Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53629 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. 2014-01-25T12:48:43Z 2014-01-25T12:48:43Z 2005 Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629 Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці Strengthening thin film based on AIN in electronics Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| spellingShingle |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_full |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_fullStr |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_full_unstemmed |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике |
| title_sort |
ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе aln в электронной технике |
| author |
Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. |
| author_facet |
Белянин, А.Ф. Самойлович, М.И. Житковский, В.Д. Каменева, А.Л. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2005 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Ударостійкі захисні плівкові покриття на основі AlN в електронній техніці Strengthening thin film based on AIN in electronics |
| description |
Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629 |
| citation_txt |
Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT belâninaf udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT samoilovičmi udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT žitkovskiivd udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT kamenevaal udarostoikiezaŝitnyeplenočnyepokrytiânaosnovealnvélektronnoitehnike AT belâninaf udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT samoilovičmi udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT žitkovskiivd udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT kamenevaal udarostíikízahisníplívkovípokrittânaosnovíalnvelektronníitehnící AT belâninaf strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics AT samoilovičmi strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics AT žitkovskiivd strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics AT kamenevaal strengtheningthinfilmbasedonaininelectronics |
| first_indexed |
2025-12-07T18:13:22Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:13:22Z |
| _version_ |
1850874215774814208 |