Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона

• Veröffentlicht in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Datum: 2004
• 1. Verfasser: Спирин, В.Г.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
• Schlagworte: Проектирование. Конструирование
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56230
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 9-11. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Предложена компенсация погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам....