Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862724951151214592 |
|---|---|
| author | Баранов, В.В. |
| author_facet | Баранов, В.В. |
| citation_txt | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:49:45Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53630 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:49:45Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Баранов, В.В. 2014-01-25T12:51:16Z 2014-01-25T12:51:16Z 2005 Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630 Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами Технологічні передумови створення МОН-структур з малими проектними нормами Technological prerequisites for manufacturing the MOS structures with layout of small dimensions Article published earlier |
| spellingShingle | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами Баранов, В.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_alt | Технологічні передумови створення МОН-структур з малими проектними нормами Technological prerequisites for manufacturing the MOS structures with layout of small dimensions |
| title_full | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_fullStr | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_full_unstemmed | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_short | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_sort | технологические предпосылки создания моп-структур с малыми проектными нормами |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630 |
| work_keys_str_mv | AT baranovvv tehnologičeskiepredposylkisozdaniâmopstruktursmalymiproektnyminormami AT baranovvv tehnologíčníperedumovistvorennâmonstrukturzmalimiproektniminormami AT baranovvv technologicalprerequisitesformanufacturingthemosstructureswithlayoutofsmalldimensions |