Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона
Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2004 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56230 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |