Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53633 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53633 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Рогов, Р.В. Мельничук, С.В. Воробец, Г.И. 2014-01-25T13:00:41Z 2014-01-25T13:00:41Z 2005 Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53633 Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок Мережева система контролю технологічного процесу вирощування напівпровідникових кристалів і тонких плівок Network system for control of the technological process of the growth of semiconducting crystals and thin films Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| spellingShingle |
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок Рогов, Р.В. Мельничук, С.В. Воробец, Г.И. Технологические процессы и оборудование |
| title_short |
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_full |
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_fullStr |
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_full_unstemmed |
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_sort |
сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| author |
Рогов, Р.В. Мельничук, С.В. Воробец, Г.И. |
| author_facet |
Рогов, Р.В. Мельничук, С.В. Воробец, Г.И. |
| topic |
Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| publishDate |
2005 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Мережева система контролю технологічного процесу вирощування напівпровідникових кристалів і тонких плівок Network system for control of the technological process of the growth of semiconducting crystals and thin films |
| description |
Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53633 |
| citation_txt |
Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT rogovrv setevaâsistemakontrolâtehnologičeskogoprocessavyraŝivaniâpoluprovodnikovyhkristallovitonkihplenok AT melʹničuksv setevaâsistemakontrolâtehnologičeskogoprocessavyraŝivaniâpoluprovodnikovyhkristallovitonkihplenok AT vorobecgi setevaâsistemakontrolâtehnologičeskogoprocessavyraŝivaniâpoluprovodnikovyhkristallovitonkihplenok AT rogovrv mereževasistemakontrolûtehnologíčnogoprocesuviroŝuvannânapívprovídnikovihkristalívítonkihplívok AT melʹničuksv mereževasistemakontrolûtehnologíčnogoprocesuviroŝuvannânapívprovídnikovihkristalívítonkihplívok AT vorobecgi mereževasistemakontrolûtehnologíčnogoprocesuviroŝuvannânapívprovídnikovihkristalívítonkihplívok AT rogovrv networksystemforcontrolofthetechnologicalprocessofthegrowthofsemiconductingcrystalsandthinfilms AT melʹničuksv networksystemforcontrolofthetechnologicalprocessofthegrowthofsemiconductingcrystalsandthinfilms AT vorobecgi networksystemforcontrolofthetechnologicalprocessofthegrowthofsemiconductingcrystalsandthinfilms |
| first_indexed |
2025-12-01T11:17:45Z |
| last_indexed |
2025-12-01T11:17:45Z |
| _version_ |
1850860087473602560 |