Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии

Показана возможность создания экологически чистого производства печатных плат и гибридных гибких ИС без необходимости возведения очистных сооружений.

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2004
Main Authors: Скубилин, М.Д., Письменов, А.В., Гусев, Б.А
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53799
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии / М.Д. Скубилин, А.В. Письменов, Б.А Гусев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 2. — С. 46-51. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859594841348898816
author Скубилин, М.Д.
Письменов, А.В.
Гусев, Б.А
author_facet Скубилин, М.Д.
Письменов, А.В.
Гусев, Б.А
citation_txt Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии / М.Д. Скубилин, А.В. Письменов, Б.А Гусев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 2. — С. 46-51. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Показана возможность создания экологически чистого производства печатных плат и гибридных гибких ИС без необходимости возведения очистных сооружений.
first_indexed 2025-11-27T19:30:31Z
format Article
fulltext 46 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2004, ¹ 2 Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 29.12 2003 ã. � 09.02 2004 ã. Îïïîíåíò ä-ð Î. ÃÈËÅÍÅ (Èíñòèòóò õèìèè, ã. Âèëüíþñ) Ê. ò. í. Ì. Ä. ÑÊÓÁÈËÈÍ, ê. ò. í. À. Â. ÏÈÑÜÌÅÍÎÂ, ê. ò. í. Á. À. ÃÓÑÅ Ðîññèÿ, ã. Òàãàíðîã, Òàãàíðîãñêèé ãîñ. ðàäèîòåõíè÷åñêèé óíèâåðñèòåò, ÍÈÈ ñâÿçè E-mail: scubilin@hotbox.ru ÏÐÎÁËÅÌÛ ÐÅÑÓÐÑÎÑÁÅÐÅÆÅÍÈß È ÝÊÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÉ ÁÅÇÎÏÀÑÍÎÑÒÈ Â ÃÀËÜÂÀÍÎÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ Ïîêàçàíà âîçìîæíîñòü ñîçäàíèÿ ýêîëî- ãè÷åñêè ÷èñòîãî ïðîèçâîäñòâà ïå÷àò- íûõ ïëàò è ãèáðèäíûõ ãèáêèõ ÈÑ áåç íå- îáõîäèìîñòè âîçâåäåíèÿ î÷èñòíûõ ñî- îðóæåíèé.  ãàëüâàíè÷åñêîì ïðîèçâîäñòâå ñ óñòàðåâøåé òåõ- íîëîãèåé â ðàñ÷åòå íà 1 ì2 ïîêðûòèÿ òåðÿåòñÿ îò 0,2 äî 2 ã öâåòíûõ ìåòàëëîâ, ìíîãèå èç êîòîðûõ ñòàëè äåôèöèòíûìè âî âñåì ìèðå. Ïîòåðè ìåòàëëà ñ ïðî- ìûâíûìè âîäàìè ñîèçìåðèìû ñ ðàñõîäîì ìåòàëëà íà ïîêðûòèå, à â ñëó÷àå èñïîëüçîâàíèÿ õðîìà ïðåâûøà- þò åãî â 5�8 ðàç. Òîëüêî â ïðîìûøëåííîñòè íûíåø- íåãî ÑÍà åæåãîäíî ñáðàñûâàëîñü îêîëî 3 êì3 ñòî÷- íûõ âîä, ñîäåðæàùèõ áîëåå 5000 òîíí ìåòàëëîâ [1]. Ãàëüâàíè÷åñêîå ïðîèçâîäñòâî â ýëåêòðîííîì ïðè- áîðîñòðîåíèè ïðîäîëæàåò îñòàâàòüñÿ îäíèì èç îñ- íîâíûõ èñòî÷íèêîâ çàãðÿçíåíèÿ îêðóæàþùåé ñðåäû òîêñè÷íûìè ñîåäèíåíèÿìè ðàçëè÷íûõ ìåòàëëîâ, ÷òî ïðåäñòàâëÿåòñÿ íåäîïóñòèìûì ñ ýêîëîãè÷åñêîé òî÷- êè çðåíèÿ è íåðàöèîíàëüíûì ñ òî÷êè çðåíèÿ ðåñóð- ñîñáåðåæåíèÿ.  ÷àñòíîñòè, ôîëüãèðîâàííûå ïîäëîæêè èç ãåòè- íàêñà è ñòåêëîòåêñòîëèòà äëÿ ïå÷àòíûõ ïëàò (ÏÏ) èìåþò ñëîé ìåäè òîëùèíîé 20�50 ìêì. Íà êîíå÷- íîì ýòàïå èçãîòîâëåíèÿ ÏÏ ïðîâîäíèêè è êîíòàêòíûå ïëîùàäêè çàíèìàþò íå áîëåå 25�30% ïîâåðõíîñòè, à 70�75% ìåòàëëà ïåðåõîäèò â ðàñòâîð â âèäå õèìè- ÷åñêèõ îòõîäîâ.  ïåðâîì ïðèáëèæåíèè ýòî ñîñòàâ- ëÿåò 0,5�1,0 êã ñ 1 ì2 ïîâåðõíîñòè. Ñþäà ñëåäóåò äîáàâèòü îòõîäû îò õèìè÷åñêîé ìåòàëëèçàöèè îòâåð- ñòèé â æåñòêèõ ïëàòàõ (èëè îòõîäû îò õèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ ïîëèèìèäà â ãèáêèõ ïëàòàõ). Ê òîìó æå â òðàâèëüíûõ öåõàõ îáðàçóþòñÿ è âðåä- íûå âåùåñòâà. Áîëüøàÿ ÷àñòü ðàñòâîðîâ äëÿ òðàâëå- íèÿ ÏÏ ÿâëÿåòñÿ îïàñíîé äëÿ îêðóæàþùåé ñðåäû. Ñ îäíîé ñòîðîíû, ïðè ïðèãîòîâëåíèè ðàñòâîðîâ è èõ èñïîëüçîâàíèè âûäåëÿþòñÿ âðåäíûå ãàçû (íàïðèìåð, àììèàê èç ùåëî÷íûõ ðàñòâîðîâ), ñ äðóãîé ñòîðîíû, îòðàáîòàííûå òðàâèëüíûå ðàñòâîðû, ïîïàäàÿ â ñòî÷- íûå âîäû, ìîãóò çíà÷èòåëüíî óâåëè÷èòü êîíöåíòðà- öèþ òîêñèêàíòîâ â ñòîêàõ. Óñèëèÿ ðàçðàáîò÷èêîâ ñîâðåìåííûõ òåõíîëîãèé òðàâëåíèÿ ïëàò ïå÷àòíîãî ìîíòàæà íàïðàâëåíû íà óâåëè÷åíèå ýêîëîãè÷åñêîé ÷èñòîòû ïðîöåññîâ òðàâ- ëåíèÿ ñ ðåãåíåðàöèåé îòðàáîòàííûõ ðàñòâîðîâ. Ñ ýòîé òî÷êè çðåíèÿ, êàê ïîêàçûâàåò îïûò, íàèáîëåå ïðèãîä- íû õëîðíî-æåëåçíûå è õëîðíî-ìåäíûå ðàñòâîðû. Ñóùåñòâóþò ñïîñîáû, ïî êîòîðûì ðåãåíåðàöèÿ ìî- æåò ïðîèñõîäèòü êàê ïåðèîäè÷åñêè, òàê è â ðåöèêëå ñ ïðîöåññîì òðàâëåíèÿ ÏÏ [2]. Äëÿ ñîçäàíèÿ ìàëîîòõîäíîãî ãàëüâàíè÷åñêîãî ïðîèçâîäñòâà òðåáóåòñÿ çíà÷èòåëüíîå èçìåíå- íèå òåõíîëîãèé òðàâëåíèÿ ïîâåðõíîñòè è íàíåñåíèÿ ãàëüâàíîïîêðûòèé, îðãàíèçàöèÿ ðàöèîíàëüíîé ñèñòå- ìû âîäîïîòðåáëåíèÿ è ðàçðàáîòêà âûñîêîýôôåêòèâ- íûõ ìåòîäîâ ëîêàëüíîé î÷èñòêè. Ïðåäïî÷òèòåëüíû òåõ- íîëîãè÷åñêèå ìåòîäû, ïðè êîòîðûõ äîñòèãàåòñÿ ìèíè- ìàëüíûé ðàñõîä ðåàãåíòîâ, ìàêñèìàëüíûå ýôôåêò î÷è- ñòêè, âîçâðàò âîäû è ìåòàëëà â ïðîèçâîäñòâî.  ðåçóëüòàòå õèìè÷åñêèõ ìåòîäîâ â âèäå îòõîäîâ âûäåëÿþòñÿ îñàäêè, ñîäåðæàùèå òîêñè÷íûå òÿæåëûå ìåòàëëû. Íåðàñòâîðèìûå øëàìû-îòõîäû ãàëüâàíè÷å- ñêîãî ïðîèçâîäñòâà ìîãóò óòèëèçèðîâàòüñÿ â ñòðîè- òåëüíûõ ìàòåðèàëàõ (êèðïè÷, àñôàëüòî-áåòîííûå ñìå- ñè, ÷åðåïèöà, ïèãìåíòû äëÿ ïðèãîòîâëåíèÿ êðàñîê è ò. ï.). Îäíàêî òÿæåëûå ìåòàëëû ñïîñîáíû âûìûâàòü- ñÿ èç ïîëó÷åííûõ ñòðîèòåëüíûõ ïðîäóêòîâ è çàãðÿç- íÿòü îêðóæàþùóþ ñðåäó [3]. Äëÿ ïîëíîãî è ðàöèîíàëüíîãî èñïîëüçîâàíèÿ âîäû â ïðîöåññàõ òðàâëåíèÿ ïðèåìëåìû ìåòîäû ðå- àãåíòíîé î÷èñòêè (â ò. ÷. ñ èñïîëüçîâàíèåì ôëîêó- ëÿíòîâ), ôëîòàöèè, îòñòàèâàíèÿ, ôèëüòðàöèè, ñîðá- öèè, èîííîãî îáìåíà, ãàëüâàíîêîàãóëÿöèè. Ñïîñîá îòëè÷àåòñÿ óíèâåðñàëüíîñòüþ, íàäåæíîñòüþ, ïîâû- øåíèåì ñòåïåíè î÷èñòêè, ñóùåñòâåííûì ñîêðàùå- íèåì ýíåðãîçàòðàò è çàòðàò ðåàãåíòîâ, óïðîùåíèåì òåõíè÷åñêîãî îáñëóæèâàíèÿ; ïîâûøåíèåì ýôôåêòèâ- íîñòè ðàáîòû ðåàãåíòíîé ñõåìû î÷èñòêè ñòî÷íûõ âîä ãàëüâàíè÷åñêîãî ïðîèçâîäñòâà ïóòåì ââåäåíèÿ â îá- ðàáàòûâàåìûå ñòîêè ðàñòâîðà àíèîííîãî ôëîêóëÿí- òà, ÷òî ïîçâîëÿåò óìåíüøèòü îñòàòî÷íûå êîíöåíòðà- öèè òÿæåëûõ ìåòàëëîâ â 2�20 ðàç; óïðîùåíèåì òåõ- íîëîãèè è îáîðóäîâàíèÿ äëÿ ìåõàíè÷åñêîãî îáåç- âîæèâàíèÿ îñàäêîâ, îáðàçóþùèõñÿ ïðè î÷èñòêå ñòî÷íûõ âîä ãàëüâàíè÷åñêèõ ïðîèçâîäñòâ, ñ öåëüþ óìåíüøåíèÿ èõ îáúåìîâ â 7�30 ðàç. Îäíèì èç ïåðñïåêòèâíûõ ìåòîäîâ ïåðåðàáîòêè ãàëüâàíè÷åñêèõ ñòîêîâ, îáåñïå÷èâàþùèõ ïîëíîñòüþ çàìêíóòûé öèêë âîäîïîòðåáëåíèÿ è èñêëþ÷àþùèé ïîïàäàíèå ñòîêîâ â ïðèðîäíûå âîäîåìû, ÿâëÿåòñÿ óïàðèâàíèå ñòîêîâ ñ ïîëó÷åíèåì âûñîêîêà÷åñòâåí- íîãî äèñòèëëÿòà, âîçâðàùàåìîãî â ïðîèçâîäñòâî, è âûñîêîêîíöåíòðèðîâàííûõ ðàñòâîðîâ èëè øëàìîâ, íàïðàâëÿåìûõ íà óòèëèçàöèþ ëèáî õðàíåíèå. Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2004, ¹ 2 47 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ Ìíîãîëåòíÿÿ ýêñïëóàòàöèÿ âûïàðíûõ óñòàíîâîê äîêàçàëà èõ âûñîêóþ íàäåæíîñòü, ýêîëîãè÷åñêóþ áåç- îïàñíîñòü è ýêîíîìè÷åñêóþ ýôôåêòèâíîñòü. Îäíàêî ïðèìåíÿþùèåñÿ âûïàðíûå àïïàðàòû ñ åñòåñòâåííîé èëè ïðèíóäèòåëüíîé öèðêóëÿöèåé ìîðàëüíî óñòàðåëè è íå ìîãóò áûòü ðåêîìåíäîâàíû äëÿ ñîçäàíèÿ íîâûõ èëè ðåêîíñòðóêöèè ðàíåå èçãîòîâëåííûõ óñòàíîâîê [4]. Íàèáîëåå ýôôåêòèâíûì íàïðàâëåíèåì â ïåðåðà- áîòêå õèìè÷åñêè çàãðÿçíåííûõ ñòîêîâ è ñíèæåíèè òåõíîãåííîé íàãðóçêè íà ïðèðîäíûå âîäîåìû â íà- ñòîÿùåå âðåìÿ ÿâëÿåòñÿ ñîçäàíèå ëîêàëüíûõ çàìê- íóòûõ ñèñòåì âîäîïîòðåáëåíèÿ íà îñíîâå ãèáêèõ òåõ- íîëîãè÷åñêèõ ïðèáîðîâ è àïïàðàòîâ (ÃÒÏÀ).  ñðàâíåíèè ñ øèðîêî ïðèìåíÿåìûìè âûïàðíû- ìè àïïàðàòàìè ñ åñòåñòâåííîé èëè ïðèíóäèòåëüíîé öèðêóëÿöèåé, ÃÒÏÀ îáëàäàþò ðÿäîì ñóùåñòâåííûõ ïðåèìóùåñòâ: âñëåäñòâèå áîëåå âûñîêîãî êîýôôè- öèåíòà òåïëîïåðåäà÷è â 1,6�3 ðàçà óìåíüøàåòñÿ òåï- ëîïåðåäàþùàÿ ïîâåðõíîñòü, à ñëåäîâàòåëüíî, ìåòàë- ëîåìêîñòü è ñòîèìîñòü àïïàðàòà; â 1,5�2 ðàçà ñíè- æàþòñÿ óäåëüíûå ýíåðãîçàòðàòû, ÷òî îáúÿñíÿåòñÿ âîç- ìîæíîñòüþ áîëåå ýôôåêòèâíîãî èñïîëüçîâàíèÿ ïî- ëåçíîé ðàçíîñòè òåìïåðàòóð; àïïàðàòû â çíà÷èòåëüíî ìåíüøåé ñòåïåíè ñêëîííû ê îáðàçîâàíèþ íàêèïè íà òåïëîîáìåííûõ ïîâåðõíîñòÿõ è âñïåíèâàíèþ ïåðå- ðàáàòûâàåìûõ ðàñòâîðîâ; îíè êîìïàêòíû è ëåãêî âïè- ñûâàþòñÿ â ñóùåñòâóþùèå ïðîèçâîäñòâåííûå ïîìå- ùåíèÿ; âîçìîæíî èçãîòîâëåíèå ýêîíîìè÷åñêè ýôôåê- òèâíûõ àïïàðàòîâ ìàëîé è ñðåäíåé ïðîèçâîäèòåëüíî- ñòè; àïïàðàòû ïðîñòû â èçãîòîâëåíèè è íàäåæíû â ýêñïëóàòàöèè; èõ ìàëàÿ èíåðöèîííîñòü îáóñëîâëåíà íåçíà÷èòåëüíûì îáúåìîì íàõîäÿùåéñÿ â íèõ æèäêî- ñòè, ÷òî çíà÷èòåëüíî îáëåã÷àåò àâòîìàòè÷åñêîå ðåãó- ëèðîâàíèå è óïðàâëåíèå òåõíîëîãè÷åñêèì ïðîöåññîì, ìíîãîêðàòíî ñîêðàùàåò âðåìÿ çàïóñêà óñòàíîâêè; îíè ìîãóò ýôôåêòèâíî ýêñïëóàòèðîâàòüñÿ êàê â íåïðåðûâ- íîì, òàê è â ïåðèîäè÷åñêîì ðåæèìàõ è îáåñïå÷èâà- þò âîçìîæíîñòü ïîñëåäîâàòåëüíîé ïåðåðàáîòêè ðàç- ëè÷íûõ ðàñòâîðîâ. Ïðèíöèïèàëüíî âàæíîé ÿâëÿåòñÿ âîçìîæíîñòü èñ- ïîëüçîâàíèÿ ÃÒÏÀ ìàëîé è ñðåäíåé ïðîèçâîäèòåëüíî- ñòè äëÿ ñîçäàíèÿ ëîêàëüíûõ óñòàíîâîê äëÿ óïàðêè îò- ðàáîòàííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ðàñòâîðîâ (ñòîêîâ) ïî ìåñòó èõ îáðàçîâàíèÿ. Óêàçàííàÿ òåõíîëîãèÿ ÿâëÿåòñÿ óäà÷íûì ïðèìåðîì ëîêàëüíîé çàìêíóòîé ñèñòåìû âî- äîïîòðåáëåíèÿ, êîòîðàÿ, â îòëè÷èå îò îáùåçàâîäñêèõ çàìêíóòûõ ñèñòåì, ïîçâîëÿåò ýôôåêòèâíî èñïîëüçîâàòü äàæå òå êîìïîíåíòû, êîòîðûå îáû÷íî â âèäå òîêñè÷íûõ òâåðäûõ îòõîäîâ çàãðÿçíÿþò îêðóæàþùóþ ñðåäó. Ñ öåëüþ âîçâðàòà êèñëîò â òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ òðàâëåíèÿ ðàçðàáîòàíû òåõíîëîãèè, ïîçâîëÿþùèå ðåãåíåðèðîâàòü îòðàáîòàííûå ñåðíîêèñ- ëîòíûå (ñîëÿíîêèñëîòíûå) è àçîòíî-ïëàâèêîâûå òðà- âèëüíûå ðàñòâîðû è óòèëèçèðîâàòü ïîëó÷àåìûé â ðå- çóëüòàòå ðåãåíåðàöèè îêñèä æåëåçà. Ñòåïåíü ðåãåíå- ðàöèè àçîòíîé êèñëîòû äîñòèãàåò 99,5%, ïëàâèêîâîé � 99,9%, ñåðíîé � 99,6%. Ïðè ýòîì â ïðîöåññå òåðìè÷åñêîãî ãèäðîëèçà (ïèðîãèäðîëèç) ñìåñè îòðà- áîòàííûõ òðàâèëüíûõ ðàñòâîðîâ âûñâîáîæäàþòñÿ íå òîëüêî ñâîáîäíûå, íî è ñâÿçàííûå (èç ñîëåé) êèñëî- òû; ïðîöåññ ðåãåíåðàöèè ïðîòåêàåò â íàïðàâëåíèè, îá- ðàòíîì ïðîöåññó òðàâëåíèÿ ìåòàëëà. Ïðè îïðåäåëåííîé êîíöåíòðàöèè èîíîâ âîäîðîäà è òåìïåðàòóðå îáðàáîòêè îïòèìèçèðóþòñÿ ñêîðîñòè ðàçëîæåíèÿ ñîëåé, îòãîíêè ïàðîâ è èõ êîíäåíñàöèè ñ ïîëó÷åíèåì èñõîäíûõ ðàñòâîðîâ êèñëîò. Ýòî ïîçâî- ëÿåò îñóùåñòâëÿòü íåïðåðûâíûé ïðîöåññ ðåãåíåðà- öèè êèñëîò è ïðàêòè÷åñêè ïîëíîñòüþ âîçâðàùàòü êèñ- ëîòû (àçîòíóþ, ñåðíóþ, ïëàâèêîâóþ), çàòðà÷åííûå íà òðàâëåíèå ìåòàëëè÷åñêèõ èçäåëèé, â òðàâèëüíûå ëè- íèè, à òàêæå óòèëèçèðîâàòü äðóãèå ïðîäóêòû ðåãå- íåðàöèè (îêñèäû ìåòàëëîâ). Òàê, óæå îòðàáîòàí ïðî- öåññ òðàâëåíèÿ ïå÷àòíûõ ïëàò, êîòîðûé ñâîáîäåí îò ïðîáëåì, ñâÿçàííûõ ñ îáðàçîâàíèåì áîëüøîãî êîëè- ÷åñòâà îòõîäîâ è âîçíèêíîâåíèåì â ïðîöåññå òðàâëå- íèÿ îïàñíûõ è ñëîæíûõ, ñ òî÷êè çðåíèÿ óòèëèçàöèè, ñîåäèíåíèé. Çäåñü òðàâÿùèé ðàñòâîð ðåãåíåðèðóåòñÿ ïðàêòè÷åñêè áåñêîíå÷íî � îäèí ðàñòâîð ìîæåò ðàáî- òàòü â òðàâèëüíîé ìàøèíå äî òðåõ ëåò (ñì. ðèñ. 1 [5]). Ïðîöåññ ðåãåíåðàöèè òðàâÿùåãî ðàñòâîðà ðåàëè- çóåòñÿ íà óñòàíîâêå EZ-3000. Îí âêëþ÷àåò äâà ýòàïà: íà ïåðâîì ýòàïå ïðîèñõîäèò ïîñòîÿííîå âîññòàíîâ- ëåíèå òðàâèëüíîãî ðàñòâîðà (ðåãåíåðàöèÿ I), íà âòî- ðîì ýòàïå ïðîèñõîäèò ýëåêòðîëèòè÷åñêîå âîññòàíîâ- ëåíèå ìåäè èç îòðàáîòàííîãî òðàâèëüíîãî ðàñòâîðà (ðåãåíåðàöèÿ II). Íà ýòàïå «ðåãåíåðàöèÿ I» ïðîèñõîäèò õèìè÷åñêèé ïðîöåññ âîññòàíîâëåíèÿ äâóõâàëåíòíîãî òåòðààìèíî- âîãî êîìïëåêñà ìåäè äî îäíîâàëåíòíîãî. Ìåòàëëè- ÷åñêàÿ ìåäü îêèñëÿåòñÿ è ðàñòâîðÿåòñÿ â ùåëî÷íîì ðàñòâîðå. Îäíîâàëåíòíûå èîíû ìåäè áëàãîäàðÿ ïî- äà÷å êèñëîðîäà ïðîõîäÿò ïðîöåññ ïîâòîðíîãî îêèñ- ëåíèÿ äî äâóõâàëåíòíûõ èîíîâ ìåäè, ÷òî ïîçâîëÿåò èñïîëüçîâàòü îòíîñèòåëüíî íåáîëüøîå êîëè÷åñòâî òðàâèëüíîãî ðàñòâîðà â çàìêíóòîì öèêëå. Íåîáõîäèìûé äëÿ ïðîöåññà îêèñëåíèÿ êèñëîðîä íàãíåòàåòñÿ â òðàâèëüíóþ óñòàíîâêó äâóìÿ íàñîñàìè ÷åðåç ýëåêòðîëèçåð, â êîòîðîì îí óâëåêàåò çà ñîáîé îáðàçîâàâøèåñÿ âî âðåìÿ ýëåêòðîëèçà ãàçû � êèñ- ëîðîä è àììèàê. Ïðè ýòîì ïðèìåíÿåòñÿ ñïåöèàëüíûé òðàâèëüíûé ðàñòâîð CTS-Recycling-Etch, êîòîðûé ïðèíöèïèàëüíî ñîîòâåòñòâóåò èçâåñòíûì òðàâèëüíûì âåùåñòâàì íà îñíîâå àììèàêà, îäíàêî èñïîëüçóåìûé îáû÷íî õëîðèä ìåäè çàìåíåí çäåñü íà ñóëüôàò ìåäè. Õîòÿ ýòî è âëå÷åò çà ñîáîé óìåíüøåíèå ñêîðîñòè òðàâ- ëåíèÿ, íî äàåò âîçìîæíîñòü îñóùåñòâëåíèÿ ïðÿìîãî ýëåêòðîëèçà òðàâèëüíîãî âåùåñòâà, âî âðåìÿ êîòîðî- Ðèñ. 1. Ñõåìà óñòàíîâêè òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà òðàâ- ëåíèÿ ÏÏ 48 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2004, ¹ 2 ãî íå âûäåëÿåòñÿ ãàçîîáðàçíûé õëîð; ïîòåðÿ ñêîðîñ- òè êîìïåíñèðóåòñÿ ïðèñàäêîé ELO-Fast 40. Íà ýòàïå «ðåãåíåðàöèÿ II» â óñòàíîâêå EZ-3000 ÷àñòü òðàâèëüíîãî ðàñòâîðà, ñîäåðæàùåãî îäíîâàëåíò- íûå èîíû ìåäè, íàïðàâëÿåòñÿ â ìîäóëü ýëåêòðîëèçà, ãäå ìåäü îñàæäàåòñÿ íà êàòîäå è ñíèæàåò ïðîöåíòíîå ñîäåðæàíèå â íåì ìåäè. Îñàæäåííàÿ íà êàòîäå ìå- òàëëè÷åñêàÿ ìåäü èçâëåêàåòñÿ ëèñòàìè, âûäåëèâøè- åñÿ íà àíîäå ãàçû (êèñëîðîä è àììèàê) âîçâðàùàþò- ñÿ â òðàâèëüíûé ðàñòâîð äëÿ ïîääåðæàíèÿ ïðîöåññà îêèñëåíèÿ ìåäè. Îáà ýòàïà ïðîñòðàíñòâåííî ðàçäåëåíû è ïðîòåêàþò íåçàâèñèìî äðóã îò äðóãà, õîòÿ ïðîöåññû òðàâëåíèÿ è ðåãåíåðàöèè ìåäè ëîãè÷åñêè ñâÿçàíû ìåæäó ñîáîé. Ñîâìåñòíîå ïðîòåêàíèå ðåãåíåðàöèè I è II êîîðäè- íèðóåòñÿ äâóìÿ èçìåðèòåëÿìè ïëîòíîñòè òðàâèëüíûõ ðàñòâîðîâ è ðåãóëÿòîðîì ïëîòíîñòè òîêà â ýëåêòðîëèçå- ðå. Îäíî óñòðîéñòâî èçìåðåíèÿ êîíòðîëèðóåò òåêóùåå çíà÷åíèå ïëîòíîñòè òðàâèëüíîãî ðàñòâîðà íà ýòàïå ðåãå- íåðàöèè I è ïðè äîñòèæåíèè çàäàííîãî çíà÷åíèÿ àâòî- ìàòè÷åñêè âêëþ÷àåò ðåãåíåðàöèþ II (ýëåêòðîëèç). Âòîðîå óñòðîéñòâî èçìåðåíèÿ ïëîòíîñòè ðàñòâîðà êîíòðîëèðóåò êîíöåíòðàöèþ ìåäè â òðàâèëüíîì ðà- ñòâîðå â ýëåêòðîëèçåðå. Êîíöåíòðàöèÿ ìåäè âî âðåìÿ ýëåêòðîëèçà ñíèæàåòñÿ, ïðè ñíèæåíèè ïëîòíîñòè ðà- ñòâîðà íèæå çàäàííîãî îòêðûâàåòñÿ ìàãíèòíûé êëà- ïàí, ÷åðåç êîòîðûé òðàâèëüíûé ðàñòâîð èç òðàâèëü- íîé ìàøèíû ïîñòóïàåò â ýëåêòðîëèçåð. Âñëåäñòâèå ýòîãî êîíöåíòðàöèÿ ìåäè â ýëåêòðîëèçåðå ñíîâà ñòà- íîâèòñÿ âûøå çàäàííîãî çíà÷åíèÿ, óðîâåíü òðàâèëü- íîãî ðàñòâîðà â ýëåêòðîëèçåðå ïîâûøàåòñÿ, à èçáû- òîê âîññòàíîâëåííîãî òðàâèëüíîãî ðàñòâîðà ïåðåëè- âàåòñÿ èç ýëåêòðîëèçåðà â òðàâèëüíóþ êàìåðó, ãäå ñîäåðæàíèå ìåäè â òðàâèëüíîì ðàñòâîðå ñíèæàåòñÿ. Ïàðàëëåëüíûé ïðîöåññ êîíòðîëÿ ïëîòíîñòè ðàñòâî- ðîâ, êîíöåíòðàöèè ìåäè â êàìåðå òðàâëåíèÿ è â ýëåê- òðîëèçåðå îáåñïå÷èâàåò â ìàñøòàáå ðåàëüíîãî âðå- ìåíè ëèêâèäàöèþ ïîâûøåííîé êîíöåíòðàöèè ìåäè â òðàâèëüíîé êàìåðå. Óñòàíîâêà ðåãåíåðàöèè ìåäè EZ-3000 ñîñòîèò èç ìîäóëÿ ðåãåíåðàöèè òðàâèëüíîãî ðàñòâîðà, íàñîñà, äâóõ óñòðîéñòâ êîíòðîëÿ ïëîòíîñòè ðàñòâîðîâ, óñòðîéñòâà êîíòðîëÿ çíà÷åíèÿ óðîâíÿ ðÍ è ôèëüòðàöèè, ñèñòåìû ïîäà÷è îõëàæäàþùåé âîäû ñ ðåãóëèðîâàíèåì åå òåì- ïåðàòóðû, ñèñòåìû êîíòðîëÿ óðîâíÿ æèäêîñòè, ñèñòå- ìû èçìåðåíèÿ ïëîòíîñòè òîêà ýëåêòðîëèçåðà, ñèñòåìû âûòÿæêè ãàçîâ è óñòðîéñòâà îáîãðåâà âî âðåìÿ ïàóç â ðàáîòå. Óñòàíîâêà âèçóàëèçèðóåò èíôîðìàöèþ î òåì- ïåðàòóðå òðàâèëüíîãî ðàñòâîðà â ýëåêòðîëèçåðå, î çíà- ÷åíèè óðîâíÿ ðÍ è ïëîòíîñòè òîêà ýëåêòðîëèçà, î ñî- ñòîÿíèè òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà, à òàêæå äèàãíîñ- òè÷åñêóþ èíôîðìàöèþ. Ìîùíîñòü ìîäóëÿ ðåãåíåðà- öèè EZ-3000 ñîñòàâëÿåò 2�5 êã ìåäè â ÷àñ. Çà ñ÷åò æåñòêî ïîääåðæèâàåìûõ ïàðàìåòðîâ òðàâ- ëåíèÿ ñèñòåìà ñ òðàâèëüíûì ðàñòâîðîì íà îñíîâå ñóëüôàòà ìåäè çàìåíÿåò øèðîêî ðàñïðîñòðàíåííûå ùåëî÷íûå è êèñëîòíûå ðàñòâîðû òðàâëåíèÿ íà îñíî- âå õëîðèäà ìåäè è ïîçâîëÿåò îäíîâðåìåííî òðàâèòü ïëàòû, èçãîòàâëèâàåìûå êàê ïî ïîçèòèâíîìó, òàê è ïî íåãàòèâíîìó ìåòîäàì. Òðàâèëüíàÿ óñòàíîâêà è ìîäóëè ðåãåíåðàöèè ìîãóò áûòü ðàçíåñåíû â ïðîñòðàí- ñòâå, èõ êîìïîíîâêà íåêðèòè÷íà. Ãëàâíûì ïðåèìóùåñòâîì ýëåêòðîëèçà ÿâëÿåòñÿ âîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿ íà êàòîäå ñâîáîäíî- ãî ìåòàëëà, ïðè ýòîì íå ïðîèñõîäèò âòîðè÷íîãî çà- ãðÿçíåíèÿ ñòîêà.  çàâèñèìîñòè îò òðåáîâàíèé ê ãàëüâàíîïîêðû- òèþ ïëîòíîñòü òîêà â ãàëüâàíè÷åñêîé âàííå âàðüèðó- åòñÿ. Íî ïðè ïîñòîÿíñòâå òðåáîâàíèé ê êà÷åñòâó ïî- êðûòèÿ è âàðüèðîâàíèè ïëîùàäè ãàëüâàíîïîêðûòèÿ, ïðè íåèçáåæíîì îáåäíåíèè (âî âðåìåíè) ñîäåðæè- ìîãî âàííû îñàæäàåìûì ìåòàëëîì ïðèõîäèòñÿ çàáî- òèòüñÿ î ðåãóëèðîâàíèè, â ðåàëüíîì ìàñøòàáå âðå- ìåíè, ïëîòíîñòè òîêà. Àâòîìàòè÷åñêîå ðåãóëèðîâàíèå ïëîòíîñòè òîêà ìî- æåò áûòü äîñòèãíóòî ñèñòåìîé, ñîäåðæàùåé (ðèñ. 2) èñïîëíèòåëüíûé ìåõàíèçì (ÈÌ), äàò÷èê ïîòðåáëÿå- ìîãî òîêà (ÄÒ), ðàáî÷èé ýëåêòðîä (ÐÝ) � îáúåêò, ïîäâåðãàþùèéñÿ ãàëüâàíè÷åñêîé îáðàáîòêå, çàäàò÷èê äîïóñòèìîãî òîêà ïîòðåáëåíèÿ (ÇÒ), ðåãóëÿòîð îãðà- íè÷åíèÿ òîêà (ÐÒ), ðåãóëÿòîð ïëîòíîñòè òîêà (ÐÏ), óñèëèòåëü íàïðÿæåíèÿ (ÓÍ), óñèëèòåëü ìîùíîñòè (ÓÌ), ïðèâîä èñïîëíèòåëüíîãî ìåõàíèçìà (ÏÌ), äàò- ÷èê ïëîòíîñòè òîêà (ÄÏ), ýòàëîííûé ýëåìåíò (ÝÝ) è ÷åòûðå ñóììàòîðà [6]. Ýòàëîííûé ýëåêòðîä, èìåÿ åäèíè÷íóþ ïëîùàäü ïîâåðõíîñòè êîíòàêòà ñ ýëåêòðîëèòîì â ãàëüâàíè÷å- ñêîé âàííå (ÃÂ), ïîçâîëÿåò íà âûõîäå äàò÷èêà ïëîò- íîñòè òîêà îäíîçíà÷íî îöåíèòü åå çíà÷åíèå. Ïî ðå- çóëüòàòàì ñðàâíåíèÿ ñ çàäàò÷èêîì ïëîòíîñòè òîêà (ÇÏ) ÷åðåç ÐÏ è ÏÌ ïîääåðæèâàåòñÿ ñîñòîÿíèå ÈÌ íà óðîâ- íå, îáåñïå÷èâàþùåì çàäàííîå çíà÷åíèå ïëîòíîñòè òîêà è êà÷åñòâî ãàëüâàíîïîêðûòèÿ ïðè ìàêñèìèçà- öèè èñïîëüçîâàíèÿ (èçâëå÷åíèÿ) öâåòíûõ ìåòàëëîâ è ìèíèìèçàöèè ýíåðãîçàòðàò. Èñïîëüçîâàíèå àâòîìàòè÷åñêîãî ðåãóëèðîâàíèÿ ïëîòíîñòè òîêà â ãàëüâàíè÷åñêîé âàííå ïîçâîëÿåò, êðîìå îáåñïå÷åíèÿ çàäàííîãî êà÷åñòâà ãàëüâàíîïî- êðûòèÿ, çíà÷èòåëüíî ñîêðàòèòü ðàñõîä ìåòàëëà è, ÷òî íåìàëîâàæíî, ñîäåðæàíèå ìåòàëëà â ñòîêàõ. Íåñîìíåííûì óñïåõîì â àëüòåðíàòèâíîì ïðî- òèâîñòîÿíèè ÏÏ áûëî ïðåäëîæåíèå, âûäâè- íóòîå â 1968 ãîäó Ìàðëååì è Òðîëñåíîì, î ïðèìåíå- íèè ïîëèèìèäíîé ïëåíêè äëÿ ñîçäàíèÿ íà åå îñíîâå Ðèñ. 2. Ôóíêöèîíàëüíàÿ ñõåìà ñèñòåìû àâòîìàòè÷åñêîãî ðåãóëèðîâàíèÿ ïëîòíîñòè òîêà â ãàëüâàíè÷åñêîé âàííå ÈÌ ÄÒ ÐÝ ÝÝÄÏ ÇÒÇÒÐÒÐÒ ÓÍ ÐÏ ÓÌ ÏÌ - ÇÏ Ã - - - Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2004, ¹ 2 49 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ ãèáðèäíûõ ãèáêèõ èíòåãðàëüíûõ ñõåì (ÃÃÈÑ) è ñî- åäèíèòåëüíûõ øëåéôîâ. Îäíàêî ïåðåíîñ èç òåõíîëî- ãèè ÏÏ ïðèíöèïà ñêâîçíûõ îòâåðñòèé ñîçäàë ðÿä òåõ- íè÷åñêèõ ïðîáëåì, ñòàâøèõ ïðè÷èíîé î÷åíü áîëü- øîé òðóäîåìêîñòè èçãîòîâëåíèÿ. Âìåñòå ñ òåì ïðåäëîæåíèå ïîçâîëÿåò èñêëþ÷èòü èç êîíñòðóêöèè ÏÏ ñêâîçíûå îòâåðñòèÿ â íèõ, à èç òåõíîëîãè÷åñêîãî öèêëà, ñîîòâåòñòâåííî, èñêëþ÷èòü õèìè÷åñêèå ïðîöåññû � òðàâëåíèå ìåäè, ìåòàëëè- çàöèþ ïàëëàäèåì è ìåäüþ ñêâîçíûõ îòâåðñòèé, õè- ìè÷åñêèå ïðîöåññû òðàâëåíèÿ îòâåðñòèé â ãèáêîé ïî- ëèèìèäíîé ïëåíêå. Âñå ýòî îòêðûâàåò âîçìîæíîñòü ñîçäàíèÿ ýêîëîãè÷åñêè ÷èñòîãî ïðîèçâîäñòâà ÏÏ è ÃÃÈÑ áåç íåîáõîäèìîñòè âîçâåäåíèÿ î÷èñòíûõ ñî- îðóæåíèé. Ïî ïðåäëàãàåìîé òåõíîëîãèè èçãîòîâëåíèÿ èçäå- ëèé ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðû (ïðîåêò) âìåñòî ôîëü- ãèðîâàííîãî ìàòåðèàëà ðåêîìåíäóåòñÿ èñïîëüçîâàòü ëþáóþ ïîëèìåðíóþ ïëåíêó, ìåòàëëèçèðîâàííóþ â âàêóóìå òîíêèì (2�3 ìêì) ñëîåì ìåäè, ÷òî íåîãðà- íè÷åííî ðàñøèðÿåò íîìåíêëàòóðó èñïîëüçóåìûõ ìà- òåðèàëîâ, ò. ê. íè îäèí ïîëèìåð, êðîìå ïîëèèìèäà, ïðàêòè÷åñêè íå ïîääàåòñÿ õèìè÷åñêîìó òðàâëåíèþ (êàê, íàïðèìåð, ïîëèýòèëåíîâàÿ è ôòîðîïëàñòîâàÿ ïëåíêè). Ïîëó÷åííàÿ äâóõñòîðîííÿÿ ãèáêàÿ ñõåìà ïðèïðåññî- âûâàåòñÿ íà ëþáîå æåñòêîå îñíîâàíèå � ïëàñòìàññó, êàðòîí, êîìïîçèöèîííûé ìàòåðèàë, ìåòàëë. Âûñîêàÿ ïëîòíîñòü ïðîâîäíèêîâ â ñëîå äîñòèãàåòñÿ çà ñ÷åò îò- ñóòñòâèÿ ïîëó÷àåìûõ òðàâëåíèåì ïåðåõîäíûõ îòâåð- ñòèé ñ èõ êîíòàêòíûìè ïëîùàäêàìè è çà ñ÷åò ïðîöåñ- ñà îñàæäåíèÿ ìåäè ðåâåðñèðîâàííûì òîêîì èç ñïåöè- àëüíîãî ýëåêòðîëèòà, îáåñïå÷èâàþùåãî ìèíèìàëüíîå áîêîâîå ðàçðàñòàíèå ýëåìåíòîâ (20�40%). Êîíñòðóêòèâíî-òåõíîëîãè÷åñêèå ïîêàçàòåëè ïðîöåñ- ñà è ñàìèõ ïå÷àòíûõ ïëàò ïðåäñòàâëåíû â òàáëèöå. Ñëåäóåò îñîáî îòìåòèòü ïðåèìóùåñòâî îäíîñòî- ðîííåãî ðàñïîëîæåíèÿ ýëåêòðîðàäèîýëåìåíòîâ (ÝÐÝ) â íîâîé êîíñòðóêöèè ïëàò, ÷òî äåëàåò óäîáíûì èõ Õàðàêòåðèñòèêè Ñòàíäàðòíûå ÏÏ Ãèáêèå ÏÏ íà ôîëüãèðîâàí- íîì ïîëèèìèäå ÏÏ ïî ïðîåêòó Ïðèìåð ìàòåðèàëà ÏÏ Ñòåêëîòåêñòîëèò, òîëùèíà 1—2 ìì Ïîëèèìèä ôîëüãèðîâàííûé, òîëùèíà 40 ìêì Ôòîðîïëàñòîâàÿ ïëåíêà, òîëùèíà 20 ìêì Âîçìîæíîñòü âûáîðà ìàòåðèàëà Îãðàíè÷åíà ôîëüãèðîâàííûì ñòåêëîòåêñòîëèòîì Îãðàíè÷åíà ôîëüãèðîâàííûì ñ îäíîé ñòîðîíû ïîëèèìèäîì Íåò îãðàíè÷åíèé, âîçìîæíî ïðèìåíåíèå ëþáîãî ïîëè- ìåðíîãî ìàòåðèàëà Îñîáåííîñòè òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà Ñâåðëåíèå îòâåðñòèé, èõ õèìè- ÷åñêàÿ ìåòàëëèçàöèÿ. Õèìè- ÷åñêîå òðàâëåíèå òîëñòîãî ñëîÿ ìåäè ñ ïîâåðõíîñòè (äî 800 ã ìåäè ñ 1 ì2) Õèìè÷åñêîå òðàâëåíèå ïîëè- ìåðíîé ïëåíêè â ìåñòàõ îò- âåðñòèé. Õèìè÷åñêîå òðà- âëåíèå ìåäè ñ ïîâåðõíîñòè (äî 350 ã ìåäè ñ 1 ì2) Òðàâëåíèþ ïîäâåðãàåòñÿ òîëüêî òîí÷àéøàÿ ïëåíêà ìå- äè, íàíåñåííàÿ â âàêóóìå (äî 6 ã ìåäè ñ 1 ì2) Ýêîëîãè÷íîñòü ïðîèçâîäñòâà Áîëüøîé ðàñõîä îðãàíè÷åñêèõ è íåîðãàíè÷åñêèõ âåùåñòâ, òðåáóåòñÿ óòèëèçàöèÿ îòõîäîâ — êèñëîò, ñîëåé (äî 1000 ã/ì2). Îáÿçàòåëüíî íàëè÷èå î÷èñòíûõ ñîîðóæåíèé Áîëüøîé ðàñõîä õèìè÷åñêèõ âåùåñòâ — îðãàíè÷åñêèõ òðàâèòåëåé, êèñëîò, ñîëåé è ò. ï. (300—400 ã/ì2). Îáÿçàòåëüíî íàëè÷èå î÷è- ñòíûõ ñîîðóæåíèé Íå òðåáóþòñÿ î÷èñòíûå ñî- îðóæåíèÿ. Äîñòàòî÷íî öåõî- âîé óñòàíîâêè ñóõîé óòèëè- çàöèè îòõîäîâ Ìèíèìàëüíàÿ øèðèíà ïðîâîäíèêîâ è çàçîðîâ, ìêì 150 100 50 Ìèíèìàëüíûé äèàìåòð ïåðåõîäíîãî îòâåðñòèÿ, ìêì 300 100 20 (ýëåêòðîïåðåõîä) Ìèíèìàëüíûé ðàçìåð êîíòàêòíîé ïëîùàäêè ïîä ïåðåõîäíîå îòâåðñòèå, ìêì 600×600 500×500 100×100 Ïîòåðè ïîâåðõíîñòè èç-çà èñïîëüçîâàíèÿ ñêâîçíûõ îò- âåðñòèé, % äî 30 äî 30 — Âåëè÷èíà áîêîâîãî ðàçðàñòàíèÿ ïðîâîäíèêà, % >100 >100 20—30 Ïëîòíîñòü ïðîâîäíèêîâ â ñëîå, ìì–1 2—3 3—4 6—8 Òåïëîâîå ñîïðîòèâëåíèå ñèñòåìû "êðèñòàëë—ïëà- òà—îêðóæàþùàÿ ñðåäà": â åñòåñòâåííûõ óñëîâèÿõ, °C/Âò 10—20 Íåò äàííûõ 0,5—1,2 (ìåòàëë—ïîäëîæêà) ñ ïðèíóäèòåëüíûì âîçäóøíûì îõëàæäåíèåì, °C/Âò 6—12 Íåò äàííûõ 0,1—0,4 (ìåòàëë—ïîäëîæêà) 50 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2004, ¹ 2 ãðóïïîâîé ìîíòàæ, à òàêæå îáëåã÷àåò ïðîçâîíêó öå- ïåé (èçâåñòíî, â êàêóþ äîëþ öåíû îáõîäèòñÿ ýëåêò- ðè÷åñêàÿ ïðîâåðêà ìíîãîñëîéíûõ ïëàò ñ äâóõñòîðîí- íèì ðàñïîëîæåíèåì ÝÐÝ).  òî æå âðåìÿ îáðàòíàÿ ñòîðîíà îñíîâàíèÿ ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàíà äëÿ ðàñ- ïîëîæåíèÿ äðóãîé ãèáêîé ïëàòû, ÷òî îñîáåííî âàæ- íî â ñëó÷àå èõ ýëåêòðè÷åñêîé ñâÿçè (ôóíêöèîíàëü- íîãî âçàèìîäåéñòâèÿ).  ýòîì âàðèàíòå íå òðåáóåòñÿ îáúåäèíèòåëüíîé ïëàòû äëÿ èõ êîììóòàöèè ÷åðåç äî- ïîëíèòåëüíûå ðàçúåìû (ñîåäèíèòü ìîæíî îäíèì èëè íåñêîëüêèìè øëåéôàìè). Äâóõñòîðîííÿÿ ãèáêàÿ ïëàòà ÿâëÿåòñÿ áàçîâûì ýëå- ìåíòîì ïîñòðîåíèÿ ìíîãîñëîéíîé ñòðóêòóðû. Âåðòè- êàëüíàÿ ýëåêòðè÷åñêàÿ ñâÿçü ìåæäó îòäåëüíûìè ïëà- òàìè îñóùåñòâëÿåòñÿ â ïðîöåññå ìîíîëèòèçàöèè ïà- êåòà ïðè åãî ïðåññîâàíèè ê îñíîâàíèþ. Ó÷èòûâàÿ âûñîêóþ ïëîòíîñòü ïðîâîäíèêîâ â êàæäîì ýëåêòðè- ÷åñêîì óðîâíå, ÷èñëî ñëîåâ ãîòîâîé ìíîãîñëîéíîé ïå÷àòíîé ïëàòû (ÌÏÏ) çíà÷èòåëüíî ñîêðàùàåòñÿ ïî ñðàâíåíèþ ñ òèïîâîé ÌÏÏ. Ñðàâíèòåëüíûé àíàëèç òåõíîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé ïðîèçâîäñòâà ÏÏ ïî ïðîåêòó è ñòàíäàðòíîé òåõíîëî- ãèè ïîêàçûâàåò, ÷òî çíà÷èòåëüíàÿ ÷àñòü îáîðóäîâà- íèÿ, ïðèìåíÿåìîãî äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ÏÏ òðàäèöèîí- íûì ñïîñîáîì, ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàíà ïî ïðÿìî- ìó íàçíà÷åíèþ ïðè ïåðåõîäå íà íîâóþ òåõíîëîãèþ. Ýòî îòíîñèòñÿ ê îáîðóäîâàíèþ äëÿ äâóõñòîðîííåãî ýêñïîíèðîâàíèÿ, íàíåñåíèÿ ñëîÿ çàùèòû, ïðåññîâà- íèÿ, ê ãàëüâàíè÷åñêèì óñòàíîâêàì, ñâåðëèëüíîìó îáîðóäîâàíèþ. Ïîýòîìó äëÿ ó÷àñòêîâ (öåõîâ), îñíà- ùåííûõ ñîâðåìåííûì ïðîãðåññèâíûì îáîðóäîâàíè- åì, ïðè ïåðåõîäå íà íîâóþ òåõíîëîãèþ áîëüøèõ êà- ïèòàëüíûõ çàòðàò íå ïðåäâèäèòñÿ. Ñëåäóåò îòìåòèòü, ÷òî ïðîèçâîäñòâî ÏÏ 5-ãî è âûøå êëàññà òî÷íîñòè ïîòðåáóåò äëÿ ôîòîëèòîãðàôè- ÷åñêèõ (æèäêîñòíûõ) îïåðàöèé íàëè÷èÿ «÷èñòûõ» êîìíàò, êàê ýòî èìååò ìåñòî â ìèêðîýëåêòðîíèêå.  ñáðàñûâàåìûõ âîäîïîòîêàõ ñîäåðæèòñÿ îã- ðîìíîå êîëè÷åñòâî äåôèöèòíûõ ìåòàëëîâ â âèäå îêñèäîâ, ãèäðîîêñèäîâ, ñîëåé è äðóãèõ ñîåäè- íåíèé. Ïðèìåíÿåìûå íà áîëüøèíñòâå ïðåäïðèÿòèé ðå- àãåíòíûå ñîîðóæåíèÿ íå óäîâëåòâîðÿþò ñîâðåìåííûì òðåáîâàíèÿì ê î÷èñòêå ñòîêîâ è íå îáåñïå÷èâàþò èõ óòèëèçàöèþ.  ðåçóëüòàòå íà õèìè÷åñêèå ñâàëêè ïî- ïàäàþò îáåçâðåæåííûå è íåéòðàëèçîâàííûå îòõîäû- îòâàëû ñ ñîäåðæàíèåì öåííûõ ìåòàëëîêîìïîíåíòîâ. Íàèáîëåå ýôôåêòèâíûì ïîäõîäîì ê ðåøåíèþ äàí- íîé ïðîáëåìû ÿâëÿåòñÿ âíåäðåíèå ëîêàëüíûõ ìàëî- îòõîäíûõ òåõíîëîãèé, ïðåäóñìàòðèâàþùèõ ïîñòàäèé- íîå èçâëå÷åíèå öåííûõ ñîåäèíåíèé, èõ âîçâðàò â òåõ- íîëîãè÷åñêèé öèêë, âòîðè÷íîå èñïîëüçîâàíèå î÷è- ùåííîé ïðîìûâíîé âîäû, à òàêæå ïîëó÷åíèå òîâàð- íûõ ôîðì óòèëèçèðóåìûõ ñîåäèíåíèé [5]. Ïðîöåññ êîìïëåêñíîé ïåðåðàáîòêè ìåäüñîäåðæà- ùèõ ñòîêîâ òðàâëåíèÿ ïå÷àòíûõ ïëàò ñ öåëüþ ïîëó- ÷åíèÿ õëîðîêèñè ìåäè (ÕÎÌ) è õëîðèäà àììîíèÿ ðåàëèçóåò äîñòàòî÷íî ýôôåêòèâíóþ òåõíîëîãè÷åñêóþ ñõåìó, îáåñïå÷èâàþùóþ ýêîëîãè÷åñêóþ áåçîïàñ- íîñòü ïðîèçâîäñòâà íà âñåõ ñòàäèÿõ ïðîöåññà, èñ- êëþ÷àÿ îáðàçîâàíèå òîêñè÷íûõ îòõîäîâ, ãàçîâûõ âûáðîñîâ è çàãðÿçíåíèå ñòî÷íûõ âîä èîíàìè òÿæå- ëûõ ìåòàëëîâ. Îí ïðåäïèñûâàåò: èñïîëüçîâàíèå ñèñ- òåìû îáîðîòíîãî âîäîñíàáæåíèÿ è âîçâðàùåíèÿ ìàñ- ñîïîòîêîâ â òåõíîëîãè÷åñêèé öèêë; íåïðåðûâíîñòü ïðîöåññà ñ ïîëó÷åíèåì òîâàðíûõ ïðîäóêòîâ óòèëè- çàöèè, ñîîòâåòñòâóþùèõ ïî êà÷åñòâó èõ ïðîìûøëåí- íûì àíàëîãàì (äëÿ ÕÎÌ � ÃÎÑÒ 13200�75, äëÿ õëî- ðèäà àììîíèÿ � ÃÎÑÒ 2210�73); âîçìîæíîñòü óòè- ëèçèðîâàòü êàê ùåëî÷íûå, òàê è êèñëûå òðàâèëüíûå ñòîêè ñ èçâëå÷åíèåì äî 96�98% ìåäè è äî 97% õëî- ðèäà àììîíèÿ; âûñîêóþ ïðîèçâîäèòåëüíîñòü ïðîöåñ- ñà, â êîòîðîì ïðè ïåðåðàáîòêå 5 ì3 îòõîäîâ ïîëó÷à- åòñÿ 1000 êã ÕÎÌ è 1300 êã õëîðèäà àììîíèÿ. Ðåàëèçàöèÿ äàííîé òåõíîëîãèè îñóùåñòâëÿåòñÿ íà áëî÷íî-ìîäóëüíîì êîìïëåêñå, ïðåäñòàâëÿþùåì ñî- áîé çàìêíóòóþ òåõíîëîãè÷åñêóþ ñèñòåìó èç äâóõ ëîêàëüíûõ óñòàíîâîê äëÿ óòèëèçàöèè ìåäè èç òðà- âèëüíûõ ñòîêîâ è õëîðèäà àììîíèÿ èç ñîëåâûõ ïîòî- êîâ îò ïðîèçâîäñòâà ÕÎÌ.  îñíîâå îñàæäåíèÿ õëîð- îêèñè ìåäè ëåæèò ðåàêöèÿ âçàèìîäåéñòâèÿ ìåäíî- àììèà÷íîãî êîìïëåêñà òðàâèòåëÿ è òåõíè÷åñêîé ñî- ëÿíîé êèñëîòû. Ïðîöåññ âêëþ÷àåò ñëåäóþùèå òåõ- íîëîãè÷åñêèå ñòàäèè: ñèíòåç è îñàæäåíèå ñóñïåíçèè ÕÎÌ; îòìûâêó ðåàêöèîííîé ìàññû îò ñâîáîäíîãî õëîðèäà àììîíèÿ; ôèëüòðàöèþ îñàäêà; ñóøêó; ïðè- ãîòîâëåíèå òîâàðíîé ôîðìû. Õëîðîêèñü ìåäè ìîæåò áûòü ïîëó÷åíà â âèäå äâóõ ïðåïàðàòèâíûõ ôîðì: 90%- íîãî ñìà÷èâàþùåãîñÿ ïîðîøêà (ñ. ï.) è 30%-íîãî ñóñïåíçèîííîãî êîíöåíòðàòà (ñ. ê.) � ïàñòû. Äëÿ ïðèãîòîâëåíèÿ ïàñòîîáðàçíîé ìîäèôèêàöèè â òåõíîëîãèè óòèëèçàöèè ïðåäóñìîòðåíà äîïîëíèòåëü- íàÿ ñòàäèÿ èçìåëü÷åíèÿ è ñìåøèâàíèÿ âëàæíîãî îò- ôèëüòðîâàííîãî îñàäêà ÕÎÌ ñ öåëåâûìè äîáàâêàìè äî ïîëó÷åíèÿ îäíîðîäíîé ìàññû. Îòðàáîòêà è îïòè- ìèçàöèÿ ïðîöåññà óòèëèçàöèè ñ îòáîðîì ïðîá äëÿ èñ- ñëåäîâàíèÿ ïðîâîäèëèñü íà ñòåíäîâîé ýêñïåðèìåí- òàëüíîé óñòàíîâêå, ñìîäåëèðîâàííîé êàê ëàáîðàòîð- íûé âàðèàíò òåõíîëîãè÷åñêîé ëèíèè äëÿ îïûòíî-ïðî- ìûøëåííîãî ïîëó÷åíèÿ ÕÎÌ. Ïðè ýòîì óñòàíîâëå- íû, à çàòåì è àäàïòèðîâàíû ê ïðîèçâîäñòâåííûì óñ- ëîâèÿì ïåðåðàáîòêè ñòîêîâ êîíöåíòðàöèîííûå ñîîò- íîøåíèÿ è ðåæèìû ïðîöåññà, à èìåííî: 1) èñïîëüçîâàíèå â êà÷åñòâå ñûðüÿ îòðàáîòàííûõ ðàñòâîðîâ ìåäíî-àììèà÷íîãî òðàâëåíèÿ ïå÷àòíûõ ïëàò ñ ñîäåðæàíèåì ìåäè ïî êîìïëåêñó 120±20 ã/ë; 2) ïðèìåíåíèå â êà÷åñòâå íåéòðàëèçóþùåãî ðåà- ãåíòà ðàñòâîðà òåõíè÷åñêîé ñîëÿíîé êèñëîòû ñ îïòè- ìàëüíîé êîíöåíòðàöèåé, îáåñïå÷èâàþùåé: ìàêñè- ìàëüíóþ ñêîðîñòü è ïîëíîòó îñàæäåíèÿ ìåäè; äîñòè- æåíèå ðàáî÷åãî çíà÷åíèÿ ðÍ ðåàêöèîííîé ìàññû; îáðàçîâàíèå ëåãêîðàñòâîðèìîãî ïîáî÷íîãî ïðîäóêòà � õëîðèäà àììîíèÿ, óäàëÿåìîãî èç îñàäêà ïðè ïðî- ìûâêàõ äî íîðìàòèâíîé êîíöåíòðàöèè; îáðàçîâàíèå îñàäêà îïðåäåëåííîãî ãðàíóëîìåòðè÷åñêîãî ñîñòàâà, âëèÿþùåãî íà ïîëíîòó îñàæäåíèÿ ìåäè, ôîðìèðîâà- íèå õëîðîêèñíîãî ñîåäèíåíèÿ è ñêîðîñòü ôèëüòðàöèè; ñîçäàíèå òåïëîâîãî ðåæèìà ðåàêöèè íåéòðàëèçàöèè, èñêëþ÷àþùåãî íàãðåâ ðàñòâîðà âûøå 40�60°Ñ; 3) ñîçäàíèå îïòèìàëüíîé êèñëîòíîñòè ðåàêöèîííîé ìàññû, ò. ê. ïîâûøåíèå ðÍ ïðèâîäèò ê ðàñòâîðåíèþ ÕÎÌ è ïîÿâëåíèþ â ïóëüïå ñâîáîäíîãî õëîðèäà àììî- íèÿ; ïðè ñíèæåíèè ðÍ â ðàñòâîðå ïðèñóòñòâóþò íåïðî- ðåàãèðîâàâøàÿ ìåäü è íåñâÿçàííàÿ ñîëÿíàÿ êèñëîòà; 4) ïðèìåíåíèå äâóêðàòíîé ïðîìûâêè îñàäêà ÕÎÌ â ðåàêòîðå îáúåìîì âîäû, âäâîå ïðåâûøàþùèì îáúåì Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2004, ¹ 2 51 ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ ïðîìûâàåìîé ìàññû, ñ öåëüþ óäàëåíèÿ èç íåå âîäîðàñ- òâîðèìûõ õëîðèäîâ; 5) èñïîëüçîâàíèå âàêóóìíîé ôèëüòðàöèè è ïîä- áîð îïûòíûì ïóòåì îïòèìàëüíîé òîëùèíû ñëîÿ îñàä- êà íà ôèëüòðå (åäèíîâðåìåííàÿ çàãðóçêà áîëüøîé ìàñ- ñû ÕÎÌ ïðèâîäèò ê ñíèæåíèþ ñêîðîñòè ôèëüòðàöèè è óâåëè÷åíèþ âðåìåíè ïðîâåäåíèÿ äàííîé îïåðàöèè); 6) ïðèìåíåíèå òåõíîëîãè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ, îáåñïå÷èâàþùåãî áåçîïàñíîñòü ïðîèçâîäñòâà è êà- ÷åñòâåííîå ïðîâåäåíèå âñåõ ñòàäèé óòèëèçàöèè â ñî- îòâåòñòâèè ñ ðàçðàáîòàííîé íàó÷íî-òåõíè÷åñêîé äî- êóìåíòàöèåé íà ïðîöåññ. Îïûò èñïîëüçîâàíèÿ ïîäîáíûõ òåõíîëîãèé ïîêàçû- âàåò, ÷òî ðåàãåíòíûå ìåòîäû â ñî÷åòàíèè ñ ãðàâèòàöèîí- íûì îòäåëåíèåì çàãðÿçíåíèé íå ïîçâîëÿþò äîñòè÷ü âû- ñîêîé ñòåïåíè î÷èñòêè è îðãàíèçîâàòü âîäîîáîðîò. Áîëåå ïåðñïåêòèâíî èñïîëüçîâàíèå ýëåêòðîõèìè- ÷åñêèõ, èîíîîáìåííûõ è ìåìáðàííûõ òåõíîëîãèé, ìíîãèå èç êîòîðûõ ðàçðàáàòûâàþòñÿ è âíåäðÿþòñÿ â ìèðîâîé ïðàêòèêå. ×àùå âñåãî â ïðîèçâîäñòâåííîé ïðàêòèêå äëÿ óäàëåíèÿ èîíîâ òÿæåëûõ ìåòàëëîâ, â ÷àñòíîñòè, ìåäè, èñïîëüçóþò ðåàãåíòíûé ìåòîä, çà- êëþ÷àþùèéñÿ â îñàæäåíèè ìåòàëëè÷åñêèõ èîíîâ ïðè äîáàâëåíèè ê ñòîêó ñîîòâåòñòâóþùåãî ðåàãåíòà. Åãî äîñòîèíñòâî � ïðîñòîòà, à íåäîñòàòêè � â ñòîê ââî- äèòñÿ íîâîå õèìè÷åñêîå âåùåñòâî, ò. å. íîâîå çàãðÿç- íåíèå, êðîìå òîãî, ïîëó÷åííûå îáâîäíåííûå îñàäêè èìåþò áîëüøîé îáúåì. Ñ öåëüþ ñîçäàíèÿ áåçîòõîäíîãî ïðîèçâîäñòâà õëîð- îêèñè ìåäè ñ áåññòî÷íîé ñèñòåìîé âîäîîáåñïå÷åíèÿ ðàçðàáîòàíà ñõåìà ðàöèîíàëüíîãî èñïîëüçîâàíèÿ îá- ðàçóþùèõñÿ ïðè óòèëèçàöèè âîäîïîòîêîâ. Äàííàÿ ñõå- ìà ïðåäóñìàòðèâàåò: âîçâðàò ÷àñòè ïîòîêîâ â òåõíî- ëîãè÷åñêèé öèêë íà ñòàäèþ ïðîìûâêè ñóñïåíçèè ÕÎÌ â ðåàêòîðå è íà ôèëüòðå; ïðèìåíåíèå ìàññîïîòîêîâ ñ ñîäåðæàíèåì õëîðèäà àììîíèÿ äî 17% äëÿ ïðèãî- òîâëåíèÿ è êîððåêòèðîâêè òðàâèëüíûõ ðàñòâîðîâ ìåäè ñ ðàáî÷åé êîíöåíòðàöèåé àììèà÷íîé ñîëè 4�10%; óòèëèçàöèþ èç ñòî÷íûõ ïîòîêîâ òîâàðíîãî ïðîäóêòà � êðèñòàëëè÷åñêîãî õëîðèäà àììîíèÿ ïî ðàçðàáî- òàííîé òåõíîëîãèè. Ìåòîä èçâëå÷åíèÿ õëîðèäà àììîíèÿ èç âîäíî-ñî- ëåâûõ ìàññ ïðîèçâîäñòâà ÕÎÌ âêëþ÷àåò ñòàäèè: óïà- ðèâàíèå è îòãîíêó âîäû (äèñòèëëÿòà); êðèñòàëëèçà- öèþ óïàðåííîé ïóëüïû; âàêóóìíóþ ôèëüòðàöèþ îñàä- êà; ñóøêó ãîòîâîãî ïðîäóêòà. Âåäåíèå ïðîöåññà ïî îïèñàííîé òåõíîëîãèè íå âëå- ÷åò çà ñîáîé îáðàçîâàíèÿ ñòî÷íûõ âîä, òâåðäûõ îòõî- äîâ è ãàçîâûäåëåíèé. Ïðîöåññ îñóùåñòâëÿåòñÿ ïðè ïîñòîÿííîì àíàëèòè÷åñêîì êîíòðîëå ñûðüÿ, ðåàêöèîí- íîé ìàññû è êîíå÷íîãî ïðîäóêòà. Óòèëèçèðîâàííûé õëîðèä àììîíèÿ ÿâëÿåòñÿ àíàëîãîì òåõíè÷åñêîãî õè- ìèêàòà, âûïóñêàåìîãî ïî ÃÎÑÒ 2210�73; òîâàðíàÿ ôîð- ìà ìîæåò ñîäåðæàòü 0,2�2,0% îñòàòî÷íîé ìåäè. Òàêèì îáðàçîì, â îñíîâå êîìïëåêñíîé óòèëèçà- öèè òðàâèëüíûõ ñòîêîâ ëåæèò îáúåäèíåííàÿ òåõíîëî- ãè÷åñêàÿ ñõåìà èçâëå÷åíèÿ ìåäè â âèäå åå õëîðîêè- ñè è äîïîëíèòåëüíîãî ïðîäóêòà � õëîðèäà àììîíèÿ.  ïðîöåññå àäàïòàöèè òåõíîëîãèè ê ïðîèçâîäñòâåí- íûì óñëîâèÿì ýêñïëóàòàöèè óñòàíîâëåíû: ìàòåðèàëü- íûé áàëàíñ èñïîëüçóåìîãî ñûðüÿ, ðåàãåíòîâ ïðîöåñ- ñà è ïîëóïðîäóêòîâ äëÿ ïîëó÷åíèÿ 1 ò XÎM è 1 ò õëî- ðèäà àììîíèÿ; áëîê-ñõåìû áåçîòõîäíîé ðåàëèçàöèè ìàññîïîòîêîâ óêàçàííûõ ïðîèçâîäñòâ; àíàëèòè÷åñêèé è ìåòðîëîãè÷åñêèé êîíòðîëü ïðîèçâîäñòâ è óïðàâëåíèÿ ïðîöåññîì óòèëèçàöèè; îñíîâíûå ïðàâèëà áåçîïàñíîé ýêñïëóàòàöèè òåõíîëîãè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ è äð. Õëîðîêèñü ìåäè, óòèëèçèðóåìàÿ èç òðàâèëüíûõ ñòî- êîâ, â âèäå äâóõ òîâàðíûõ ôîðì (90%-íûé ñ. ï. è 30%- íûé ñ. ê.) ÿâëÿåòñÿ âûñîêîýôôåêòèâíûì ôóíãèöèäîì, øèðîêî ïðèìåíÿåìûì â ñåëüñêîì õîçÿéñòâå äëÿ ïîäàâ- ëåíèÿ áîëåçíåé ïëîäîâî-îâîùíûõ è ÿãîäíûõ êóëüòóð. Îáà ïðåïàðàòà ÕÎÌ ïîæàðî- è âçðûâîáåçîïàñíû. Áèîëîãè÷åñêàÿ àêòèâíîñòü òîâàðíûõ ôîðì ÕÎÌ, óòèëèçèðîâàííûõ èç òðàâèëüíûõ ñòîêîâ, èçó÷åíà ñïå- öèàëèñòàìè ÍÈÈ õèìè÷åñêèõ ñðåäñòâ çàùèòû ðàñòå- íèé â ïîëåâûõ óñëîâèÿõ íà ðÿäå ðàñïðîñòðàíåííûõ êóëüòóð (êàðòîôåëå, òîìàòàõ, ëóêå, îãóðöàõ, õìåëå è äð.) ñðàâíèòåëüíî ñ ýòàëîíîì � ôóíãèöèäîì ïðîèç- âîäñòâà ÏÎ �Õèìïðîì�. Áûëî óñòàíîâëåíî: òîâàð- íûå ôîðìû XÎM, ïîëó÷åííûå èç ìåäüñîäåðæàùèõ òðàâèëüíûõ ñòîêîâ, íå óñòóïàþò ïî ñâîèì ñâîéñòâàì ýòàëîíó è ìîãóò èñïîëüçîâàòüñÿ â ñåëüñêîì õîçÿé- ñòâå; ôóíãèöèä íà îñíîâå XÎM èç òðàâèëüíûõ ðà- ñòâîðîâ íå îêàçûâàåò òîêñè÷åñêîãî âîçäåéñòâèÿ íà ñåëüõîçïðîäóêòû; èññëåäóåìûå ôîðìû XÎM îáëà- äàþò âûñîêîé áèîëîãè÷åñêîé àêòèâíîñòüþ, ÷òî íàè- áîëåå âûðàæåíî ïðè òðåõêðàòíîé îáðàáîòêå êóëüòóð ñ íîðìîé ðàñõîäà ôóíãèöèäà ïî äåéñòâóþùåìó âå- ùåñòâó 1,6�2,0 êã/ãà. Äàííàÿ òåõíîëîãèÿ ñîçäàåò ïðåäïîñûëêè äëÿ îðãà- íèçàöèè ïðîèçâîäñòâà ôóíãèöèäà, ïîòðåáíîñòü â êî- òîðîì äëÿ ñåëüñêîãî õîçÿéñòâà ÑÍà ñîñòàâëÿåò ñâû- øå 1000 ò/ãîä. Äëÿ ñðàâíåíèÿ: ïîëó÷åíèå ÕÎÌ ïðî- ìûøëåííûì ñïîñîáîì òðåáóåò ïðèìåíåíèÿ äåôèöèò- íîãî ñûðüÿ (ìåäíûé ëîì, õëîð ýëåêòðîëèòè÷åñêèé, òåõíè÷åñêèé ìåë) è ïðîâåäåíèÿ ýêîëîãè÷åñêè íåáëà- ãîïðèÿòíûõ ñòàäèé (ïåðåïëàâêà ìåäè, åå ÷åøóèðîâà- íèå, õëîðèðîâàíèå ðàñòâîðà è ò. ï.). Ïðîèçâîäñòâî õëîðèäà àììîíèÿ òàêæå ñâÿçàíî ñ òàêèìè äîðîãîñòî- ÿùèìè ðåàãåíòàìè êàê àììèàê è ñîëÿíàÿ êèñëîòà. *** Èñïîëüçîâàíèå âûøåîïèñàííûõ òåõíîëîãèé ãàëü- âàíè÷åñêîãî ïðîèçâîäñòâà ïîçâîëÿåò îñóùåñòâëÿòü è òðàâëåíèå, è ãàëüâàíîïîêðûòèå ïîâåðõíîñòåé ïðè îïòèìàëüíîì ðàñõîäå ýíåðãèè è ìàòåðèàëîâ, à òàêæå ïðè âîçâðàòå òåõíîëîãè÷åñêèõ ñðåä â ïðîèçâîäñòâî, ÷òî â ñîâîêóïíîñòè îáåñïå÷èâàåò ðåñóðñîñáåðåæå- íèå ïðè çàùèòå ñðåäû îáèòàíèÿ ÷åëîâåêà îò îïàñíîãî åå çàãðÿçíåíèÿ. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. ×åðíÿåâ Â. Í. Ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïðîöåññû â òåõíîëîãèè ÐÝÀ.� Ì.: Âûñøàÿ øêîëà, 1987. 2. Ãðèëèõåñ Ñ. ß. Îáåçæèðèâàíèå, òðàâëåíèå è ïîëèðîâàíèå ìåòàëëîâ.� Ë.: Ìàøèíîñòðîåíèå, 1977. 3. Ëóðüå Þ. Þ. Àíàëèòè÷åñêàÿ õèìèÿ ïðîûøëåííûõ ñòî÷íûõ âîä.� Ì.: Õèìèÿ, 1984. 4. Ãàðáåð Ì. È. Ðåñóðñîñáåðåãàþùàÿ òåõíîëîãèÿ ãàëüâàíè- ÷åñêèõ ïîêðûòèé.� Ì.: Ìàøèíîñòðîåíèå, 1988. 5. Çàéöåâ À. Í. Òåõíîëîãè÷åñêèå ïðåèìóùåñòâà ýëåêòðîõè- ìè÷åñêîé îáðàáîòêè // Òåõíîëîãèÿ, îáîðóäîâàíèå, ìàòåðèàëû.� 2003.� ¹ 4.� htpp: www.mte.ru. 6. Ïàò. 1783470 SU. Ñèñòåìà àâòîìàòè÷åñêîãî ðåãóëèðîâàíèÿ ïëîòíîñòè òîêà â ãàëüâàíè÷åñêîé âàííå / Ì. Ä. Ñêóáèëèí, È. Ì. Ñêóáèëèí.� 1992.
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53799
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-27T19:30:31Z
publishDate 2004
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Скубилин, М.Д.
Письменов, А.В.
Гусев, Б.А
2014-01-27T18:22:47Z
2014-01-27T18:22:47Z
2004
Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии / М.Д. Скубилин, А.В. Письменов, Б.А Гусев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 2. — С. 46-51. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53799
Показана возможность создания экологически чистого производства печатных плат и гибридных гибких ИС без необходимости возведения очистных сооружений.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
Проблеми ресурсозбереження та екологічної безпеки в гальва-нотехнології
Problems of the savings of resources and ecological safety in technology of galvanic manufacture
Article
published earlier
spellingShingle Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
Скубилин, М.Д.
Письменов, А.В.
Гусев, Б.А
Технология производства
title Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
title_alt Проблеми ресурсозбереження та екологічної безпеки в гальва-нотехнології
Problems of the savings of resources and ecological safety in technology of galvanic manufacture
title_full Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
title_fullStr Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
title_full_unstemmed Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
title_short Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
title_sort проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53799
work_keys_str_mv AT skubilinmd problemyresursosbereženiâiékologičeskoibezopasnostivgalʹvanotehnologii
AT pisʹmenovav problemyresursosbereženiâiékologičeskoibezopasnostivgalʹvanotehnologii
AT gusevba problemyresursosbereženiâiékologičeskoibezopasnostivgalʹvanotehnologii
AT skubilinmd problemiresursozberežennâtaekologíčnoíbezpekivgalʹvanotehnologíí
AT pisʹmenovav problemiresursozberežennâtaekologíčnoíbezpekivgalʹvanotehnologíí
AT gusevba problemiresursozberežennâtaekologíčnoíbezpekivgalʹvanotehnologíí
AT skubilinmd problemsofthesavingsofresourcesandecologicalsafetyintechnologyofgalvanicmanufacture
AT pisʹmenovav problemsofthesavingsofresourcesandecologicalsafetyintechnologyofgalvanicmanufacture
AT gusevba problemsofthesavingsofresourcesandecologicalsafetyintechnologyofgalvanicmanufacture