Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2004 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862716673735262208 |
|---|---|
| author | Спирин, В.Г. |
| author_facet | Спирин, В.Г. |
| citation_txt | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:07:07Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56242 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:07:07Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Спирин, В.Г. 2014-02-14T23:30:38Z 2014-02-14T23:30:38Z 2004 Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242 С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів Evaluation of errors in thin-film component manufacturing Article published earlier |
| spellingShingle | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов Спирин, В.Г. Технология производства |
| title | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_alt | Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів Evaluation of errors in thin-film component manufacturing |
| title_full | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_fullStr | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_full_unstemmed | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_short | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_sort | оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| topic | Технология производства |
| topic_facet | Технология производства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242 |
| work_keys_str_mv | AT spirinvg ocenkaproizvodstvennyhpogrešnosteitonkoplenočnyhélementov AT spirinvg ocínkavirobničihpohiboktonkoplívkovihelementív AT spirinvg evaluationoferrorsinthinfilmcomponentmanufacturing |