Пилипенко, В., Горушко, В., Петлицкий, А., Понарядов, В., Турцевич, А., & Шведов, С. (2013). Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Пилипенко, В.А, В.А Горушко, А.Н Петлицкий, В.В Понарядов, А.С Турцевич, und С.В Шведов. "Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2013.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Пилипенко, В.А, et al. "Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.