Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56242 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Спирин, В.Г. 2014-02-14T23:30:38Z 2014-02-14T23:30:38Z 2004 Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242 С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів Evaluation of errors in thin-film component manufacturing Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| spellingShingle |
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов Спирин, В.Г. Технология производства |
| title_short |
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_full |
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_fullStr |
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_full_unstemmed |
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| title_sort |
оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов |
| author |
Спирин, В.Г. |
| author_facet |
Спирин, В.Г. |
| topic |
Технология производства |
| topic_facet |
Технология производства |
| publishDate |
2004 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів Evaluation of errors in thin-film component manufacturing |
| description |
С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242 |
| citation_txt |
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT spirinvg ocenkaproizvodstvennyhpogrešnosteitonkoplenočnyhélementov AT spirinvg ocínkavirobničihpohiboktonkoplívkovihelementív AT spirinvg evaluationoferrorsinthinfilmcomponentmanufacturing |
| first_indexed |
2025-12-07T18:07:07Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:07:07Z |
| _version_ |
1850873822170841088 |