Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860208624059547648 |
|---|---|
| author | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. |
| author_facet | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. |
| citation_txt | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:13:22Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
��������� �
����
����
����������������
�������� ��
�� ��
�� ������ ������
� ������������������
�
�����
�������
���� �����
���� �� �����������������
����������� � � ������� �������� ��� �
��� ���������� �� ��������!���"
����
���
�����
�
������
��
����
������
���
����
� ��
������!
�
���
��������
������������
���
�"�
��#"��
�
�����
�����
����"������!
���$%
&��������
�
�����
��
'()*+,�)��
�����$ �����
�
��
����
���
������-�
��
����
'()
���#�
"�
��
��
�
������-�
�!���
������
��
�
�������� �
�
����
+,�)�
���"����� �
�
������-������
�� "���
�� %
.���
�
�
��
� ���
���
���
���
�����
�
��
����
"����� !
�
�� "���
��
�"�����
����� ��%
/�����
�
����!
�
��
�"�-�
�
���� ����
���
� ��
��0�
�%
1�
���
�
�� ��-���
������
��
����
������
������
�
������ �
�� "���
��
�"�����
���
����-�����
����� ��
���0����
�������
����
�����
�����-���
�����
�
��
������
+,2%
.�0��
+,2
�0���
������
���
�������
���"��
$!
3456
��
7����
8��
���9
�
���������"���
$!
3:;�<�6�=.
*3�>?99�
�
���
#�
����-�����
����
���
$!
��
�
-��
���
��
�
�����
�
$!
�
�� "���
��!
�����
�
����-��%
@����-���
�����
�
+,2
����
0�
$
�A�������
����
���
������
�
�������
A� ��
����
�����
�����
��� ������-����
���
�������
�����
������
.B�
�
��
���
� ����
���
������������
"��"���
����
�����
.B�������������
�����������
������
��-����
�
���
#�
������
������
�C���
� �
�
�
��!��������
����
��-���
�����
��
D:5;E%
/ "
��
�"��
�
��7�������
"�����
�������"��
"�
����-���
���
���
������
��
������
��
����
������
������%
&��������
����
��"����
���
�����
�
�������
A� �
�
����
�����
������� ������-����
���
�����
�� ���
�
�������
��
3:���=?9
������
�����
�
�����������
��������
�
����-�����
��"��#��%
.
���!
�-���"$
�����
���
����
�C�
� �
�
�
+,
��0��
��������
����7����
�����-����
�����
�
��!����
3-
�
�����"�
�
���
��
����
�������!
�����"�����9%
1�
A����������
���
����
�����
� �
�
�����
��
�
�� "���
��!
�"�����
����� ���
�����"��
��
��
"�
�����
�������
�
"��"����
��������� �
�
��#�
���������
������
��-���
D�54E%
1�����
��
�"�
�����
��� �!
�
������������
$!
��
���
�������0�
�� �!���
-��
�C
�
��������������
������ ��
A���
��������
�����-����
�����
� %
.
��������
�
�
�������
�����"���
���C����
�
�
�����"�
�
�� ��-�
���
�
�����
����
����-���
�
3��"��#����
����
���
��-�����
A� �
�
�0F���
�����-����
�����
� �
# 9�
�
���
����"�������
������
���
���C����
5
�
�0�� ��
����!
�����7�����
������$���
���
��
�����-���
�����
���
��� �� !����
�
�����
�
�
���� ���"�0�
���
��7�
���
�
��"�
��������
���
�
����� %
1�
����
��-���
�����
��
+,2
3�
���
���
�!�C�
�9
������$�
���
���
�������"�
�
�����������
G���:H%
@��
A���
���������
+,2
�
�������������
������ �
��$
���
�
���
����"�
�����"��
�
������������
���
�������
3�������
�9%
.
�0F���
�����-����
�����
�
A������!
�
���
���0�� ���
����
"����
���
���5:
����
��
��
��
��
����������!
���
G���:H
���
���%
8�
�"
����
��
�������
.B����������
�� ��� �
����-�
$
���
�
�����������
�����-���
�����
�
+,2�����!���
��������
��
�
�������
�� �������
�
��
������
��
��������
���������
�
3��
����
��
����-�����
����
��
��
�� ��
�����
����9%
&�
���
���������
"�A���
��������
3���%
:�
9�
��
��
�
�����-���
�����
��
+,2�
�
�0���
�
0����
�������
�����
�θI:�<:;�J
��0�!"�!
�
"�A���C��
�����
����������
���
��
�
��!���
�
��#��� �
��$�
��
3����9
�
3���;9
+,2�3�θI�K��;J
�
�θI4K�;�J�
LM$α�
� ��-����9�
��
����
���
��
�
��!
��#�������
���
����
� ��
%&'�
������
���;N�
�
��:�;K=��%
O
��
�
���
"�����
�
��#����
�
����
����-�����
�����-���
���
���
��
+,2
�0���������
����-���
���
���
���
�
�
��$!
��
G���:H%
/� �����
�C�
����
�
����
��$��
���
G���:H�
� �������
��
"�A���
��������
��-��
�� �
����"�
�
�
���"����
���5���J
3���%
:�
(9%
@��
�����
������
�
���#"���
�����-���
������
���
�
��#�
�
�
��
�
���
���
���
�����
����-���
���
��#�
��$����
����
��-������
�������
��
��"��#�
��"��#�
����
A������!
�
�����-���
�����
� �
���
�
� ���
�
����������
�� ���� "�-�����
����
���
��
��
3�������
�9%
P �������
�������
���
� �
�����0�
�
���
A����������!
����
����
��
�
��"�
�������
3���%
��
(9%
Q���
�� �����
�C��
���#���
�������
�
�������
�
��"��#��
��������
���
���
�
� "�
���-���
����
���
�
�0F�"������
����"���
��������
-
�
���
���
��� ��
���
0��$7��
���� "�-����
�
���
���
�����-����
�����
�
�
A�����������
������-�����
���
���
3���%
��
�
��
��� ��
���"�
������
����
���
���������
����-����
��
�
��#����9%
R
������
�������
���
�
�0�� �����
�
�����
�����-����
�����
�
+,2�
����-������
��
��"��#��
�
+,�)�3 0112 9�
���� ����
Q1S/OR�OT?PU
�SVP�&WU
@XU&OB&WU
@O?/W�PY
&S
OR&O.U
+Z2
.
[XU?�/O&&OT
�U\&P?U
�"��"��")*"�+"�,-./010���"��"��"��")2"�1"�3*245.4617�
�"��"��")6"��"�819$463$15���"��"��")*"�."�$*2-0-6*
/���� �
�%
8������
]&P�P
^�������7^�
�%
_��� �����
@�������
���%
����-�����
���
`�ab(,c
dbaef,eg(hijklhimeabdi%nM�
obalmlgbjpdkM%nM
1�
�
���
������
�
��"��C�!
��%�4
����
�%
O������
�"��"��"�:"�*"�;*<4=>5$4
3P��
��������
������
�%
\��$���9
�K
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
/��%
�%
R
������
�����-���
�����
��
+,2�
�A������������
��
��"��#���
�
����������
����C�
3��
(9
�
�
+,�)�
3 2101 9
3
�
�9
�9
:
���
R
��
�
��
"�
�#
��
�9
�
���
R
��
�
��
��
��
+
,2
09
�
���
R
��
�
��
"�
�#
��
R
��
�
��
��
��
+
,2
�9
�
���
R
��
�
��
��
��
+
,2
R
��
�
��
"�
�#
��
:
�
�
/��%=:%
�
5
h
������
�����-����
�����
�
+,2�
���!����
���
����
���
���
���
�
��0�-��
���������
�
��"��#��
��
����
γq
(�5
"�A���
�������
��-���
��A�����
3����9
�����-����
������
�
+,2
��
���������
����C�q
5
���
���������
"�A���
������
��
�����-���
�����
��
+,2�
�A������������
.B=�����
����
���
�����������
��
��"��#���c
?
5
'(r:::sq
@
5
���������
����Cq
A
5
+,�)�r���:sq
B
5
α�+,�)�r 2101 s
R
��
�
��
��
��
+
,2
/
��
�
��
�
��
��
��
��
$
+
,2
�9
:
���
G���:H
γ
09
3����9
+,2
:�
��θ�J
�9
��
��
;�
��
K�
4�
:
�
�
;
3:
::
9
'
(
3�
��
�9
+
,2
3:
::
9
S
��
�
3�
��
�9
+
,2
3�
��
�9
+
,2
3�
��
K9
αt
+
, �
)
�
3�
��
�9
+
,2
3�
��
;u 9
αt
+
, �
)
�
�θ�J
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�4
��������� �
����
����
����������������
�
3���
���
��
�
��!���
� ������ �
������
���
����
C����
���#"��� 9
������"
����
��-�
���
�
�����
�
��������
��
�
����� �����
��
�
�����������
�����
��
3���%
��
�9%
Q���
�������
���
���
���
3γ9
�
��0�-��
�������
���
�
��"��#��
����"�� ��
��
"�A���
��������
��-��� %
Q���
�������
���
���
����
���� ���
��$�
��
�
����������
��
���
�������0�� �!���
-��
�C�
�����
N�J
3��$
���
���
������"���� ���
��0�-��
���������
�
��"��#��9
"�
�����-���
�����
���
�A������������
��
��"��#����
��
����������
����
��
C��
��
��7���%
.���-���
����
�������
���
���
���
�
��0�-��
���������
�
��"��#��
�����
�
����
���C��
����
��
�������
��
�-����
�
� �������
����#���
��"�
��#��
�
��7���%
&��������
����$7����
����
������
��
���
���
���
�
��0�-��
���������
�
��"��#��
��
����
�"�����
��"��#��
�
C��
��
��7���
���
���
� �
��������
:J
��
�=��
���
"��
��C��
̂ ��7��$
5
��"��#��^
K�=���
����
� ���
:4=��
�
C��
��
���
7���
"�
���
�������
���$C�����
� "�
�����
��
�
��=��
"�
���7����
���$C�����
� "�
�����
��%
Q�
��-����
$
���
�����������
�����-���
������
��
+,2
�
��
���!���
����� ���
��7��
-��
�
���
�
����
�����
�
��
������
'()�t+,�)�%
O��
�0����-��
���
�
���
���
0��$7��
���C��
��C��
�
���
���
���
���
��
����
����-������
+,2�
��
�
���
���
��
�
���
��-���
��
��$���
0�����
�
���������
$!
���
����
�����
�
��
���0����
���"���
����������!
�����
����-�����
��7�
��
+,2
5
G���:H
3�
���
���
���
���
��
��
������
'()�t+,�)��
�A������������
� �
���
����
��
�"����
���
���
�
��
�
���
9%
&��0��$�
7�
���"��
$
+,2��
�����������
G���:H
�0F �� �
�
���
-
�
��� �����
�����������
�� �
�
�����������
��
���0����
���
���
��������
���
�
����
�
����
���
��-�����
��7�
��%
8�������$���
���
���
�AA��
��������
����-������
���
���
�"�����
�
��
���!�
���
����� ���
"��
����
�
���
�������#����
���
���
�
���
G���:H
�
�����"�!���
�
���
����
����
�����
��
��"
�����
γH4�J
�
�������
�
��"��#��%
@���7����
��
��-����
�
�
�"�����
����� ���
����$-�
��
�
���
���
�����
�����
���������
������
���$��
���
���
���
�
��������$��
"���
��!
�"���
���
����� ���
����"�� �
�
� "��
A��
����%
.
����
�
�����
+,2
��
�
���
����
�!�C�
�
����
�
"��
���
������
���
���
����$#���
5
r1010 s
�
r���:s%
.� ��#���
$
�-��
�
��
���
����
���
���
����$�
#���
�
����
�-�����
"�A����C��
�C������
�
A���
����
v��"�
3C9c
CI=hedϕud(mα�
�"�
ϕ
5
����
��#�
"�
������������
����� ��
�
������$!
�
�������
�
����$#��� �
�
α
5
����
��#"�
������������
���
��� ��
�
�"����%
@��
�����"����
����������
�"���
�
���
����
3�������9
A��
��
v��"�
"�
�0���
����
��
����$#���
�����
���!
3�
���-��
r1010 s
ϕI��
αI��
�
"�
r���:s
ϕI:�
αI�9�
��"�
���
���
��������
"����
����������
�"���
�
���
�������
A��
��
v��"�
�
��-��
�
��� %
U���
����
���
�
�
��������
���
���
���
3���
�������9
�
����������
�"���
3����
���$
�
�������
�
��"��#��9
��
:�J�
A��
��
v��"�
"�
���
���
����$#���
r���:s*D1120 E
�����
��:�
3��������$��
�� ��#���
��-����
A��
���
v��
�
���9%
@�����$��
�0�� ������
�����
�
�������
��
���
�� ��#��
��
������-����
�����
����$#��� �
�� �
����������
����
�-�����
"�A����C��
�
����
�����
��-����
�
�����
�����
��
������
��#���
��$��%
@�����
���C����
����
�-�����
"�A����C��
�
�� ������
�
���
�� ��7���
�� ��#��
�������
�� �
��7����
��
�����C��
����
�
��
�������
�
�������
�
�
���
��
����
3�������
$
�������
�
"�
����
���
���
��
�
���
����
�!�C�
�
r1010 s
��������$��
���
��������!
�"���9%
R��"��
���
�
$�
-
�
�
"��$���
�������
�����-����
�����
�
���
�
�
�������
�
���
������
�������
3�� ���
�0���
�
�������
����
����� ��
�����-���
�����
��
+,2������
;�5K�=��9%
.
���-��
�����-����
�����
� �
���
� ����
�
����
�������
����
�����
�
��
#�
���
����
��
G���:H�
�����#����
�����"�
�
�0�� �����!
��
��
������
�����
��
�������
�
r1010 s
3��
����
�� !
�
���
�������
��
�������
��
��
�
�����C���
����
��
���9�
�
��#�
�
�����"�!����
��������!
��������
��-���
�����"������
�����7�����!
�
�������
���
�����!
���
����
��� %
.
������������
��
���
���
�����
A����������
�����
������
.B�������������
�����#�
��
��#"�
���������
��������
����A���
A� ��
+,2%
[
�
��"�
���#"��
�
�9
���#������
��
��������
��
��A�
������
3����9�
�����
�
��
���$��
����#����!
���
�
���q
09
�
��
�
����
���"���
�������
�����
�����
"�
�0�-���
���������
����-�����
�����-���
�����
��
3�"�
�� ��7����
�"�
�
��������
��
�������
�9%
.
���
��������A���
�����-���
�����
��
�0�-��
���
0�!"��
�
���"���
�������
��
�����
�����0���
����
����
���
$�
��
�����
���������-����
�����
�!
� � �
� �
�������
�
����� %
.
������
��������
����
-��
�
���
���
�����-����
�����
�
���"�
��� �
����
�� �
�
������������
������
����$-�
���
��������
��
�
���$��
7�������
��
0������
���������
$!�
����
��#�
��
��#"�
��
�����
������
$!
��������
�����
���
���
�
����
����A���
A� ��%
.���"
�
�
��
���
��0�
�
�
�"������
����� �
����
����
������
��
����
������
�������
���
������-�
�!���
��������
�0��������
���
����
��������
�
�
��������
���
����
�����
� %
&�����
���
���
����
�����"�!���
�
��$!
����
�����-���
��
�����
� �
�
��0�-��
���������
�
��"��#��
��
����
���$7�
4�J
�����"�
�
�� ����
�����-���!
����
�
�-�����
"�A����C��
�
����"�
������-�
�!���
�������
�
�
��
���
���
����������
���
����
���
���
�
�
�� �����
�
���
���C�����
��������
���
�������-���
�����"�����
�
�� ��
����%
/� ��7��
���
��
�������
�
��#�
�������"�
$
��
��$��
���
������-�����
�"�����
��
�
���
����C������
-
�
���
#���
��$��
"�
������-�
�!���
��������
��0�
�!�
���
��$��
��
��
������%
@��
������
���
����
�����
�
G:=���
�����
��-�
�!��
�������
3�@w9
����"�
�
�
��
�
���
��$
�
�
��������
�� ��7��� �
�������" �����
�-��
��"���
� � �
���������
�
�����
����
����-���
�
��
���
���"�
���
�
����
��"��
�
�-��
����
����#���
���
�
����$-�
���
3��������
���9
�
����� �
��� ��
� !����
��
������
�
�"��
A����������
���
���%
@��
������
���
����
�����
�
0����
:�=���
�@w
-���
��5;�=-����
����"
�
�
��
�
�� ��$
�
�
����
���������
�
�
��������
���
����
�����
�
��
�6
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
/��%
�%=[���
����������������-�����
������
�
�
������
A������
��
������-���
�� �� ��
��8�
�
��
����
�� ��
��
��
�
�����"����
�A����������c
�
5=��
�"��
����-������
������� q
(
5=��
�"��
���"�������
3/&[
5
�� ��
�����
�������
��$���
������
9
?
5="�
��-���
�������
�C��q
@
5=-���
:��=-q
A
5=-���
K��=-
����
�����
��
P��
�
���������������
����
�C
�������
��
��
�� �—
����������
�����
������
�������
��������
��
T���
U��,
!
AlN�� 0,8
60 �"#$ N2 +
+40 �"#$ Ar
90
573
(473*)
–50
AlN�� 0,8
60 �"#$ N2 +
+40 �"#$ Ar
90
573
(473*)
+45
Al2O3 �� 0,8
60…70 �"#$ O2 +
+40…30 �"#$ Ar
90
573
(473*)
–50
%������&
� ��������'�
����(-28.
��0��C�=:
D�������������!�� ��
�� ����� ������ �
�����������!����� ������ E
�9
R���
�������������
���
����
�����
�
R���
�����"����
3LntLMt2(9
:
���
+,2��
∆
F
+,3LntLMt2(9
+,�)�
+,2��
R�
��� �� ����� ��
��
09
�
��
�
��
�
��
+,
+,2 ���)�
+5+ +,�)�
���)�t+,�)�t+,2
��t+,�)�t+,2
��t+,t+,2
xb
�
���
��;
��K
��6
:��
:��
��
:
�
�
+
+
R�
���
���
���
���
���
���
���
/&[
���-���
�����-���
���
������
���� #����
�
����
��-���
�����
��
�
"��
�#����
���
�-�����
�����
-���
���
������
�����-����
�����
�
��������
:�=���%
.
��-��
��
���
���
�����
��
��
����
�
�����
��-�
�
����
0�
$
�����$ �����
�����-���
������
�
+,2�
���" ���
�
���
��
������������
�
���
��%
8�����������
���
���
�����
�
����-���
���
���"���
��$���
����������
��
���������
�
�������
-�
�!���
��
��C
D6E
�����
����A���
S,2
�
S,�O�
3S,2���
S,�O���9�
�
��#�
����
����-������
S,2
3S,2��9
�
���
������
��������
��
�
�������
��� %
B�
�����
�������
���
���
�����
��
+,2��*+,2��*S:�O���*+,2��
���������-���
������-�
�!���
��
��C
3��89
A���
��������
.B������������
+,���7���%
.
���C����
����
������
�����"���
��$��
��
����������
�� ���!
����$
�
+nt2�=���
+ntO�
�
�
��C�
��$���
���
����#�
��$�
���
����
��-�����
��������
��
��"��#��"��#�
���
3G��9
3�������9%
R���
+,2��
3
������
���5��;=����
���������"���
$
λ≈���=.
*3�>?99
�0����-����
�"���
�!
�������������
�����
�
�
���
�
����� ��
��
���
������-�
�!���
��
��C�
�
��������
���
���#�
"����
+,�)�%
R���
����A����
+,�)�
3���5��;=����
λ≈:�=.
*3�>?99
A����������
�������
��
���
�
���
�� ��
�����
�0����-���
��-��
��
��-�
�%
?�-��
��
��-�
�
������������
��#�
�� "�����
�
����
+,2��
���������
�
S:�O�>S:2
�������
��;=����
A�����
������
�����������
+,
�
�� ����
�����
+ntO�t2�%
8�����-�����
���� #�����
���
����
�����
�
�
���
� �����
�����
$!
������ ��
� ���
�
����$
�����
����-���
�
3#9
A����������
�����
+,2��
3
������
:��5:��=���
�
��K5��K=����
λI���<�6�=.
*3�>?99%
O����
�C�
����
����
����-�����
A� �
���
��
�
�
������
����������!
�� "���
��
������-�����
����� ��
�
���C����
�������
�C��
��
��C�%
R���
�����
������
���
����
�����
�
������-�
��
!���
�������
����"�� ���$
������ ��
A�������
����
�� ��
����
�
�����"�����%
����
���
�����
�
���������$
�
�����$ ������
��
��"���� ���������
�����7������
��
������
Q.&�K�@���
?S�O1�:8
D;E
�
���C���$��
�� ��0��
�����
��
�������
����������
C����"��-�����
����
��
������
@XS�8S��8]
D:E%
8���������
� ��
���
�������$
��
��
�������
��"��#���
��
�����
��S,O�%
R���
��S,O�
����-���
����������
��
����-������
�����-����
�����
�
�
���"���
��
���
���
��
���
����
�
S,
"�
���
�A�������������
�����������
���
�����
��7���
3S,t���
:c:
��
���������
�9%
R���
�����
������
���
����
�����
�
"��#��
�0���
��-���
$
∆FI���=���
3����� �
�9%
@���������
���C����
���"�������
�� ������
����$7�
$
3��
��������!
�
���C������
������� 9
����
�
�
������
��
���������
�
��
��C�
"�
���5
���=���
���
���������
������
S,������"�����
�
��=�� ��
������
��� �
������
�=����
�
���"���
��$�
���
�
�������$��
���0��"���!
������
���
����
�����
� �
���������
��-����
��
����
���
��� ��
�5�=���
3���%
��
(9%
R
������
�����
���
+,�)��
���
��-������
��
�"��
���"������� �
���� ���
��
����!"%
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�N
��������� �
����
����
����������������
/��%
;%=[���
������������
�����-�����
������
����
��
���
+,�)��
�A�����
���������
����
����
�-��
����
����������
+,
���
���
���&
�����
��'�
������
AlN Al2O3 AlN
!�����
���"���
�
��)
����'�
��
��� ����
�
��)��
��$
�
��)�
�
0,2 0,1 2 >250 65 —
0,2 0,2 2 >250 15 —
0,2 0,4 2 >250 12 —
0,2 0,5 1,5 — —
*����
��
����&
� ����
����'�
�������+�����
� ���
�
0,2 0,3 0,8 15 16
�������
���
,�
�-���
��������
��
��
��'�
����
��
����&
� ����
����
��0��C�=�
=�
��H����� ������ �� ��(��������(���� � ������
� �����&��@IA&���� ��������
��������!��
/��%
�%=R
������
�����-���
�����
��
+,2�
�����$ ���
���
�
��-��
��
���
���
�����
��
"�
-����c
�
5
������-���
����
�����-����
�����
�
�������
�
���
3����
����
����
�����
���������� 9q
(�5
�����-���
�����
��
���
�����
��=��
3������-���!��
����
�����
���������� 9
���
���
�9 09 :�
��
/� ��$
�
�
����
����
��0�
������0���
�
������
�������
���
���
�����
���
����������
�����
����
���
������������
���"�
������
�
�����!�%
y�����������
�����
S,2��tS,�O�=��tS,2��
���
�
����
�����
�
��8��6
"�
������-�
�!���
��
�
��C
�����"����$
���
9�G;4�=?
�
�� �
�
����������
��
������
'mu.(
3
������
���
��������
���=?9�
���
��������
��
���
��
���
�����"��%
@����"���
����
���
��
��C
�
������ �
�� "���
�
��
�"�����
����� ��c
-��
�
�
�"����
������-�
�!�
���
�������
��=wCq
"��������
"���
��!���
��
�������
���
$
�@w
�
�����
��
���
��
�
�
����-���
��
��$���
0������
�>:��=�@�q
"��
��$���
$
�����$��
��-�
�
:�=��%
[������
�C�
��� �����
��
��C
�
��-����
���
����
���
�� ���$
���
������
�
��-�
�
�:= ���*��
"�������
���#���
���>:��=�@��
"��
��$���
�
�����$��
��-�
�
:�=��%
���
������
�� ��
���
�
���C����
�������
�C��
��
��C
�� ���������$
"�
�4�=?%
.
�� ��$
�
�
����
����
0���
�0����#����
-
�
����
��
�������
�C��
�
�-����
K��=-
����$7����
�����
��
���
����
�����
�
���
��� �
G:�z%
P �����
���
����
��-������
�����
������
����� ��
���
�
���C�
����
����
��
�����7��
t:�z%
@����
K��=-
�������
�C��
3;��>:�4=C�����
��-�
�9
��
��C�
��
��
�
�
��0�
������0���
3���%
��
(9%
/�����
��0�
�
���
��
�����
��
��C
�
���
���
�����
���
�
S,2
���
�����
���5�=���
0����
-��
�
���=��
�����7��
������
��0�
�
�������-���
��
��C�
�����������
�
"����
�������
���
���
�����
���
��
������
'()�=3���=���9
�
S,�O�=3���=���9%
��
����
����
����
3HK��=-9
� �
�������
�
���
���
�����
��
��
�0����#���%
P���
���
���� ����
-
�
��
��C�
�
���
���
�����
���
��
������
S,2
��0�
������0��
�
"�����
���
������
��
�
�:�
"�
���=?
�
���#���
�
6�5
N�z
DNE%
P����$ ������
�����
�
�
���
���
�����
��-�
�!���
��
��C
�� ������
�����-�
$
����
���#�
0�
������-�
�!���
��
����
�
��������
�
�=�� �%
&��������
�������������
���
����
�����
�
��
���
����
+,2
3����
�
'()�*'(*'(�2;9
��
��
��C�
�
�� ��
�
���
����
�����-���
��
������
0����
-��
�
�=�� �%
_���
������
����
�� ��#���
$
����-���
��
��
���
�����
��
��
������
+,2
"�
� �����
��$���
"�
-����%
@����"�����
�����
���� ���
-
�
�����-���
���
���
� �
���#"�����
��
�"���
��������� �
��"��#�
���
��������A��!
A� ��
���
� ��!�
��
�� ��$
�
��
�#������
������
����
��������
3�#������
������
���������� �
��
����
�������
����������
x`'Z+
{'����9�
�
� �
�
�
��!����
3:c:9%
R
����$
����
���
��-���
�
�����-���
�����
��
+:2
�
��������
�
�
�������
�����"���
���C����
���#"���
� ��� �
�
�
�
3����A���
�����-���
�����
� 9
"�
:��z%
RA���
����������
�����
������
�����������
�����-���
�����
�
+:2
���!
��������
��
3�
��0-�
��9
�
����
���
�
�����
���������
�������
��
G���:H�
���
��
�
�
��!����
����������!
���
���
���
3�����#9%
/��
�
��������A��
A� �
�����-���
�����
��
����� �
�����#�
��
��#"�
���������%
1�
����
�-������
���������
�
��-��
��
���
�
���
�����
��
� ����
��$���
"�
-����
��0�!
�
����
��-���
�����
�
��
�
����$!
����
����-���
�
��5
K�=�0%z%
R
���
���
�����
���
�
��������
����-�����
���
���
������������
��
G���:H
+,2
0���
� ��
���
����
"�
-���
��������
�
��������
��������������
���
D:��=::E�
��
����
��
�����������$
�
����"���
�
���
������ ���
�
��
����
���
�� �C����������
"�
�0F��
��
���������
������%
P ��
��������
"�
-��
��
��0�
���
�
������
�
0�
���� %
�������
�����
������
���
+,2
��"0������$
����
�0�� ���
-
�0�
���
���
��
�
������
���������
����������
��
���
0�-��
"����
�����
�
���
��� ��
λ�I���<���=���%
���������
$
��
�-������
����������
3τ9
�
λ�
�
����
?�6�
�����$ ������
"�
� ��
������
��
�-�����
���
����
�
�
����
?�6
�
�����-���
�����
���
+,2
�������
:=���
�����"���
��
�����$%
P ��
��������
���
��
�����
�� ��-���
�����
�
��-�����
�� ����
�
���"�
��� ��
��0��
��
�-�����
�
����
�
����������
��
����
��
���
�����
�
Ln
3
���
����
��:=����
�������$���
7�����
�=���
�
7��
;=����
�����%9%
O0���
$
�
��
���
�����
Ln
��������
��
���
���
�����-���
�����
���
+,2%
;�
��������� �
����
����
����������������
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
/��%
4%=@��A���������
���������
�
���
��c
?
5=������
Ln
��
���������
����C�q
@
5=
�
#�
�
���
���
�
�����-���
�����
���
+,2
K
:�
:6
���
�
��;
���
��:
�
��
�
��
����������
&
� ����
����'�
�
���&
��
��&
� ����
����'�
���
���
(���
-
���� ���
���&
��
�����Cr,
���
-��
)
��
�������'
�����
����&
� ����
����'�
�
-���� ���
�
�������'��.
��"������
�����
�
���� ��� ��
��������)
*��"� ���
�
������
����
�
����
���� ���
�������
AlN 2,1 1
/��
��� ���
<0001>
!����
���� 82 >250 —
AlN 9,5 1 ����� ����� 75 >250 —
AlN 11 1 " " 80 26
��������
��
��
������
��
�
SiO+Al2O3 5,4 (0,5+4,9) 1 — �� ��� �����0 �� — 16 �����
SiO+Al2O3 4 (1,5+2,5) 1 — ��� ��� '����� � — 20 "
SiO2+Al2O3 6,3 (2,5+3,8) 1 — ����� — 12 "
SiO2+Al2O3 6,7 (0,5+6,2) 1 — �� ��� �����0 �� — 8 "
��0��C�
�
3����
� � �
����
�� ������ ��� ����H
����������
�� ������ �� ��� �
Q
"�
-����
��0�
�!����
�
�������
���
��
�����
"
�
�
���
��
�%
/�����
��0�
�
� ����
��$���
����
���
0�
���
����
�����
� �
��0�
�!���
�
�����$�
�������
������������
#�"���
��
5
:�=-����%
R
���
���
�����-���
�����
���
��
������
+,2
��
�"��
���
�
��
��7��
�
�
��
�����
�������
�C��
�
�-����
0����
���=-%
/�����
��0�
�
�
:�K
���������
���
���
���
�
"��
�
�����
�
�����
�"��
�=��
3����
���
���#���
���
���
��:=�@�9
��
�����"�
�
��"��
���
� ������ �
���
����
�����
� %
/� ��7�!��
�����0���
$
��
����
��
5
��:=���%
S������-��
����
���C� �
���"�� ��-����
"�
��0�
�
�
��#���
0�
���� �
0���
�����$ �����
�
"�
-���
���������
����������
A�
����������
���
����
��
� ����
��
����
���
���
���"��
y�
���
����%
/� ����
"�
-���
:4×;�=���
�� ����
�������
��
"�
-���
�����|�����=���
7��
��#"�
������
��
��
"�
-���
�
����N
"�
��6=��%
@���
���
"�
-���
���
������!
�
�
� ����
��:=��%
&��������
���
���
�����
��
�����"���
���
����
"�!���
������ �c
=I��6
@��
32�
IK�=�0%z�
0IN�=���
9�I;4�=?%
P����$ ������$
��"���� ���������
���
������
Q.&�K�@��
�
?S�O1�:8%
����
���
������
��
+,2
3���
����A�����
��
�
����
����-������
�
���
��� 9
�� ������
"����
�
�����
�����
����
���#0�
��
����
��
"�
�>:�;=-
���
������$���
������ �
����
����
�C��
�
��
���������
�
����
���"�%
1�
�����
������
0���
�����"�����
���
���
�����-���
�����
�
'()�
�
+,�)��
��
����
�������
���$
��
�"��
����
��������-�����
��������
��
���
������
Q.&��8�:%
@���-�����
�����-���
������
�
0���
���
��������A����
���
���������
�����
-������
�
����-����
�0���
��
�������
����
������
��
���
���������
��-��
3O?/9
�5;=��
��
��
"���
���
����
������
������������
��
�����
���
����
����
��������
���
�
����� %
�������
����������
�����-���
�����
��
'()�
���
��� ��
���5:��=����
�
+,�)�
5
���5�=���
���
���������
������
��
��
����
�����
�
;5K=���%
P���
���
���� ����
-
�
�
������ �
�� "���
��
��
���!���
����� ��
C����
���
$
���������
����
���
��
�
���
���
�����
���
��
������
+,2
���
�����
�����7��
�������-���
������
��
��
����
�
�
���
���
�����
���
�
'()�
�
+,�)�
5
��
�����
����
��������" ���
+,2
��
�����
���"��
�%
.
�����!
�����"���
�����
� �
�����$ �����
"�
��
��
�
�
��
�����
D:�E%
/��%
K%!���������
$
��
�-������
����������
�
"����
�����
"�
�0�� C��
�
�
����
�
�
����
�
�����-���
�����
���
+,2
;��
K��
6��
�
��
τ�
z
6�
4�
K�
5
R
����
?�6
5
@�����
+,2
��
�
����
?�6
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
;:
��������� �
����
����
����������������
&�'�()*+�*
P����$ ������
���
����
�����
�
��8��6
��
������
+,2
�
���
���
������-�
�!���
��
��C
���
������
�����-�
$
����
���#0�
������-�
�!���
��
����
�
��-
�
�
�=�� �%
&��������
�������������
���
����
�����
�
��
������
+,2
3����
�
'()�*'(*
'(�2;9
��
��
��C�
�
�� ��
���
����
�����-���
��
������
0����
-��
�
�=�� �%
����
���
�����
��
+,2
3���
����A�����
��
�
����
����-������
�
����� 9
�� ������
"����
�
�����
�����
����
���#0�
��
����
��
"�
�>:�;=-
���
������$���
������ �
����
����
�C��
�
��
���������
�
����
���"�%
1�
�0����-���
���������
���0��"����
�����
�
������-�
�!���
��
��C
3������������
$
�����
�
��"��
� �����
�����
$�
����
�������
��������
���
�
�
��������
�
"�%9
���0��"���
A��������
$
������
�������
�����
���
��"��#����
��
��$��
����
�� �
��-���
��
��������
��
�
�"����
��
������
�� ��-�
����
�
����� %
y�����������
�����-���
�����
��
+,2�
��"���
#����
�"�����
����-��
��
�����
���������
3
���
�
���9
����
����-�����
A� ��
�� ��� �
��
��� "��
������
$
� �����
�����
$
������
��
����
������
������
��
��������!
�
���
����
��
���������
���!����
0��$7�!
���"��
$%
PR@OX}�O.S&&WU
PR�OB&P?P
:%=_�� ���=S%
y%�
R��������-=8%
P%
@�����
���� �
�
���� ��
��"�0���
��
�������c
A������������
�
������
�
����������
�
����
������
*
.
��%c
.������
���������
�
�����7������
�
/���
���
3��
������
�
��
����
��
����
������
������9%5
8%c=OSO
]&P�P
~�������7��
����%5
R%
:N5::�%
�%=_�� ���=S%
y%�
��
�������=.%
1%�
@������=@%
.%
@�����
��
��"�
��!���� c
����-�����
�
������
�
����������
�
��
����
�
���
����
������
������
**
R��
���
�
���"�
��
�� ��
�����"��
��
�
��"�������� %5
:NN6%5
.��%=:%5
R%
�N5�4%
�%=_�� ���=S%
y%�
_��$�����=&%
S%�
����8����� �=S%
S%
�
"�%
R
���
�����
���0�����
�
������
��
��"�
��!���� �
����-���
���
������-��
�
���
�����
������
�����������
**
�������
���"�
�
�� �%
R��%
�@O%5
:N6�%5
.��%=:%5
R%
;:5;�%
;%=_�� ���=S%
y%
@���������
�
����
������
������
�������
������
������
+Z2�
����������
.B������
������
����������
��
**
R��
���
�
���"�
��
�� ��
�����"���
�
��"�������� %5
����%5
�
:u�%5
R%
4;56�%
�%=?�������=S%
X%�
��
�������=.%
1%�
S������"���=1%
.%�
R��
�������-=8%
P%
P �-����
A� ��������-������
� ����"���
��
��
�����C��
�� "���
A�
�
�����
��
��
�������
�
�����
� �
*
��%
��
��#"����%
���-%�
���%
���A%
~.������
���������
�
�����7�
������
�
/������%5
8�����%5
����%5
R%
:�65:K4%
K%=?�������=S%
X%�
S������"���=1%
.%�
_�� ���=S%
y%
�
"�%
@�����
+Z2�
�n2�
x(�n2c
��������-�����
���0�����
�
A�����
������
*
��%
��
8�#������%
��������
~&���
���������
�
A��
�����
����
�����%5
?�����%5
���;%5
R%
���5�;N%
4%=?�������=S%
X%�
S������"���=1%
.%�
_�� ���=S%
y%
�
"�%
R
���
�����
�
���A�����-�����
���0�����
�
����-� !���
���
���
���
����-�����
��
�"���
�����
�������
���������
�
���
��������
��������
*
���
#�%5
R%
:�K5:K6%
6%={l,fbm(m=+%
�%�
{eM(,eg=Z%
Z%�
�i(nmeg=�%
�%
lk
b,%
+pp,(hbk(em
e�
b,Ma(m(Ma
m(kn(�l
�(,ad
�en
l,lhknem(h
�lg(hld
**
�(baem�
bm�
�l,bkl�
�bkln(b,d%5
:NNN%5
�e,%=6%5
�%
�KN5�4�%
N%=_�� ���=S%
y%�
R��������-=8%
P%�
R������=S%
@%
@�����
���� �
�
���� ���"�0���
��
�������c
A������������
�
������
�
����������
�
����
������
*
.
��%c
8�
�������
�0���"������
�
���������
��������
������
�
�����A�
�����%5
Q����Q"�c=_&]
RO=/S&�
����%5
R%
445:6�%
:�%=R��������-=8%
P%�
_�� ���=S%
y%�
��
�������=.%
1%�
_���
"���� �=S%
R%
&����
���
�����
������"���
��
������
�
�����
�����-���
���������
**
P�#������
A� ���%5
���;%5
�=:%5
R%
�45�K%
::%=_�� ���=S%
y%�
R��������-=8%
P%�
S������"���=1%
.%
�
"�%
@����-���
�����
�
��
������
+,2
"�
��
�-�����
"�
-����
*
��%
8�#"����%
���-%�����
%
���A%
~�2x`��+x�L����;�%5
8�����%5
���;%5
R%
�;5�K%
:�%=_�� ���=S%
y%�
R��������-=8%
P%�
S������"���=1%
.%
�
"�%
8�����������
���
���
�����
�
������-�
�!���
��
�
��C
��
������
+,2
*
���
#�%5
R%
��5��%
��
����������,�������
�
���
�-
��.����,������.
������������
���&���
���
/����������
��0*'���1��22#�3�4�56�'7�4�'6+8*�*+9:9*+���;/'���6<6���=
�7�>�*?@*�36�<60��
������7���
.��
����
$
�-��
��
��
�
����
.������������
���A��
���C��
~?��
���
���
���� ��"�
��
����
������
�
/������%
��
"��
��"�
�����
���
���
����
���� ��"�
��
�
/�����
��-��
�����
� ������ �
�
����
�����
���A����C�
�����"���
��
����
�
���#"���
������
�
�
���
� ����
�������
����"������$
�� �C�����������
�
�
��
���
�-��
�����
������
�A�����������$
0� ������$ ����
��������
���
���
����
� �� %
8�
����
���7���
.��
�0��"�
$
�����
�� ��#���
�
�
���0����
�����
���
���
����
���� ��"�
��
�����
�������
�0���
$�
���
��
�
���������
�
���
�������
����
�
�
��"�����
���
���
����
���� ��"�
�� ��
/�����
�0��"�
$
����� �C�!
�������
�����
�����
��%
1
���D����
�� ���� �������1��JK������� ��J
�����5��������,�������A
�*�B8�'�c
3�N�9
4;:-7701; 741-7702; e-mail: conf@ecomp.ru; www.elcp.ru
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53629 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:13:22Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. 2014-01-25T12:48:43Z 2014-01-25T12:48:43Z 2005 Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629 Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці Strengthening thin film based on AIN in electronics Article published earlier |
| spellingShingle | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. Технологические процессы и оборудование |
| title | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_alt | Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці Strengthening thin film based on AIN in electronics |
| title_full | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_fullStr | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_full_unstemmed | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_short | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_sort | ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе aln в электронной технике |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629 |
| work_keys_str_mv | AT belâninaf udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT samoilovičmi udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT žitkovskiivd udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT kamenevaal udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT belâninaf udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT samoilovičmi udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT žitkovskiivd udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT kamenevaal udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT belâninaf strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics AT samoilovičmi strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics AT žitkovskiivd strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics AT kamenevaal strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics |