Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры

Исследовано влияние локального анизотропного давления на кремниевую МОП-структуру. Предложена негатронная схема, преобразующая давление в частоту.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2004
Hauptverfasser: Гасанов, А.М., Касимов, Ф.Д., Лютфалибекова, А.Э.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2004
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56256
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры / А.М. Гасанов, Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 5. — С. 29-31. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56256
record_format dspace
spelling Гасанов, А.М.
Касимов, Ф.Д.
Лютфалибекова, А.Э.
2014-02-15T11:55:00Z
2014-02-15T11:55:00Z
2004
Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры / А.М. Гасанов, Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 5. — С. 29-31. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56256
Исследовано влияние локального анизотропного давления на кремниевую МОП-структуру. Предложена негатронная схема, преобразующая давление в частоту.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Электронная аппаратура: исследования, разработки
Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
Мікронегатронний перетворювач тиску на основі кремнієвої МОН-структури
The micronegatron converter of pressure on the base of silicon MOS-structure
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
spellingShingle Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
Гасанов, А.М.
Касимов, Ф.Д.
Лютфалибекова, А.Э.
Электронная аппаратура: исследования, разработки
title_short Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
title_full Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
title_fullStr Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
title_full_unstemmed Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
title_sort микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой моп-структуры
author Гасанов, А.М.
Касимов, Ф.Д.
Лютфалибекова, А.Э.
author_facet Гасанов, А.М.
Касимов, Ф.Д.
Лютфалибекова, А.Э.
topic Электронная аппаратура: исследования, разработки
topic_facet Электронная аппаратура: исследования, разработки
publishDate 2004
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Мікронегатронний перетворювач тиску на основі кремнієвої МОН-структури
The micronegatron converter of pressure on the base of silicon MOS-structure
description Исследовано влияние локального анизотропного давления на кремниевую МОП-структуру. Предложена негатронная схема, преобразующая давление в частоту.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56256
citation_txt Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры / А.М. Гасанов, Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 5. — С. 29-31. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT gasanovam mikronegatronnyipreobrazovatelʹdavleniânaosnovekremnievoimopstruktury
AT kasimovfd mikronegatronnyipreobrazovatelʹdavleniânaosnovekremnievoimopstruktury
AT lûtfalibekovaaé mikronegatronnyipreobrazovatelʹdavleniânaosnovekremnievoimopstruktury
AT gasanovam míkronegatronniiperetvorûvačtiskunaosnovíkremníêvoímonstrukturi
AT kasimovfd míkronegatronniiperetvorûvačtiskunaosnovíkremníêvoímonstrukturi
AT lûtfalibekovaaé míkronegatronniiperetvorûvačtiskunaosnovíkremníêvoímonstrukturi
AT gasanovam themicronegatronconverterofpressureonthebaseofsiliconmosstructure
AT kasimovfd themicronegatronconverterofpressureonthebaseofsiliconmosstructure
AT lûtfalibekovaaé themicronegatronconverterofpressureonthebaseofsiliconmosstructure
first_indexed 2025-11-25T23:50:46Z
last_indexed 2025-11-25T23:50:46Z
_version_ 1850586117009571840
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �m ��������� � �� � � � ���������� �� ��� �� ����� ��� � W � .�X� Q- S �-P���� Q��P�� S� Y���� ���0 �� �����-T� � ������ ����.� ������ ��� �-����W��0 � ��� .���� ��� ���� ���S.� ������������ P��W�0 ��S�- �-�T�� ��� ��� �R��" %�P�����.� � ���0 W��� �Q����������R�� ���P����� ��P��W��� .�X�� ����� S �-���� W � � �� ������� ���� � �.��ST��0 �-. ��W����. ���������-� ��P��� ���� P�����.�� S W�� � - (KZ0�P��W��� $ �� �R���� ��Y��.�����0 �-.* � ���� X����� � .���� ���� ��� ����� ���0 P�� � �-����� �������� S� � Q��ST�� ��� �P��� �� ��������� � ���� ����� .� ������ ���� � ��.�0 ���S�-. ������W�-. ��W����." �!+&8/���� ����. �Q��P�.� ��P��Q� ���-� �� ������� ���-� �P.��� ��� .���� �-� ����� ��T�� ��� �������� P���W�5 ��� �Q����� ��� � �W�� ��� X����� �����0 ��� ����� ���� ���� �� P�����.�� � 'W�� � � ����0 ����� [ .���� ��� ����'� .����.��S�-� P��W��� ���������.�� .�R��� � ������ � �� �����P�� �P0 .�� �.-� .���� �-� ������ �P.����� ���������.�� .�R��� � � ��������.�. �����P��� .���� �-� ��0 ��� ��P��W� ��S�-� ������� ��S��� ����� �.��� ��0 ��0W�� � ��� ��������� � �-P����-� � �. �����T0 ��� � � ����������� ���� X����� � .���� ���� ��� �����W�� � " K�� � � ����������� � ��P.�X��� S �����SP����� ����.� ����-� �P.��� ���� .���� 0 �-� ����� �� ��S�� ��� ���- ��� � ��������-� .������� �� � � ��� �.� ��� ����S��� � �Q���P���� �����.��T �Q�-� .���� ����� ����R�� ������� 0 �-� ����� �" ,(&#EoA#KF%%HC ,(�#Z%,), " �P��P������ K" F"� #.��S ����� K" ,"� K����S�� (" K" � ��" K-���������� ��� .���� �-� ������� � ���� ������.�W����� ���� �����"[ )���5 %������ ��.��� ��� " �" (���������� ," ,"� )�� -��� (" F" #Q �����SP������ �Y�0 �- X���P�0� ������� ����� � � ��W�� �� ������ �.��� ��� ��� � ������ ���� G���� ff ,P�" ��P��" D�������� ������"[ me�"[ �" g� � �"[ (" ![ m" �" )�� -��� (" F"� G��W���� K" K"� (���������� ," ,"� Z�� 0 ��� F" K" &������������� � �Q_�.��� � ���� ��S��� �������0 .�� S� � (KZ0��� �"[ )"5 %������ ��.��� m!e" �" E�Q��S n" B"� %�������� )" (" )��P�� � �W���� ���S �Y�0 �- ],G � �� ��. ff ^��� ����� ������" (��" d���� ��� ��0 ����"[ mgm"[ K-�" �"[ (" e[� " �" B����� ," G" %��� ��-� P���W� ����� ��������-� ����0 Q����"[ B"5 ,P�0�� ������0 ���� �W����� �� ��� ��-� m�g" g" F" �" ggm�gm (((D" &���� ������.-� ������ �� f ," ," (����������� A" E" K�� .��� F" G" M�������"[ mem"[ n��" � ��" e" )�� �� %" %"� )���Q��� K" F"� ����R���� F" %" &���� ����� �� .�����S�-� (KZ ��P��� ���� Y���� �.� ff ��" �����Y�P" Y0 � I��S�������� ����������� � �"[ mg�"[ K-�" �"[ (" �m[ � " !" &� " �e��� F +���p��" K�P�� ��q����� ���q�����q�������0 �� �q��� f r" r" (�������S���� (" K" &����q�� B" M" ]� ��� � q�"[ ����"[ n��" � g" m" (���������� ," ,"� )�� -��� (" F" &���� ����� ������ �0 ��� G���� ���� ��W���� ������ �.�� �.��� S� ff D���� ����0 ��"[ me�"[ �" �!� � �"[ (" ��[ ��" �" )���.����� K" d"� &������ (" K"� (���������� ," ," )�0 �� ��P�.-���R�� ���T��S �� ���������������-� (KZ ������0 ����ff ^��� ����� ������" (��" ^��� ������ (KZ"[ m!�"[ K-�" e"[ (" ![ �" �� � ��� ������ � �������� �"� ���� �" #������ ���������������N� ��O� $K%�+� �" K������* P��������������Q�����������������������N��P������Q��� ������ ORN� �S����� FP��Q���X��� �" n���� FP��Q���X������ ��������S��� �������.�W����� ���� � �� C012345 66sst92u;>3="?@1 B,)D#%CGF�D#%%HJ &DC#nDFA#KF�CEo �FKEC%,M %F #(%#KC )DCB%,CK#J B#&0(�D+)�+DH ��� ��"���"� � %&�%�� "�� ?�"+"���%)"� ��"$�"+"���� ��%&���������%��'T�Q��� ���'��'�'������ "U���� ��+���"���& �(����� $��"@��)'TV�&���� ��%�� �� >��� �"�'� D�P�� �� ����0 � �������.�W������ �� �.�Q��S0 ��� � Q- ���� ������� ��P����� ���W��� ������ �0 �- �� ����������� � ��� ��� ����.� ��� ����X�0 �R�� ����- ��Q�� ��P��Q� �� ����X�-� � .�����0 Q��� �-� ���������������-� �� W���� .�����W����� ����W��" %��Q���� ������� ���-. .� ������. �� �P�� ������ .�������� ����-� W��� �� ��S�-� ���0 .�� �� �� ���� �� W���� �� �� � ���.��� U V" K ������ ��Q� � ��������- ��P��S � - �������0 ���� ��� �� �����S���� ���P� ������� ������� � ��P�����.��� � ��.�RS� � ��S��� ���- ���.� ��. �� .�.� �� ���� ��W����� ����� �� ���.����-� B#&0� ��� �� � ����.� ���� ���� ����� ���.�� ����Q��P��R� �������� � W�� � �" #Q��P�- �P�� ���������S �� ���.����-� ���� �0 ��� )^d0 � ������� S� ���� �������Y�W����� ���0 �� ���� $ *" &��� ��- ��.�W���� �Q��Q� -�����S � �����������S� P� �. ��.�W����. ���������. � � .��Y��� ������ ��������� �-��R����� ������ ��R���� �� .�." %� ��������� S ������ �����.0 �-. ���������. �������� ������ ���.��� ��R�0 ��� .�." ,P.�� ���S �-����W�� � �-� $ BG�* ���S 0�.��� �-� $�bW* ����� ���� ��� � ��.�RS� .�� � ����-� �������.�� �� E�0e" D�P��S � - �P.������ �bW0����� ���� �� ��� ��P0 ��W�-� P��W��� � ������� ����P��- �� ���)�*" &�� ����X� ��S��. ���� X���� �� P� ���� �.0 ��� S � ��� ��- ��� � ���" ̂ � �Q_ �� � � �.� W � �� ��������� � �� � � � ���������� �� ��� �� ����� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� ��� �������� �� ������� ����������� ������ �� ������������������ �� �� �� ����������� ��� �! � �"���� ������ �#$% � &�'��"���������� �������! (�� ���"�)�� �������������������������� *����+��� ���,�� ����� ����������� ���������� ��� *�����! ���� #$-#$% � �� ������+� ��������������� �� ���� � ./'01����2 �����������" ���+�� � ������������ ��� ! ���������� ��" ��� �� ����� � &�'� ����"���)����"! ���+����� ������"��+2�������� ������3��"��� s��� 111 � += &� � � � � � � � � � � � � � � � .41 / �����"��������� "� � ��� *����� ����#$-#$% � �� �� ������� �� � ��� ��� �����"������(�� �"�)�� ���������������� ��� �� ����� ��� ������! �� "��� �������������� ���������� � �����!� �� ����!� �&�'�������� �����2 ��� ��/'0���� ��)���! ���� ��" ���+�����+������� ���������������.������" ����������+��-�!���� ��� �� � ��������1& '�� ���������"��� �� ���������* ��-�!���� ! ��� �� � 5��� �&� �46� � � � � ��������� ���+����� �� ��������, ������ ��������7����������� ������ ! �"���� ��������( ���+�� ������ ��� 8 ������������! �� ����� , �"� �����)���,����"������������� ��! ) ����� ����������"�����" ,�� � ������) ��� �& 9���� 8� ������ � ���3��"��� � 8 :� �� ;� 8 ∆� �� � � � � � � � .�1 '� ����"��" ���+����� ����� � �;�.ε � � <��14<�� � � � � � � � �.�1 9������� ���� �������������� ������ ��� �� �����! �����" ���+���������� � ������, �� ����� = � inv s ;>�ε � � <5�.� inv s -ϕ � 16?4<��� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � .�1 �����+�� ����+����.�1��"�(�����, �� �+���""��! �������� ���� �� ������������ ��� *����� ���������,! �� ����� & '�� ��+ �� ���� � �����)���,����"�������� � � ������ � �"���� ������(�� ���"�)�� ��������! ��������"����������������+�"�( �����,�� �" ���"! "���� ������ ����� �� ������� ����� ��� *����� �! ���#$-#$% � ������, ������ ������ �����, �� ����� � ���+����� ���������������������� ��� �� & @������+���������� ��������, ���� ������,��� ���,�� ��� �� ;4��A4�-B�C�<�"�� �������������)��� ��! *�����* ���������������������� ����DA4�44��"-�& E����� ,�� �"� ����� ���" ���+�F/'!���� ��! ���� � �� ��� ��� �&�4������ , ��������� �������� ,��� ��-�!���� ��� �� � �"���� �"������������! ���� ��" ��� �� ������� � ������� ��+ ��� � ���! ��������&�E�� ������+���� ����� ���� ������"��� ! �����������������, ���+�������� ,�� �� ��*�����! * ���� ������������������ ���������� � �� ���! ���+2������� ,�� ���������������� ������� ���� ��� *����� ����#$-#$% � &�'�������� ��"���� ,�� � �����(�� ���� �� �� �" ��* �����( ���+��� �������� ���� � ��� *����� ������ ��"� �"��,�� ���,������������ �� ������+����� � ��-�!���� ��! � �� �������������� *����+���������(�� �&�G��� � ���� "� ����� ���+��������( ���+�������� ���� ��! � *�������������� �)�� ������������ ��� ��( ��� �����" � �� � � ��� ��� ��� ����� �" ��� �F/'! ���� ������� ��������������� &�./�"�� "��,������� ��� �������, �������� ������,��� � ����������� ! , ���������������� ���� ��� ��"�������� �"��� �� ������������ ,�� �� ��*�����* ���� ��������������! ���� � ��"� ����������������, ���+��"&1 H � ��� �����)������ ����� �3��" ������� � ��������� � ���� ���������3��"���� � ;� � -∆� � � � � � � � � �.�1 ��� �� I�2 � ��������)��������������� �3��" ! �������"���������� � �& '� � �3��"�* �������������� ����� �"� ���� ��� , ���∆� � ��� � ������������� �� ����, ��� ��! (�� ��� ��� ��� ���������3��"�����5�6 )(2 3 22 00 22 0 zrr rrF Eg +π − α=∆ �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � .D1 '�� ��+ ������2�"����,����JJ� � ������*�������;�� ���3��"����.D1�����)�����= 2 02 3 r F Eg π α=∆ &� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � .B1 K���� �� ������������������� � "������� ��� ,�����*�������� ��(�� ��� ����� ����� ,�� � ����� �I ∆� ��I ������������������ L � � �� ���� "�����+���� � ��������� ���+����� ���! ��������, ������ �����& ��ε � �I � �I ��I ��I ��� �� ,�� ������� *��"���+���������� � �L ��*�����* ���� ���)����� "�� ������������ � �L �����������M��+*"���L �������������"��������& N �&O4&O@��+�!�" ����������� ��� �� �F/'!���� ��� �� ����� ,�������,�� ����� ��+�� �� ����� �= ��I� ���� ����� �L� ��I� 4��� �<�"�L���I� �A4��L� ��I� �A4��L ��I�DA4��� �<�"� 4 � � � � -P����������-D����������-������������-��������������������������������������������Q �� D� P� 4�� 4�� ����R �� ����������������������� ����"��� ����������� ����,�� �� ��;� � ���� , ���� �"� � "��+��L �� ��� ��L �� �)��� ��� ������ �"����)���������� ���������� ��� � L � ��L �� �)��� ��� �������������������� ���+�"���� ���& ��α�I � � �I ��I �I ��I ��� inv s �I ϕ � �I �������+������* ����� ������� ������L �������������������* ������ � "��"�������, �� �! ���� ������"�� ������"�� ���,�� �������* ���� ������������)� ���������R��" & ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �4 ��������� � �� � � � ���������� �� ��� �� ����� ���,�� ��∆� ����� , ���������,� ������4��@&�S�� � ������,��� ������, ���+�� ������ ,�� �� ��*���! ��* � ����� ������� ������ �� ���������� � ��"! � ���,��� ������ ����+�� ���� "�����+����� � �! "���� ����-�!���� ��� �� & '� ���� �������)����� ��� �����2����� ��. � ! �������� �&�41���� ��� � �������� "������*�����I �" ���+��� ��������������� ������ � "���� ��� �� � ���,�� ������������ ���� ��� &�S�������� �����!� ! "�"����������������� ����� �"� ��� �* ��� ���! ������ �� ��� � � �(�� ������������� ����� �����! ��� ���������)����������� ����� ���+������������ ��� ���������� ��� ��������� ��� �"� ��* ����� ��! ���&�C� �������� ��������5�6����� , ���"���� ,�� � �����(�� ������ �<""����������� � � ,�� ������2� �������"� ������� ��+� ��� �* & �� "�������"������� ������ ���� ���� ���� �! ��� ��,������� ,�� �� ��*�����* ������ ������� ! ������������������ � ��"� ������� ��( ���F/'! ���� ������� ��� �� �"��� �������� �� ����� ���� �! �����"� �� �����������������������+ ������ ,�� ! �"����� ����� ������ ��� *����� ����#$-#$% � ����� �"��+2�� �"�2 � ��������)������������������! �� � �& G����������� ��������� � "���+� ����������" �! �� �F/'!���� �������� ����� �&�T��� ���������! �� ���� ���� �������"�(���� ��� "���� �� ��"� �! ����F/'!���� ������ �,������ ��, ��� ����� ��� ,�������"����� �"������"�, ���� ��� ����* ����� �"���� �& G����������� �� �������"�������������� ��"� ��� �� ������� ������������������ ����� ����,������& F/'!����� ��������������"����� �����"��� �! �� �"��.F/'!��� ����1��� �,������,����� ���+�� � ���"�����.� U 1�� ��,��������� ��� �����,�"��������! "���� ������&�9�� "����,�"����( ��F/'!��� �! ����� � ������� ������� ����� �&�/ ��� � ����+�"�! ������ ��,������ � ���,� ��� ��� ������� �� �� �����(�� ��������������� �������������� ��������! � �������VW�� �VW��� ��� �) �� �� ������� ����� � �� ������& '� ��������� � ����� ��"����������� ��������! � �����" &�'� � ����� �"��� ��+�� �� ����� ���� � �� ��F/'!��� ������������� ���� ��� ��"�����! ������� ��� ������2�� �� ��*�����* ���� ������� ����� ����"� ��������������+�����,� ����� ��� � ����������"����� � �"���� �� ���� ���"���,������& @� �������� ����� �� ��P� �<�"������� ���+����,�! ������� ������ �"������+����4�X��� ������(�� � ��� ��� � ;4��@& �� "�������"���,�� ������ "�)��������� ��! ��"� �� ������ � ��� �� ��2�� �=� �� ��� ��+��" ����� ����� ������������� ����� ����� �� �����! "�����" �����"���,� �����+��� ���(��+��� � ����! � �,�����( ��� � ���� �2������� �& KE'/YZ0/@[GG\T�KE�/]GKCK 4&�]���� ��̂ &�[&�F ����� �������� ��, �3 � ,�� �� 3 � �!� " ,�� ����� , ��<�@���&=�N������� �� � ���� ���� � " ����� �������� ��"� ����� ��, ��� � ���"������ ��"�� EMKE�9/0_&I�F&=�FKS���4``�&I�E&��I4�& �&�C���3�� �N&�E��"������ "���� ��F/'!����� ������&I F&=�F ���4`B�& �&�'��� ����[&�Y&��H ���� ��!C�� �@&�@&�S�� �� ,�� � ���� ��� �� � ��"� ������-�!������ ������ ��� ��������� ! ���� ���� �3��"�* � <�@� ��&=�R � �� ��� ������! ���,��� ������ ��� ���������� � ������� �����&I�Y&=�G�� ���4`D`&I E&� 4�4I4�B& �&�C�� "���R&�9&��K�"�������E&�[&�K���� ���� ��"���� ,�! � �������(�� ������ �� � ��+���� ��, ���a��������� ,��� ��3 ���* �<<�������� �� � ������ ����� ������� ������� ����������&I����4&I���4&I�E&���I�B& N �&��&�'� �* � ��+�������"�� ��, �� ����� ����,��! �����"� ���� �"� ��� �������F/'!���� ���� :� � � b� ��� b� ��� � � � � b4 �� b� �� b� �� VW� VW�VW4 VW� c4 @�� N �&� �&� 0�� � "���+� �"���� ��2 � ��� ��! ���)��������������� ���� �������)������ ��= ��I���*�����L���I���� ����������� ��� ��(�� ��� �� ���������������������������4�������������4�������� �� � ∆� d ���@ ��4� ��4 ���� N �&� �&� K�"���� �� ��������� �" ��� ��� ����� � ���������������4����������������������������� �<""� ����R 4�� D� ��