Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56230 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862745766031785984 |
|---|---|
| author | Спирин, В.Г. |
| author_facet | Спирин, В.Г. |
| citation_txt | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:42:22Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56230 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:42:22Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Спирин, В.Г. 2014-02-14T23:00:18Z 2014-02-14T23:00:18Z 2004 Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56230 Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Проектирование. Конструирование Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона Компенсація систематичних похибок топко плівкових елементів через елементи фотошаблону Compensation for thin-film component systematic errors by mask elements Article published earlier |
| spellingShingle | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона Спирин, В.Г. Проектирование. Конструирование |
| title | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_alt | Компенсація систематичних похибок топко плівкових елементів через елементи фотошаблону Compensation for thin-film component systematic errors by mask elements |
| title_full | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_fullStr | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_full_unstemmed | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_short | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_sort | компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| topic | Проектирование. Конструирование |
| topic_facet | Проектирование. Конструирование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56230 |
| work_keys_str_mv | AT spirinvg kompensaciâsistematičeskihpogrešnosteitonkoplenočnyhélementovčerezélementyfotošablona AT spirinvg kompensacíâsistematičnihpohiboktopkoplívkovihelementívčerezelementifotošablonu AT spirinvg compensationforthinfilmcomponentsystematicerrorsbymaskelements |