Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок
Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53633 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859725617334845440 |
|---|---|
| author | Рогов, Р.В. Мельничук, С.В. Воробец, Г.И. |
| author_facet | Рогов, Р.В. Мельничук, С.В. Воробец, Г.И. |
| citation_txt | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса.
|
| first_indexed | 2025-12-01T11:17:45Z |
| format | Article |
| fulltext |
��
��������� �
����
����
����������������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��������������
��������
�
�
������ ����� �
������������������������
����
!"#$�$�%�����&�'%�� ��(��
��)
������������������������������������
������������������������������������
�������������� !�����"�����������#
������#���������������� ����$������� �
��������������������� ���������������
����������%�����������������&�����
*��
���+
,
-��
������&���.����-
���
,��-�/
�
��
�+��
����� ��
��
�
&� ���
���,��������
���
����������0
����.��
������.�������������
��.�
����
���
�������������������
����.&������'��/
����&�
�
��������
����
�
�����
-��
�������
��-��
�0����-
�����������
,
���.&�
�������&���&�������/
�� ����1
&��
���.��2
���
��345���������
-��
/
&
����0�������&
��
���,��
������������������
�/
�.��
�
�������������������
���6����6���
��������/
����!������
��6
�������������
��6
�������6)��
�/
���6,����
����,�
-�.��&��������
���,������
���
�
!7�
�1&�����8�����6�
� ���,����������
�
�
��&�/
�
+
��
�)���.��
����&�������.�����������
�� /
����
�����6�
����6,��&.���
&
-��
�� ���&�����
!����
��
��&
�����������
����)����
���������
-�/
�
���������.��-��6�������&
����
������'��
��&�/
1�����
���
�6�
��
���
-��
�&��,� ��,���
���
��/
1��2�������.�
�������
&
,��
��������
-��
� �������������/
�0���
&����'
�6����
��6
��,���-�� ����.&
�
,�
���/
�.���������������&��
,��
����������
����1
&�&
��0��.������6�.���������
-��
����������
�
���/
�
&
,��
���0��0��
�
�+��&��
���.������.������/
��&����������������9�����&������������
-��
������/
0��&��&�1���0.�6������������
�
�,���-�����
&��6��/
����������
���
���&����������2���
,�����
������
���
��6
���������
-��
���0:�
�����;�'��
������
,���-
����0���
&��
�
��6�����
�1�� ��
��
����� �
���-�����,��
�
&���
���� ���
-�.�������
��
����
�
����6�� �������������
��� �����
,���/
�������2��������&�� ����'��
��
��
����.�������/
��
-��
��,���-��
����.����'�
�����������2��
�
�����&.'����.���������
-��
���������
���� �/
��
����
���
��
�&���
��� ��
���
������6�� �����/
�����
� ��'��
���
�,������ ,���-
� �� ��&�26����/
��6�����������
-��
������
��������2���
,�������/
��
���,�
-�.���
��������
���������������������
"��6�����������0��.������������,��0��
������/
�����/��� ��&&�.������������
��6�����������
-�/
�
������
����,�����2�������&��
,
�����6��������
�
����6�� �����
,��������
�+��&
�����
�����
�/
�����-�.�� ����
���� ��� ������� ����
���
��<=>?�
@ABC>?��<=DC>?�
���������0�������.�������
����E��
�������
-��
������6��!�F)�&.����
&��&���
��6/
����
�+��&��
����/
�&&��
��
���������6���0��/
��-
���2����,�
&����,6������6�.���������
-�/
�
���0:�
����!� )����+
,
-��
�&��������
�������,/
��-������������� ��&&��/��������&���������-
�
�/
+��&��
���.���
������
,&����
��+
,
-��
����/
�
-
������ �
��������������������
��!GG)�
������/
���2
���
���������GG�
�� �
E�����1�������������
-��
������6�!������)���/
�����������
����
-��
��� ���&�� ,��,�.� 3��� ��� HH5�
�����
��
,������6�.��&����������������&.��������/
����*9(��I�1�.��&����6��
��-������
��6����!J)
*9(������������������1��
�����0:�
��&�!GF)�
���/
���6�.��� ��K
,
-��
���&����6���,��0��.���&��
�
���&.������������� ����
����.��
���&�������/
�.����-��������.��2
���
�������������
��.��
�
/
��������&�����&�7�
�1&����
���
��&�.���������
�������.���
��&�����
-��
��
������������
��.�
�����
�&�����&
����&
-��
� ��
�
�&� �������� �
����.���
��&����
�����#�����������������������/
�
���������
-��
&
��������
�&
������.��
���&/
��������.���������������2�����������&
��������/
����.&
�����������&
����0�,��&
��
�����������
���������6�.&
�
�&�6�����&
�!EI)�
I�&&����
���0��������
��
�EI�����
,������-�/
��,���������6�.��
�
�������������6�.��
����+���
34���5��E����&������
-��
�����'��
��,���-
����
&��6/
�� ����������
���F�������
�����������������#�����/
��&�����������
,��������,��0��
��GF��������,��-��/
�.���������������������������&��
,��
�� ������
�����&�L���,��0��
����� ��&&�� ���0����-��
��!E )
���
&����
������������ ��!�����.��
���)�
�����
�/
�
,
������� �� !&��'���
,�������
� ��� ��)� ������ �
FM�M9NO�F$F�M(N�I #�; JO
�MP# J Q$8MFI Q �E; "MFFN�9R;NS$9N#$O
E JGE; 9 �#$I 9RP�I;$F�NJJ 9�$�� #I$P�EJM# I
'��(��')*)(+����,��������-��(��./ 0���1�+
���,��������*�����()')2/3
G
��
����8�����
�
�����
����6�.����
����
����
&��T�
��K��6
��
-�
M/UVWXY� ZA?[\A?]^_C`�^Z�`V
F��������
*9(
J*9(
J*9(
GF
GF
�
$G
�
�
$G
�
�������
-��
��&����6
;
���4��K��
�
����6�������&���������
-��
������
a4
W
��5
W
b
a6
W
b
a4
W
b
a7
W
b
a4
W
��8
W
b
a9
W
��:
W
b
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��
��������� �
����
����
����������������
�0��������
���������
&
,��
������
���2
��
���������/
2
��+��
�
���
���&.�
$����6,��&.����������2��
���&�� �� �����������
���&
���
,�����������
��.���.��/
�����
,
���.����� ��&&
��/
�&.���� ������.��
���%;$K%�
%9;�%�345�-���
-�����'�������/
���.�����&��
,��
���������
�
� ��9��� ����������
���%;$K%
��1��������&���������,&�1/
����6���0��.����,�����������/
��&&���#����
�����
���
,���/
����������-����
,
�������1��/
��6��� � ���
-������6�����/
��&&
���&.��+��
�
����6/
�.�� ��1
&���
� ��������
�&
��,&�1����
���
�����
��
�&�/
��&��
-��
����0��0��
�
�+��&��
��G
�,���.����/
������
���������������
�
����6,����
���
�-�����
GF�&
��
������������;cF4dFeH��N�f�gh����
�
�
����� ����
&��2
���
��&����������.������� ���/�
+/
���.������0��,���������!N"E)����
1��
������ ��&/
&
���&.��0��
���&��
�!ijklB)�3H���5�
(���
�������.���
���������������2
�����GF�
�
��-����&��1������
�+��&��
���.������� ��.�
�
������a%
W
b�������-
���
����������&�������.��
��,�
-�.��,������������
-��
����-������&������/
�.������1�
�
�������
������
��&�.��
�&����������
/
1���
�
����.���
������a8
W
b������1��2
��������/
�
��,������
�
����
����������
��&����
�&������
�/
����6���
1��
���&���.���,��������-
��
�����.���./
��-�������
�������I������6������ ��&���
����
��/
�������2������������
�
�����
��������1
&���
�
/
-��
� �� �
��
�����
�� ���-
��� !�)� �� ������ ���/
��&&����������
��� ,��
�����������&��
�;cF/
��/
����������E���������� ���/�
+�������0��0��
����/
�.��&���
������0��,���������0�02���.���
+�����
&���
��a4
W
b�
�,���&
����������
���+��������
������/
�.��
,&����
������&��
���
��6����*9(��9�,��
�
/
&���
����,���-
�
������������-���.������.���0��/
0��.�������
�&� ������0��1��6�������0�
-��&�
m
�
��+
-��
�&��
��������
��6��&��
������
�������
/
�����6�������������
����������.������
������
��6����*9(��
��&�
�
+���� ��&���
���a4
W
b�������1
��&���
����0.�
�
a5
W
b�
���������������
��EI��G�������2
���
���.
��������a6
W
b������1���
�����
�
������
���������/
�� ���0&����
�+��&��
�
��
���.�
����
�
���/
������
���������
-��
&���������&�a7
W
b�� �����/
�����
���
��6����&�'
�����
����������������
����&
��1
&���K��
�
���������
��a7
W
b���'
+��������
EI�
���
����0���
&���
�������
���������GF��E����
�
+��/����� ������0��0��
���GF���
�������������
�����
���6�.�������������!$G)�
�&����
,&.�� ��
�
������ ��&&
������.������������
��
�
������/
1��
��a:
W
��9
W
b�!�
���4)�
F�������.��������+��
�
�����������
�����,
��
�����6�.&
��0:�
��&
��
���&.�-���,����
+��
��.�
*9(n��0������0��0��
�
�������
������.���
����.�
�����������������6�.���������
-��
����������
n
���
�����
�������0.�
������
�����2
�������
n����/
��
��
�����
����0.�
�����
���&�n�
����������0���/
�����0����
����
+��
��.��&�'
��
���
��6�.���
/
�
�����,
�
F���
������������� ����� ��&&�� ���0����-��
�
!E )���
�,��������������
G�����6������.������
���
��o�����+��
�
����6/
�.��&����6��������,��-���.����������
���
����
�
/
����&
��������������.&������.&������
���&�o�><j�
gjp�
�����;���
,��
��
�1�� �������
������������/
����������
��������6����0
0�
���
��
��&
-��
� �
���
��-��
��!+��&����q�rss)��
���������
����
��/
�����
���� ��&&��&���0����-��
����������������/
����
�tX`A/WC����
������������,�������
����6,�/
���6�����������-
���,�.�������.�������
��.�0�,���/
��
�&�
���
���� ��E ������
1���0����-
�����
0/
���6�������
�
�����
�
�����1
���
������ ���
�
I��&����� �������,�������
����6,����6���
�-�����
������������-
�����.�����
,���6�.��
����.����/
,
���
��-����0.-�.��iu_?\C?u/���
��������������0�/
���
��
�
����.&�o�������1
��
����0��.�����������
�
�����
����
-
��&��������������������-���
�
(����6��0��0��
�����.���.�����������������/
�
����������������
������.���
����.��������
��/
�����&�1����������&�
���
��6�.&
�&�����&
��
�/
��&.����������������.������
���
���E��
��6
�����/
����-������������
+
�
�����6�������,&�1�.���E�
���������������
����0������������� ��EI���,��0�/
������� ��&&�.�������������� �����������������0��
�����1�.���� ��
�&
-��
���,.
����,�����2
��,�/
��� ��&&
�����6�������
�����������������������.�
��0.�
���F�����������
��
��������&��������
���
��/
�
��������&������.����� ��&&�����0.�
��
����'���/
�.���
����
���F���vw��������0.�
�����
x�
������
+
��
����������������-
�����.����,��/
0����������
����.��
� ���������>yj�!>?^_C[X[AW^VX
y?uz[\{�j\[u[^[X)��
����.��
����6,���� �����
��.
������������.���,�
&�������
��� �����������������/
0�����0���
�&�����������,��-���.������
����������/
��&�������������
���������
-��
��&�������
��0/
&����
�+��&��
���&�1����
&
�
�����������*9(�
E�
����0���
&���
�+
�
������.����0���
�&����>yj�
��
��
�
�����
���
��� ��������6�
���
�&������.��
��0��1��
�
�+��&��
(����6
��������
�
E�� ��&&�.�
����������
w�����
��0.�
�� ���
(����6
��������
�
�+��&��
(����6� �0��0��
����.�
G�����6� �����.�� ����
���
�
><j gjp
������������������
E�� ��&&���� ����
;
��� ���F���
������� ���&����� ��&&�� �� �0����-��
�� �������
�H
��������� �
����
����
����������������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
������-������.���,����������0/
���1
���
���
��������,
�
�����
&�1���������
�6�����
+
-�/
�
&
�
�&����&
���,��
�
&�/
��
�����
����E��+
,
-��
�����/
��
,��
����
���
������������/
&���
�+��&��
�
���������
1�
��,&�1�����,��0��
�������.�
�����������-�����,���
�������/
&�����������6�
�&&��
��
��/
�.&
������&
�EI�!sj>��<lB�
|g})�-���,����6�
#�� �������� ��
��6���
*9(����,��
�
&���
����,���-
��������
��
��0��0��
����/
�.�������
,��
������� �����/
��
�����0����-
�������������/
����E �
m
�
���,��0�����.�
0
0�
���
� �
��&
-��
� �
���
��-��
���
����.������
/
,���������
���>yj����������
����������� �������� �������/
�����*�����,�������0�,�,��-
/
���6�.��
,&����
�� �� ��2�/
�����2�&���� ��&&��&��0��/
��-��
��������
-��
����������
����������6�����.�
���������������,��0��
����� ��&&�� ���0����-��
�����
��
��������������
-��
����������
�������0����,��/
�
��&����
���� ��&&
�����
�������
�����������-
����.���F�������������������� ��&������ ��&&���
�0����-��
���������������������,��
�
&.&�����
����0/
���1
���&� ���������
-��
� ���0��������
��
9
,���6���������������
����,��6����������������
����
,����������������
�������������6,�������&�+��&�
��
����6,����
�&��������
��0:�
���/��
���
�����/
�� ������
,��
�����
�
�����
��3d5��F�2����������,/
&�1����6�����&������
��&
�
,&����
��
�1�� �
����&����� �������
-��
� �����������
�
���0.�
�
���
������
1���������&�����������������
������.���
�0�02����&��
������
����0.-�� �����6�����������
�
!����� �)�� I��+
��
�����
�� �
���� ��
����+����
���6,�����������
����
����������&��&���1
&����
�
�
��
,��
������6�.��&��������
���&.�
9��
���&����
1��������&���������
&����
���0/
��0��
��
���
�+��&��
����������
-��
�����/
��������������
��6��������.�������0���1
���2� �
�����������9�
�-������
���-�
���
����
�����&�1/
���
����6,����6����������.������� ��.��
�
��
+��/
�.���
���
�&��.�
�
�~i}/
�&��.���������
���&.�
���
��6�.&�*9(�-���,�|g}/������ ���
������
�/
���6,����
���
���
�+��&��
�������������������/
�
�����0���
&����,��0����6�����
+
-��
���
������
/
����6����E ���0����-
���2��������,�����
��
�
���/
�
+
��
��
,�0��1��
��
���
���
����'��
��
*
����
&�����6����&����
�����
�� ���������/
��� ��&&�� ���0����-��
�������������
-��
������
����������
�
���/�������� ������������
�
����6,�/
���
�������������
-��
���0:�
������
�,������/
�����-��������1����6���0��.��
���&.�
�,��-
���6/
�����&��6'��
��������&
���
�
��������
��������/
�
������&����&
��������
-��
� ������������9��&�
��,��0��
�;<����������/��� ��&&�� ���0����-��
�
�������� ���������
-��
� ��&��������
��-��&� �
���
���&�����
0�
,
���6����0�������������
����6/
����02�&��
��
-������&�������=����
���&�Y�;
<
≈4m=�
G&��6'��
��������&
���
��E��0����-
��������&��6/
'��
�&�
��
-�������0���1
���2� ������������
$����6,��&���&����6��������
-��
������
�
���
/
������6�.���������
���,���
����� ��&&�� ���0��/
��-��
����,�������,��-
���6�����
���
�6����
����/
�
�
�����
��
������
��
���&���
�
,&����
�
��+
/
����
����
�
����
��-��
������������.���������/
-��
��&��������E�
&����
����,�
-�.�������.�
�����
�����
���,��0�����.���
��&
-��
��0
0�
�/
��
���,�����������
,����6����
,���6����
��+
���/
�
���������
-��
������
�
�
����6,����6���
�-�����
����������,
���2������2
���������
��������/
�
����
��6�.���������8
���������
��!�������
-��
�
&������)����
����
�
-��
����� ���
-��������
��6
�
���������
������������������0����
�&
����������.�
�����.�� �������
���E�����1���.�������
���>yj
!>?^_C[X[AW^VX�y?uz[\{�j\[u[^[X)�,��-
���6�������2���
���������0��0��
�
���������
�����.��
����.'���
���
,���
���6����6��
���&.�
$FE J�� 9N##RM�$F� 8#$I$
4��;����
��c��(���9���0��6�Q��c���9���0��6� ��c���������I�����/
����
�����������&��������
&
���1
&�&
��
��2���������������/
����
��
�������
����0�,�� �}B�j<� m�(��/�
� �p�(�1�����
��+�
%K�,
�� �� ������� ������
�������
%�����4�o�c����/K���
���6
Y
(�����#9�������o�F���ho�f�
��� �
+���9��N��� �
+���Q��#��I�&�6�����.�����
��E�
��
/
�.���������
�������
��.�o�FE0�Y�E
����������
���9���0��6�Q��c���9���0��6� ��c���9���������F��J���Q������E��(�
E�
������ ���� ����&��
,����� ���
-�
�� ������1��6� 0������
�
����
���� ��� ������� ������������
��
�� �����
�N�9d��N�9�� mm
9���
�I
���6
� �� ����� ��/��� �&������������-��
���K�,
��o
���H�o���d�o�F��H�oH��
H��������6��I��;�</&
��
���������.��E��
�
����
&���/
�
��o�(�Y��(I�E�����������
��� Q���0����(��F���I
�
-��
����N��9��(
��
���������.
��kY���������� ��
����1��&��o�(�Y�F����/E���������H�
d��7�-�Q�� 0:�
���/��
���
������.������
,�
�����
�
����/
�
������
&���&
���
��1��
�����F���o�(�Y�7
��&�������
;
������E��6����������
�
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53633 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T11:17:45Z |
| publishDate | 2005 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Рогов, Р.В. Мельничук, С.В. Воробец, Г.И. 2014-01-25T13:00:41Z 2014-01-25T13:00:41Z 2005 Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53633 Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок Мережева система контролю технологічного процесу вирощування напівпровідникових кристалів і тонких плівок Network system for control of the technological process of the growth of semiconducting crystals and thin films Article published earlier |
| spellingShingle | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок Рогов, Р.В. Мельничук, С.В. Воробец, Г.И. Технологические процессы и оборудование |
| title | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_alt | Мережева система контролю технологічного процесу вирощування напівпровідникових кристалів і тонких плівок Network system for control of the technological process of the growth of semiconducting crystals and thin films |
| title_full | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_fullStr | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_full_unstemmed | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_short | Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| title_sort | сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53633 |
| work_keys_str_mv | AT rogovrv setevaâsistemakontrolâtehnologičeskogoprocessavyraŝivaniâpoluprovodnikovyhkristallovitonkihplenok AT melʹničuksv setevaâsistemakontrolâtehnologičeskogoprocessavyraŝivaniâpoluprovodnikovyhkristallovitonkihplenok AT vorobecgi setevaâsistemakontrolâtehnologičeskogoprocessavyraŝivaniâpoluprovodnikovyhkristallovitonkihplenok AT rogovrv mereževasistemakontrolûtehnologíčnogoprocesuviroŝuvannânapívprovídnikovihkristalívítonkihplívok AT melʹničuksv mereževasistemakontrolûtehnologíčnogoprocesuviroŝuvannânapívprovídnikovihkristalívítonkihplívok AT vorobecgi mereževasistemakontrolûtehnologíčnogoprocesuviroŝuvannânapívprovídnikovihkristalívítonkihplívok AT rogovrv networksystemforcontrolofthetechnologicalprocessofthegrowthofsemiconductingcrystalsandthinfilms AT melʹničuksv networksystemforcontrolofthetechnologicalprocessofthegrowthofsemiconductingcrystalsandthinfilms AT vorobecgi networksystemforcontrolofthetechnologicalprocessofthegrowthofsemiconductingcrystalsandthinfilms |