Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах

На примере датчика давления с пьезокерамическим преобразователем на ПАВ показана перспективность использования тензоэффекта в датчиках физических величин.

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2004
Автор: Лепих, Я.И.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/54432
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 53-54. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860258500789141504
author Лепих, Я.И.
author_facet Лепих, Я.И.
citation_txt Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 53-54. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description На примере датчика давления с пьезокерамическим преобразователем на ПАВ показана перспективность использования тензоэффекта в датчиках физических величин.
first_indexed 2025-12-07T18:52:31Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� �� � ��� ������ � �������� � !�� ���� �! "������ ������������������ �� #$%�������&'�������$� �! (!&)� ��*���+ �%�,-. �%/012-3 ( �124",5/(�/-�106278 )91":9%4"/%�1018 2% )"/19;2"(�27; %.5(�-,1(.-; /"02%; ����� ��������� ����� � 5������� "������� ��������<�=� �������� � �>! -! -! 8�?������ @&ABCDE FGDHDIJCKLMABCD!NO ��������������������������������� !�� ��������������!"�� !������������#� �!�� ���������������!�������!�� !�� ������� !$����������������%��� ��� ���%��������� /�������� >��������������=� ��� �> �*��*� & �� ��P��>���� ����� ���*����>=> �����Q��� ��& ����� � ��R��*� �� ���=� ������� ����*��R��� ���� ��R��?�=� P�R�?����� ����?��� ���*���� ����� ����& �� ��� �S�� ��*����� > �� ��*� = � ��� ��� ��P& ���=� ��� �>! ( � �� �?�� R���� ����*��R��� ��� ��P��>���� �� ��������� �=� ���� �?����� ������ #)%/+ �� � � ����> �R ������� ���=� � *=� �� ��R�����S��� ������� ���*����� ! �! ��� ���?�� ��?� �� � ��*� ������� ������=� � >� ������?�& ���� ����� ���� ��� � ��R��� � �������� < � � ��& ��� � ���� �����S�� �������?�=> �� ���� ��>� ��& � �����=> �� ������ P�R�?����� ��������� TUV! )���*��R��� ��� �� )%/ ����� ���R�� � �=����> *=� ������ ���> � >��=> �������� ��*�����>� � �� ����� ���� ��� � ��?�� ��R��� ����?��= �������& ��� � � ��� ���R���! ��� ���� ��> � �� ����*��R���& ���� �� � � ��W� �������� � ��� ���� ��R��� �& S� ����� � < �� ���� ������ � ��� �R�� ������� ���>��� < ��������� ���������� ���>�� �>�� � ����Q� � ��*� ����� ���������� �R�� ������ ��& �������������=� ���*���� � �� �����<�=� ���>! )���*��R��� ��� �� )%/ � �� �����<��> ���������� �>�� >��=� ��*��� = � ���� �*����� �=����>� ��& ��W��� <� � �������R����>�� <� ����>� ���! )����& S�� �R>��� ��<�=> ����*��R��� �� > �� )%/ ?�� � & �=� ��� �=������� ������� ���*���� ���� => �*��R�> ���>�� �> � >��������������=>� ��� �>�>� �*��*� & �� ��P��>���� � �>�� �=����� ��>����� ��?���� <! / ����*��R��� �� � �� )%/ ����� ���>������� � �������>� ��>�&� ���� ��& � ��R�������� �R��& >����� �� � >���� �� ��=� �� � � ��� �R�� R���& ��>�� � ���� ��P�R�?����� ����� � ����= � �����& ���� ��� ������� ������ )%/ � ����?��= �����& W���=� ��� �� � ���S�� P�R�?����� �����! / T�� �V ������ �� ?�� ������� � ��R�?��� ��& ��<�=> ����*��R��� ���> �� )%/� ?��� �� ��<�=� ���>�� �� ����� �=������ � ���� ���P����������� >�>*���= �R ������ XCY � ! / ��> �������� ����= ���& �����>�� � ?���R ����>��� ����� < ���� ������& ��� <� >�>*���=! / ��*� � T�V �������� ���� �?����� �����R ��*�& = ��R�����*��R��� �� �� )%/ � ���������� R���& ��>�� < ��� ����� ���� �� � >�� � �������W��� �� ��?��&Q =���=� ����*��R��� ���� #/Z)+ �� ��& ������� � >�>*���=! / ��� � S�� ��*� � ����� �����= ��R��< � = ��R& ��*� �� �� ?��� ������� � ��R�?��� �� ��<�=> ���& �*��R��� ���> �� )%/ � ���� ������<�� R��������& ��� �<�R�����>�?����� ���� ��=! -����<R������ �<�R�����>��� � ��?�� �� ��& R�?��� �� ��<���� R����������� ����*��R���& �� �� )%/ �>�� � � ����>�S�� � � ��������� � >�& ������ ����?����>� >� ������>�! "�����=>� �R ��� �� � � ��� � �?�� ���� �� �*����?���� >���?�� � & ��� � ������� ����*���� ������ ��� �R� ������ � ����� � �<�R�����>���� �=���� ?��� �� ��<��� < R� �?� *���� �=������ � �*S�> ���?�� �� ���PP����� � ���� ��>�����?����� �� R�� *��<Q�� ����>�?����� �����R��� ����W��� < � ��R�� � ��>�� < T�V! )<�R�����>�?���� ���� ��� ��R>���>� ��×[ >> ������<�� ��������< � � ���� ������� �� ?���� � ���& �������W�=� ����� �� ���������� �����R��� ����& �����>�� ?���R Q �� � �� �?���� ������� #� ����+! ���S��� ���� ��= ������� ���< ����� �R ��*���& ��� ?��� �� ��<��� �� ����>�?������ �����R��� � >�& ����?����� ���?��� �! / ��Q�> ���?�� ��S��� ���& � ��= ���� ���< U >>! 2� ��*�?�� ��������� < ��& �������< ��� /Z)� �� ��=�� � � ��?�� � �R��� �=� ���� ������ ����*��R��� ���� ����� W� ��R��?��� � P��>������� %,; �R����������� P��< �� � ��� ���<& ��� ?�� � �� &�\U� 8]�! /=������ /Z) *=� �����& W�� � Q���> �λ� ��� λ ^ ����� ����=! ���� ���� & ����� /Z) �>�� � � ����>�S�� � � ��������� � �������>� ̂ �*����?���� � ��� �W���� �� �>��<& ���� R��?��� �>������� /Z) � ��� � �?�� �����& ����� < ����R���� ������� ��� �=����� ��������?& ��� � ���>�� � �� )%/ � ����>! _��< � �� )%/� �P��& >�������=� ���> �*��R�>� �����<R����� � �R>���& ��<��� ���>� � ��?�� �� ?�� � �R����S��� ���>�� � � ���� �*�� ��� �� R� Q�������������� ����� �� ! 9��! U! ( ��� ���� ���>� ��R�?��� �� ��<���� ���& �*��R��� �� �� )%/E ' ̂ ����>�?���� ���� ���` ( ̂ /Z) ) ) � U * �� ���������� �� �� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � 9�*�?� ?�� � � ���>�� � �� )%/ �=& *������< ����� �R ������� �PP�� ����& � � �*��*� �� ������� ��� �����<R������ ������ ����� ���>= � ����>�����> ��W�& >�� � ��W� ����S��� ��*������ �� ��& ������� # �?��� �+ �R�� ������ /Z)! :���� �=����� ��*�?�� ?�� � = ��*�� ��� �� � ���S��� �>��<Q��� Q����= ���� ����� /Z) � ���� � �� >�W�� ��>�� ! �! ���=Q��� ����� ��������& ?����� ��*������� �� �>�� � � �>� ���& ��� � ��R��� ���� �����>=� �� ��< ���& >�� � �� )%/ � �<�R�����>�?����> R�����������>! .���� ���� ��= ��������� � W�� ��� � ���� ������� ��������=> ����> � ��>����� �>�� �*��& ��?����S�>� ���������� ����R� �=� ���� �?����� ��������! ����>�?����� �����R�� ������� � � ����?���� >�& ����?����� ��*�� ��� � ������ ��� �<�R�����>���� �>�& �S�� �� ��R��?�=� >���� R��?��� � ab� �� cde&� P��>= fONBgB #3���� + �� ���� �� ).9&�� 9�� ��& �����&��&���� -�� � � � P�R��� #9���� +! ���R��P& P�� �������� � �� �R>������ ��� ���<��� ?�� � = & � �)%/&P��< �� ∆&\&h& � #& ^ ���S�� R��?���� ?��& � =+ � R�����>�� � � ����?��= �����R�� �� ���& *����> ����� ������<�� R�S�>������ �<�R�����>�& ?����� ���� ��= �� � ��� ���� /Z) � �����<R���& ���> ������ ����� ���>= ����?��� ! 2� *�R� ��R�?��� �� ��<���� ����*��R��� �& � �� )%/ *=�� ��R��*� ��� ���� ��?���� ���>� �� ?���� ����� ������� �� � ����! / �������� �������>�� ��<�=� ������������ *=�� ����������� ? �� � �?�� R���� �PP�� ����� � ���& �*��R����� � ���?Q��� ��� ��Q��� ������iQ�>� �� �>��<��� �������W���� /Z) � >�� � R�S�>��& �� ������� #���! U+ ������� � � �=��W����> )\+,λi�� 2� ���> W� ���� � ��� � �?�� �����W��� ��& ���R�� ���W�� ��������� <� � ���� /Z)! ' � �*j �& � � � �>� ? � ����R� �=� ���� �?����� ������=� � & ��W� �< � ���� �?����� ������������ ��� � �> ?��& �� >�� � �������� �������� � P�R�� λi���R��>�� ��>�������� � ! .��>� ���� P��>��� �R�������& ��� %,; ���>�� � �� )%/� ���*����>� �����<R��� < ���� ������ /Z)� ���S�� >����>��<�� ����=� �� �>��� ��� P��� )%/! 8�����?����� ?�� <� ���� ������ ������>� ��& ��� � ��R>�W��� < ����P��>���� ����?��= �����R& �� �� ?��� �� ��<�=� ���>�� � �*����?����S� ��& P��>���� ���� ��= �� �� �>��<��> �������� � ���& ���� �� ���?��� �! /�W�� � >� � < ��W� �S� ���� ��� ���� �� ���& ���� ����*��R��� �� � � �>����� ��R>�W��� < �����& ���� ��� ?��� �� ��<��� <� ���� => �����*�> ^ �R>������> ���>� ��?����� ��R>���� �<�R�����>�& ?����� ���� ��=! 2� � ���� �������� ���P�� R�����>�� � �R>�& ���� ?�� � = �=������� ������� �� ?��� � ���& ���� *! ���!��-����%��������� %��������������������� 2� ����� ���� <� ? � �� ������ ��R��PP�� � � �����<R������> ��R�?��� �� ��<���� ���>�� � �� )%/ >�W�� ��� ��� < �� ?��� �� ��<�� ������� � �� � ������=� � �����=� ����>�S����� �>���� ��= � ������ P�R�?����� ����?��� �����<R� � ��� �R��& � �=� ����*��R��� ��� ��� �� � ���S�� ����?�� � >�����?����� �����R��! ,�� � �=� ��� �=������� ������� �� ?��� �*��& ��?���� ����S���� ���<���Q�� �*��*� �� ��� � ��& >�S<� ��P���=� ��� �>! -()"064"/%2271 -(�",2-.- U! 0��k� 3! l! %��� �?�k �� ?��� �� �*������� k �������k?& ��� ������k�� �k ��� ��� <� R 1"8 ii/�>k�����<�� � �*?��& �����<�� ���k�� � �������k?��� ��������!^ ���U!^ /��! b!^ (! �[�^�[�! �! (�>���� /! 2!� 5�< ��� %! (! )<�R���R������=� �� ?�� �R*= �?���� ������� m.����&�-n ii )��*��= � ��� �>= �����& ���� !^ U �!^ � �!^ (! �! �! 0���� 3! -!� 0���Q���� /! .!� ,��� � 2! ]!� 2��������� o! 1! "��*����� � ��R��*� �� �� ?���� ������� �� )%/ �� %'( ii ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ �& ��!^����!^ /=�! �!^ (! �b^a�! �! pIJCKL qB! r!� fBKBNst u! r!� vIwFCgxLIFKs p! y!� zDItg{st y! f! eLI �JJDCxBgCsF s| |INNs&JCIwsIDIxgNCx xINBACx{ s| GC||INIFg xsAJs{CgCsF CF Xy} GItCxI{ i eLI eIFgL rFgINFBgCsFBD X~AJs{COA sF gLI yJJDCxBgCsF s| �INNsIDIxgNCx{!^ @B{g �NOF{�CxK� �I� �IN{I~! ^ U a!^ c! U�U^U��! ��� )�̂ +�̂ ,�. λ�. ���� � ��� � ��� �� /Z) �� >�� � R�S�>���� ` ���� ��� /Z)` ���� �� ��?� ��� ?����` ����� ����= �� ?�� � � ���� �?������ ��������R>�! U�� a� U�h� U� U^� U� ����>�?����� �����R��� �� >���� ,��� �� ��<��� < �� �������> �?�� ��� ]�i2 )������� ?��� �� ��<��� <� 2 ��� ���<�� ?�� � � �=������� �������� 8]� ����>�?���� ������ #*=� ������ ���+� � 2��� W���� �� ��� � / 9��! �! '��� ��?���� ���>� �� ?��� 9��! �! 4�����>�� < �R>����� ?�� � = �=������� ������� �� ?��� � �����R�� � U � � �*� � ∆&� �]� �� U�
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-54432
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:52:31Z
publishDate 2004
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Лепих, Я.И.
2014-02-01T22:12:38Z
2014-02-01T22:12:38Z
2004
Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 3. — С. 53-54. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/54432
На примере датчика давления с пьезокерамическим преобразователем на ПАВ показана перспективность использования тензоэффекта в датчиках физических величин.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
Датчик тиску з тензочутливим перетворювачем на поверхневих акустичних хвилях
Pressure sensor with tensosensitive converter on the surface acoustic waves base
Article
published earlier
spellingShingle Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
Лепих, Я.И.
Сенсоэлектроника
title Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
title_alt Датчик тиску з тензочутливим перетворювачем на поверхневих акустичних хвилях
Pressure sensor with tensosensitive converter on the surface acoustic waves base
title_full Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
title_fullStr Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
title_full_unstemmed Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
title_short Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
title_sort датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/54432
work_keys_str_mv AT lepihâi datčikdavleniâstenzočuvstvitelʹnympreobrazovatelemnapoverhnostnyhakustičeskihvolnah
AT lepihâi datčiktiskuztenzočutlivimperetvorûvačemnapoverhnevihakustičnihhvilâh
AT lepihâi pressuresensorwithtensosensitiveconverteronthesurfaceacousticwavesbase