Спирин, В. (2004). Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Спирин, В.Г. "Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2004.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Спирин, В.Г. "Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2004.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.