Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2004 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860192896743899136 |
|---|---|
| author | Спирин, В.Г. |
| author_facet | Спирин, В.Г. |
| citation_txt | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:07:07Z |
| format | Article |
| fulltext |
��
���������
����
�������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��������������
��������
�
�
�� �!� �����
"������������������������
��
#"$"�%$��� ���%� �& '(����)�� *
��������������������
+���
��� � $�,�-���� .((� %��-�'$�
�%
/'01234� 5607819:101; <<=> 9?
"@A.B$�(+"CDE"�&�EA..FG�("H+AI."&�AJ
�".B"(KA."L.FG�MKANA.�"E
������������������������������ � ���!
��"�������#�����������$����� ���#���!
�%�&����#%��#'�� ���� �� $����"����!
"������"������� ���%(��#�) ����
O��-
�����
����,-������������
���
���,
��
�'
�P�� ���-������ �� ���
������Q�P�� -
���)��
��
#N&R*�-�����-
�S����
�� ��S
�
�T
�
����� ������'
���
����
,)�T����������T�������
�
��
���-��
Q�'
�
-
����
�
����Q���P-
��� ��U�����-
�V!W �M�
���'
��U����
��)��������P�
�
��������
Q��
-
�S�
'
����-
������
-������,��U��X��������)����Y��S�'
����,
����
�
���
-�����P-�����
����-����
�
�
����'
��
�
��P-
�S�
����-
������
-������
-����
�-��� �
�
�
�� ��-�������#-��
��,������
�
����-
�
�*��
�������X�-����� �"��������
��,��Q��
�����
,���'
������P���� ��U����������
������Q�P�����-�����
-�����Q��Y���T�������
�
Q��
���,��Q��
��
�
����
�������
����
-��Y�P������-�������������
Q��
�'
�����������V�W����
�
��������PU��
������������P��'
��� ���P��N&R�����-�
�-������
��
���-��
Q��
�
�� ��U�������VZW �B��-���� ���,���
�����
,��������'
�P���� ��U����������)���
-���������������
�����-
������
�����
�����
������Q�P�����-�����
B�
�����
�������
,���������P���� ��U����
���
������Q�P����,
�������#�(+*�����������'
�������-�XY��������P�����-��������
��Y�����,��)�'
����P-��� ��
�-�- �.�������
�-
�
,�����P��������P�
���-�
��� ��
�-���V�[����� �!�\]!!�W���������4
]��
,
���������������Y���,��Y������
,-����
��
,'
,���������T��
��������P�����-������������
S��
�'
��-��������
Q��
�-������
���
-����
������X��'
�P��-���-��
Q��
��-�������������
����
���(+[
]��U
)�Q�P���� ��
�-P����Q�������������P����
��������T��
��Q���������
����
���(+���������
���Q���P-
���,��
�
-P-
����
Q
��-
�#.����-�-
�����������
����
����,
�������������������Q���P'
-
�,��
�
-P-
����
Q
��-
���
��SS
�
����-�
��'
�����
�)�
,
-�
�!�]�
,',��
����
Q����
�����Y��'
�������������� ��������
����
� *
+�,��Y���P�
���������
�����
������P����V!�����̂ W�
��,�������������T
�Y�������������-���������X��
,����
���,
�������#����
�* �(���-���P���������-P
��
�����P��������
��#,���Y�_!]_��]���,
����P��_�
]��������
*
&���-�XY�������� ��-���������������-P�-�T��
���� ��
�-
Q��
�����Q����Y�������T��!`�������'
�
�Y�������X
���
���-��
Q��
��
����Q���P����'
��U����
�����-�������(+4�����Y�� ������������'
�� ��������
����
�����
�P��U
�
�P��������
����
�
���
������ �$� ��
�-
Q��
����� ��U����
��
T��!`
������)������
,',����
��������X���������Y��-����'
����
Q��
�-������������ ��U����
�-
����S�
����
���
Q
���
������������������!]Z`
&���������-��
�Y��Q����������������������-��-�'
T�����
-����Y������Y
�������(+��
, �����
���-P�
����P-�
�
�����Y
-������)�-�S����
�� ��S
�V�W
&��Y���
�������)���,�
��Q����������-��Q�����
����'
����S����
�� ��S
�S��-
�������
�����,
�������
����
��������S����
�� ��S
�]�
��U
�
�� �E����'
_!
_�
_Z _�
_�! � Z �
�
^ �
a
+
� �!
��������� R1 R2 R3 R4 R5 R�
���
�
�����
�����l/b) 0,05 50 1 0,05 0,01 22
��
������
��
����l����� 0,05 2,5 1 0,05 0,05 —
�
�
������
��
����b����� 1 0,05 1 1 1 —
��
���������
����l������ 1 0,45 1 0,05 0,05 —
�
������
�����������
�
���
��� ��
3—4 1—2 2—3 4—5 7—8 5—6
��)�
���!
+
� ��
��������������!������������������������Z^�������������������������^��������*
+
��
��
Z^
�Z
!�
�
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
�!
���������
����
�������
��-� �����)��
����Y,���� �������X��� ����
����
b9]c?����������Y�-�]��������X
������
���P����
�����T�X
�� ��� �����P�� -��������� ����
-���
d]b?]e2�
�
�d]c3
&���
������Y�������P�����-��)��,��������'�����
#����
�* �K��P���
T�
��� ���
�T����������������'
-P�-�T�������,��Q����������
�Y�
����
����-
�,-�.
�� ����������T��
��������P�����-���������T
��-�T'
�������
���
,����Y�-���
������,-���-�/×0�� ���/�]
��
Q������
�������-P��
����
���������T
������
*����0�]�
��
Q������
�������-P��
����
���������
+ �E�������
-�-��
����
-�����/f0f�
����'����P����T�P�)P�Y�
, �������P���������T'
�������P����P������,�P������
����� �
��������P����'
�������
���,��Q
���Y����������
�,��
�������������'
������P���
��]�� ����T
-�������
��������
��P�
��������
������ �� �,��
����
��S�
����� �C,�
�T���
����
������T�
�
, �����
��������������'������
�
,'
-�������������������
����
���������,
������
(�
�S��-
�����
�S
,
Q��
�������
���P����'
������Q��������P�N&R�
����Y,������ ���'
�������������
���Q�����
���
��
��
�Y����
������'
�
�����-������������
����
���(+������Q��-P���
�������������
Q��
���������
(���Y��������
�
��'����������
Q��
���������
���
����
��S��-
�����
������ ��
,�����-��������'
����
����
���(+������
-������
�P�1����
Q�-������'
�
��������
���������Y������Q��
�����)��-� ��,��'
Q��
��S��-
���-� ������-�����2� �E���������������
����
��������-������)��)��P���-P�������T�
���'
��-����1�]����Q���������
Q
�����������
-�,��Q�'
�
�-�2g∆2hi�
��P)���Q�P-����������P-���
�����
'
�-�3
�
����������T���� ���������
Q��
� ������������
)��YU
���������Q���������������
����)� ������-��'
�������P�N&R�-�T����Q
���Y����-��Y�P-�V�W
jQ
�P�������)������
�����-������������������'
-P��������
����
��
�T�� ���(+�������� ��
, ����'
���
��-�T�����
���Y��P��T��
�-
�V!W
_!fρ#24∆2h*k5[�_�fρ2�� k#5�g∆5
6
*[�_Zfρ#2Zg∆2h*k5[
_�f_!g7��[�_�f7� g_!k8� � � � � � � #!*
+��Q���������
������ ��U��������(+����
,�����
������,
��������
����P��
-���������
����
������
9
M������)���
-������
�
��Q��
����
��
�� ���
���'
������ ��U����
�δρ�������Q����Y��PQ
����
�
E����,
�����-��Q���������
����
���������,
���'
����,��
�
������� ��U����
�����
��
Q��
������
����������P��
,�,��Q��
��������
����
����,
�������
)����������������Y���)�������
������Y�,��
�
-P�
���Q���P�����
Q
� �M�����
���
��
����)���
-���
����Y,����
��-�������
�������
���� ������
,����
���������
����
,���������P���� ��U��������Q��
,��Q
���Y�������T�
���� ��
�-P����Q��� �(����-�
���)���
-��������
�Y����
������
��
Q��
�����P�
������X
��
,���,��
�
-P�����Q���P�����
Q
���
�'
���P����,�����
�)P���������������������Y����Q��'
�P�����
,���������P���� ��U����
���
�P��U
�
�P
�
����
��� ��������
����
�����
��������(+���
���
'
-����
� ������P�� ����
���
��
� ����
��
Q��
� �
���� ���
-
�����
��
Q��
-
�����-
�-� ���)P�Y
���P�� ����������P��
,� ����U��
�� ������
����
�
�������,
������4
!!��
!��� ��
!:[�
�!��
���� ��
�:[�
�!��
���� ��
�:[
�!��
���� ��
�
:
� � � � #�*
���:�]���-���������������-P����9'��
����
�����.[
!
:
f_!
:
k_Z
:
[�
�
:
f_�
:
k_Z
:
[
�
�
:
f_�
:
k_!
:
[�
�
:
f_�
:
k_!
:
� #Z*
E��)X�-����Q��������
���Y�������Q�������� ��U'
����Y�δ
�����U��
��������(+������
-���_!k_�����'
������������P��T��
�-
( ) ( )2 2 2
1 2 1 2 �� �
( )� � � � � � �−− + + −δ = δ δ δ δ δ δ � � � #�*
�� �����������-���
���-���������������-P������'
�����
�#�*�-�T�������Q
�Y�������X
���P��T��
�4
δ
!fδ2[�δ
�fδ5[�δ
�fδ7��[�δ
�fδ7� �
���δ2��δ5��δ7����δ7� � ]� ���Q���P�� ���
,��������'
�P���� ��U����
��(+4���
�P��U
�
�P���)��������'
�P��������
����
�-����
�������]����-�� ��Y����
��)��Q�����S��-P
A��
�������
����,��Q��
�����Q���P���� ��U��'
�����
�����
���
��
������
��
Q��
� �������]�
��S'
S
�
��������
��
���������Q
-��
���-���������
�
��������
����Q���P���� ��U��������(+4
;_Zf;ρ9[�;�!f;29
[�;
��f;59
[�;
��f;��9[�;��f;� 9�
"���
�� ������������
�
,-�����P�� ��,��Y�����
������
����
��������
��-���
�P����
,���
-�������'
���X�-���� ��
�-�
! � &������� ,��Q��
�� ��,
������_Z
9
� �����
-� ��
S��-���
1
1
3 3
k
j i j
i
R R
k =
= = ρ∑ �
� �EPQ
����-�����U��
��������
����
����,
���'
����#
��SS
�
���P�
*����S��-���-�#Z*
Z �+���Q
�P���-������
��,��Q��
��
��SS
�
��'
����
4
1
1
1 1
k
j i
i
� �
k =
= ∑ [�
1
1
2 2
k
j i
i
� �
k =
= ∑ [�
1
1
4 4
k
j i
i
� �
k =
= ∑ [
1
1
5 5
k
j i
i
� �
k =
= ∑ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � #�*
��� ρ�]
2-�5�]
∆2h��∆5��]
7����7� �]
8�]
����Y������������������������
����
����,
��
����
����
[
�����������������
���
�U
�
�����,
��������������'
���-���S���U�)����-[
�
���-��
Q��
���� ��U����
���
�P�
�U
�
�P��(+
,���Q���S����
�� ��S
�
��������
�[
������
����
�����
����������-�� ��Y�� ��
� ��)��'
Q��� ����,
�������� ��������������[
��
Q������ ��,
��
��P�� ���-������ �� ��)��Q���-
��,
������_�
��� � � � � � � � � � �;_Z�]
;
�!��;����;����;���]
;ρ9�]
;
29
��;
59�
]
;��9��;� 9�]
��SS
�
�������
��
�����
��
Q��
� �������
����������� ��
,�������
����
��_Z[
��SS
�
���P����
��
�����
��
Q��
����'
����#�*[
��SS
�
�������
��
�����Y�� ����������'
���� ��������
����
�����
����
������
9
[
��SS
�
���P� ���
��
� ��
�P�
� U
�
�P
�(+[
��SS
�
���P����
��
�������
����
�����
'
���������,
�������_��
�_�
���/�]
ρ
9
�]
��
Q������
,-�����P����,
����������
����
������
9
�#�
����
�*[
��������,��Q��
������Y�� �������������� ��������
�'
���
��������
�
��
���������
����
�������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
� �.����
-�
��SS
�
���P����
��
���������
��
'
Q��
� �������_Z!��_Z���l��_Z
:�
���������
��
Q��
�
������#�*4
( )2
1
3 3
3 1
k
i j
i
j
j
R R
V
R k
=
ρ
−
=
−
∑
[�
( )2
1
1 1
1 1
k
i j
i
lj
j
K K
V
K k
=
−
=
−
∑
[
( )2
1
;
2 2
2 1
k
i j
i
bj
j
K K
V
K k
=
−
=
−
∑
�
( )2
1
�� ;
4 4
4 1
k
i j
i
j
j
� �
V
� �
=
−
−
∑
=
( )2
1
�! .
5 5
5 1
k
i j
i
j
j
� �
V
� �
=
−
−
∑
=
(����,��Y����-�����Q���P��,��Q��
��
��SS
�
'
���������
��
�-�T�������
�Y�
�Q������
, ������'
�
������'����P�
���Q����Y����������P��
,-����
�
+�,��Y���P�
,-�����P�� ������
����
�� �Q
���
�Y
���������P-
� ��
�;ρ9≤!�a`[� ;59≤Z`[� ;29f;��9f
<;� 9≤�` �(�
���
�������
�����
����
-�����)P���
�'
���Y,��������PU��\�`������
,-����
�
&
���-��
Q��
���� ��U����
��(+�����
�T���
����
���P��
9�����Q
�P����������������X�'
-���� ��
�-�
! � &������� ,��Q��
�� ������
����
�� ��,
������
_!
9
��_Z
9
������
-����������X
-�S��-���-4
�
1�
1
R1 R1
k
j i
ik =
= ∑ [�
�
1�
1
R3 R3
k
j i j
ik =
= = ρ∑ �����������������������#^*
���/��]�
��
Q������
,-�����P����,
����������
�'
���
������
9
-���,��Y���P�
,-����
��������
����
��
�'
���P����
,���P����������P-
� �+���Q
���-������
��,��Q��
��
��SS
�
������
4
�
1�
1
1 1
k
j i
i
� �
k =
= ∑ [�
�
1�
1
2 2
k
j i
i
� �
k =
= ∑ [
�
1�
1
4 4
k
j i
i
� �
k =
= ∑ [�
�
1�
1
5 5
k
j i
i
� �
k =
= ∑ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �#a*
Z �C����Y,���#!*��#^*�
�#a*��,��
U�-�,��Q��
��
�'
�SS
�
������
4
( )
( )
1 c
3 c
1 j
j
j
l l
�
l l
+ ∆
=
+ ∆ [� ( )( )
2 3
2 c 3 c
2 j
j j
l b
�
b b l l
=
+ ∆ + ∆ [
�
9
f#_!
9
g7��9*k_!
9
[�
�
9
f#7� 9g_!
9
k8*k_!
9
� � � � � � �
#�*
� �C,��������
��#�*��������
-�����������������
∆2�9[�∆5�9[�7��9[�7� 94
∆2h9f#2Z�=!
9
m2!*k#!>=!
9
*[� ∆5h9f2�5ZkV=�
9
#2Zg∆2h9*Wm5�[
7��9f7!
9
#=�
9
m!*[�7� 9f7!
9
#=�
9
m!k8*
� �E��
Q
��� ���
��������� ��U����
�����Y�� �
������������ ��������
����
�������
-����S��-���
δρ�:fρ
9
kρ�m!�� ���ρ��]���������,��Q��
������Y�� ����'
���������� ��������
����
�������������Y����
���'
�
���P���������T
�
^ �&�����������Y������������������������
���'
�
��
������
���
���-��
Q��
���� ��U����
�����'
-�������(+������
����P��������������X��
�?'������'
����P�������
-�������������
����P��T��
�-
1
1 m
q j
jm =
ρ = ρ∑ [� c c
1
1 m
q j
j
l l
m =
∆ = ∆∑ [� c c
1
1 m
q j
j
b b
m =
∆ = ∆∑ [
�� ��
1
1 m
q j
j
R R
m =
= ∑ [� �! �!
1
1 m
q j
j
R R
m =
= ∑ �
���0�]�
��
Q������
�������-P��
����
�����
9
a �&����
��,��Q��
������@�
, ��������P������'����
�����
-��� �������P��T��
�-
1
1 r
q
qr =
ρ = ρ∑ [� c c
1
1 r
q
q
l l
r =
∆ = ∆∑ [� c c
1
1 r
q
q
b b
r =
∆ = ∆∑ [
�� ��
1
1 r
q
q
R R
r =
= ∑ [� �! �!
1
1 r
q
q
R R
r =
= ∑ � � � � � � � � � � � #\*
� �.����-�������
������
Q��
�����
�����
����'
����P������-�������(+4�����Y�� �������������� �
������
����
��3���
�P�3
2
�
�U
�
�P�3
5
4
2
1
1
1
( )
r
q
q
s
rρ
=
ρ − ρ
−
= ∑ [�
2
c c
1
1
1
( )
r
l q
q
s l l
r =
= ∆ − ∆
−
∑ [
2
c c
1
1
1
( )
r
b q
q
s b b
r =
= ∆ − ∆
−
∑ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � #!�*
\ �C����Y,����P��T��
��#\*��#!�*���������
-�
�'
�SS
�
�������
��
�;���Y�� �������������� ����'
����
����
�4�;ρf3ρkρ
!� �D�����������������Y�#����T����Y*����� ���Q��
��
�����,��Q��
�����Q�������� ��U����
���)� �
����-�����������
����
���(+�����������,�����P����'
���
���Y�P��
��������#�����
*�����Q
������������'
�P�����������P��
,-����
��@����������-���� �����
Va��� �\^W��,��Q��
��
��SS
�
�����&�Y�������A�������
�
����P� �(�
�,����Y�����T����
��P)
�������
,�
�-'
���-
���P�����)��T��
��-�T�������
Q��
�-����'
���-
���
� ���������
�
��
�
����Y������� ��
���'
,
���������
��
,
�������T����
�
�����
Q��
�-��
'
����P����,-�����
������
�����,
�������]���
��P'
��
�������T����
�+�
�-�����-������
Q
�������T'
����
��������������f���^�l��\�
!! �C����Y,���S��-�������
�����������Va��� �a�W�
�Q
�P���X������,Y�-�T��������
�-�������Q�����
�� ��U����Y��
��SS
�
����-�&�Y�������
����������'
�P-���
�����
�-�������-������
�����)������P����'
��U����
���
�P�
�U
�
�P��(+4
∆2fA3
2
[
�
∆5fA3
5
"����
���Y�P�� �����
� ��� ���
Q
��� ����4
δρfA;ρ
.��������,�-��
�Y��Q�����
���2��
�U
�
���5������'
����
���
�
����
��P�����X���
�������
, ������'
�
��C&�)��������������Y����P��T��
�-
2�f2
�>∆2hn∆2[� 5�f5
�>∆2hn∆2�
���2
���5
��]���
���
�U
�
����������
���
�
����
�'
�P�����X���
����
������
����
�����
�-�����
+�,��Y���P����Q������ ��U�������������
���'
�
���(+������Q���P������PU���
������P-
�� ��
�-�-�����������U���
�����'����������
����'
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
�Z
���������
����
�������
��Q��������
������+&'Za!�mdmc3��
, ��������P�
����Y
-� �����)�-� S����
�� ��S
�� ��
�����P� �
�����
� �(�
����-�����������Y�����
��� ��U��'
�����������������f��\����Af���!
$���
,���,��Y�������� ��U����������
������P���
��)� ������
�,���������X�� �EP��
���,��Q��
�� ��'
�
��������� ��U����
�����Y�� �������������� ����'
����
����
���P,�����
������
�
��������T
����T�'
������
����P������)����Q
����������-������Y��� ��'
��������T
��� �
�
-��������������
���P��,P����
�������
������T
������������
�
����
���P�+
��
���,��Q��
�� ���
��������� ��U����
������,��'
�����
����Y,����Y��������X��Y������T
��Q������'
�
Q
�������)����
-���Y�
, �������
��N&R
(���Q���P��,��Q��
���
���-��
Q��
��
����Q��'
�P���� ��U���������
�P�
�U
�
�P��(+�� �� ��
T�
���Q�������� ��U����
�����Y�� �������������� �
������
����
�����,�����������
�
�����Y��(+�����'
-
���Y�P-
���,-���-
����-
-
&� ������V^W��������
Q��
��,��Q��
��������
�'
���
�����
�����������
�������-P���(+�����������4
7��f!���"-[�7� f��Z�"-��M
����
-�����Y����,��Q�'
�
��������
����
�����
������� ��)��Q��� ����,
�'
�����-�������
Q���������������
Q��
� ��,��Q��
����
������-��
�
�������
����
�����
����������-�� ��Y'
�� ���(+����
Q������,��Q
���Y�� �M����P,�������-�
Q���-����Y����Q����������
����
�����
�������V^W���
�Q
�P�����
����
�����������
����
��-�T��������'
��X
-�
���,
��
��P-�����-
E��
����
-�����)P���
,-������������
����
��7�
�������X� ����������
������#�
� �!��B(��]^*������'
����,��Q��
��
����� ��������
���7�f��^��"- �"���'
���-�T�������Q
���Y���������,��Q��
��
����
��� �
������
����
�4�7
f7��m�7�f��^\� "- �B������
�
�
��)��Q��� ����,
����������)�������
��
��
����
�'
�� ��������
����
����8���,
������
+�,��)������������������-��
��� ��
�-P����Q���
�
���-��
Q��
��
����Q���P�����
,���������P����'
"
������
#���
���
!��$�
��
"�%#�&�����
!��$�
��
δρc,
%
∆lc,
���
∆bc,
���
R��,
'�
R�!,
'�
δρ,
%
∆l,
���
∆b,
���
6,5 6,2 2,5 1,97 0,31 4,0 10,8 2,5
��)�
���� ��U�������
������
�
��P������-���������
����'
��Q�P����,
������4�����Y�� �������������� ����'
����
����
�����
�P��U
�
�P������
T���� ��U���'
�
������
-���������
����
�-����
������ �.������'
������
������Q��������
���P�+&'Za!�mdmc3�
, �'
��������U���Y�����'���������
����P��
,-����P���'
����
����
����,
��������
������,��)�����P-��� �'
�
�-�-�������������Q����� ��U�����������-�����
�(+�#��)� ��*
B�
���������
,���)� ����,��Q��
���
���-��
Q��
�
�� ��U���������
�P�
�U
�
�P��(+��������Q�����'
�
�������-����
����T�P�)P�Y��
�-����
�����P
��
�����
�
�����
�������
�����P�-
���)��
&�����
����
�����
������� ��)��Q��� ����,
���'
���-��YU���Q�-������-�� ��Y�� ������-�����������
Q���
��SS
�
����S��-P� ��)��Q��� �� ��,
������ �
����,�-��YU� �B��-���� ���
������
�
�� ��)��Q��� �
��,
���������
�
Q��
�
�
��Q������
��
��
����
�'
�� ��������
����
��]���T����
����P���
���,
�'
�
��� ��
��������X� ������������,�P���������
'
Q��
���
���
C&("KoD"E$..FA�C&�"L.CBC
! &�
�
��E �H �N���-��
Q��
��-����
�������
����
�����'
������Q�� �� ��,
������ �� ��,-���-
� ��� -
-� kk� �������
��
������
�����
���� ���
�������� ���������� ]� ���� ]� �� � ]
& �!�]!^
� �B���)���$ �C ��C������$ �E ��(������N �C �(�
-����
�
������P�� ���-� ���� ������
��� ��
�������� �������
Q��
� �
���������
, �������
����,
��
��P������
����HC&�kk�M��
����'
���� ����
� � &�� � N
�����
����
� ]� !\�� ]� EP� � � ]
& ��^]\!
Z �&�
�
��E �H �N����P����������
��
��SS
�
�����S��-P
���
������Q�P�� ��,
������� ��
� ����
�
�����
�
�
, ������'
�
�
)�
��P��
��� ���Y�P�����-�kk��������
����
��
���� �
��
)���'�
�� �� ���������
� ]!\\� ]�EP� �� ]�& �^^]^�
� �E����� E �A ��D�������E �( ��B���)���$ �C �&
���-P������'
��
Q��
� ���)����Q��
��
�Q������
�-���������-
�����
����'
�������������P ]�N 4�+��
��
����,Y��!\�a
� &�
�
��E H �&����)P�
, �������
�����
������Q�P����,
�'
������kk�E����
�NEE" �&�� �EP��
���������
������
����
���'
�
���
�S��-��
��
����,
�#. '.�� ����* ]����Z ]�EP� �! ]
& �a]!�
^ &�
�
��E �H �"���
����
��
��������
����
�����
���������
�� ��U����Y����
������Q�� ����,
������kk���-�T� ]�& �!!]!�
a �B�����������" �. ��K�)�����E �E �")��)��
����,��Y�����
��)�����
� ]�N 4�.��
���!\a�
��� �
!����
�
�
�
�
!
�
�
�
�
�������� �
���
������������
������������
��� ��� �������� ���!
"##$ ��%##�&
�������������
��� �
� �����
����
���
�����
����
�����������
���������
��
������
�����
�����������
�������� �
����������
�����
�� !"#�$%
&$'
��
������
��
�������(
��
�
��)��
������*
+�����
�� �
��
,���
����� ��
��
�������
�����
����
��
�������*
-���)�
�����
,��
����� ���
��
�������
�
�� ��� �
���������
�������� �(
�������
�
������������
�� ��� �
��� �
� ����
����
�
.����(
��������
����������
������ ����� �
��� �
� ����*
/� ��
���������
���� ��������
������
����������
) ������
�����
�������
0
��
���������
��
��������
0
���. �� ����
�
������
���� *
+��
���������
) ��� �
����
��������
��
���
� ���
�� ��� ���
���
������
� �����(
��������������
�����
������������� �
�
�� ��1 �
��
��� ������
�
,22����� (
�������� �
�� !"#�$%
&$'
������������
�
���������� �
3���
��� �
�� �
� �����
����� ���������4
��
���������
��������
���
��� �
� ����
������
�
.����(
����
��
���� ����� �(
���������
���� ����� �
��� (
��� ��� ��
�����������
��
����������������
������
��
2���. �� ����� �
���
��
�������� �*
5������
���� �
�� �
���������
�����
������
������
��� (
�����1�����
� ����� ��.
. 2�����
�����
�$%
�.����
�����������
�) ���
�
��� �
�����*
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56242 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:07:07Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Спирин, В.Г. 2014-02-14T23:30:38Z 2014-02-14T23:30:38Z 2004 Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242 С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів Evaluation of errors in thin-film component manufacturing Article published earlier |
| spellingShingle | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов Спирин, В.Г. Технология производства |
| title | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_alt | Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів Evaluation of errors in thin-film component manufacturing |
| title_full | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_fullStr | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_full_unstemmed | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_short | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_sort | оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| topic | Технология производства |
| topic_facet | Технология производства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242 |
| work_keys_str_mv | AT spirinvg ocenkaproizvodstvennyhpogrešnosteitonkoplenočnyhélementov AT spirinvg ocínkavirobničihpohiboktonkoplívkovihelementív AT spirinvg evaluationoferrorsinthinfilmcomponentmanufacturing |