Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2005
• Main Authors: Белянин, А.Ф., Самойлович, М.И., Житковский, В.Д., Каменева, А.Л.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53629
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Ударостойкие защитные пленочные покрытия на основе AlN в электронной технике / А.Ф. Белянин, М.И. Самойлович, В.Д. Житковский, А.Л. Каменева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 35-41. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Для формирования защитного покрытия AlN, стойкого к воздействию ударных нагрузок, пригодны методы магнетронного и диодного распыления, а также распыления ионным пучком....