Зображення обкладинки

Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов

С учетом оценки погрешностей параметров тонкопленочного резистора получены формулы для расчета размеров проводников и контактных площадок.

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2004
Автор:	Спирин, В.Г.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
Теми:	Технология производства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56242
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 4. — С. 50-53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2003)

Перспективы развития тонкопленочных микросборок
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2005)

Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Определение и использование производственных показателей в управлении промышленной безопасностью
за авторством: Тубольцев, Л.Г., та інші
Опубліковано: (2005)

Формирование столбиковых выводов для GaAs пиксельных детекторов
за авторством: Беришвили, З.В., та інші
Опубліковано: (2004)

Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники
за авторством: Крылов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)

Особенности применения напыленной фольги для алюминиевых электролитических конденсаторов
за авторством: Гордиенко, Г.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)

Применение МГУА для формализации производственных процессов и операций в очистных забоях
за авторством: Антипов, И.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Резистивные элементы, полученные на анодном оксиде алюминия имплантацией ионов Ti и Мо
за авторством: Литвинович, Г.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Математическая модель технологического процесса по результатам пассивного эксперимента
за авторством: Долгов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2000)

Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)

Технология изготовления термоэлектрических модулей Пельтье повышенной надежности
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)

Устройство управления импульсным режимом электролиза при создании контактных площадок
за авторством: Альбота, Л.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Влияние радиационной обработки на параметры интегральных преобразователей температуры
за авторством: Мокрицкий, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления
за авторством: Брайловский, В.В., та інші
Опубліковано: (2001)

Темпленовые изоляторы для фидера сечением 70/30 мм
за авторством: Кирюкова, Е.В.
Опубліковано: (2004)

Численное моделирование лазерных фотоионизационных технологий очистки вещества на атомном уровне
за авторством: Амбросов, С.В.
Опубліковано: (2003)

Тепловые режимы формирования омических контактов к арсениду галлия
за авторством: Иващук, А.В.
Опубліковано: (2000)

Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)

Технология изготовления лазерных красителей для диапазона 472-600 нм
за авторством: Кругленко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)

Методика автоматизированного проектирования технологических процессов
за авторством: Невлюдов, И.Ш., та інші
Опубліковано: (2002)

Получение кремния электродным восстановлением продуктов пиролиза рисовой лузги
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2003)

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2003)

Повышение достоверности отбраковки БИС методом понижения питающего напряжения
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)

Получение электрокоммутационных слоев керамических теплопереходов методом детонационного напыления
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)

Установка толстослойного анодирования алюминия
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Измеритель параметров роторных машин
за авторством: Дмитриев, Э.А., та інші
Опубліковано: (2000)

Итоги и перспективы развития технологии микроволнового нагрева диэлектрических материалов
за авторством: Демьянчук, Б.А., та інші
Опубліковано: (2003)

Исследование режимов температурной обработки медных оболочек тепловых микротруб
за авторством: Николаенко, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2000)

Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
за авторством: Скубилин, М.Д., та інші
Опубліковано: (2004)

Исследование процесса монтажа кристаллов мощных транзисторов вибрационной пайкой
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2000)

Выявление резервов производства методами статистического моделирования по пассивным данным
за авторством: Долгов, Ю.А.
Опубліковано: (2004)

Интегрированный метод принятия решений об эффективной структуре технологических процессов
за авторством: Алексеев, Н.А.
Опубліковано: (2004)

Исследование MOSFET-транзисторов в различных герметичных корпусах для поверхностного монтажа
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2004)

Коррекция электропроводности ферритонаполненных композитов путем СВЧ-воздействия
за авторством: Демьянчук, Б.А.
Опубліковано: (2004)

Микроволновый нагрев: особенности модернизации технологии
за авторством: Демьянчук, Б.А.
Опубліковано: (2004)

Осаждение ЭДТА из комплексных растворов тяжелых металлов и его регенерирование
за авторством: Гилене, О., та інші
Опубліковано: (2004)

Управление импульсным режимом в гальванотехнике
за авторством: Стевич, З., та інші
Опубліковано: (2003)

Технологические методы повышения надежности термоэлектрических модулей
за авторством: Прошкин, Н.Н.
Опубліковано: (2000)