Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок

• Date: 2005
• Main Authors: Рогов, Р.В., Мельничук, С.В., Воробец, Г.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
• Series: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Subjects: Технологические процессы и оборудование
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53633
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Сетевая система контроля технологического процесса выращивания полупроводниковых кристаллов и тонких пленок / Р.В. Рогов, С.В. Мельничук, Г.И. Воробец // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 5. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Экспериментальное моделирование аппаратно-программного обеспечения показало достаточную надежность работы системы и значительное уменьшение трудоемкости контроля и управления параметрами технологического процесса....