Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками

• Published in: Український фізичний журнал
• Date: 2010
• Main Authors: Гончаров, О.А., Євсюков, А.М., Костін, Є.Г., Фролова, О.К.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Відділення фізики і астрономії НАН України 2010
• Subjects: Плазма і гази
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56216
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двооксиду титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками / О.А. Гончаров, А.М. Євсюков, Є.Г. Костін, О.К. Фролова // Український фізичний журнал. — 2010. — Т. 55, № 6. — С. 677-684. — Бібліогр.: 16 назв. — укр.

Наведено результати експериментального дослiдження плазмодинамiчних i оптичних характеристик цилiндричного газового розряду магнетронного типу в умовах безперервного контролю спектра, випромiнюваного плазмою в дiапазонi 350–820 нм. Визначено умови для синтезу бiнарної сполуки TiО₂, якi забезпечуютьс...