Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками
Наведено результати експериментального дослiдження плазмодинамiчних i оптичних характеристик цилiндричного газового розряду магнетронного типу в умовах безперервного контролю спектра, випромiнюваного плазмою в дiапазонi 350–820 нм. Визначено умови для синтезу бiнарної сполуки TiО₂, якi забезпечуютьс...
Saved in:
| Published in: | Український фізичний журнал |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Відділення фізики і астрономії НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56216 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками / О.А. Гончаров, А.М. Євсюков, Є.Г. Костін, О.К. Фролова // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 677-684. — Бібліогр.: 16 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56216 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Гончаров, О.А. Євсюков, А.М. Костін, Є.Г. Фролова, О.К. 2014-02-14T18:41:46Z 2014-02-14T18:41:46Z 2010 Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками / О.А. Гончаров, А.М. Євсюков, Є.Г. Костін, О.К. Фролова // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 677-684. — Бібліогр.: 16 назв. — укр. 2071-0194 PACS 52.25.Tx, 52.25.Xz, 52.70.Kz https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56216 533.9 Наведено результати експериментального дослiдження плазмодинамiчних i оптичних характеристик цилiндричного газового розряду магнетронного типу в умовах безперервного контролю спектра, випромiнюваного плазмою в дiапазонi 350–820 нм. Визначено умови для синтезу бiнарної сполуки TiО₂, якi забезпечуються пiдтримкою величини iнтенсивностi спектральних лiнiй реагуючих компонентiв i плазмоутворюючого газу. Розглянуто можливiсть контролю умов одержання плiвок TiО₂ як по спектральних характеристиках плазми розряду, так i по змiнi розрядної напруги. Елiпсометричнi дослiдження нанокристалiчних плiвок двооксиду титану показали наявнiсть залежностi показника переломлення вiд товщини плiвки. We present the results of experimental researches of plasmodynamic and optical characteristics of a magnetron-type cylindrical gas discharge. The study was carried out provided a permanent monitoring of the spectrum emitted by plasma in the range 350–820 nm. For the synthesis of binary compound TiO₂, we have determined conditions which can be ensured by a support of the intensity of spectral lines emitted by reacting components and plasma-forming gas. A possibility to control the conditions of the fabrication of a TiO₂ film with the use of both the spectral characteristics of a discharge plasma and a variation of the discharge voltage has been analyzed. Ellipsometric and spectral studies of nanocrystalline titanium dioxide films revealed the dependence of the refractive index of a film on the film thickness. Приведены результаты экспериментального исследования плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого плазмой в диапазоне 350–820 нм. Определены условия для синтеза бинарного соединения TiО₂, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Рассмотрена возможность контроля условий получения пленок TiO₂ как по спектральным характеристикам плазмы разряда, так и по изменению разрядного напряжения. Эллипсометрические и спектральные исследования нанокристаллических пленок диоксида титана показали наличие зависимости показателя преломления от толщины пленки. Цю роботу було виконано частково за пiдтримки гранту Нацiональної академiї наук України №93/08-Н. uk Відділення фізики і астрономії НАН України Український фізичний журнал Плазма і гази Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками Study of Nanocrystalline Titanium Dioxide Film Synthesis in a Magnetron-type Discharge by Monitoring Its Optical and Plasmodynamic Characteristics Изучение процесса синтеза нанокристаллических пленок диоксида титана в разряде магнетронного типа по его оптическим и плазмодинамическим характеристикам Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками |
| spellingShingle |
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками Гончаров, О.А. Євсюков, А.М. Костін, Є.Г. Фролова, О.К. Плазма і гази |
| title_short |
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками |
| title_full |
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками |
| title_fullStr |
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками |
| title_full_unstemmed |
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками |
| title_sort |
вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками |
| author |
Гончаров, О.А. Євсюков, А.М. Костін, Є.Г. Фролова, О.К. |
| author_facet |
Гончаров, О.А. Євсюков, А.М. Костін, Є.Г. Фролова, О.К. |
| topic |
Плазма і гази |
| topic_facet |
Плазма і гази |
| publishDate |
2010 |
| language |
Ukrainian |
| container_title |
Український фізичний журнал |
| publisher |
Відділення фізики і астрономії НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Study of Nanocrystalline Titanium Dioxide Film Synthesis in a Magnetron-type Discharge by Monitoring Its Optical and Plasmodynamic Characteristics Изучение процесса синтеза нанокристаллических пленок диоксида титана в разряде магнетронного типа по его оптическим и плазмодинамическим характеристикам |
| description |
Наведено результати експериментального дослiдження плазмодинамiчних i оптичних характеристик цилiндричного газового розряду магнетронного типу в умовах безперервного контролю спектра, випромiнюваного плазмою в дiапазонi 350–820 нм. Визначено умови для синтезу бiнарної сполуки TiО₂, якi забезпечуються пiдтримкою величини iнтенсивностi спектральних лiнiй реагуючих компонентiв i плазмоутворюючого газу. Розглянуто можливiсть контролю умов одержання плiвок TiО₂ як по спектральних характеристиках плазми розряду, так i по змiнi розрядної напруги. Елiпсометричнi дослiдження нанокристалiчних плiвок двооксиду титану показали наявнiсть залежностi показника переломлення вiд товщини плiвки.
We present the results of experimental researches of plasmodynamic and optical characteristics of a magnetron-type cylindrical gas discharge. The study was carried out provided a permanent monitoring of the spectrum emitted by plasma in the range 350–820 nm. For the synthesis of binary compound TiO₂, we have determined conditions which can be ensured by a support of the intensity of spectral lines emitted by reacting components and plasma-forming gas. A possibility to control the conditions of the fabrication of a TiO₂ film with the use of both the spectral characteristics of a discharge plasma and a variation of the discharge voltage has been analyzed. Ellipsometric and spectral studies of nanocrystalline titanium dioxide films revealed the dependence of the refractive index of a film on the film thickness.
Приведены результаты экспериментального исследования плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного контроля спектра, излучаемого плазмой в диапазоне 350–820 нм. Определены условия для синтеза бинарного соединения TiО₂, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Рассмотрена возможность контроля условий получения пленок TiO₂ как по спектральным характеристикам плазмы разряда, так и по изменению разрядного напряжения. Эллипсометрические и спектральные исследования нанокристаллических пленок диоксида титана показали наличие зависимости показателя преломления от толщины пленки.
|
| issn |
2071-0194 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56216 |
| citation_txt |
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками / О.А. Гончаров, А.М. Євсюков, Є.Г. Костін, О.К. Фролова // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 677-684. — Бібліогр.: 16 назв. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT gončarovoa vivčennâprocesusintezunanokristalíčnihplívokdvooksidutitanuvrozrâdímagnetronnogotipuzaiogooptičnimitaplazmodinamíčnimiharakteristikami AT êvsûkovam vivčennâprocesusintezunanokristalíčnihplívokdvooksidutitanuvrozrâdímagnetronnogotipuzaiogooptičnimitaplazmodinamíčnimiharakteristikami AT kostínêg vivčennâprocesusintezunanokristalíčnihplívokdvooksidutitanuvrozrâdímagnetronnogotipuzaiogooptičnimitaplazmodinamíčnimiharakteristikami AT frolovaok vivčennâprocesusintezunanokristalíčnihplívokdvooksidutitanuvrozrâdímagnetronnogotipuzaiogooptičnimitaplazmodinamíčnimiharakteristikami AT gončarovoa studyofnanocrystallinetitaniumdioxidefilmsynthesisinamagnetrontypedischargebymonitoringitsopticalandplasmodynamiccharacteristics AT êvsûkovam studyofnanocrystallinetitaniumdioxidefilmsynthesisinamagnetrontypedischargebymonitoringitsopticalandplasmodynamiccharacteristics AT kostínêg studyofnanocrystallinetitaniumdioxidefilmsynthesisinamagnetrontypedischargebymonitoringitsopticalandplasmodynamiccharacteristics AT frolovaok studyofnanocrystallinetitaniumdioxidefilmsynthesisinamagnetrontypedischargebymonitoringitsopticalandplasmodynamiccharacteristics AT gončarovoa izučenieprocessasintezananokristalličeskihplenokdioksidatitanavrazrâdemagnetronnogotipapoegooptičeskimiplazmodinamičeskimharakteristikam AT êvsûkovam izučenieprocessasintezananokristalličeskihplenokdioksidatitanavrazrâdemagnetronnogotipapoegooptičeskimiplazmodinamičeskimharakteristikam AT kostínêg izučenieprocessasintezananokristalličeskihplenokdioksidatitanavrazrâdemagnetronnogotipapoegooptičeskimiplazmodinamičeskimharakteristikam AT frolovaok izučenieprocessasintezananokristalličeskihplenokdioksidatitanavrazrâdemagnetronnogotipapoegooptičeskimiplazmodinamičeskimharakteristikam |
| first_indexed |
2025-12-07T17:03:09Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:03:09Z |
| _version_ |
1850869798666240000 |