Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов

С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2004
1. Verfasser: Спирин, В.Г.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862716673735262208
author Спирин, В.Г.
author_facet Спирин, В.Г.
citation_txt Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
first_indexed 2025-12-07T18:07:07Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56242
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:07:07Z
publishDate 2004
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Спирин, В.Г.
2014-02-14T23:30:38Z
2014-02-14T23:30:38Z
2004
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242
С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Технология производства
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів
Evaluation of errors in thin-film component manufacturing
Article
published earlier
spellingShingle Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
Спирин, В.Г.
Технология производства
title Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_alt Оцінка виробничих похибок тонко плівкових елементів
Evaluation of errors in thin-film component manufacturing
title_full Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_fullStr Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_full_unstemmed Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_short Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
title_sort оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
topic Технология производства
topic_facet Технология производства
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242
work_keys_str_mv AT spirinvg ocenkaproizvodstvennyhpogrešnosteitonkoplenočnyhélementov
AT spirinvg ocínkavirobničihpohiboktonkoplívkovihelementív
AT spirinvg evaluationoferrorsinthinfilmcomponentmanufacturing