Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред

Показана возможность создания на базе селенида индия сенсора для контроля вяжущих сред, в том числе компаундов.

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2004
Автори: Зайченко, Л.М., Середюк, А.И., Фотий, В.Д., Шевчук Ю.Ф.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53802
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред / Л.М. Зайченко, А.И. Середюк, В.Д. Фотий, Ю.Ф. Шевчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 2. — С. 57-58. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859760646551240704
author Зайченко, Л.М.
Середюк, А.И.
Фотий, В.Д.
Шевчук Ю.Ф.
author_facet Зайченко, Л.М.
Середюк, А.И.
Фотий, В.Д.
Шевчук Ю.Ф.
citation_txt Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред / Л.М. Зайченко, А.И. Середюк, В.Д. Фотий, Ю.Ф. Шевчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 2. — С. 57-58. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Показана возможность создания на базе селенида индия сенсора для контроля вяжущих сред, в том числе компаундов.
first_indexed 2025-12-02T02:45:46Z
format Article
fulltext Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2004, ¹ 2 57 ÊÎÍÒÐÎËÜ. ÊÀ×ÅÑÒÂÎ. ÍÀÄÅÆÍÎÑÒÜ Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 01.07 2003 ã. � 09.02 2004 ã. Îïïîíåíò ê. ô.-ì. í. Â. À. ÁÎÐÙÀÊ (ÎÍÓ èì. È. È. Ìå÷íèêîâà, ã. Îäåññà) Ë. Ì. ÇÀÉ×ÅÍÊÎ, ê. ô.-ì. í. À. È. ÑÅÐÅÄÞÊ, ê. ô.-ì. í. Â. Ä. ÔÎÒÈÉ, Þ. Ô. ØÅÂ×ÓÊ Óêðàèíà, ã. ×åðíîâöû, ÎÀÎ "Êâàðö", ÊÒÁ «Ôîòîí-Êâàðö», ×åðíîâèöêèé íàö. óíèâåðñèòåò; ã. Ëüâîâ, ËÎ Èíñòèòóòà ïðîáëåì ìàòåðèàëîâåäåíèÿ E-mail: photon@argocom.cv.ua Ïîêàçàíà âîçìîæíîñòü ñîçäàíèÿ íà áàçå ñåëåíèäà èíäèÿ ñåíñîðà äëÿ êîíò- ðîëÿ âÿæóùèõ ñðåä, â òîì ÷èñëå êîìïà- óíäîâ.  çàäà÷àõ íåïðåðûâíîãî íåðàçðóøàþùåãî êîíò- ðîëÿ ïàðàìåòðîâ ïðîöåññà ôîðìèðîâàíèÿ âÿæóùèõ ñðåä (è, â ÷àñòíîñòè, öåìåíòíîãî êàìíÿ), êîëè÷åñòâåí- íîãî îïðåäåëåíèÿ âðåìåíè ñõâàòûâàíèÿ ñìåñè è äè- íàìèêè íàáîðà ïðî÷íîñòè èñïîëüçóþòñÿ ÷óâñòâèòåëü- íûå äàò÷èêè-ñåíñîðû, êîòîðûå ïîìåùàþòñÿ â êîíò- ðîëèðóåìóþ âÿæóùóþ ñðåäó, è ñðàâíèòåëüíî íåñëîæ- íàÿ âòîðè÷íàÿ ðåãèñòðèðóþùàÿ àïïàðàòóðà. Êðîìå òîãî, â ïðîöåññå ýêñïëóàòàöèè íàãðóæåííûõ îáúåê- òîâ (êîíñîëüíûõ áàëîê è äð.) âîçíèêàþò ëîêàëüíûå óïðóãèå è ïëàñòè÷åñêèå äåôîðìàöèè, âåëè÷èíà êîòî- ðûõ ñóùåñòâåííî âëèÿåò íà ïðî÷íîñòíûå õàðàêòåðè- ñòèêè êîíñòðóêöèé, ÷òî òàêæå ìîæåò áûòü çàðåãèñò- ðèðîâàíî ïîëóïðîâîäíèêîâûìè ñåíñîðàìè.  òðàäèöèîííûõ êðåìíèåâûõ è ãåðìàíèåâûõ ñåí- ñîðàõ çíà÷åíèå êîýôôèöèåíòà áàðè÷åñêîé ÷óâñòâè- òåëüíîñòè ÊÐ íå ïðåâûøàåò 10�10 Ïà�1, à òåíçî÷óâ- ñòâèòåëüíîñòè � ÊÒ≤102 [1, 2].  íàñòîÿùåé ðàáîòå èññëåäóåòñÿ âîçìîæíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ â êà÷åñòâå ñåíñîðîâ ïîëóïðîâîäíè- êîâûõ ìîíîêðèñòàëëîâ òèïà À3Â6, êîòîðûå çà ñ÷åò êâà- çèäâóìåðíîé ñëîèñòîé ñòðóêòóðû îáëàäàþò ðåêîðä- íî âûñîêîé áàðè÷åñêîé è òåíçî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ. Òàê, äëÿ ìîíîêðèñòàëëîâ ñåëåíèäà èíäèÿ InSe ÊÐ ñîñòàâëÿåò 10�8÷10�7 Ïà�1, à ÊÒ= 103÷104. Àíèçîòðîïèÿ ñâîéñòâ, íàëè÷èå «ñëàáîãî» âàíäåð- âààëüñîâñêîãî âçàèìîäåéñòâèÿ â ìåæñëîåâîì ïðî- ñòðàíñòâå è ÿâëåíèå «ñàìîî÷èñòêè» [3, ñ. 212] îáóñ- ëàâëèâàþò âûñîêóþ ÷óâñòâèòåëüíîñòü ñëîèñòûõ ìî- íîêðèñòàëëîâ ê âíåøíèì ìåõàíè÷åñêèì âîçäåéñòâè- ÿì. Âíåøíèå âëèÿíèÿ (äåôîðìàöèÿ èëè âñåñòîðîííåå äàâëåíèå) ñóùåñòâåííî âëèÿþò íà «äâóìåðíîñòü» ìàò- ðèöû-êðèñòàëëà è, ñîîòâåòñòâåííî, íà ýëåêòðè÷åñêèå ñâîéñòâà. Ñóòü ÿâëåíèÿ âûñîêîé áàðè÷åñêîé è òåíçî- ÷óâñòâèòåëüíîñòè ñëîèñòûõ ìîíîêðèñòàëëîâ âèäíà èç ñëåäóþùåãî.  îêðåñòíîñòè ìèíèìóìà çîíû Áðèëëþýíà â ñëó÷àå íåâûðîæäåííîãî ñïåêòðà çàêîí äèñïåðñèè èìååò âèä ε(k)= ∗ ⊥ m k 2 22 h +βcos(kZ d), ÑÅÍÑÎÐ ÄËß ÊÎÍÒÐÎËß ÏÐÎÖÅÑÑΠÔÎÐÌÈÐÎÂÀÍÈß È ÍÀÁÎÐÀ ÏÐÎ×ÍÎÑÒÈ Â߯ÓÙÈÕ ÑÐÅÄ Ïðè k⊥=0 ε=cosβ(kZ d). Ïîñêîëüêó â «÷èñòûõ», íåíàïðÿæåííûõ êðèñòàëëàõ çíà÷åíèå èíòåãðàëà ïåðå- êðûòèÿ β íåâåëèêî, òî ìàêñèìàëüíàÿ ýíåðãèÿ çàìê- íóòîé èçîýíåðãåòè÷åñêîé ïîâåðõíîñòè εî=β. Îñòàëü- íûå èçîýíåðãåòè÷åñêèå ïîâåðõíîñòè ÿâëÿþòñÿ îòêðû- òûìè. Ïðè ε>>εî çîííûé ñïåêòð ñòàíîâèòñÿ äâóìåð- íûì, ýëåêòðîíû äâèæóòñÿ â ñëîÿõ, ïåðåõîäû èç ñëîÿ â ñëîé íå ïðîèñõîäÿò.  ýòîì «èäåàëüíîì» ñëó÷àå êâàíòîâûì ÷èñëîì ÿâëÿåòñÿ íå kZ, à íîìåð ñëîÿ s [3, ñ. 212]. Îäíàêî â ñëó÷àå âîçíèêíîâåíèÿ äåôîðìàöè- îííîé «íåèäåàëüíîñòè» êðèñòàëëà çíà÷åíèå èíòåãðà- ëà ìåæäóñëîåâîãî ïåðåêðûòèÿ èçìåíÿåòñÿ íà íåñêîëü- êî ïîðÿäêîâ, ýíåðãåòè÷åñêèé ñïåêòð ïðèáëèæàåòñÿ ê òðåõìåðíîìó. Ïîñëåäíåå, î÷åâèäíî, ïðèâîäèò ê çíà- ÷èòåëüíîìó èçìåíåíèþ ýëåêòðîêèíåòè÷åñêèõ õàðàê- òåðèñòèê íèçêîðàçìåðíîãî êðèñòàëëà. Êàê èçâåñòíî, â ïðîöåññå ñõâàòûâàíèÿ è íàáîðà ïðî÷íîñòè â öåìåíòíîé ñìåñè âîçíèêàþò âíóòðåííèå íàïðÿæåíèÿ âñåñòîðîííåãî ñæàòèÿ è äåôîðìàöèè, êîòîðûå è ìîãóò áûòü çàðåãèñòðèðîâàíû äàííûìè ñåí- ñîðàìè çà ñ÷åò èçìåíåíèÿ èíòåãðàëà ìåæñëîéíîãî ïåðåêðûòèÿ â òàêèõ ìîíîêðèñòàëëàõ [3, 4]. Âûðàùèâàíèå ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñëèòêîâ ìîíî- ñåëåíèäà èíäèÿ (InSe) ïðîâîäèëîñü èç ïðåäâàðèòåëü- íî ñèíòåçèðîâàííîãî ìàòåðèàëà, âçÿòîãî â ñòåõèîìåò- ðè÷åñêîé ïðîïîðöèè ïî ìåòîäó Áðèäæìåíà. Ðàçðåçêà ñëèòêîâ íà øàéáû ïðîâîäèëàñü íà óñòàíîâêå «Àë- ìàç-4», îáðàçöû ïîëó÷åíû ðàñêàëûâàíèåì ïî ïëîñ- êîñòÿì ñïàéíîñòè. Êîíòðîëü ïàðàìåòðîâ (ýëåêòðîïðî- âîäíîñòè, êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé è èõ ïîäâèæíî- ñòè) ïðîâîäèëñÿ äëÿ êàæäîé ïàðòèè ìàòåðèàëà. Ìå- òîäèêà èçãîòîâëåíèÿ ñåíñîðîâ è ïðèìåíåíèå ïîñëåä- íèõ â äàò÷èêàõ äàâëåíèÿ, äåôîðìàöèè è àêñåëåðî- ìåòðàõ èçëîæåíà â [1, 2]. Ñåíñîð äëÿ êîíòðîëÿ ïðîöåññîâ «ñõâàòûâàíèÿ» è íàáîðà ïðî÷íîñòè ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ïîëóïðîâîä- íèêîâûé êðèñòàëë ìîíîñåëåíèäà èíäèÿ (6×1,5×1 ìì) ãäå ε � k � h = h � k⊥, kZ � m* � β � d � ýíåðãèÿ ýëåêòðîíà â çîíå; âîëíîâîé âåêòîð ýëåêòðîíà; ; 2π h ïîñòîÿííàÿ Ïëàíêà; êâàçèèìïóëüñû, íàïðàâëåííûå âäîëü è ïîïåðåê ñëîåâ, ñîîòâåòñòâåííî; ýôôåêòèâíàÿ ìàññà, êîòîðàÿ õàðàêòåðèçóåò äâèæåíèå ýëåêòðîíà â ñëîå; èíòåãðàë âçàèìîäåéñòâèÿ ìåæäó ñëîÿìè; ïîñòîÿííàÿ ðåøåòêè âäîëü ãåêñàãîíàëüíîé îñè. 58 ÊÎÍÒÐÎËÜ. ÊÀ×ÅÑÒÂÎ. ÍÀÄÅÆÍÎÑÒÜ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2004, ¹ 2 ñ äâóìÿ ýëåêòðè÷åñêèìè êîíòàêòàìè è äèýëåêòðè÷å- ñêèì óïðóãèì ïîêðûòèåì (ðèñ. 1). Âòîðè÷íûé ðåãèñò- ðàòîð � ìîäèôèöèðîâàííûé ïîòåíöèîìåòð (â ëàáî- ðàòîðíûõ óñëîâèÿõ ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû ïîòåí- öèîìåòðû òèïà ÊÑÏ, ÊÑÌ, ÊÑÓ è äð.). Êàê âòîðè÷- íûé ïðåîáðàçîâàòåëü ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû ìèê- ðîêîíòðîëëåðû «Microchip» òèïà ÐIÑ 16 (17, 18) c ñîîòâåòñòâåííî çàëîæåííûìè ïðîòîêîëîì èçìåðåíèé è âåðèôèêàöèåé äàííûõ. Èçìåðÿåìîé âåëè÷èíîé ÿâëÿåòñÿ îòíîñèòåëüíîå èç- ìåíåíèå ýëåêòðè÷åñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ñåíñîðà ∆R/R, êîòîðîå êîððåëèðóåò ñ ïðî÷íîñòíûìè õàðàêòåðèñòèêà- ìè öåìåíòíîãî êàìíÿ. Âîçìîæíûé ðàçáðîñ ïàðàìåòðîâ ñåíñîðîâ îò ïàðòèè ê ïàðòèè, âëèÿíèå òåìïåðàòóðû è äðóãèõ âíåøíèõ ôàêòîðîâ ìîæíî óñòðàíèòü ïðîãðàì- ìíûì ïóòåì ñ ñîîòâåòñòâóþùåé âåðèôèêàöèåé äàííûõ. Äëÿ êîëè÷åñòâåííîãî îïðåäåëåíèÿ ïàðàìåòðîâ êîð- ðåëÿöèè ïðîâåäåíû ýêñïåðèìåíòàëüíûå èññëåäîâàíèÿ âåëè÷èíû ∆R/R êàê ôóíêöèè âðåìåíè íà ðàçëè÷íûõ ìàðêàõ ïîðòëàíäöåìåíòà ïðè ðàçíûõ òåìïåðàòóðàõ ôîðìèðîâàíèÿ öåìåíòíîãî êàìíÿ (�40...+60°Ñ). Ïà- ðàëëåëüíî ýòèì èññëåäîâàíèåì ïðîâåäåíû èçìåðå- íèÿ ïðî÷íîñòè öåìåíòíîãî êàìíÿ ñòàíäàðòíûì ìåòî- äîì ðàçðóøåíèÿ êóáèêîâ-"ñâèäåòåëåé". Äëÿ ïðîâå- äåíèÿ èçìåðåíèé èñïîëüçîâàëàñü òåðìîýëåêòðè÷åñêàÿ êàìåðà ÒÊ-1. Ïóòåì ñîïîñòàâëåíèÿ ðåçóëüòàòîâ èñ- ñëåäîâàíèé óñòàíîâëåíû êîððåëÿöèîííûå çàâèñèìî- ñòè ìåæäó âåëè÷èíîé ∆R/R è ïðî÷íîñòüþ äëÿ ðàç- íûõ òåìïåðàòóð è ìàðîê öåìåíòà. Òèïè÷íàÿ âðåìåííàÿ çàâèñèìîñòü îòíîñèòåëüíîãî èçìåíåíèÿ ñîïðîòèâëåíèÿ ñåíñîðà â âÿæóùåé ñðåäå èìååò âèä, ïðåäñòàâëåííûé íà ðèñ. 2. Ó÷àñòêè ìîíî- òîííîãî óâåëè÷åíèÿ è ýêñòðåìóìà îòâå÷àþò ìîìåí- òàì «ñõâàòûâàíèÿ», à â îáëàñòè çà ïåðåãèáîì � õà- ðàêòåðèçóþò íàáîð ïðî÷íîñòè öåìåíòíîãî êàìíÿ. Îòäåëüíî óñòàíîâëåíû êðèòåðèè ðàñïîçíàâàíèÿ ïðîöåññîâ «ñõâàòûâàíèÿ» (ò. å. îáðàçîâàíèÿ êðèñòàë- ëîãèäðàòîâ â öåìåíòíîì êàìíå) è êðèñòàëëèçàöèè ñâîáîäíîé âîäû â ñìåñÿõ ïðè îòðèöàòåëüíûõ òåìïå- ðàòóðàõ, ÷òî ïðåäñòàâëÿåòñÿ âàæíûì ïðè çèìíèõ óñ- ëîâèÿõ ñòðîèòåëüñòâà îáúåêòîâ. *** Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ìîãóò áûòü îñíîâîé äëÿ ðàçðàáîòêè è âíåäðåíèÿ ñåðèéíûõ íåðàçðóøà- þùèõ ñèñòåì ñ ÷óâñòâèòåëüíûìè äàò÷èêàìè íà îñ- íîâå ïîëóïðîâîäíèêîâûõ êðèñòàëëîâ À3Â6 äëÿ êîí- òðîëÿ ïðîöåññîâ «ñõâàòûâàíèÿ» è íàáîðà ïðî÷íî- ñòè â îáëàñòè ñòðîèòåëüñòâà è ýêñïëóàòàöèè íàãðó- æåííûõ îáúåêòîâ, ãèäðîòåõíè÷åñêèõ ñîîðóæåíèé, íåôòÿíûõ è ãàçîâûõ ñêâàæèí è äð. Ïîëó÷åííûå çàâèñèìîñòè è ñàì ìåòîä êîíòðîëÿ ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû è äëÿ äðóãîãî òèïà âÿ- æóùèõ ñðåä è êîìïàóíäîâ, â ÷àñòíîñòè, äëÿ àíàëè- çà è êîíòðîëÿ ñîñòîÿíèÿ âûñîêîñòàáèëüíûõ èçäå- ëèé ïîëóïðîâîäíèêîâîé òåõíèêè, çàëèòûõ â ðàçëè÷- íûå êîìïàóíäû. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. À. ñ. 1384133 ÑÑÑÐ. Ïîëóïðîâîäíèêîâûé ïðåîáðàçîâàòåëü äàâëåíèÿ / Ç. Ä. Êîâàëþê, Â. Ê. Ëóêüÿíþê, À. È. Ñåðåäþê è äð.� 1988. 2. À. ñ. 1354928 ÑÑÑÐ. ×óâñòâèòåëüíûé ýëåìåíò ïðåîáðàçî- âàòåëÿ äàâëåíèÿ / Â. Â. Äðàãîìåðåöêèé, Ç. Ä. Êîâàëþê, Ì. Í. Ïûðëÿ è äð.� 1988. 3. Òîâñòþê Ê. Ä. Ïîëóïðîâîäíèêîâîå ìàòåðèàëîâåäåíèå.� Êèåâ: Íàóê. äóìêà, 1984. 4. Äðàãîìåðåöêèé Â. Â., Êîâàëþê Ç. Ä., Ïûðëÿ Ì. Í., Ñåðåäþê À. È. Èññëåäîâàíèå ýëåêòðîííûõ ñïåêòðîâ â èíòåðêàëàòàõ InSe / Òåç. äîêë. Âòîðîãî âñåñîþç. ñèìïîçèóìà «Íåîäíîðîäíûå ýëåêò- ðîííûå ñîñòîÿíèÿ».� Íîâîñèáèðñê.� 1987.� Ñ. 260�261. Ðèñ. 1. Èçìåðèòåëüíàÿ ÿ÷åéêà Âÿæóùàÿ ñðåäà Ñåíñîð t, ÷ dR /R 1 2 3 4 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 0 5 10 15 20 250 Ðèñ. 2. Âðåìåííàÿ çàâèñèìîñòü ∆R/R ñåíñîðà ïðè ðàçëè÷- íîé òåìïåðàòóðå ôîðìèðîâàíèÿ ïîðòëàíäöåìåíòà Ì-400: 1 � �20°Ñ; 2 � 0°Ñ; 3 � 20°Ñ; 4 � 40°Ñ
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-53802
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-02T02:45:46Z
publishDate 2004
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Зайченко, Л.М.
Середюк, А.И.
Фотий, В.Д.
Шевчук Ю.Ф.
2014-01-27T18:29:48Z
2014-01-27T18:29:48Z
2004
Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред / Л.М. Зайченко, А.И. Середюк, В.Д. Фотий, Ю.Ф. Шевчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 2. — С. 57-58. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53802
Показана возможность создания на базе селенида индия сенсора для контроля вяжущих сред, в том числе компаундов.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Контроль. Качество. Надежность
Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред
Сенсор для контролю процесів формування та набору міцності в'яжучих середовищ
The viscous media formation and strengthening processes control sensor
Article
published earlier
spellingShingle Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред
Зайченко, Л.М.
Середюк, А.И.
Фотий, В.Д.
Шевчук Ю.Ф.
Контроль. Качество. Надежность
title Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред
title_alt Сенсор для контролю процесів формування та набору міцності в'яжучих середовищ
The viscous media formation and strengthening processes control sensor
title_full Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред
title_fullStr Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред
title_full_unstemmed Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред
title_short Сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред
title_sort сенсор для контроля процессов формирования и набора прочности вяжущих сред
topic Контроль. Качество. Надежность
topic_facet Контроль. Качество. Надежность
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/53802
work_keys_str_mv AT zaičenkolm sensordlâkontrolâprocessovformirovaniâinaborapročnostivâžuŝihsred
AT seredûkai sensordlâkontrolâprocessovformirovaniâinaborapročnostivâžuŝihsred
AT fotiivd sensordlâkontrolâprocessovformirovaniâinaborapročnostivâžuŝihsred
AT ševčukûf sensordlâkontrolâprocessovformirovaniâinaborapročnostivâžuŝihsred
AT zaičenkolm sensordlâkontrolûprocesívformuvannâtanaborumícnostívâžučihseredoviŝ
AT seredûkai sensordlâkontrolûprocesívformuvannâtanaborumícnostívâžučihseredoviŝ
AT fotiivd sensordlâkontrolûprocesívformuvannâtanaborumícnostívâžučihseredoviŝ
AT ševčukûf sensordlâkontrolûprocesívformuvannâtanaborumícnostívâžučihseredoviŝ
AT zaičenkolm theviscousmediaformationandstrengtheningprocessescontrolsensor
AT seredûkai theviscousmediaformationandstrengtheningprocessescontrolsensor
AT fotiivd theviscousmediaformationandstrengtheningprocessescontrolsensor
AT ševčukûf theviscousmediaformationandstrengtheningprocessescontrolsensor