Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53630 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Баранов, В.В. 2014-01-25T12:51:16Z 2014-01-25T12:51:16Z 2005 Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630 Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами Технологічні передумови створення МОН-структур з малими проектними нормами Technological prerequisites for manufacturing the MOS structures with layout of small dimensions Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| spellingShingle |
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами Баранов, В.В. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_full |
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_fullStr |
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_full_unstemmed |
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_sort |
технологические предпосылки создания моп-структур с малыми проектными нормами |
| author |
Баранов, В.В. |
| author_facet |
Баранов, В.В. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2005 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Технологічні передумови створення МОН-структур з малими проектними нормами Technological prerequisites for manufacturing the MOS structures with layout of small dimensions |
| description |
Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630 |
| citation_txt |
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT baranovvv tehnologičeskiepredposylkisozdaniâmopstruktursmalymiproektnyminormami AT baranovvv tehnologíčníperedumovistvorennâmonstrukturzmalimiproektniminormami AT baranovvv technologicalprerequisitesformanufacturingthemosstructureswithlayoutofsmalldimensions |
| first_indexed |
2025-12-07T18:49:45Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:49:45Z |
| _version_ |
1850876504481726464 |