Пилипенко, В., Горушко, В., Петлицкий, А., Понарядов, В., Турцевич, А., & Шведов, С. (2013). Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Пилипенко, В.А, В.А Горушко, А.Н Петлицкий, В.В Понарядов, А.С Турцевич, та С.В Шведов. "Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2013.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Пилипенко, В.А, et al. "Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.