Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов

С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2004
Main Author: Спирин, В.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860192896743899136
author Спирин, В.Г.
author_facet Спирин, В.Г.
citation_txt Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
first_indexed 2025-12-07T18:07:07Z
format Article
fulltext �� ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � �� �!� ����� "������������������������ �� #"$"�%$��� ���%� �& '(����)�� * �������������������� +��� ��� � $�,�-���� .((� %��-�'$� �% /'01234� 5607819:101; <<=> 9? "@A.B$�(+"CDE"�&�EA..FG�("H+AI."&�AJ �".B"(KA."L.FG�MKANA.�"E ������������������������������ � ���! ��"�������#�����������$����� ���#���! �%�&����#%��#'�� ���� �� $����"����! "������"������� ���%(��#�) ���� O��- ����� ����,-������������ ��� ���, �� �' �P�� ���-������ �� ��� ������Q�P�� - ���)�� �� #N&R*�-�����- �S���� �� ��S � �T � ����� ������' ��� ���� ,)�T����������T������� � �� ���-�� Q�' � - ���� � ����Q���P- ��� ��U�����- �V!W �M� ���' ��U���� ��)��������P� � �������� Q�� - �S� ' ����- ������ -������,��U��X��������)����Y��S�' ����, ���� � ��� -�����P-����� ����-���� � � ����' �� � ��P- �S� ����- ������ -������ -���� �-��� � � � �� ��-�������#-�� ��,������ � ����- � �*�� �������X�-����� �"�������� ��,��Q�� ����� ,���' ������P���� ��U���������� ������Q�P�����-����� -�����Q��Y���T������� � Q�� ���,��Q�� �� � ���� ������� ���� -��Y�P������-������������� Q�� �' �����������V�W���� � ��������PU�� ������������P��' ��� ���P��N&R�����-� �-������ �� ���-�� Q�� � �� ��U�������VZW �B��-���� ���,��� ����� ,��������' �P���� ��U����������)��� -��������������� �����- ������ ����� ����� ������Q�P�����-����� B� ����� ������� ,���������P���� ��U���� ��� ������Q�P����, �������#�(+*�����������' �������-�XY��������P�����-�������� ��Y�����,��)�' ����P-��� �� �-�- �.������� �- � ,�����P��������P� ���-� ��� �� �-���V�[����� �!�\]!!�W���������4 ]�� , ���������������Y���,��Y������ ,-���� �� ,' ,���������T�� ��������P�����-������������ S�� �' ��-�������� Q�� �-������ ��� -���� ������X��' �P��-���-�� Q�� ��-������������� ���� ���(+[ ]��U )�Q�P���� �� �-P����Q�������������P���� ��������T�� ��Q��������� ���� ���(+��������� ���Q���P- ���,�� � -P- ���� Q ��- �#.����-�- ����������� ���� ����, �������������������Q���P' - �,�� � -P- ���� Q ��- ��� ��SS � ����-� ��' ����� �)� , -� �!�]� ,',�� ���� Q���� �����Y��' �������������� �������� ���� � * +�,��Y���P� ��������� ����� ������P����V!�����̂ W� ��,�������������T �Y�������������-���������X�� ,���� ���, �������#���� �* �(���-���P���������-P �� �����P�������� ��#,���Y�_!]_��]���, ����P��_� ]�������� * &���-�XY�������� ��-���������������-P�-�T�� ���� �� �- Q�� �����Q����Y�������T��!`�������' � �Y�������X ��� ���-�� Q�� �� ����Q���P����' ��U���� �����-�������(+4�����Y�� ������������' �� �������� ���� ����� �P��U � �P�������� ���� � ��� ������ �$� �� �- Q�� ����� ��U���� �� T��!` ������)������ ,',���� ��������X���������Y��-����' ���� Q�� �-������������ ��U���� �- ����S� ���� ��� Q ��� ������������������!]Z` &���������-�� �Y��Q����������������������-��-�' T����� -����Y������Y �������(+�� , ����� ���-P� ����P-� � �����Y -������)�-�S���� �� ��S �V�W &��Y��� �������)���,� ��Q����������-��Q����� ����' ����S���� �� ��S �S��- ������� �����, ������� ���� ��������S���� �� ��S �]� ��U � �� �E����' _! _� _Z _� _�! � Z � � ^ � a + � �! ��������� R1 R2 R3 R4 R5 R� ��� � ����� �����l/b) 0,05 50 1 0,05 0,01 22 �� ������ �� ����l����� 0,05 2,5 1 0,05 0,05 — � � ������ �� ����b����� 1 0,05 1 1 1 — �� ��������� ����l������ 1 0,45 1 0,05 0,05 — � ������ ����������� � ��� ��� �� 3—4 1—2 2—3 4—5 7—8 5—6 ��)� ���! + � �� ��������������!������������������������Z^�������������������������^��������* + �� �� Z^ �Z !� � ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �! ��������� ���� ������� ��-� �����)�� ����Y,���� �������X��� ���� ���� b9]c?����������Y�-�]��������X ������ ���P���� �����T�X �� ��� �����P�� -��������� ���� -��� d]b?]e2� � �d]c3 &��� ������Y�������P�����-��)��,��������'����� #���� �* �K��P��� T� ��� ��� �T����������������' -P�-�T�������,��Q���������� �Y� ���� ����- �,-�. �� ����������T�� ��������P�����-���������T ��-�T' ������� ��� ,����Y�-��� ������,-���-�/×0�� ���/�] �� Q������ �������-P�� ���� ���������T ������ *����0�]� �� Q������ �������-P�� ���� ��������� + �E������� -�-�� ���� -�����/f0f� ����'����P����T�P�)P�Y� , �������P���������T' �������P����P������,�P������ ����� � ��������P����' ������� ���,��Q ���Y���������� �,�� �������������' ������P��� ��]�� ����T -������� �������� ��P� �������� ������ �� �,�� ���� ��S� ����� �C,� �T��� ���� ������T� � , ����� ��������������'������ � ,' -������������������� ���� ���������, ������ (� �S��- ����� �S , Q�� ������� ���P����' ������Q��������P�N&R� ����Y,������ ���' ������������� ���Q����� ��� �� �� �Y���� ������' � �����-������������ ���� ���(+������Q��-P��� ������������� Q�� ��������� (���Y�������� � ��'���������� Q�� ��������� ��� ���� ��S��- ����� ������ �� ,�����-��������' ���� ���� ���(+������ -������ �P�1���� Q�-������' � �������� ���������Y������Q�� �����)��-� ��,��' Q�� ��S��- ���-� ������-�����2� �E��������������� ���� ��������-������)��)��P���-P�������T� ���' ��-����1�]����Q��������� Q ����������� -�,��Q�' � �-�2g∆2hi� ��P)���Q�P-����������P-��� ����� ' �-�3 � ����������T���� ��������� Q�� � ������������ )��YU ���������Q��������������� ����)� ������-��' �������P�N&R�-�T����Q ���Y����-��Y�P-�V�W jQ �P�������)������ �����-������������������' -P�������� ���� �� �T�� ���(+�������� �� , ����' ��� ��-�T����� ���Y��P��T�� �- �V!W _!fρ#24∆2h*k5[�_�fρ2�� k#5�g∆5 6 *[�_Zfρ#2Zg∆2h*k5[ _�f_!g7��[�_�f7� g_!k8� � � � � � � #!* +��Q��������� ������ ��U��������(+���� ,����� ������, �������� ����P�� -��������� ���� ������ 9 M������)��� -������ � ��Q�� ���� �� �� ��� ���' ������ ��U���� �δρ�������Q����Y��PQ ���� � E����, �����-��Q��������� ���� ���������, ���' ����,�� � ������� ��U���� �ρ������ �� Q�� ������ ����������P�� ,�,��Q�� �������� ���� ����, ������� )����������������Y���)������� ������Y�,�� � -P� ���Q���P����� Q � �M����� ��� �� ����)��� -��� ����Y,���� ��-������� ������� ���� ������ ,���� ��������� ���� ,���������P���� ��U��������Q�� ,��Q ���Y�������T� ���� �� �-P����Q��� �(����-� ���)��� -�������� �Y���� ������ �� Q�� �����P� ������X �� ,���,�� � -P�����Q���P����� Q ��� �' ���P����,����� �)P���������������������Y����Q��' �P����� ,���������P���� ��U���� ��� �P��U � �P � ���� ��� �������� ���� ����� ��������(+��� ��� ' -���� � ������P�� ���� ��� �� � ���� �� Q�� � � ���� ��� - ����� �� Q�� - �����- �-� ���)P�Y ���P�� ����������P�� ,� ����U�� �� ������ ���� � �������, ������4 !!�� !��� �� !:[� �!�� ���� �� �:[� �!�� ���� �� �:[ �!�� ���� �� � : � � � � #�* ���:�]���-���������������-P����9'�� ���� �����.[ ! : f_! : k_Z : [� � : f_� : k_Z : [ � � : f_� : k_! : [� � : f_� : k_! : � #Z* E��)X�-����Q�������� ���Y�������Q�������� ��U' ����Y�δ �����U�� ��������(+������ -���_!k_�����' ������������P��T�� �- ( ) ( )2 2 2 1 2 1 2 �� � ( )� � � � � � �−− + + −δ = δ δ δ δ δ δ � � � #�* �� �����������-��� ���-���������������-P������' ����� �#�*�-�T�������Q �Y�������X ���P��T�� �4 δ !fδ2[�δ �fδ5[�δ �fδ7��[�δ �fδ7� � ���δ2��δ5��δ7����δ7� � ]� ���Q���P�� ��� ,��������' �P���� ��U���� ��(+4��� �P��U � �P���)��������' �P�������� ���� �-���� �������]����-�� ��Y���� ��)��Q�����S��-P A�� ������� ����,��Q�� �����Q���P���� ��U��' ����� ����� ��� �� ������ �� Q�� � �������]� ��S' S � �������� �� ���������Q -�� ���-��������� � �������� ����Q���P���� ��U��������(+4 ;_Zf;ρ9[�;�!f;29 [�; ��f;59 [�; ��f;��9[�;��f;� 9� "��� �� ������������ � ,-�����P�� ��,��Y����� ������ ���� �������� ��-��� �P���� ,��� -�������' ���X�-���� �� �-� ! � &������� ,��Q�� �� ��, ������_Z 9 � ����� -� �� S��-��� 1 1 3 3 k j i j i R R k = = = ρ∑ � � �EPQ ����-�����U�� �������� ���� ����, ���' ����# ��SS � ���P� *����S��-���-�#Z* Z �+���Q �P���-������ ��,��Q�� �� ��SS � ��' ���� 4 1 1 1 1 k j i i � � k = = ∑ [� 1 1 2 2 k j i i � � k = = ∑ [� 1 1 4 4 k j i i � � k = = ∑ [ 1 1 5 5 k j i i � � k = = ∑ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � #�* ��� ρ�] 2-�5�] ∆2h��∆5��] 7����7� �] 8�] ����Y������������������������ ���� ����, �� ���� ���� [ ����������������� ��� �U � �����, ��������������' ���-���S���U�)����-[ � ���-�� Q�� ���� ��U���� ��� �P� �U � �P��(+ ,���Q���S���� �� ��S � �������� �[ ������ ���� ����� ����������-�� ��Y�� �� � ��)��' Q��� ����, �������� ��������������[ �� Q������ ��, �� ��P�� ���-������ �� ��)��Q���- ��, ������_� ��� � � � � � � � � � �;_Z�] ; �!��;����;����;���] ;ρ9�] ; 29 ��; 59� ] ;��9��;� 9�] ��SS � ������� �� ����� �� Q�� � ������� ����������� �� ,������� ���� ��_Z[ ��SS � ���P���� �� ����� �� Q�� ����' ����#�*[ ��SS � ������� �� �����Y�� ����������' ���� �������� ���� ����� ���� ������ 9 [ ��SS � ���P� ��� �� � �� �P� � U � �P �(+[ ��SS � ���P���� �� ������� ���� ����� ' ���������, �������_�� �_� ���/�] ρ 9 �] �� Q������ ,-�����P����, ���������� ���� ������ 9 �#� ���� �*[ ��������,��Q�� ������Y�� �������������� �������� �' ��� �������� � �� ��������� ���� ������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� � �.���� -� ��SS � ���P���� �� ��������� �� ' Q�� � �������_Z!��_Z���l��_Z :� ��������� �� Q�� � ������#�*4 ( )2 1 3 3 3 1 k i j i j j R R V R k = ρ − = − ∑ [� ( )2 1 1 1 1 1 k i j i lj j K K V K k = − = − ∑ [ ( )2 1 ; 2 2 2 1 k i j i bj j K K V K k = − = − ∑ � ( )2 1 �� ; 4 4 4 1 k i j i j j � � V � � = − − ∑ = ( )2 1 �! . 5 5 5 1 k i j i j j � � V � � = − − ∑ = (����,��Y����-�����Q���P��,��Q�� �� ��SS � ' ��������� �� �-�T������� �Y� �Q������ , ������' � ������'����P� ���Q����Y����������P�� ,-���� � +�,��Y���P� ,-�����P�� ������ ���� �� �Q ��� �Y ���������P- � �� �;ρ9≤!�a`[� ;59≤Z`[� ;29f;��9f <;� 9≤�` �(� ��� ������� ����� ���� -�����)P��� �' ���Y,��������PU��\�`������ ,-���� � & ���-�� Q�� ���� ��U���� ��(+����� �T��� ���� ���P�� 9�����Q �P����������������X�' -���� �� �-� ! � &������� ,��Q�� �� ������ ���� �� ��, ������ _! 9 ��_Z 9 ������ -����������X -�S��-���-4 � 1� 1 R1 R1 k j i ik = = ∑ [� � 1� 1 R3 R3 k j i j ik = = = ρ∑ �����������������������#^* ���/��]� �� Q������ ,-�����P����, ���������� �' ��� ������ 9 -���,��Y���P� ,-���� �������� ���� �� �' ���P���� ,���P����������P- � �+���Q ���-������ ��,��Q�� �� ��SS � ������ 4 � 1� 1 1 1 k j i i � � k = = ∑ [� � 1� 1 2 2 k j i i � � k = = ∑ [ � 1� 1 4 4 k j i i � � k = = ∑ [� � 1� 1 5 5 k j i i � � k = = ∑ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � �#a* Z �C����Y,���#!*��#^*� �#a*��,�� U�-�,��Q�� �� �' �SS � ������ 4 ( ) ( ) 1 c 3 c 1 j j j l l � l l + ∆ = + ∆ [� ( )( ) 2 3 2 c 3 c 2 j j j l b � b b l l = + ∆ + ∆ [ � 9 f#_! 9 g7��9*k_! 9 [� � 9 f#7� 9g_! 9 k8*k_! 9 � � � � � � � #�* � �C,�������� ��#�*�������� -����������������� ∆2�9[�∆5�9[�7��9[�7� 94 ∆2h9f#2Z�=! 9 m2!*k#!>=! 9 *[� ∆5h9f2�5ZkV=� 9 #2Zg∆2h9*Wm5�[ 7��9f7! 9 #=� 9 m!*[�7� 9f7! 9 #=� 9 m!k8* � �E�� Q ��� ��� ��������� ��U���� �����Y�� � ������������ �������� ���� ������� -����S��-��� δρ�:fρ 9 kρ�m!�� ���ρ��]���������,��Q�� ������Y�� ����' ���������� �������� ���� �������������Y���� ���' � ���P���������T � ^ �&�����������Y������������������������ ���' � �� ������ ��� ���-�� Q�� ���� ��U���� �����' -�������(+������ ����P��������������X�� �?'������' ����P������� -������������� ����P��T�� �- 1 1 m q j jm = ρ = ρ∑ [� c c 1 1 m q j j l l m = ∆ = ∆∑ [� c c 1 1 m q j j b b m = ∆ = ∆∑ [ �� �� 1 1 m q j j R R m = = ∑ [� �! �! 1 1 m q j j R R m = = ∑ � ���0�]� �� Q������ �������-P�� ���� ����� 9 a �&���� ��,��Q�� ������@� , ��������P������'���� ����� -��� �������P��T�� �- 1 1 r q qr = ρ = ρ∑ [� c c 1 1 r q q l l r = ∆ = ∆∑ [� c c 1 1 r q q b b r = ∆ = ∆∑ [ �� �� 1 1 r q q R R r = = ∑ [� �! �! 1 1 r q q R R r = = ∑ � � � � � � � � � � � #\* � �.����-������� ������ Q�� ����� ����� ����' ����P������-�������(+4�����Y�� �������������� � ������ ���� ��3ρ����� �P�3 2 � �U � �P�3 5 4 2 1 1 1 ( ) r q q s rρ = ρ − ρ − = ∑ [� 2 c c 1 1 1 ( ) r l q q s l l r = = ∆ − ∆ − ∑ [ 2 c c 1 1 1 ( ) r b q q s b b r = = ∆ − ∆ − ∑ � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � #!�* \ �C����Y,����P��T�� ��#\*��#!�*��������� -� �' �SS � ������� �� �;ρ�����Y�� �������������� ����' ���� ���� �4�;ρf3ρkρ !� �D�����������������Y�#����T����Y*����� ���Q�� �� �����,��Q�� �����Q�������� ��U���� ���)� � ����-����������� ���� ���(+�����������,�����P����' ��� ���Y�P�� ��������#����� *�����Q ������������' �P�����������P�� ,-���� ��@����������-���� ����� Va��� �\^W��,��Q�� �� ��SS � �����&�Y�������A������� � ����P� �(� �,����Y�����T���� ��P) ������� ,� �-' ���- ���P�����)��T�� ��-�T������� Q�� �-����' ���- ��� � ��������� � �� � ����Y������� �� ���' , ��������� �� , �������T���� � ����� Q�� �-�� ' ����P����,-����� ������ �����, �������]��� ��P' �� �������T���� �+� �-�����-������ Q �������T' ���� ��������������f���^�l��\� !! �C����Y,���S��-������� �����������Va��� �a�W� �Q �P���X������,Y�-�T�������� �-�������Q����� �� ��U����Y�� ��SS � ����-�&�Y������� ����������' �P-��� ����� �-�������-������ �����)������P����' ��U���� ��� �P� �U � �P��(+4 ∆2fA3 2 [ � ∆5fA3 5 "���� ���Y�P�� ����� � ��� ��� Q ��� ρ������4 δρfA;ρ .��������,�-�� �Y��Q����� ���2�� �U � ���5������' ���� ��� � ���� ��P�����X��� ������� , ������' � ��C&�)��������������Y����P��T�� �- 2�f2 �>∆2hn∆2[� 5�f5 �>∆2hn∆2� ���2 ���5 ��]��� ��� �U � ���������� ��� � ���� �' �P�����X��� ���� ������ ���� ����� �-����� +�,��Y���P����Q������ ��U������������� ���' � ���(+������Q���P������PU��� ������P- �� �� �-�-�����������U��� �����'���������� ����' ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �Z ��������� ���� ������� ��Q�������� ������+&'Za!�mdmc3�� , ��������P� ����Y -� �����)�-� S���� �� ��S �� �� �����P� � ����� � �(� ����-�����������Y����� ��� ��U��' �����������������f��\����Af���! $��� ,���,��Y�������� ��U���������� ������P��� ��)� ������ �,���������X�� �EP�� ���,��Q�� �� ��' � ��������� ��U���� �����Y�� �������������� ����' ���� ���� ���P,����� ������ � ��������T ����T�' ������ ����P������)����Q ����������-������Y��� ��' ��������T ��� � � -�������������� ���P��,P���� ������� ������T ������������ � ���� ���P�+ �� ���,��Q�� �� ��� ��������� ��U���� ������,��' ����� ����Y,����Y��������X��Y������T ��Q������' � Q �������)���� -���Y� , ������� ��N&R (���Q���P��,��Q�� ��� ���-�� Q�� �� ����Q��' �P���� ��U��������� �P� �U � �P��(+�� �� �� T� ���Q�������� ��U���� �����Y�� �������������� � ������ ���� �����,����������� � �����Y��(+�����' - ���Y�P- ���,-���- ����- - &� ������V^W�������� Q�� ��,��Q�� �������� �' ��� ����� ����������� �������-P���(+�����������4 7��f!���"-[�7� f��Z�"-��M ���� -�����Y����,��Q�' � �������� ���� ����� ������� ��)��Q��� ����, �' �����-������� Q��������������� Q�� � ��,��Q�� ���� ������-�� � ������� ���� ����� ����������-�� ��Y' �� ���(+���� Q������,��Q ���Y�� �M����P,�������-� Q���-����Y����Q���������� ���� ����� �������V^W��� �Q �P����� ���� ����������� ���� ��-�T��������' ��X -� ���, �� ��P-�����- E�� ���� -�����)P��� ,-������������ ���� ��7� �������X� ���������� ������#� � �!��B(��]^*������' ����,��Q�� �� ����� �������� ���7�f��^��"- �"���' ���-�T�������Q ���Y���������,��Q�� �� ���� ��� � ������ ���� �4�7 f7��m�7�f��^\� "- �B������ � � ��)��Q��� ����, ����������)������� �� �� ���� �' �� �������� ���� ����8���, ������ +�,��)������������������-�� ��� �� �-P����Q��� � ���-�� Q�� �� ����Q���P����� ,���������P����' " ������ #��� ��� !��$� �� "�%#�&����� !��$� �� δρc, % ∆lc, ��� ∆bc, ��� R��, '� R�!, '� δρ, % ∆l, ��� ∆b, ��� 6,5 6,2 2,5 1,97 0,31 4,0 10,8 2,5 ��)� ���� ��U������� ������ � ��P������-��������� ����' ��Q�P����, ������4�����Y�� �������������� ����' ���� ���� ����� �P��U � �P������ T���� ��U���' � ������ -��������� ���� �-���� ������ �.������' ������ ������Q�������� ���P�+&'Za!�mdmc3� , �' ��������U���Y�����'��������� ����P�� ,-����P���' ���� ���� ����, �������� ������,��)�����P-��� �' � �-�-�������������Q����� ��U�����������-����� �(+�#��)� ��* B� ��������� ,���)� ����,��Q�� ��� ���-�� Q�� � �� ��U��������� �P� �U � �P��(+��������Q�����' � �������-���� ����T�P�)P�Y�� �-���� �����P �� ����� � ����� ������� �����P�- ���)�� &����� ���� ����� ������� ��)��Q��� ����, ���' ���-��YU���Q�-������-�� ��Y�� ������-����������� Q��� ��SS � ����S��-P� ��)��Q��� �� ��, ������ � ����,�-��YU� �B��-���� ��� ������ � �� ��)��Q��� � ��, ��������� � Q�� � � ��Q������ �� �� ���� �' �� �������� ���� ��]���T���� ����P��� ���, �' � ��� �� ��������X� ������������,�P��������� ' Q�� ��� ��� C&("KoD"E$..FA�C&�"L.CBC ! &� � ��E �H �N���-�� Q�� ��-���� ������� ���� �����' ������Q�� �� ��, ������ �� ��,-���- � ��� - -� kk� ������� �� ������ ����� ���� ��� �������� ���������� ]� ���� ]� �� � ] & �!�]!^ � �B���)���$ �C ��C������$ �E ��(������N �C �(� -���� � ������P�� ���-� ���� ������ ��� �� �������� ������� Q�� � � ��������� , ������� ����, �� ��P������ ����HC&�kk�M�� ����' ���� ���� � � &�� � N ����� ���� � ]� !\�� ]� EP� � � ] & ��^]\! Z �&� � ��E �H �N����P���������� �� ��SS � �����S��-P ��� ������Q�P�� ��, ������� �� � ���� � ����� � � , ������' � � )� ��P�� ��� ���Y�P�����-�kk�������� ���� �� ���� � �� )���'� �� �� ��������� � ]!\\� ]�EP� �� ]�& �^^]^� � �E����� E �A ��D�������E �( ��B���)���$ �C �& ���-P������' �� Q�� � ���)����Q�� �� �Q������ �-���������- ����� ����' �������������P ]�N 4�+�� �� ����,Y��!\�a � &� � ��E H �&����)P� , ������� ����� ������Q�P����, �' ������kk�E���� �NEE" �&�� �EP�� ��������� ������ ���� ���' � ��� �S��-�� �� ����, �#. '.�� ����* ]����Z ]�EP� �! ] & �a]!� ^ &� � ��E �H �"��� ���� �� �������� ���� ����� ��������� �� ��U����Y���� ������Q�� ����, ������kk���-�T� ]�& �!!]!� a �B�����������" �. ��K�)�����E �E �")��)�� ����,��Y����� ��)����� � ]�N 4�.�� ���!\a� ��� � !���� � � � � ! � � � � �������� � ��� ������������ ������������ ��� ��� �������� ���! "##$ ��%##�& ������������� ��� � � ����� ���� ��� ����� ���� ����������� ��������� �� ������ ����� ����������� �������� � ���������� ����� �� !"#�$% &$' �� ������ �� �������( �� � ��)�� ������* +����� �� � �� ,��� ����� �� �� ������� ����� ���� �� �������* -���)� ����� ,�� ����� ��� �� ������� � �� ��� � ��������� �������� �( ������� � ������������ �� ��� � ��� � � ���� ���� � .����( �������� ���������� ������ ����� � ��� � � ����* /� �� ��������� ���� �������� ������ ���������� ) ������ ����� ������� 0 �� ��������� �� �������� 0 ���. �� ���� � ������ ���� * +�� ��������� ) ��� � ���� �������� �� ��� � ��� �� ��� ��� ��� ������ � �����( �������������� ����� ������������� � � �� ��1 � �� ��� ������ � ,22����� ( �������� � �� !"#�$% &$' ������������ � ���������� � 3��� ��� � �� � � ����� ����� ���������4 �� ��������� �������� ��� ��� � � ���� ������ � .����( ���� �� ���� ����� �( ��������� ���� ����� � ��� ( ��� ��� �� ����������� �� ���������������� ������ �� 2���. �� ����� � ��� �� �������� �* 5������ ���� � �� � ��������� ����� ������ ������ ��� ( �����1����� � ����� ��. . 2����� ����� �$% �.���� ����������� �) ��� � ��� � �����*
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56242
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:07:07Z
publishDate 2004
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Спирин, В.Г.
2014-02-14T23:30:38Z
2014-02-14T23:30:38Z
2004
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242
С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів
Evaluation of errors in thin-film component manufacturing
Article
published earlier
spellingShingle Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
Спирин, В.Г.
Технология производства
title Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_alt Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів
Evaluation of errors in thin-film component manufacturing
title_full Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_fullStr Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_full_unstemmed Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_short Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_sort оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242
work_keys_str_mv AT spirinvg ocenkaproizvodstvennyhpogrešnosteitonkoplenočnyhélementov
AT spirinvg ocínkavirobničihpohiboktonkoplívkovihelementív
AT spirinvg evaluationoferrorsinthinfilmcomponentmanufacturing