;=- ��� ������$��� ������ � ���� ���� �C�� � �� ��������� � ���� ���"�% 1� �0����-��� ��������� ���0��"���� ����� � ������-� �!��� �� ��C 3������������ $ ����� � ��"�� � ����� ����� $� ���� ������� �������� ��� � � �������� � "�%9 ���0��"��� A�������� $ ������ ������� ����� ��� ��"��#���� �� ��$�� ���� �� � ��-��� �� �������� �� � �"���� �� ������ �� ��-� ���� � ����� % y����������� �����-��� ����� �� +,2� ��"��� #���� �"����� ����-�� �� ����� ��������� 3 ��� � ���9 ���� ����-����� A� �� �� ��� � �� ��� "�� ������ $ � ����� ����� $ ������ �� ���� ������ ������ �� ��������! � ��� ���� �� ��������� ���!���� 0��$7�! ���"�� $% PR@OX}�O.S&&WU PR�OB&P?P :%=_�� ���=S% y%� R��������-=8% P% @����� ���� � � ���� �� ��"�0��� �� �������c A������������ � ������ � ���������� � ���� ������ * . ��%c .������ ��������� � �����7������ � /��� ��� 3�� ������ � �� ���� �� ���� ������ ������9%5 8%c=OSO ]&P�P ~�������7�� ����%5 R% :N5::�% �%=_�� ���=S% y%� �� �������=.% 1%� @������=@% .% @����� �� ��"� ��!���� c ����-����� � ������ � ���������� � �� ���� � ��� ���� ������ ������ ** R�� ��� � ���"� �� �� �� �����"�� �� � ��"�������� %5 :NN6%5 .��%=:%5 R% �N5�4% �%=_�� ���=S% y%� _��$�����=&% S%� ����8����� �=S% S% � "�% R ��� ����� ���0����� � ������ �� ��"� ��!���� � ����-��� ��� ������-�� � ��� ����� ������ ����������� ** ������� ���"� � �� �% R��% �@O%5 :N6�%5 .��%=:%5 R% ;:5;�% ;%=_�� ���=S% y% @��������� � ���� ������ ������ ������� ������ ������ +Z2� ���������� .B������ ������ ���������� �� ** R�� ��� � ���"� �� �� �� �����"��� � ��"�������� %5 ����%5 � :u�%5 R% 4;56�% �%=?�������=S% X%� �� �������=.% 1%� S������"���=1% .%� R�� �������-=8% P% P �-���� A� ��������-������ � ����"��� �� �� �����C�� �� "��� A� � ����� �� �� ������� � ����� � � * ��% �� ��#"����% ���-%� ���% ���A% ~.������ ��������� � �����7� ������ � /������%5 8�����%5 ����%5 R% :�65:K4% K%=?�������=S% X%� S������"���=1% .%� _�� ���=S% y% � "�% @����� +Z2� �n2� x(�n2c ��������-����� ���0����� � A����� ������ * ��% �� 8�#������% �������� ~&��� ��������� � A�� ����� ���� �����%5 ?�����%5 ���;%5 R% ���5�;N% 4%=?�������=S% X%� S������"���=1% .%� _�� ���=S% y% � "�% R ��� ����� � ���A�����-����� ���0����� � ����-� !��� ��� ��� ��� ����-����� �� �"��� ����� ������� ��������� � ��� �������� �������� * ��� #�%5 R% :�K5:K6% 6%={l,fbm(m=+% �%� {eM(,eg=Z% Z%� �i(nmeg=�% �% lk b,% +pp,(hbk(em e� b,Ma(m(Ma m(kn(�l �(,ad �en l,lhknem(h �lg(hld ** �(baem� bm� �l,bkl� �bkln(b,d%5 :NNN%5 �e,%=6%5 �% �KN5�4�% N%=_�� ���=S% y%� R��������-=8% P%� R������=S% @% @����� ���� � � ���� ���"�0��� �� �������c A������������ � ������ � ���������� � ���� ������ * . ��%c 8� ������� �0���"������ � ��������� �������� ������ � �����A� �����%5 Q����Q"�c=_&] RO=/S&� ����%5 R% 445:6�% :�%=R��������-=8% P%� _�� ���=S% y%� �� �������=.% 1%� _��� "���� �=S% R% &���� ��� ����� ������"��� �� ������ � ����� �����-��� ��������� ** P�#������ A� ���%5 ���;%5 �=:%5 R% �45�K% ::%=_�� ���=S% y%� R��������-=8% P%� S������"���=1% .% � "�% @����-��� ����� � �� ������ +,2 "� �� �-����� "� -���� * ��% 8�#"����% ���-%����� % ���A% ~�2x`��+x�L����;�%5 8�����%5 ���;%5 R% �;5�K% :�%=_�� ���=S% y%� R��������-=8% P%� S������"���=1% .% � "�% 8����������� ��� ��� ����� � ������-� �!��� �� � ��C �� ������ +,2 * ��� #�%5 R% ��5��% �� ����������,������� � ��� �- ��.����,������. ������������ ���&��� ��� /���������� ��0*'���1��22#�3�4�56�'7�4�'6+8*�*+9:9*+���;/'���6<6���= �7�>�*?@*�36�<60�� ������7��� .�� ���� $ �-�� �� �� � ���� .������������ ���A�� ���C�� ~?�� ��� ��� ���� ��"� �� ���� ������ � /������% �� "�� ��"� ����� ��� ��� ���� ���� ��"� �� � /����� ��-�� ����� � ������ � � ���� ����� ���A����C� �����"��� �� ���� � ���#"��� ������ � � ��� � ���� ������� ����"������$ �� �C����������� � � �� ��� �-�� ����� ������ �A�����������$ 0� ������$ ���� �������� ��� ��� ���� � �� % 8� ���� ���7��� .�� �0��"� $ ����� �� ��#��� � � ���0���� ����� ��� ��� ���� ���� ��"� �� ����� ������� �0��� $� ��� �� � ��������� � ��� ������� ���� � � ��"����� ��� ��� ���� ���� ��"� �� �� /����� �0��"� $ ����� �C�! ������� ����� ����� ��% 1 ���D���� �� ���� �������1��JK������� ��J �����5��������,�������A �*�B8�'�c 3�N�9 4;:-7701; 741-7702; e-mail: conf@ecomp.ru; www.elcp.ru
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53629
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:13:22Z
publishDate 2005
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Житковский, В.Д.
Каменева, А.Л.
2014-01-25T12:48:43Z
2014-01-25T12:48:43Z
2005
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці
Strengthening thin film based on AIN in electronics
Article
published earlier
spellingShingle Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
Белянин, А.Ф.
Самойлович, М.И.
Житковский, В.Д.
Каменева, А.Л.
Технологические процессы и оборудование
title Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
title_alt Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці
Strengthening thin film based on AIN in electronics
title_full Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
title_fullStr Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
title_full_unstemmed Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
title_short Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
title_sort ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе aln в электронной технике
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629
work_keys_str_mv AT belâninaf udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike
AT samoilovičmi udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike
AT žitkovskiivd udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike
AT kamenevaal udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike
AT belâninaf udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící
AT samoilovičmi udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící
AT žitkovskiivd udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící
AT kamenevaal udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící
AT belâninaf strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics
AT samoilovičmi strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics
AT žitkovskiivd strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics
AT kamenevaal strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics