Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов - Спирин, В.Г. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2004)
С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.