Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры
Исследовано влияние локального анизотропного давления на кремниевую МОП-структуру. Предложена негатронная схема, преобразующая давление в частоту.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2004 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56256 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры / А.М. Гасанов, Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 5. — С. 29-31. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56256 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Гасанов, А.М. Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. 2014-02-15T11:55:00Z 2014-02-15T11:55:00Z 2004 Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры / А.М. Гасанов, Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 5. — С. 29-31. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56256 Исследовано влияние локального анизотропного давления на кремниевую МОП-структуру. Предложена негатронная схема, преобразующая давление в частоту. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Электронная аппаратура: исследования, разработки Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры Мікронегатронний перетворювач тиску на основі кремнієвої МОН-структури The micronegatron converter of pressure on the base of silicon MOS-structure Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры |
| spellingShingle |
Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры Гасанов, А.М. Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. Электронная аппаратура: исследования, разработки |
| title_short |
Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры |
| title_full |
Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры |
| title_fullStr |
Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры |
| title_full_unstemmed |
Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры |
| title_sort |
микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой моп-структуры |
| author |
Гасанов, А.М. Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. |
| author_facet |
Гасанов, А.М. Касимов, Ф.Д. Лютфалибекова, А.Э. |
| topic |
Электронная аппаратура: исследования, разработки |
| topic_facet |
Электронная аппаратура: исследования, разработки |
| publishDate |
2004 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Мікронегатронний перетворювач тиску на основі кремнієвої МОН-структури The micronegatron converter of pressure on the base of silicon MOS-structure |
| description |
Исследовано влияние локального анизотропного давления на кремниевую МОП-структуру. Предложена негатронная схема, преобразующая давление в частоту.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56256 |
| citation_txt |
Микронегатронный преобразователь давления на основе кремниевой МОП-структуры / А.М. Гасанов, Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2004. — № 5. — С. 29-31. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT gasanovam mikronegatronnyipreobrazovatelʹdavleniânaosnovekremnievoimopstruktury AT kasimovfd mikronegatronnyipreobrazovatelʹdavleniânaosnovekremnievoimopstruktury AT lûtfalibekovaaé mikronegatronnyipreobrazovatelʹdavleniânaosnovekremnievoimopstruktury AT gasanovam míkronegatronniiperetvorûvačtiskunaosnovíkremníêvoímonstrukturi AT kasimovfd míkronegatronniiperetvorûvačtiskunaosnovíkremníêvoímonstrukturi AT lûtfalibekovaaé míkronegatronniiperetvorûvačtiskunaosnovíkremníêvoímonstrukturi AT gasanovam themicronegatronconverterofpressureonthebaseofsiliconmosstructure AT kasimovfd themicronegatronconverterofpressureonthebaseofsiliconmosstructure AT lûtfalibekovaaé themicronegatronconverterofpressureonthebaseofsiliconmosstructure |
| first_indexed |
2025-11-25T23:50:46Z |
| last_indexed |
2025-11-25T23:50:46Z |
| _version_ |
1850586117009571840 |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�m
���������
� �� � �
� ���������� ��
��� �� �����
��� �
W
�
.�X�
Q-
S
�-P����
Q��P��
S�
Y����
���0
��
�����-T�
�
������
����.�
������
���
�-����W��0
�
���
.����
���
����
���S.�
������������
P��W�0
��S�-
�-�T��
���
��� �R��"
%�P�����.�
�
���0
W���
�Q����������R��
���P�����
��P��W���
.�X��
�����
S
�-����
W
�
�
��
�������
����
�
�.��ST��0
�-.
��W����.
���������-�
��P���
����
P�����.��
S
W��
�
-
(KZ0�P��W���
$ �� �R����
��Y��.�����0
�-.*
�
���� X�����
�
.����
����
���
�����
���0
P��
�
�-�����
��������
S�
�
Q��ST��
���
�P���
��
���������
�
����
����� .�
������
����
�
��.�0
���S�-.
������W�-.
��W����."
�!+&8/����
����.
�Q��P�.�
��P��Q�
���-�
��
�������
���-�
�P.���
���
.����
�-�
�����
��T��
���
��������
P���W�5
���
�Q�����
���
�
�W��
���
X�����
�����0
���
�����
����
����
��
P�����.��
�
'W��
�
�
����0
�����
[
.����
���
����'�
.����.��S�-�
P��W���
���������.��
.�R���
�
������
�
��
�����P��
�P0
.�� �.-�
.����
�-�
������
�P.�����
���������.��
.�R���
�
�
��������.�.
�����P���
.����
�-�
��0
���
��P��W�
��S�-�
�������
��S���
�����
�.���
��0
��0W��
�
���
���������
�
�-P����-�
�
�.
�����T0
���
�
�
�����������
���� X�����
�
.����
����
���
�����W��
� "
K��
�
�
����������� �
��P.�X���
S
�����SP�����
����.�
����-�
�P.���
����
.����
0
�-�
�����
��
��S��
���
���-
��� �
��������-�
.�������
��
�
�
���
�.�
���
����S���
�
�Q���P����
�����.��T
�Q�-�
.����
�����
����R��
�������
0
�-�
�����
�"
,(&#EoA#KF%%HC
,(�#Z%,),
" �P��P������
K"
F"�
#.��S �����
K"
,"�
K����S��
("
K"
�
��"
K-����������
���
.����
�-�
�������
�
����
������.�W�����
����
�����"[
)���5
%������
��.���
��� "
�" (����������
,"
,"�
)��
-���
("
F"
#Q
�����SP������
�Y�0
�-
X���P�0�
�������
�����
�
�
��W��
��
������ �.���
���
���
�
������
����
G����
ff
,P�"
��P��"
D��������
������"[
me�"[
�"
g�
�
�"[
("
![ m"
�" )��
-���
("
F"�
G��W����
K"
K"�
(����������
,"
,"�
Z�� 0
���
F"
K"
&�������������
�
�Q_�.���
�
����
��S���
�������0
.��
S�
�
(KZ0��� �"[
)"5
%������
��.���
m!e"
�" E�Q��S
n"
B"�
%��������
)"
("
)��P��
�
�W����
���S
�Y�0
�-
],G
�
��
��.
ff
^���
�����
������"
(��"
d����
���
��0
����"[
mgm"[
K-�"
�"[
("
e[� "
�" B�����
,"
G"
%���
��-�
P���W�
�����
��������-�
����0
Q����"[
B"5
,P�0��
������0
����
�W�����
��
���
��-�
m�g"
g" F"
�"
ggm�gm
(((D"
&����
������.-�
������
��
f
,"
,"
(�����������
A"
E"
K��
.���
F"
G"
M�������"[
mem"[
n��"
�
��"
e" )��
��
%"
%"�
)���Q���
K"
F"�
����R����
F"
%"
&����
�����
�� .�����S�-�
(KZ
��P���
����
Y����
�.�
ff
��"
�����Y�P"
Y0
�
I��S��������
�����������
�
�"[
mg�"[
K-�"
�"[
("
�m[ � "
!"
&�
"
�e���
F
+���p��"
K�P��
��q�����
���q�����q�������0
��
�q���
f
r"
r"
(�������S����
("
K"
&����q��
B"
M"
]�
���
�
q�"[
����"[
n��"
�
g"
m" (����������
,"
,"�
)��
-���
("
F"
&����
�����
������
�0
���
G����
����
��W����
������ �.��
�.���
S�
ff
D����
����0
��"[
me�"[
�"
�!�
�
�"[
("
��[ ��"
�"
)���.�����
K"
d"�
&������
("
K"�
(����������
,"
,"
)�0
��
��P�.-���R��
���T��S
��
���������������-�
(KZ
������0
����ff
^���
�����
������"
(��"
^���
������
(KZ"[
m!�"[
K-�"
e"[
("
![ �"
��
�
���
������
�
��������
�"�
����
�"
#������
���������������N� ��O�
$K%�+�
�"
K������*
P��������������Q�����������������������N��P������Q���
������ ORN� �S�����
FP��Q���X���
�"
n����
FP��Q���X������
��������S���
�������.�W�����
����
�
��
C012345
66sst92u;>3="?@1
B,)D#%CGF�D#%%HJ
&DC#nDFA#KF�CEo
�FKEC%,M
%F
#(%#KC
)DCB%,CK#J
B#&0(�D+)�+DH
��� ��"���"� � %&�%�� "�� ?�"+"���%)"�
��"$�"+"���� ��%&���������%��'T�Q���
���'��'�'������ "U���� ��+���"���&
�(����� $��"@��)'TV�&���� ��%�� �� >���
�"�'�
D�P��
��
����0
�
�������.�W������
��
�.�Q��S0
���
�
Q-
����
�������
��P�����
���W���
������
�0
�-
��
�����������
�
���
���
����.�
���
����X�0
�R��
����-
��Q��
��P��Q�
��
����X�-�
�
.�����0
Q���
�-�
���������������-�
��
W����
.�����W�����
����W��"
%��Q����
�������
���-.
.�
������.
��
�P��
������
.��������
����-�
W���
��
��S�-�
���0
.��
��
��
����
��
W����
��
��
�
���.���
U V"
K
������
��Q�
�
��������-
��P��S
�
-
�������0
����
��� ��
�����S����
���P�
�������
������� �
��P�����.���
�
��.�RS�
�
��S���
���-
���.�
��.
��
.�.�
��
����
��W�����
�����
��
���.����-�
B#&0�
���
��
�
����.�
����
����
�����
���.��
����Q��P��R�
��������
�
W��
�
�"
#Q��P�-
�P��
���������S
��
���.����-�
����
�0
���
)^d0
�
�������
S�
����
�������Y�W�����
���0
��
����
$ *"
&���
��-
��.�W����
�Q��Q�
-�����S
�
�����������S�
P�
�.
��.�W����.
���������.
�
�
.��Y���
������
���������
�-��R�����
������
��R����
��
.�."
%�
���������
S
������
�����.0
�-.
���������.
��������
������
���.���
��R�0
���
.�."
,P.�� ���S
�-����W��
�
�-�
$
BG�*
���S
0�.���
�-�
$�bW*
�����
����
���
�
��.�RS�
.��
�
����-�
�������.��
��
E�0e"
D�P��S
�
-
�P.������
�bW0�����
����
��
���
��P0
��W�-�
P��W��� �
�������
����P��-
��
���)�*"
&��
����X�
��S��.
���� X����
��
P�
����
�.0
���
S
�
���
��-
���
� ���"
̂
�
�Q_ �� �
�
�.�
W
�
��
���������
� �� � �
� ���������� ��
��� �� �����
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
���
��������
��
�������
�����������
������
��
������������������
��
��
�� �����������
���
�!
�
�"����
������
�#$%
�
&�'��"���������� �������!
(��
���"�)��
��������������������������
*����+���
���,��
�����
�����������
���������� ���
*�����!
���� #$-#$%
�
�� ������+� ��������������� �� ���� �
./'01����2
�����������"
���+��
�
������������
���
!
����������
��"
���
��
�����
�
&�'�
����"���)����"!
���+�����
������"��+2�������� ������3��"���
s���
111
�
+= &� � � � � � � � � � � � � � � � .41
/ �����"���������
"�
� ���
*����� ����#$-#$%
�
��
��
������� ��
�
���
���
�����"������(��
�"�)��
����������������
���
��
�����
���
������!
��
"���
��������������
���������� �
�����!�
��
����!�
�&�'�������� �����2
���
��/'0����
��)���!
����
��"
���+�����+�������
���������������.������"
����������+��-�!����
���
��
�
��������1&
'��
���������"���
��
���������*
��-�!����
!
���
��
� 5��� �&� �46� � �
�
�
���������
���+�����
��
��������,
������
��������7�����������
������
!
�"����
��������(
���+�� ������ ���
8
������������!
�� �����
,
�"�
�����)���,����"������������� ��!
)
�����
����������"�����"
,��
� ������)
���
�&
9����
8�
������ �
���3��"���
�
8
:�
��
;�
8
∆�
�� � � � � � � � .�1
'�
����"��"
���+�����
�����
�
�;�.ε
�
�
<��14<�� � � � � � � � �.�1
9������� ����
�������������� ������ ���
��
�����!
�����"
���+���������� �
������,
��
�����
=
� inv
s ;>�ε
�
�
<5�.� inv
s -ϕ
�
16?4<��� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � .�1
�����+��
����+����.�1��"�(�����,
��
�+���""��!
�������� ����
��
������������ ���
*����� ���������,!
��
�����
&
'��
��+
�� ���� �
�����)���,����"�������� �
�
������
�
�"����
������(��
���"�)��
��������!
��������"����������������+�"�( �����,��
�"
���"!
"���� ������ �����
��
������� ����� ���
*����� �!
���#$-#$%
�
������,
������
������
�����,
��
�����
�
���+����� ����������������������
���
��
&
@������+���������� ��������,
����
������,���
���,��
���
��
;4��A4�-B�C�<�"��
�������������)���
��!
*�����*
����������������������
����DA4�44��"-�&
E�����
,��
�"� �����
���"
���+�F/'!����
��!
����
�
��
���
���
�&�4������
,
���������
��������
,���
��-�!����
���
��
�
�"����
�"������������!
����
��"
���
��
�������
�
�������
��+
��� �
���!
��������&�E�� ������+���� �����
����
������"���
!
�����������������,
���+��������
,��
��
��*�����!
*
����
������������������
���������� �
��
���!
���+2�������
,��
���������������� �������
����
���
*����� ����#$-#$%
�
&�'��������
��"����
,��
�
�����(��
����
��
��
�"
��*
�����(
���+���
��������
����
� ���
*����� ������
��"�
�"��,��
���,������������ ��
������+����� �
��-�!����
��!
�
��
��������������
*����+���������(��
�&�G��� �
����
"� �����
���+��������(
���+�������� ���� ��!
�
*�������������� �)��
������������
��� ��(
���
�����"
�
��
�
� ��� ���
��� ����� �"
���
�F/'!
����
�������
���������������
&�./�"��
"��,�������
���
�������,
�������� ������,���
�
�����������
!
,
����������������
����
��� ��"��������
�"��� ��
������������
,��
��
��*�����*
����
��������������!
����
�
��"�
����������������,
���+��"&1
H
�
��� �����)������ ����� �3��"
������� �
��������� �
����
���������3��"����
�
;�
�
-∆�
� � � � � � � � �.�1
���
��
I�2
�
��������)��������������� �3��"
!
�������"���������� �
�&
'�
� �3��"�*
�������������� �����
�"�
����
���
,
���∆�
�
���
�
�������������
�� ����,
���
��!
(��
���
���
���
���������3��"�����5�6
)(2
3
22
00
22
0
zrr
rrF
Eg
+π
−
α=∆ �� � � � � � � � � � � � � � � � � � � .D1
'��
��+
������2�"����,����JJ�
�
������*�������;��
���3��"����.D1�����)�����=
2
02
3
r
F
Eg
π
α=∆ &� � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � � .B1
K����
�� �������������������
�
"�������
���
,�����*��������
��(��
���
�����
�����
,��
�
�����
�I
∆�
��I
������������������ L
� �
��
����
"�����+����
�
���������
���+�����
���!
��������,
������
�����&
��ε
�
�I
�
�I
��I
��I
���
��
,��
�������
*��"���+���������� �
�L
��*�����*
����
���)�����
"��
������������ �
�L
�����������M��+*"���L
�������������"��������&
N
�&O4&O@��+�!�"
�����������
���
��
�F/'!����
���
��
�����
,�������,��
�����
��+�� �� �����
�=
��I� ���� �����
�L� ��I� 4���
�<�"�L���I� �A4��L� ��I� �A4��L
��I�DA4���
�<�"�
4
�
�
�
�
-P����������-D����������-������������-��������������������������������������������Q
��
D�
P�
4��
4��
����R
��
����������������������� ����"���
�����������
����,��
��
��;�
�
����
,
����
�"�
�
"��+��L
��
���
��L
��
�)���
���
������
�"����)���������� ���������� ���
�
L
�
��L
��
�)���
���
�������������������� ���+�"����
���&
��α�I
�
�
�I
��I
�I
��I
��� inv
s
�I
ϕ
�
�I
�������+������*
�����
������� ������L
�������������������*
������
�
"��"�������,
��
�!
����
������"�� ������"�� ���,��
�������*
����
������������)� ���������R��"
&
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
�4
���������
� �� � �
� ���������� ��
��� �� �����
���,��
��∆� �����
,
���������,�
������4��@&�S�� �
������,��� ������,
���+�� ������
,��
��
��*���!
��*
� ����� �������
������ �� ����������
�
��"!
�
���,���
������ ����+��
����
"�����+�����
�
�!
"����
����-�!����
���
��
&
'�
���� �������)����� ���
�����2����� ��.
�
!
��������
�&�41����
���
�
��������
"������*�����I
�"
���+���
���������������
������
�
"����
��� �� �
���,��
������������
���� ���
&�S��������
�����!�
!
"�"�����������������
�����
�"�
���
�*
���
���!
������
�� ���
�
�
�(��
�������������
�����
�����!
���
���������)����������� �����
���+������������
���
����������
���
���������
���
�"�
��*
�����
��!
���&�C�
��������
��������5�6�����
,
���"����
,��
�
�����(��
������ �<""�����������
�
�
,��
������2�
�������"� �������
��+�
���
�*
&
��
"�������"������� ������
���� ����
����
�!
���
��,�������
,��
��
��*�����*
������ �������
!
������������������
�
��"�
������� ��(
���F/'!
����
������� ���
��
�"���
�������� �� �����
����
�!
�����"� ��
�����������������������+
������
,��
!
�"����� �����
������ ���
*����� ����#$-#$%
�
�����
�"��+2��
�"�2
�
��������)������������������!
�� �
�&
G�����������
���������
�
"���+�
����������"
�!
��
�F/'!����
�������� �����
�&�T���
���������!
��
���� ����
�������"�(����
���
"����
��
��"�
�!
����F/'!����
������
�,������ ��,
��� �����
���
,�������"����� �"������"�,
���� ���
����*
�����
�"����
�&
G�����������
�� �������"�������������� ��"�
���
�� ������� ������������������ �����
����,������&
F/'!�����
��������������"�����
�����"���
�!
��
�"��.F/'!���
����1���
�,������,�����
���+�� �
���"�����.�
U
1��
��,��������� ���
�����,�"��������!
"���� ������&�9��
"����,�"����(
��F/'!���
�!
�����
�
������� ������� �����
�&�/ ���
� ����+�"�!
������
��,������
�
���,�
���
���
������� �� ��
�����(��
��������������� �������������� ��������!
�
�������VW��
�VW��� ��� �)
�� �� ������� ����� �
�� ������&
'�
���������
� �����
��"�����������
��������!
�
�����"
&�'� � �����
�"���
��+�� �� �����
����
�
��
��F/'!���
�������������
����
��� ��"�����!
������� ���
������2��
��
��*�����*
����
�������
�����
����"�
��������������+�����,� �����
���
�
����������"�����
�
�"����
�� ����
���"���,������&
@�
�������� �����
�� ��P�
�<�"�������
���+����,�!
�������
������
�"������+����4�X���
������(��
�
���
���
�
;4��@&
��
"�������"���,��
������
"�)��������� ��!
��"� ��
������
�
��� �� ��2��
�=� ��
���
��+��"
�����
�����
������������� �����
����� ��
�����!
"�����"
�����"���,� �����+���
���(��+���
� ����!
�
�,�����(
���
�
���� �2������� �&
KE'/YZ0/@[GG\T�KE�/]GKCK
4&�]����
��̂ &�[&�F
�����
�������� ��,
�3
�
,��
��
3
�
�!�
"
,��
�����
,
��<�@���&=�N�������
��
�
���� ����
�
"
�����
��������
��"�
����� ��,
���
� ���"������ ��"��
EMKE�9/0_&I�F&=�FKS���4``�&I�E&��I4�&
�&�C���3�� �N&�E��"������
"����
��F/'!�����
������&I
F&=�F
���4`B�&
�&�'���
����[&�Y&��H
����
��!C��
�@&�@&�S��
��
,��
�
����
���
��
�
��"�
������-�!������ ������ ��� ��������� !
���� ���� �3��"�*
� <�@� ��&=�R
�
�� ���
������! ���,���
������ ���
���������� �
�������
�����&I�Y&=�G��
���4`D`&I
E&� 4�4I4�B&
�&�C��
"���R&�9&��K�"�������E&�[&�K���� ����
��"����
,�!
�
�������(��
������
��
�
��+���� ��,
���a���������
,���
��3
���*
�<<��������
��
�
������
�����
�������
�������
����������&I����4&I���4&I�E&���I�B&
N
�&��&�'�
�*
�
��+�������"�� ��,
�� �����
����,��!
�����"� ���� �"� ��� �������F/'!����
����
:�
�
�
b�
���
b�
���
�
�
�
�
b4
��
b�
��
b�
��
VW�
VW�VW4
VW�
c4
@��
N
�&� �&� 0��
�
"���+�
�"����
��2
�
��� ��!
���)���������������
���� �������)������
��=
��I���*�����L���I����
�����������
���
��(��
���
��
���������������������������4�������������4��������
�� �
∆�
d
���@
��4�
��4
����
N
�&� �&� K�"����
��
��������� �"
���
��� �����
�
���������������4�����������������������������
�<""�
����R
4��
D�
��
|