APA (7th ed.) Citation

Пилипенко, В., Горушко, В., Петлицкий, А., Понарядов, В., Турцевич, А., & Шведов, С. (2013). Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Пилипенко, В.А, В.А Горушко, А.Н Петлицкий, В.В Понарядов, А.С Турцевич, and С.В Шведов. "Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2013.

MLA (8th ed.) Citation

Пилипенко, В.А, et al. "Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.