Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge
На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/54421 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-54421 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. 2014-02-01T21:28:28Z 2014-02-01T21:28:28Z 2004 Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/54421 На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы для микроэлектроники Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge Акустостимульоване зниження температури відпалу радіаційних дефектів у кристалах Ge Acoustostimulated decrease the annealing temperature of radiation defects in the Ge crystals Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| spellingShingle |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. Материалы для микроэлектроники |
| title_short |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_full |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_fullStr |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_full_unstemmed |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_sort |
акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах ge |
| author |
Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. |
| author_facet |
Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. |
| topic |
Материалы для микроэлектроники |
| topic_facet |
Материалы для микроэлектроники |
| publishDate |
2004 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Акустостимульоване зниження температури відпалу радіаційних дефектів у кристалах Ge Acoustostimulated decrease the annealing temperature of radiation defects in the Ge crystals |
| description |
На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/54421 |
| citation_txt |
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT olihâm akustostimulirovannoeponiženietemperaturyotžigaradiacionnyhdefektovvkristallahge AT lisûkia akustostimulirovannoeponiženietemperaturyotžigaradiacionnyhdefektovvkristallahge AT timočkond akustostimulirovannoeponiženietemperaturyotžigaradiacionnyhdefektovvkristallahge AT olihâm akustostimulʹovaneznižennâtemperaturivídpaluradíacíinihdefektívukristalahge AT lisûkia akustostimulʹovaneznižennâtemperaturivídpaluradíacíinihdefektívukristalahge AT timočkond akustostimulʹovaneznižennâtemperaturivídpaluradíacíinihdefektívukristalahge AT olihâm acoustostimulateddecreasetheannealingtemperatureofradiationdefectsinthegecrystals AT lisûkia acoustostimulateddecreasetheannealingtemperatureofradiationdefectsinthegecrystals AT timočkond acoustostimulateddecreasetheannealingtemperatureofradiationdefectsinthegecrystals |
| first_indexed |
2025-12-07T19:14:46Z |
| last_indexed |
2025-12-07T19:14:46Z |
| _version_ |
1850878078946902016 |