Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам....
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56230 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56230 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Спирин, В.Г. 2014-02-14T23:00:18Z 2014-02-14T23:00:18Z 2004 Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56230 Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Проектирование. Конструирование Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона Компенсація систематичних похибок топко плівкових елементів через елементи фотошаблону Compensation for thin-film component systematic errors by mask elements Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| spellingShingle |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона Спирин, В.Г. Проектирование. Конструирование |
| title_short |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_full |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_fullStr |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_full_unstemmed |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| title_sort |
компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона |
| author |
Спирин, В.Г. |
| author_facet |
Спирин, В.Г. |
| topic |
Проектирование. Конструирование |
| topic_facet |
Проектирование. Конструирование |
| publishDate |
2004 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Компенсація систематичних похибок топко плівкових елементів через елементи фотошаблону Compensation for thin-film component systematic errors by mask elements |
| description |
Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56230 |
| citation_txt |
Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT spirinvg kompensaciâsistematičeskihpogrešnosteitonkoplenočnyhélementovčerezélementyfotošablona AT spirinvg kompensacíâsistematičnihpohiboktopkoplívkovihelementívčerezelementifotošablonu AT spirinvg compensationforthinfilmcomponentsystematicerrorsbymaskelements |
| first_indexed |
2025-12-07T20:42:22Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:42:22Z |
| _version_ |
1850883589633212416 |