Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe
Предложен интеллектуальный датчик для измерения давления и температуры с коррекцией характеристик кремниевых измерительных тензорезисторов по температуре.
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53678 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe / А.А. Дружинин, И.П. Островский, С.М. Матвиенко, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 24-26. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |