Спирин, В. (2004). Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationСпирин, В.Г. "Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2004.
MLA (8th ed.) CitationСпирин, В.Г. "Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2004.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.