Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами

Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов....

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2005
Автор: Баранов, В.В.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860256191372853248
author Баранов, В.В.
author_facet Баранов, В.В.
citation_txt Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов.
first_indexed 2025-12-07T18:49:45Z
format Article
fulltext �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � �� ��� ����� !����������������������� �� �� ���� "#$$�%!� ��%�� �& ��' ��������������� ������ (����)� �� *������+�� � , �� �� *������� � �� � ��-�� �.��/�� � � ��� ���� ���� 0-12345� 667879:3; :<37=4 7> �?@#!A!B$C?D&$?�E(?�E!DFA&$�D!G�H#$I ,!E-D�(J&�J(�D�,HAF,$�E(!?&�#F,$�#!(,H,$ ��������� ������������ ����� ��! � "��#�$�%������&����'�������'��( ������ � ���)���!��&����'�������� '��� �� � '����#*��+� ��',��,'�+(� � '� �� ������+�)#!���-��"���#,�'���)��� ����"��'�.�'��� &� � K������������ ��� ���+�L�����/�)��+M������- ��� � ��� ��� �"*$D'� ��������������� � ��� ��� "D$D'����)�K��,!E-���� �������� ����L�������N � .�� � ����+�L�� ������) ���+� �����)������ 5��L- �� �����������+����/�������/�����/�N����+�������- � ����L�� �����/��������O ����+� �� K ������ /���+ !���������� /���� ��,!E�*$D� �D$D�P�/ ��- ���������L� �GJ E��������� �,!E-���� ��������������*$D� D$D� ��/�Q�����K��� �+������ � �����5 P��� �����/�/-� ��R P��� �����/�0-� ��R P� �/���/������L��,!E�*$D�"��� ��/�Q��� �- ��O� �/�� ��� �� � ������/�������������+���� ��- O��L�,!E-����K ����L��� �����/ �0-� �/-� �������- ���� ��/L������� �� O�� � K�� ������L����������+- �L���O��� �������� �L��)����������KL���/L�� ��- /���/ �' !�����L/ � K���O�/ � ������N� �� ��������� � �� � �+5����� K�. K �-������� O�� ��� ��� O�- � �� �� � .��/ ����� � ���������+���� ���� ���L ,!E-����K ������� ��)������� ��������� O�� � /���������)����O ���N ����K��� ������ ������/�- �L/ ����� ��L/ ����/�/ �����*$D������ Q������� �- ����L�������/�O ����/�N�L�������������� ��L� �� )���� !�� /� K������� � ��L��������������K��� � K���� � ��/�������������� �*$D�������- ��� �� � ��KL���/L�� STUTV-��������� ����O �M � �� )��+M����� /���� ����������� �,!E�*$D�W�� � � �X�Y � E������� �������� ��� �� ��+��/� � ���� ��/� ��L������� ��"���'�O���K�/�� ��V3Z[��"������'� ��K�������O��� O��������� K����+����+�.� � ������� O������������O����+���������K/�Q����+5 P��/��+M �+�����������+���K�L����� �����N ����- ��Q� ����������+ ������Q�� �����+�.�� � �������*$DR P����L� �+����� ����������Q�� ��\����K ��L�] ����K �����������/����� O�� �����N �L�V3T � R P����� O �+���������+���K/�N�� �����/�������� � ������ ^������� ��/��������N �L�� ��� �� ��"V3T � '���� K������/�"≈Z�� ����Å'��������/���L�����������+- �L������ �������)��K��������� ��+ ������K ��L���/- �������� ��� O ���N ��O������L��������������� - ������� ���������W���� �Z��Y ^�STUTV-������������)���K��O�� �� /���������- � ��� ���K��V3 Z [ � �!�� /� K���� ���� ��L��/������ � ���K��V3 Z [ � ����������/��������������L����� ����+- K���� ���� ������� K � �������� � �^� �O��������- � ������ ����+K����������� ���L� ��// � �_� / /�����/�/� ���)L�+�����O�- �L� ���� � V3 Z [ � � �� �L�� �� �����������+�� ��� ���N �� "��� ������� `���a' � E�� ���- K��� ���+���� � ���)���� - /��� ���������� ���K��V3 Z [ � �� )� Q������ �� �� ���+- ��-� ..�K ���L/���������/ ����������������� �D �- ����+�������V3 Z [ �� �� ���/��- ������� bc�� X��dD�������- �����≈�� ���Åe� D���������/�� �+��O��������- ������.��/ ����� ��������- ���+�L������ ������K/��L��)- ������������ /����������N�- �� ������,!E-����K ������ /� ��� K/����+����������M�- ( � �� �D��� ������������K��� ���� ��+���� K���� �,!E-���� ��������������*$D "STUTV-�������'�� �������N �� �)��K���� �� �� ������� ������������ � ���+�.� E���K ��L�� ����K ���� HPH H H G������� �� �f �f �f �f �f �f 'f 'f V3 Z [ � V3T � gf ff�������������������ffff��������������������ff ' ' / V3T �� "���K�����' 'f ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �Z ��������� � ���� ���� ���������������� ( � �Z �D��� �����,!E-����K ��������E&&-K������/5 1�P������Q ��0-� ��R�2��3�P��)���� ���� �� � ��� �R�4��5��6�P h4-�L���L�����)������� ��� ������ �� �K������R�7�P�E&&-K�- ����R�8�P�h4-M ���"�-��������+���K��� 'R�9�P���� ��/� ���� � ���+����M ���"�-��������+���K��� ' ( � � � � i�� /���� ���������+��� ���� ���L� ,!E-����K �����5 1�P� ��/� ����������Q ��0-� ��R�2�P ����� ���+��������L�������V3T �� "���- � � ���N ��� ��� �� 'R�3��8�P�/�- ���� K�� �� ��� �� ���� ���������������- ��R�4��6� P� � ..�K ���L��/-�)���� ��� �� ���� �R�7�P���� �������V3T � "���K������L��� ��� �� 'R�5�P�K�����R 9�P�K�N ��L��� ��R�1:�P�/-�)����+ K�N ��� ��� ���R�; � . ��� � .� P������- O�� �� ��K/��L� �)������� ��� �� ��� ��� .��/ ���/L�� � ..�K ��� � ������ /������� �� .�� � �K�N �����/�� ��� �� ..�K �" j����dU' � � ������ /������� ��� /���� �^����/����O�� � ..�K ���� /�������V3�� ��� O�������������L�K��- ���������/�E&&��,���klV3 � � � �m3V3 � ��� ���� ..�- K �������)���� �����K������/�����������������N - ����� ..�K ���� ������ �!���� ���+���/��L������ �� /��������� ����K������� /����/������� � ����/ �� ����� @��� ����L�� ���� ���L� ,!E-����K ������� � E&&-� �,�-K������/ ��� �K��L������������� ,!E-����K ����L�����/����/�N���L/ �K������- / � /����������N ����� /�N���������������� ��� ���� � ���L/ �K������/ ������ /��� K�h45 P�)������L�� ���)L���������� �R P�/��L����K/��L��O�����K����������L� �+�����- ����+� �/����� � ����������L����� ���L��*$DR P�� K ������ ��L�������Q�� ���O�����K������ �� K �+� �����Q�� �� � ��� ��� �����)���/��� /�N- ����+�����L� �+�)L���������� ��*$DR P���O����+�) ������L�� �,!E-����K ����L��� ����/� � ������ ^/���������/�.��/ ����� ���� ������ ������- ���Q���������L/�����/�. K �-� / O�� ��� ��� - O�� ��� ����L�����)��� /���O �L���+���������� O�- � �/�/��M����� ��� ��������� ������+�L�������- � �� ���K/���/��K������/L/�.���M�)����/ ������� ����Q�� �� ������ ������������� ������ ���+��������/���� ���/�K������������ �- �������� ���+������ �������� � ��� ��/� � 2SiOd b b���Z ���� / / � G�� �������/ � � � ��L�� �)������ ,!E-����K ������V3-�����Q ���� �L�������� ���+- ��� �����L/� ����/� V3T � � " 2SiOd b ��c ���� / /' � �� �� ��� O �������N ���� � ��L���������)����������K�- ��O�/ ��/��+M�� ������K ������/ ��� �� ���+�L� M ����� Q�� ��)�� �� K-K����� �������� � ������- �LM�� ������ ��� �������Q�� ������K ��L������- K ������ ������ ��,!E-����K ����������������� K ����- ��� �����/L� K/�������������������� ����K��O�� �- / ��� �K���L/ �� Q�5 ��� ��� � �2 1,6 p nL L x x= − − R� ��� ���� �2B B x= + � �� ���K������������������� ��+ ��)��+M����O�/ �� ������/�Q�� ��% ��� n��� %�������������� ��.��- / ����� �� ����������� ������ ����� �����/�Q�� � E� ����/����)��������K� /�� ������ �L� ��< ��� �K�- �������� ��� �/� ���� �/��)��K����������K ��L���/- ��� � K � � K� �#� )��+M����� �� �����)L�������- ��� ���� )����� �KL�����������������/ ���+� K� �� �- ������ ��������+����/�������������+�����)������ ���K �������K ������/� �������� ���� �/��+M�� �� �/ ������ K � � K� � ����+- K������ ������ � �����/����/�N���L/�K�- �����/������ ���+����������� �� ��� �� ��� �� ����- � �̂ ��� ������ ������K�����L� K ����� ����� K���- � � ����� O�� � �� ��/� ��"E&&'���� ����� ��/�- ������������ /���,��� � �� � � ������� ��������� ���� /���klV3 � ��m3V3 � � ��� �E&&��,���klV3 � ��m3V3 �� P �����L�� ���/��������L��/���� ��L�������)�L���� ����������L��������� O�� ������� ����L������+ ���������; �� ��� �� �P ; ��� ��� ��� �P " . �P " 'n�� P ����+�L��K��O�� ���� �L� �M � �L��)���� �������������� ��R ������ O�� ����K/��L� �������K������/L� .���M�)����/R K/���� ����K/������������� ���.���� ��- ��. � �������� �R ��) ���0=/-���������� ..�K ���L���)���- ������� �� � ��� ��"��c" 'n� �P� ��) ���)� �- ����� ..�K ' ���������������������Z��������������������������o��������p���������c �f ' � �f X H H �� ; �� ; � . � � . � �� �f ' HPH ����������������������������������X �f ' �f ���������������������o������������p �����������c����������X ����������Z � �f �f' �� ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� � � �D��K��������� ����L/��)��K�/���� ��� ������- ���.�K�� � � �������/���� K/��������.�K�L����� - � ��V3�����������L/�/������/��� ����/��)��)�� �� D����+����/����/�N�� ���)������� ��� �� ���� � �������M�� �� �K������� K�E&&� ��� Q�� ������+��- �������� ���� ������ �K�������"O�����Q����������- ����L��M ��)��+M��������Q������ ���� .���L��,!E *$D'�������� �����"����� �L�L/ ��)�����/ � ��� �� ��� ������� Q������.��/ ������L/������� O�� / � ��� �/�K������� K�E&&�������������� ������ ���+- ������ � ������� �V3T � '������������� ����������� � /������������ /���m3�� �����������L�� ���/�������- �������/��)��)�� � �!)��K��N��������)������� ��- �� ����� ��/� �/�����K��+�����������.�K������� � ������.�K��� � � ���� ������������������ /�����/��- ����� � �������������� �������� ����L������� �� ����M��������������� �����L��/������WZ��� �oc��oXY _����)�������+����� ����+K������ ������� �������- � �/������ ����������� �����M� ��/������������/ O ��������O��� ���� ���/����� O�� ������� �������- ��Q������������V3T � ��� ��O������ ���������N ���)- ���� ���� �� � ��� �����K������� K�E&& $��������� ������������.��/ ����� ����/����- /�N���L�������O�L������ �������������� /��N� � � K �������+���������� ���� ��� � � � ���� ������� /������������.�K�L����� � ������/�N+��/������$&- K��O�� ������������ ������ ��/����������� �� ���- K�����N� �������� �+� /���+��������/��)��)�� � 3<�93q:���� �K�����O������ ��� �����K�����V3em3���K/�Q- ����)��K���� �������.�K�P�m3V3 � � �m3 � V3 Z � W�Y � E� ���/��� Q�����������O �L���+�\)� ���������]�� � - � ����O���� ��� O �������K/�Q���� �.��/ ����� � ���� ������/ � /��+�L/ ����� ��L/ ����/�/ &� �������� O�� ��/�������N�������� �������- ��� ��)� ��� ������������ �� � � �����W�Y�������- Q���� ����+K����+���Q ����������K������ ���� Q��- ��/������� �"����� �����o�E�' �,��������������� ��/��O������LN���L���K���/�/�������)���������� - Q������� �����+���)��K���� ��� � � ����� ��K� - /������� � �� ��/� �/� WZ�� � � ���Y � _��� ��K������ ���L� �+�������� O����+�,!E-���� ���� � /��� ��Q������� � O�� ���K��O�� ���� �.��/ ����� �K��- ������&,!E�*$D�"���� /���������������M ���/ - �������M � �L' E� ��� � ����� /��+�L��������� O�� ����Q - /����������� ���������������/��)��)�� ��������� ���� ����O �L���+���K/�Q������������������� ���� - /�� ���K����������� ��%���� �P�����Q �% �E� ����/ ���� �������O��� ��� ��������� ���K ���/���.�KL ��� ��� �����K������� �L�����������)�� O�� /�K�- ���/����� ���������� ��� O �������� ..�K ��� �/- ���������� �� ����L/�K� ���/�P���� �� ��� O ���- N /�.� ����/����������� �����+�� / O�� ����� - � ���)��K���� ������ ������ ��� � ���N ����)��K��N ����������> ? � � �.�� � �����- /�� �@������������ K����/ O�� � ����Q ������ ����- ��� K�������� ��> ? ��b�A@��> ? �b�B@�� ���A� �B�P�����)�- � O�� ��� �� �������� ����� �������������/L������- ��� ����� ��� ����� � /�� ��� ������������N / /��Q ����/ �A l ��B l � ����� ���� � ��� �C 2 �̂ L)�� ���� �� K�������� �����������������/���������� �)����+����� ������������� �������/��)��)�� ��� �� ����L/ ���� / �����/����/ ��������� ������������� �����N �L�� �K���L���LM�����- �����WoY�����O��L����� � O�� ���L��Q�� ���������- O��� /���+��� ����Q ������ ������������ /���� ��- �� ��������L�V3em3� K�O��L�������L��K� ���/����- �� �����������)��K���� ��� � � ���������������/ ������� ��������� � /���+��� ����Q � �!���� K ������L����� O ���� ���������� ����/��)��)�� ���������� ������������/� K����/ O�� � ����Q � K� ��O���������/�N�� ���/��������� �� ��������� �� � �����/����/����������N����������� ��+ ��.�K� ��)������L�� ���/������������)����+ ^�O������� ���� �K�����O�������.�K�L�����������- ������� �������m3V3 �� /�Q���)L�+�����O����� ��� ���- ����$&-���/��)��)�� ��� M+��� ����� Q�� ���/- �������L�������������� ������ ������ ��c��dD� �LM� �$����+K���� �� �����L������� �m3����N ��� )���������/ /��� ��� �� ���/���O���.�K��L��������- N�� �� ������ �������� �� /���+��� �� $&-��Q � �����������K����M���L/ ���Q���� ����� Q�� ���/- ��������p��np��dD �E���O���L����/ � �� O������- �L����K��+���L����� ��� K���� ��� O�� ��K� ���- /������ �����������)��K���� ��� � � ����������- �����/������ ���� ��L������ ���������������� K�- ���/ O�� ������/��)��)�� � � /���+��� ����Q � �� ���K������ ������L������ ���$&- K��O�� � ?N��)�����K��O ���+�� ���� Q�� ����� O �L K�� � �������� ���� ���+� �� � ����+K���� ���������+�L������ ����� ���r-k!E� ��,!E �E��- ������ �K��������������������� �������������-�� �� - � ��+�� ���,!E-����K ����������������*$D� /��� � ����� �K���L����������� E� � K ������� �r-,!E-����K ������� ����+- K����r- ����L�"r-�)��K�L�� ���� '�������������- � ����� �����Q ��� ����������+� ����L�� �� �L�� ����/�� � � ��� ��/� � ��� ��� ������; �� �������- ����������N ������ �� � ��+�������� �0-� �� �G��- ( � �� �D��� �����,!E-����K �������� K������/� K� �� �- ���� � ��/������� "DE'������ /���kl5 1�P������Q �R�2��4�P��)���� ���� �� � ��� �R�3��7�P���� �� �����L����� �V3T � R�5�P�h4-M ���"�-��������+���K��� 'R�6�P�DE- M ���"�-��������+���K��� 'R�8��11�P�h4-�L���L� ��� �� ���� �R 9�P�)���� � ��������� ��R�1:�P�DE�K����� X �� p �������������������������X�����������������c ����������������������������o Z � � � � �f �f �f �f ' ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� ��������� � ���� ���� ���������������� ����r-,!E-����K �������������Q�����r- ���������- �L��/���� ������� ���V3T � �r-,!E-����K ����L� /�- ����L�� ��� ��� K��� �)L���������� ���K�� /����/�- �������N��+�������������� ������Q �")�� ����� ����+K���� ������ ��+���� ������ � ' �^�*$D ����r-,!E-����K ����L� /�����)N �� ��� �����+ ����� ���L�������������Q ��/f-� �� ^����������+�������� ������,!E-����K �������)- ����+�0-� ��� ��)����+� ��� ��/f-� ���.��/ ������ ��������� ..�K ���� ���������� ������������ /���� ������� ����Q��� ���� ��������� �E�������������� �����/��O���� �����+�� ..�K ��� ��/� ��� /�� �0- � �������� /���)������LM���O�/���� /�� �/-� ������- �� /���.��.����Wp��� �p�Y ����N ���0-�)���� ���� - � O�� ����������N ���)�KL�) ������� ������K ���- ���"; �� b��� ��/ /'��O��� ������ �������� � �o��� H � ������)����+� ���������� ����; �� ��)��K����� K� ��� �L���K�����0-�)���� � ����K������� ��� � - �� �E� ����/��+�L���/�N�� ������ ����L� �Q� � - ������� K� ���� � �� ���������� ��� ������)����+ ��������������� �� ��K����� � K-K�� ����.�� �� ��� - �� O�� �/��������������������/f-�)����+���� � !�� O ���+�������)������+���,!E-����K ����� ��������� ���� O��� K������ ��� ���/�N������ ��/f-�)��- ��+����� � �E����/���� ��� ������ � �� /����/���� �/ ���+� K� � ��L�� �����)�O��������Q�� � �&����- �� ����� �/�������� O ��� K����K����������� O �+ )L���������� ��*$D�����,!E-����K ��������� )� - K ���+���������K��� �������� O�� ��� ��� O�� ��� ���� ����L������*$D� �D$D�����)LO�L��,!E-����- K ������ (���/������L���������L�����������+�L������ - ���L�,!E-����K �������/� ���"�� ����)��� /��� ' �����.��/ �����+������� ����� ����L���)���� � �- �� �� ���� ��������� ���������� ��+�� ��� ����� ����O�� ��)���������������Q���L�������������� �������� � ������������ /����)���� � ��� ���/�Q�� ����+K����+� /��N ������������/������L��,!E- ���� ����������L����� � ����� ������� ����� �� ������������� Q��)�K��L��������� O�� ��������- �L� ��.��/ ����� ��WoY �^����Q�����/��������� - O�� �� �������L� .��/ ����� �� �)���� � ��� �� �� �������������������� � �������/� ���)L�+�K� /����- ���L� K����������������� �� � ����L���������- ���� ��L���� )�������� �� � �) ������L������- K ����L��/�N�L��� ��L�s��� � ��� �_� ��������L� ���� ��� ��� O������ ����+K���� �/� ���LM���L� ��/������������� /��������� � � ���������������- ��� �� ������� � ��L���������/ ����������K��O��� ���)��� /���+�������� �����������.��/ ����� � �������L���)������� ���� / K�� ����� ��� �� � ��������,!E-����K ������������� ��+�������� - ���������O���/� K/���� �� ��. K �-������ O�� � ���� ��� �� �� � �����)L����� �K�����LM� �,!E-����K ����L������� ��+�������� ������ � ����� �������������� � ������/�N�L���� )���� E����/��/�Q��� ������ �����+��O�������.��/ ����- � �� ���������+�L�� ���� ���� /�N�L�� �� )������ � �� �� ����/� ���)L�+� ����+K����L����������� O�- � ��/����L�� ����L������O � ��� /���� ���� � K- ������� �/���/�N�L�� K��� ������������� �- ������� ���� �"� .���L��*$D� �D$D'����� ����- ���� �������� ���� ��/������� �����L/����� ����/ (�K�/������� O��)L� ����O �+� ����/���L� /�N�L� �,!E-����K ��������������������K�����N�/� ��- �� �����+����/ ���L���L� ���������� � ���/ ��- �L��� ������������ K���������� )������ ��������� - ���� �����)��� /���� Q����� / K �����+�. K �- ������ O�� ������ ��� �� ��� �����������+�L� ���� ���� ������ ������ K�� �������� O�� ��/�- �������K� /��������L�� K�������� �*$D $�����������+� ����)��L��������/���������- � ���������������� � ��L/ ����� ��+ ���������- �� � /�N�L�� �,!E-����K ������� ���� Q�� � ������+���/��L�������� O�� ����K/����������- ������� � � O�L/��O�����K������� ����+K����+�� ����� K�������� /��N������ �� ��. O�� ����)�- ������� ���������� ��L�����/L�������������/ / ( � �o �i�� /�������)���� �K�������"�'� ������������ ��- ���".'��,!E-����K ����������������*$D $ G D �f�n �n �f ' ' ' ; �� )' G$ &���� !)����+ ����.� D � ' �f ;t ��; �� �f �' ( � �� �D��� �����r-,!E-����K ����� G $ &���� !)����+� ����.� D � ' �f � ' �f ;t �� ; �� �o ��������� � ���� ���� ���������������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� ^�*������ ��� ���)��L��������������#E!�\$��� ���] ���*������� �/� �������������/��� ���� ����� �- .��/�� � ���� ���� ���� �P���O������� ��� ��- / ��� ������ �� ����� � �A �E �H��.� ����$ �$ �(�)- ��� O��E �, �s M����H �, �H� ����, �, �&��O � E���O���L����K��+���L���K��� � ���������� �� ��L ��K��)����+� ����� �+���� K����������� �/�N�L��/- ����+�L�� �,!E-����K �������� ���� /��� &EpZ�� &Ep�c��&Ep��� ��� � !"# #������������������� ������ K��. K �-�������- O�� ��� ��� O�� ���� ���K��� ����������+�L� ���� ����,!E-����K ��������� �K��L���K/�Q���� ���LM�� �� ��������� O���� �������������/����- /�N������������� ������/�O ������ � ����+K���- � �������.�K�L����� � ���� ����� ����������L� /���������� ��/� �/������� ��N ��������� ��� K�- ���/ O�� ��� � /���+��������/��)��)��� ������ Q� ��K��� ���,!E-����K ������������� ��+�������� - ������������� � ���������/�N�L������������� �- �L���� )���� $DE!AuG!^H##F?�$D�!C#$&$ � D������� ��$ �E �!����L�/ ����� ���� P�, 5�A�)�- ����� ��)�K��L��K��� ������Z � ,!E-D*$D �,���� ����� �����/������ �������� O�� � ����������e�E������ �( �H �D�� �� P�, 5�(�� �� ����K+���Xcc Z ,���� ��s �D � � �L�����D*$D P�, 5�, ����Xco � *�������̂ �̂ �,���� ��L� ��������L�.��/ ����� ����/�- ���/�N���L�������O�L������ ���� K��� �����������+������� �- ��� � �/ ����� ���� �ee��� � �*������ � �� ���-��� �.��- /�� � ���� ���� ���� P����� P���Z P�D ����P��p � g2;2<lv�w �w ��V2v34lvxh �w ��k34y2=vxw �h ��Vz{3;|lvxh �w V=4=|q36=� 734}:<~� 6l<� q3q2<}39343�3}z{3z{q=<� :<q=;� 2<v=<}:<~� }=9 9q:�=<�l;13~=<�q=1�=;<9�ee�����Z�x�<q �w399=<9z{2�q-43z{=9��l44l�- :3:1 P��41=<2:����� P��Xcp P�^�Z� P�V �S��PS�c o *�������^ �^ ��&���� �� O�H �H �$��������� ���������� ���� � ��� ��.��/ ����� ������� �� � � ����� ����������� - ������D*$D�ee�$K� �*������ � �Q��������� ���/ P����Z P ���"��'e� P�D �X�PX� p G �D �i K ������������� ��L���� )���� �&� �� P�, 5 , ��� �Xc� ! � $ " � % & ' ( ' � � ' # ) * + � � � ! � $ " � % & ' ( ' � � ' # ) * + � � � � ! � $ " � % & ' ( ' � � ' # ) * + � � !� $"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+�� ! � $ " � % & ' ( ' � � ' # ) * + � � � ! � $ " � % & ' ( ' � � ' # ) * + � � � ! � $ " � % & ' ( ' � � ' # ) * + � � � � � � � � � � � � � � � !�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+�� !�����L������Q�� �� �K���O � ������������������ ��//L���K� � ������ � �������� � ������L�� ��O�������������P���X� ��L���J �� �� �"J �� ���� �& ��' (�K��)�� ����� ��//��-��������L�������������� �� ����� �� ��� �� ����� �� �����( ��n D���/���������������LO ���� �����)L��������Q�� �� �� ����L��"���� ���L�'�/��� �� � ����/�� �"(��� ��� �D -E����)�� ' G�� � /���+���������������� �� ���� �� � ������������ ����� �0=/-�������� �"J �� ��� �& ��' !������ �����L�����O �������O�� ������ ��� ��� Q�N / �������/ �"J �� ���� �C������L' ^L��N ��� �� ����� �)�� ��L��/��� � �����������+.��/���� ��/ �����L�� ������ O�� �� �����������+� �"J �� ���� �A+���' H���/�� K ������L��� ���/L������K����� ���)��K�������������/�� �������������� O�� �� ��/�� �"J �� ���� ������ ' !)��)�� ��� �������/�� �.�� � ����+�L��������������������������L������������V3 �n" �= " "J �� ���� �A+���' H���/�� K�� ��.���/��� O�� � �� ��������� ����� �������� ����� ��� ��� �� O�� ������� "(��� ��� �(L) �� ' (�K��)�� �� ���K��� ��� K ���/��������L��������� �����L������������������ ����� � ������������L�� ��O������ � K/���� �� ������/����� �"J �� ���� �& ��' E��)��/�� ���O���� � �� ��� ���� ���� �� � ��)��L� �/��+� � �� �O��L� � "J �� ��� �@/��+� � �' ������ O�� ��������� �/���� ����� �� ��� O�� ������������.��/ ����� �� �K���� .�KL�/�����/�� / O�� �� �K�����������L����� � � �"J �� ���� �A+���' E��� ������� �� ���� Q�N� �����������������������/�� O�� ����� �� ��� �����������L� ���� ���������� ��������/���� �� ����� �"J �� ���� �& ��' D^C-���K/�� / O�� ������Q��� ���������L�����������L������ �������������� ������� � ��� ������ ������� ��.����/ �"(��� ��� �i��K ��' D�K��� ���L�� ����) �+�L�� ���O� ��������Q�� �������������Q�- K�.������ �� ������������ ��L�� ��M��� � "J �� ���� � & ��R B��/�� ��� �*����M��� ' B�K�O����� ���+�L��������������-)��+���L������ ���L�%� � � � �)��+��n��� ��L�� ��/� �n ��/� �% �"J �� ���� �& ��' !���� ���+�L�� ������ .���� ����� O�� � ��/ ��� �������)�K� � ..�K�� �� K��O����� �"J �� ���� �& ��' � � �
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53630
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:49:45Z
publishDate 2005
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Баранов, В.В.
2014-01-25T12:51:16Z
2014-01-25T12:51:16Z
2005
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630
Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технологические процессы и оборудование
Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
Технологічні передумови створення МОН-структур з малими проектними нормами
Technological prerequisites for manufacturing the MOS structures with layout of small dimensions
Article
published earlier
spellingShingle Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
Баранов, В.В.
Технологические процессы и оборудование
title Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
title_alt Технологічні передумови створення МОН-структур з малими проектними нормами
Technological prerequisites for manufacturing the MOS structures with layout of small dimensions
title_full Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
title_fullStr Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
title_full_unstemmed Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
title_short Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
title_sort технологические предпосылки создания моп-структур с малыми проектными нормами
topic Технологические процессы и оборудование
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630
work_keys_str_mv AT baranovvv tehnologičeskiepredposylkisozdaniâmopstruktursmalymiproektnyminormami
AT baranovvv tehnologíčníperedumovistvorennâmonstrukturzmalimiproektniminormami
AT baranovvv technologicalprerequisitesformanufacturingthemosstructureswithlayoutofsmalldimensions