Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами
Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860256191372853248 |
|---|---|
| author | Баранов, В.В. |
| author_facet | Баранов, В.В. |
| citation_txt | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:49:45Z |
| format | Article |
| fulltext |
��
��������� �
����
����
����������������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��������������
��������
�
�
�� ��� �����
!����������������������� ��
��
����
"#$$�%!�
��%�� �&
��'
���������������
������
(����)�
�� *������+�� � ,
��
�� *�������
�
�� � ��-��
�.��/��
�
� ���
����
����
0-12345� 667879:3; :<37=4 7>
�?@#!A!B$C?D&$?�E(?�E!DFA&$�D!G�H#$I
,!E-D�(J&�J(�D�,HAF,$�E(!?&�#F,$�#!(,H,$
��������� ������������ ����� ��!
� "��#�$�%������&����'�������'��(
������ � ���)���!��&����'��������
'��� �� � '����#*��+� ��',��,'�+(� � '�
�� ������+�)#!���-��"���#,�'���)���
����"��'�.�'���
&�
�
K������������
��� ���+�L�����/�)��+M������-
���
�
��� ���
�"*$D'�
���������������
�
��� ���
"D$D'����)�K��,!E-����
��������
����L�������N
�
.��
�
����+�L��
������)
���+�
�����)������
5��L-
��
�����������+����/�������/�����/�N����+�������-
�
����L��
�����/��������O
����+�
��
K
������
/���+
!����������
/����
��,!E�*$D�
�D$D�P�/
��-
���������L�
�GJ
E���������
�,!E-����
��������������*$D�
D$D�
��/�Q�����K���
�+������
�
�����5
P���
�����/�/-�
��R
P���
�����/�0-�
��R
P�
�/���/������L��,!E�*$D�"���
��/�Q���
�-
��O�
�/��
���
��
�
������/�������������+����
��-
O��L�,!E-����K
����L���
�����/
�0-�
�/-�
�������-
���� ��/L�������
��
O��
�
K��
������L����������+-
�L���O���
��������
�L��)����������KL���/L��
��-
/���/
�'
!�����L/
� K���O�/
� ������N� ��
���������
�
��
�
�+5�����
K�.
K
�-�������
O��
��� ���
O�-
�
�� ��
� .��/
�����
� ���������+���� ����
���L
,!E-����K
�������
��)�������
���������
O��
�
/���������)����O
���N
����K���
������
������/�-
�L/
�����
��L/
����/�/
�����*$D������
Q�������
�-
����L�������/�O
����/�N�L��������������
��L�
��
)����
!��
/�
K�������
�
��L��������������K���
�
K����
�
��/��������������
�*$D�������-
��� ��
� ��KL���/L�� STUTV-��������� ����O
�M
�
��
)��+M�����
/����
�����������
�,!E�*$D�W��
� � �X�Y � E������� �������� ��� ��
��+��/� �
����
��/�
��L�������
��"���'�O���K�/��
��V3Z[��"������'�
��K�������O���
O���������
K����+����+�.�
�
�������
O������������O����+���������K/�Q����+5
P��/��+M
�+�����������+���K�L�����
�����N
����-
��Q�
����������+
������Q�� �����+�.��
�
�������*$DR
P����L�
�+����� ����������Q��
��\����K
��L�]
����K
�����������/�����
O��
�����N
�L�V3T
�
R
P�����
O
�+���������+���K/�N��
�����/��������
�
������
^�������
��/��������N
�L��
���
��
��"V3T
�
'����
K������/�"≈Z�� ����Å'��������/���L�����������+-
�L������
�������)��K���������
��+
������K
��L���/-
�������� ���
O
���N
��O������L���������������
-
�������
���������W���� �Z��Y
^�STUTV-������������)���K��O��
��
/���������-
�
���
���K��V3
Z
[
�
�!��
/�
K���� ����
��L��/������
�
���K��V3
Z
[
�
����������/��������������L�����
����+-
K����
����
�������
K
� ��������
� �^�
�O��������-
� ������
����+K�����������
���L�
��//
�
�_�
/
/�����/�/� ���)L�+�����O�-
�L� ����
� V3
Z
[
�
� �� �L��
��
�����������+�� ��� ���N
��
"��� ������� `���a' � E�� ���-
K���
���+����
�
���)����
-
/���
����������
���K��V3
Z
[
�
��
)�
Q������
��
��
���+-
��-�
..�K
���L/���������/
�����������������
�D
�-
����+�������V3
Z
[
��
��
���/��-
�������
bc�� X��dD�������-
�����≈�� ���Åe�
D���������/��
�+��O��������-
������.��/
�����
��������-
���+�L������
������K/��L��)-
������������
/����������N�-
��
������,!E-����K
������
/� ���
K/����+����������M�-
(
� �� �D���
������������K���
����
��+����
K����
�,!E-����
��������������*$D
"STUTV-�������'�� �������N
�� �)��K����
�� ��
������� ������������
� ���+�.�
E���K
��L�� ����K
����
HPH
H H
G������� ��
�f �f
�f �f
�f �f
'f 'f
V3
Z
[
�
V3T
�
gf
ff�������������������ffff��������������������ff
'
'
/
V3T
��
"���K�����'
'f
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
�Z
��������� �
����
����
����������������
(
� �Z �D���
�����,!E-����K
��������E&&-K������/5
1�P������Q
��0-�
��R�2��3�P��)����
����
��
�
���
�R�4��5��6�P
h4-�L���L�����)�������
���
������
��
�K������R�7�P�E&&-K�-
����R�8�P�h4-M
���"�-��������+���K���
'R�9�P����
��/�
����
�
���+����M
���"�-��������+���K���
'
(
� � � � i�� /���� ���������+���
����
���L� ,!E-����K
�����5
1�P�
��/�
����������Q
��0-�
��R�2�P
�����
���+��������L�������V3T
��
"���-
�
�
���N
���
���
��
'R�3��8�P�/�-
����
K��
��
���
��
����
���������������-
��R�4��6� P� �
..�K
���L��/-�)����
���
��
����
�R�7�P����
�������V3T
�
"���K������L���
���
��
'R�5�P�K�����R
9�P�K�N
��L���
��R�1:�P�/-�)����+
K�N
��� ���
���R�;
�
.
���
�
.�
P������-
O��
�� ��K/��L� �)�������
���
��
���
��� .��/
���/L�� �
..�K
���
�
������
/�������
��
.��
�
�K�N
�����/��
���
��
..�K
�"
j����dU'
�
�
������
/�������
���
/���� �^����/����O��
�
..�K
����
/�������V3�� ���
O�������������L�K��-
���������/�E&&��,���klV3
�
�
�
�m3V3
�
���
����
..�-
K
�������)����
�����K������/�����������������N
-
�����
..�K
���� ������ �!����
���+���/��L������
��
/���������
����K�������
/����/�������
�
����/
��
�����
@���
����L�� ����
���L� ,!E-����K
������� �
E&&-�
�,�-K������/
���
�K��L�������������
,!E-����K
����L�����/����/�N���L/
�K������-
/
�
/����������N
�����
/�N����������������
���
����
�
���L/
�K������/
������
/���
K�h45
P�)������L��
���)L����������
�R
P�/��L����K/��L��O�����K����������L�
�+�����-
����+�
�/�����
�
����������L����� ���L��*$DR
P��
K
������ ��L�������Q��
���O�����K������
��
K
�+� �����Q��
�� �
���
��� �����)���/��� /�N-
����+�����L�
�+�)L����������
��*$DR
P���O����+�)
������L��
�,!E-����K
����L���
����/�
�
������
^/���������/�.��/
�����
����
������
������-
���Q���������L/�����/�.
K
�-�
/
O��
��� ���
-
O��
���
����L�����)���
/���O
�L���+����������
O�-
�
�/�/��M�����
���
���������
������+�L�������-
�
��
���K/���/��K������/L/�.���M�)����/ �������
����Q��
��
������
�������������
������
���+��������/����
���/�K������������
�-
��������
���+������
��������
�
���
��/�
�
2SiOd b
b���Z ���� /
/ � G�� �������/
� �
�
��L�� �)������
,!E-����K
������V3-�����Q
����
�L��������
���+-
��� �����L/� ����/� V3T
�
� "
2SiOd b ��c ���� /
/' � ��
��
���
O
�������N
����
�
��L���������)����������K�-
��O�/
��/��+M��
������K
������/
���
��
���+�L�
M
�����
Q��
��)��
��
K-K�����
��������
�
������-
�LM��
������ ��� �������Q��
������K
��L������-
K
������
������
��,!E-����K
�����������������
K ����-
���
�����/L�
K/��������������������
����K��O��
�-
/
���
�K���L/
��
Q�5
��� ��� � �2 1,6 p nL L x x= − − R� ��� ���� �2B B x= + �
��
���K�������������������
��+
��)��+M����O�/
��
������/�Q��
��%
���
n���
%�������������� ��.��-
/
�����
��
�����������
������ ����� �����/�Q��
�
E�
����/����)��������K�
/�� ������
�L�
��<
���
�K�-
��������
���
�/�
����
�/��)��K����������K
��L���/-
���
�
K
�
�
K�
�#�
)��+M�����
��
�����)L�������-
���
����
)�����
�KL�����������������/
���+�
K�
��
�-
������
��������+����/�������������+�����)������
���K
�������K
������/�
��������
���� �/��+M��
�� �/
������
K
�
�
K�
�
����+-
K������
������
�
�����/����/�N���L/�K�-
�����/������
���+�����������
�� ���
��
���
��
����-
� �̂ ���
������
������K�����L�
K �����
�����
K���-
�
�
�����
O��
� ��
��/�
��"E&&'���� �����
��/�-
������������
/���,���
�
��
�
�
�������
���������
����
/���klV3
�
��m3V3
�
�
��� �E&&��,���klV3
�
��m3V3
��
P
�����L��
���/��������L��/����
��L�������)�L����
����������L���������
O��
�������
����L������+
���������;
��
���
��
�P
;
���
���
���
�P
"
.
�P
"
'n��
P
����+�L��K��O��
����
�L�
�M
�
�L��)����
��������������
��R
������
O��
����K/��L�
�������K������/L�
.���M�)����/R
K/����
����K/�������������
���.����
��-
��.
�
��������
�R
��)
���0=/-����������
..�K
���L���)���-
�������
��
�
���
��"��c"
'n�
�P� ��)
���)�
�-
�����
..�K
'
���������������������Z��������������������������o��������p���������c
�f
'
�
�f
X
H H
��
;
��
;
�
.
�
�
.
�
��
�f
'
HPH
����������������������������������X
�f ' �f
���������������������o������������p
�����������c����������X
����������Z
�
�f �f'
��
��������� �
����
����
����������������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
�
� �D��K��������� ����L/��)��K�/����
���
������-
���.�K��
�
�
�������/����
K/��������.�K�L�����
-
�
��V3�����������L/�/������/���
����/��)��)��
��
D����+����/����/�N��
���)�������
���
��
����
�
�������M��
��
�K�������
K�E&&�
���
Q��
������+��-
��������
����
������
�K�������"O�����Q����������-
����L��M
��)��+M��������Q������
����
.���L��,!E
*$D'��������
�����"�����
�L�L/
��)�����/
�
���
��
���
�������
Q������.��/
������L/�������
O��
/
�
���
�/�K�������
K�E&&��������������
������
���+-
������
� ������� �V3T
�
'�������������
����������� �
/������������
/���m3��
�����������L��
���/�������-
�������/��)��)��
� �!)��K��N��������)�������
��-
��
�����
��/�
�/�����K��+�����������.�K�������
�
������.�K���
�
�
����
������������������
/�����/��-
�����
�
��������������
��������
����L�������
��
����M���������������
�����L��/������WZ��� �oc��oXY
_����)�������+�����
����+K������
�������
�������-
�
�/������
�����������
�����M� ��/������������/
O
��������O���
���� ���/�����
O��
�������
�������-
��Q������������V3T
�
���
��O������
���������N
���)-
����
����
��
�
���
�����K�������
K�E&&
$���������
������������.��/
�����
����/����-
/�N���L�������O�L������
��������������
/��N� �
�
K
�������+����������
����
���
�
�
�
����
�������
/������������.�K�L�����
�
������/�N+��/������$&-
K��O��
������������ ������
��/�����������
��
���-
K�����N� ��������
�+�
/���+��������/��)��)��
�
3<�93q:����
�K�����O������ ���
�����K�����V3em3���K/�Q-
����)��K����
�������.�K�P�m3V3
�
�
�m3
�
V3
Z
� W�Y � E�
���/���
Q�����������O
�L���+�\)�
���������]��
�
-
�
����O���� ���
O
�������K/�Q����
�.��/
�����
�
����
������/
�
/��+�L/
�����
��L/
����/�/
&�
��������
O��
��/�������N�������� �������-
���
��)�
��� ������������
��
�
�
�����W�Y�������-
Q����
����+K����+���Q
����������K������
����
Q��-
��/�������
�"�����
�����o�E�' �,���������������
��/��O������LN���L���K���/�/�������)����������
-
Q�������
�����+���)��K����
���
�
�
�����
��K�
-
/�������
� ��
��/�
�/� WZ�� � � ���Y � _��� ��K������
���L�
�+��������
O����+�,!E-����
����
�
/���
��Q�������
�
O��
���K��O��
����
�.��/
�����
�K��-
������&,!E�*$D�"����
/���������������M
���/
-
�������M
�
�L'
E�
���
�
�����
/��+�L���������
O��
����Q
-
/�����������
���������������/��)��)��
���������
����
����O
�L���+���K/�Q�������������������
����
-
/��
���K�����������
��%����
�P�����Q
�% �E�
����/
���� �������O���
���
���������
���K
���/���.�KL
��� ���
�����K�������
�L�����������)��
O��
/�K�-
���/�����
���������� ���
O
��������
..�K
���
�/-
����������
��
����L/�K�
���/�P����
�� ���
O
���-
N
/�.�
����/�����������
�����+��
/
O��
�����
-
�
���)��K����
������ ������
���
�
���N
����)��K��N
����������>
?
�
�
�.��
�
�����-
/��
�@������������
K����/
O��
� ����Q
������
����-
���
K��������
��>
?
��b�A@��>
?
�b�B@�� ���A�
�B�P�����)�-
�
O��
���
��
��������
�����
�������������/L������-
���
�����
��� �����
�
/��
��� ������������N
/
/��Q
����/
�A
l
��B
l
�
�����
����
�
���
�C
2
�̂ L)��
���� ��
K��������
�����������������/����������
�)����+�����
�������������
�������/��)��)��
���
��
����L/
����
/
�����/����/
���������
�������������
�����N
�L��
�K���L���LM�����-
�����WoY�����O��L�����
�
O��
���L��Q��
���������-
O���
/���+��� ����Q
������
������������
/����
��-
��
��������L�V3em3�
K�O��L�������L��K�
���/����-
��
�����������)��K����
���
�
�
���������������/
�������
���������
�
/���+��� ����Q
� �!����
K
������L�����
O
����
����������
����/��)��)��
����������
������������/�
K����/
O��
� ����Q
�
K�
��O���������/�N��
���/��������� ��
���������
��
�
�����/����/����������N�����������
��+
��.�K�
��)������L��
���/������������)����+
^�O�������
����
�K�����O�������.�K�L�����������-
������� �������m3V3
��
/�Q���)L�+�����O�����
���
���-
����$&-���/��)��)��
���
M+���
�����
Q��
���/-
�������L��������������
������
������
��c��dD�
�LM� �$����+K����
��
�����L�������
�m3����N
���
)���������/
/���
���
��
���/���O���.�K��L��������-
N��
�� ������ ��������
��
/���+��� �� $&-��Q
�
�����������K����M���L/
���Q����
�����
Q��
���/-
��������p��np��dD �E���O���L����/
�
��
O������-
�L����K��+���L�����
���
K����
���
O��
��K�
���-
/������
�����������)��K����
���
�
�
����������-
�����/������
����
��L������
����������������
K�-
���/
O��
������/��)��)��
�
�
/���+��� ����Q
�
��
���K������
������L������
���$&-
K��O��
�
?N��)�����K��O
���+�� ����
Q��
�����
O
�L
K�� �
�������� ����
���+� ��
�
����+K����
���������+�L������
�����
���r-k!E�
��,!E �E��-
������
�K���������������������
�������������-��
��
-
�
��+�� ���,!E-����K
����������������*$D�
/���
�
�����
�K���L�����������
E�
�
K �������
�r-,!E-����K
�������
����+-
K����r-
����L�"r-�)��K�L��
����
'�������������-
�
����� �����Q
��� ����������+�
����L�� ��
�L��
����/��
�
�
���
��/�
� ���
���
������;
��
�������-
����������N
������
��
�
��+��������
�0-�
�� �G��-
(
� �� �D���
�����,!E-����K
�������� K������/�
K� �� �-
����
� ��/������� "DE'������
/���kl5
1�P������Q
�R�2��4�P��)����
����
��
�
���
�R�3��7�P����
��
�����L�����
�V3T
�
R�5�P�h4-M
���"�-��������+���K���
'R�6�P�DE-
M
���"�-��������+���K���
'R�8��11�P�h4-�L���L�
���
��
����
�R
9�P�)����
�
���������
��R�1:�P�DE�K�����
X �� p
�������������������������X�����������������c
����������������������������o
Z
�
� �
�
�f �f
�f �f
'
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��
��������� �
����
����
����������������
����r-,!E-����K
�������������Q�����r-
���������-
�L��/����
�������
���V3T
�
�r-,!E-����K
����L�
/�-
����L��
���
���
K���
�)L����������
���K��
/����/�-
�������N��+��������������
������Q
�")�� �����
����+K����
������
��+����
������
�
' �^�*$D
����r-,!E-����K
����L�
/�����)N
��
���
�����+
����� ���L�������������Q
��/f-�
��
^����������+��������
������,!E-����K
�������)-
����+�0-�
���
��)����+�
���
��/f-�
���.��/
������
���������
..�K
����
����������
������������
/����
�������
����Q���
����
���������
�E��������������
�����/��O����
�����+��
..�K
���
��/�
���
/��
�0-
�
��������
/���)������LM���O�/����
/��
�/-�
������-
��
/���.��.����Wp��� �p�Y ����N
���0-�)����
����
-
�
O��
����������N
���)�KL�)
������� ������K
���-
���";
��
b��� ��/
/'��O���
������
��������
� �o���
H
�
������)����+�
����������
����;
��
��)��K�����
K� ���
�L���K�����0-�)����
�
����K������� ���
�
-
�� �E�
����/��+�L���/�N��
������
����L�
�Q�
�
-
�������
K�
����
� ��
����������
���
������)����+
��������������� �� ��K�����
�
K-K�� ����.�� �� ���
-
��
O��
�/��������������������/f-�)����+����
�
!��
O
���+�������)������+���,!E-����K
�����
��������� ���� O��� K������ ��� ���/�N������ ��/f-�)��-
��+�����
� �E����/����
���
������
�
��
/����/����
�/
���+�
K�
�
��L��
�����)�O��������Q��
� �&����-
��
�����
�/��������
O
��� K����K�����������
O
�+
)L����������
��*$D�����,!E-����K
���������
)�
-
K
���+���������K���
��������
O��
��� ���
O��
���
����
����L������*$D�
�D$D�����)LO�L��,!E-����-
K
������
(���/������L���������L�����������+�L������
-
���L�,!E-����K
�������/� ���"��
����)���
/���
'
�����.��/
�����+�������
�����
����L���)����
�
�-
��
��
����
��������� ����������
��+�� ��� �����
����O��
��)���������������Q���L��������������
��������
�
������������
/����)����
�
���
���/�Q��
����+K����+�
/��N
������������/������L��,!E-
����
����������L�����
�
�����
�������
�����
��
�������������
Q��)�K��L���������
O��
��������-
�L�
��.��/
�����
��WoY �^����Q�����/���������
-
O��
�� �������L� .��/
�����
�� �)����
� ���
�� ��
��������������������
�
�������/� ���)L�+�K�
/����-
���L�
K�����������������
��
�
����L���������-
����
��L����
)��������
��
�
�)
������L������-
K
����L��/�N�L���
��L�s���
�
��� �_�
��������L�
����
��� ���
O������
����+K����
�/� ���LM���L�
��/�������������
/���������
�
�
���������������-
���
��
�������
�
��L���������/
����������K��O���
���)���
/���+��������
�����������.��/
�����
�
�������L���)�������
����
/
K��
�����
���
��
�
��������,!E-����K
�������������
��+��������
-
���������O���/�
K/����
��
��.
K
�-������
O��
�
����
���
��
��
�
�����)L�����
�K�����LM�
�,!E-����K
����L�������
��+��������
������
�
�����
��������������
�
������/�N�L����
)����
E����/��/�Q���
������
�����+��O�������.��/
����-
�
�� ���������+�L�� ����
���� /�N�L�� ��
)������ �
��
��
����/� ���)L�+�
����+K����L�����������
O�-
�
��/����L��
����L������O
�
���
/����
����
�
K-
�������
�/���/�N�L��
K���
�������������
�-
�������
����
�"�
.���L��*$D�
�D$D'�����
����-
����
��������
����
��/�������
�����L/�����
����/
(�K�/������� O��)L� ����O
�+� ����/���L� /�N�L�
�,!E-����K
��������������������K�����N�/�
��-
��
�����+����/
���L���L�
����������
�
���/
��-
�L���
������������
K����������
)������
���������
-
����
�����)���
/����
Q�����
/
K
�����+�.
K
�-
������
O��
������
���
��
���
�����������+�L�
����
����
������
������
K��
��������
O��
��/�-
�������K�
/��������L��
K��������
�*$D
$�����������+�
����)��L��������/���������-
�
����������������
�
��L/
�����
��+
���������-
��
� /�N�L�� �,!E-����K
������� ����
Q��
�
������+���/��L��������
O��
����K/����������-
�������
�
�
O�L/��O�����K�������
����+K����+��
�����
K��������
/��N������
�� ��.
O��
����)�-
�������
����������
��L�����/L�������������/
/
(
� �o �i�� /�������)����
�K�������"�'�
������������
��-
���".'��,!E-����K
����������������*$D
$ G D
�f�n �n �f '
'
'
;
��
)'
G$
&����
!)����+
����.�
D
�
'
�f
;t
��;
��
�f
�'
(
� �� �D���
�����r-,!E-����K
�����
G
$
&���� !)����+� ����.�
D
�
'
�f
�
'
�f
;t
��
;
��
�o
��������� �
����
����
����������������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
^�*������
���
���)��L��������������#E!�\$��� ���]
���*�������
�/� �������������/���
����
�����
�-
.��/��
�
����
����
����
�P���O�������
���
��-
/
���
������
��
�����
�
�A �E �H��.�
����$ �$ �(�)-
���
O��E �, �s
M����H �, �H�
����, �, �&��O
�
E���O���L����K��+���L���K���
�
����������
�� ��L
��K��)����+�
�����
�+����
K�����������
�/�N�L��/-
����+�L�� �,!E-����K
�������� ����
/��� &EpZ��
&Ep�c��&Ep���
���
� !"#
#������������������� ������
K��.
K
�-�������-
O��
��� ���
O��
����
���K���
����������+�L�
����
����,!E-����K
���������
�K��L���K/�Q����
���LM��
��
���������
O����
�������������/����-
/�N�������������
������/�O
������
�
����+K���-
�
�������.�K�L�����
�
���� �����
����������L�
/����������
��/�
�/�������
��N
���������
���
K�-
���/
O��
���
�
/���+��������/��)��)���
������
Q�
��K���
���,!E-����K
�������������
��+��������
-
�������������
�
���������/�N�L�������������
�-
�L����
)����
$DE!AuG!^H##F?�$D�!C#$&$
� D�������
��$ �E �!����L�/
�����
����
P�, 5�A�)�-
�����
��)�K��L��K���
������Z
� ,!E-D*$D �,����
�����
�����/������
��������
O��
�
����������e�E������ �( �H �D��
�� P�, 5�(��
��
����K+���Xcc
Z ,����
��s �D
�
�
�L�����D*$D P�, 5�,
����Xco
� *�������̂ �̂ �,����
��L�
��������L�.��/
�����
����/�-
���/�N���L�������O�L������
����
K���
�����������+�������
�-
���
�
�/
�����
����
�ee���
� �*������ � �� ���-���
�.��-
/��
�
����
����
����
P����� P���Z P�D ����P��p
� g2;2<lv�w �w ��V2v34lvxh �w ��k34y2=vxw �h ��Vz{3;|lvxh �w
V=4=|q36=� 734}:<~� 6l<� q3q2<}39343�3}z{3z{q=<� :<q=;� 2<v=<}:<~� }=9
9q:�=<�l;13~=<�q=1�=;<9�ee�����Z�x�<q �w399=<9z{2�q-43z{=9��l44l�-
:3:1 P��41=<2:����� P��Xcp P�^�Z� P�V �S��PS�c
o *�������^ �^ ��&����
��
O�H �H �$���������
����������
����
�
��� ��.��/
�����
�������
��
�
�
�����
�����������
-
������D*$D�ee�$K� �*������ �
�Q���������
���/
P����Z P
���"��'e� P�D �X�PX�
p G
�D �i
K
�������������
��L����
)���� �&� �� P�, 5
,
��� �Xc�
!
�
$
"
�
%
&
'
(
'
�
�
'
#
)
*
+
�
�
�
!
�
$
"
�
%
&
'
(
'
�
�
'
#
)
*
+
�
�
�
�
!
�
$
"
�
%
&
'
(
'
�
�
'
#
)
*
+
�
�
!� $"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+��
!
�
$
"
�
%
&
'
(
'
�
�
'
#
)
*
+
�
�
�
!
�
$
"
�
%
&
'
(
'
�
�
'
#
)
*
+
�
�
�
!
�
$
"
�
%
&
'
(
'
�
�
'
#
)
*
+
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
�
!�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+���!�$"�%&'('��'#)*+��
!�����L������Q��
��
�K���O
� ������������������ ��//L���K�
�
������
�
��������
�
������L��
��O�������������P���X� ��L���J
��
�� �"J
��
���� �&
��'
(�K��)��
����� ��//��-��������L��������������
��
�����
��
���
��
�����
��
�����(
��n
D���/���������������LO
����
�����)L��������Q��
�� ��
����L��"����
���L�'�/���
��
�
����/�� �"(���
��� �D -E����)�� '
G��
�
/���+����������������
��
���� ��
�
������������
�����
�0=/-�������� �"J
��
���
�&
��'
!������
�����L�����O
�������O��
������
���
���
Q�N
/
�������/
�"J
��
���� �C������L'
^L��N
���
��
����� �)��
��L��/���
�
�����������+.��/����
��/
�����L��
������
O��
��
�����������+� �"J
��
���� �A+���'
H���/��
K
������L���
���/L������K�����
���)��K�������������/�� ��������������
O��
��
��/��
�"J
��
���� ������
'
!)��)��
���
�������/�� �.��
�
����+�L��������������������������L������������V3
�n"
�=
"
"J
��
���� �A+���'
H���/��
K��
��.���/���
O��
� ��
���������
�����
��������
�����
���
���
��
O��
�������
"(���
��� �(L)
��
'
(�K��)��
��
���K���
���
K
���/��������L���������
�����L������������������
�����
�
������������L��
��O������
�
K/����
��
������/����� �"J
��
���� �&
��'
E��)��/�� ���O����
� �� ���
����
����
��
� ��)��L� �/��+�
�
�� �O��L� � "J
��
���
�@/��+�
�
�'
������
O��
���������
�/����
�����
��
���
O��
������������.��/
�����
�� �K����
.�KL�/�����/��
/
O��
�� �K�����������L�����
�
� �"J
��
���� �A+���'
E���
�������
��
����
Q�N� �����������������������/��
O��
����� ��
���
�����������L�
����
����������
��������/���� �� ����� �"J
��
���� �&
��'
D^C-���K/��
/
O��
������Q���
���������L�����������L������
��������������
������� �
���
������
������� ��.����/ �"(���
��� �i��K
��'
D�K���
���L��
����)
�+�L��
���O�
��������Q��
�������������Q�-
K�.������
�� ������������
��L�� ��M���
� "J
��
���� � &
��R
B��/��
��� �*����M��� '
B�K�O�����
���+�L��������������-)��+���L������
���L�%�
�
�
�
�)��+��n���
��L��
��/�
�n
��/�
�% �"J
��
���� �&
��'
!����
���+�L��
������
.���� �����
O��
� ��/
���
�������)�K�
�
..�K�� ��
K��O����� �"J
��
���� �&
��'
�
�
�
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53630 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:49:45Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Баранов, В.В. 2014-01-25T12:51:16Z 2014-01-25T12:51:16Z 2005 Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами / В.В. Баранов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 42-46. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630 Показаны возможности повышения технологичности МОП-транзисторов, а также создания ДМОП-транзисторов с вертикальной структурой, перспективной для мощных полупроводниковых приборов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами Технологічні передумови створення МОН-структур з малими проектними нормами Technological prerequisites for manufacturing the MOS structures with layout of small dimensions Article published earlier |
| spellingShingle | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами Баранов, В.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_alt | Технологічні передумови створення МОН-структур з малими проектними нормами Technological prerequisites for manufacturing the MOS structures with layout of small dimensions |
| title_full | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_fullStr | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_full_unstemmed | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_short | Технологические предпосылки создания МОП-структур с малыми проектными нормами |
| title_sort | технологические предпосылки создания моп-структур с малыми проектными нормами |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53630 |
| work_keys_str_mv | AT baranovvv tehnologičeskiepredposylkisozdaniâmopstruktursmalymiproektnyminormami AT baranovvv tehnologíčníperedumovistvorennâmonstrukturzmalimiproektniminormami AT baranovvv technologicalprerequisitesformanufacturingthemosstructureswithlayoutofsmalldimensions |