Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2005
• Main Authors: Дружинин, А.А., Островский, И.П., Матвиенко, С.М., Вуйцик, А.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
• Subjects: Сенсоэлектроника. Датчики
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53678
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe / А.А. Дружинин, И.П. Островский, С.М. Матвиенко, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 6. — С. 24-26. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Предложен интеллектуальный датчик для измерения давления и температуры с коррекцией характеристик кремниевых измерительных тензорезисторов по температуре.