Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge
На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/54421 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862729569370374144 |
|---|---|
| author | Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. |
| author_facet | Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. |
| citation_txt | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:14:46Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-54421 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:14:46Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. 2014-02-01T21:28:28Z 2014-02-01T21:28:28Z 2004 Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge / Я.М. Олих, И.А. Лисюк, Н.Д. Тимочко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 10-13. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/54421 На модельных образцах нейтронно-легированного Се испытана оригинальная методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Материалы для микроэлектроники Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge Акустостимульоване зниження температури відпалу радіаційних дефектів у кристалах Ge Acoustostimulated decrease the annealing temperature of radiation defects in the Ge crystals Article published earlier |
| spellingShingle | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge Олих, Я.М. Лисюк, И.А. Тимочко, Н.Д. Материалы для микроэлектроники |
| title | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_alt | Акустостимульоване зниження температури відпалу радіаційних дефектів у кристалах Ge Acoustostimulated decrease the annealing temperature of radiation defects in the Ge crystals |
| title_full | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_fullStr | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_full_unstemmed | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_short | Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge |
| title_sort | акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах ge |
| topic | Материалы для микроэлектроники |
| topic_facet | Материалы для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/54421 |
| work_keys_str_mv | AT olihâm akustostimulirovannoeponiženietemperaturyotžigaradiacionnyhdefektovvkristallahge AT lisûkia akustostimulirovannoeponiženietemperaturyotžigaradiacionnyhdefektovvkristallahge AT timočkond akustostimulirovannoeponiženietemperaturyotžigaradiacionnyhdefektovvkristallahge AT olihâm akustostimulʹovaneznižennâtemperaturivídpaluradíacíinihdefektívukristalahge AT lisûkia akustostimulʹovaneznižennâtemperaturivídpaluradíacíinihdefektívukristalahge AT timočkond akustostimulʹovaneznižennâtemperaturivídpaluradíacíinihdefektívukristalahge AT olihâm acoustostimulateddecreasetheannealingtemperatureofradiationdefectsinthegecrystals AT lisûkia acoustostimulateddecreasetheannealingtemperatureofradiationdefectsinthegecrystals AT timočkond acoustostimulateddecreasetheannealingtemperatureofradiationdefectsinthegecrystals |