Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ
Проведен анализ свойств и характеристик керамических материалов, применяемых в электронных приборах СВЧ: корундовых керамик, керамики из оксида бериллия и керамики из нитрида алюминия. Показано, что по комплексу параметров, включающих конструкционные и функциональные характеристики, высокотеплопрово...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56342 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ / В.И. Часнык // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 8-12. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859606102569648128 |
|---|---|
| author | Часнык, В.И. |
| author_facet | Часнык, В.И. |
| citation_txt | Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ / В.И. Часнык // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 8-12. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Проведен анализ свойств и характеристик керамических материалов, применяемых в электронных приборах СВЧ: корундовых керамик, керамики из оксида бериллия и керамики из нитрида алюминия. Показано, что по комплексу параметров, включающих конструкционные и функциональные характеристики, высокотеплопроводная керамика из нитрида алюминия превосходит все типы корундовой керамики и не уступает керамике из оксида бериллия, особенно при температурах выше 450°С. Приведены примеры преимущественного использования керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ-диапазона: ЛБВ и клистронах.
Проведено аналiз властивостей та характеристик керамiчних материалiв, якi застосовуються в електронних приладах НВЧ: корундових керамiк, керамiки з оксиду берилiя та керамiки з нiтриду алюмiнiю. Показано, що за комлексом параметрiв, якi складаються з конструкцiйних та функцiональних характеристик, високотеплопровiдна керамiка з нiтриду алюмiнiю має вищi якостi, нiж усi типи корундовоï керамiки, і не поступається кераміці з оксиду берилiя, особливо при температурах вище 450°С. Наведено приклади переважного застосування керамiки з нiтриду алюмiнiю в електронних приладах НВЧ-дiапазону: ЛБХ та клiстронах.
Analysis of properties and characteristics of the alumina, beryllium oxide and aluminum nitride based ceramic materials used in UHF electronic devices has been made. It was shown that the complex of parameters including structural and functional characteristics of the high-thermal conductive aluminum nitride ceramics prevail over all types of alumina ceramics and is not lower than the same characteristics of the beryllium oxide ceramics especially at the temperatures higher than 450 °C. The examples of the prevailing use of the aluminum nitride ceramics inside vacuum UHF-region devices: TWT’s and klystrons.
|
| first_indexed | 2025-11-28T03:09:25Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 4
8
ÑÂ×-ÒÅÕÍÈÊÀ
ÓÄÊ 621.315.61
К. ò. í. В. И. ЧАСНЫК
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, НИИ «Оðèîí»
E-mail: ndiorion@tsua.net
ПРИМЕНЕНИЕ ВЫСОÊОÒЕПЛОПРОВОÄНОЙ
ÊЕРАМИÊИ ИЗ НИÒРИÄА АЛЮМИНИЯ
В ВАÊÓÓМНЫХ ЭЛЕÊÒРОННЫХ ПРИБОРАХ СВЧ
Äëÿ âñåñòîðîííåé è îбъåêòèâíîé îцåíêè ðàз-
íыõ êåðàмèчåñêèõ мàòåðèàëîâ, ïðèмåíÿåмыõ â
ýëåêòðîííîé òåõíèêå è â âàêóóмíыõ ïðèбîðàõ
СВЧ-дèàïàзîíà âîëí, íåîбõîдèмà êîмïëåêñíàÿ
îцåíêà èõ êîíñòðóêцèîííыõ è фóíêцèîíàëьíыõ
õàðàêòåðèñòèê. Чàñòî â ðàбîòàõ, ãдå àíàëèзèðó-
юòñÿ ðàзíыå êåðàмèчåñêèå мàòåðèàëы, èõ фèзè-
êî-мåõàíèчåñêèå ñâîéñòâà ïðèâîдÿòñÿ íå â èíòåð-
вале температур от 0 до 600°С, а при комнатной
òåмïåðàòóðå, è íå â дèàïàзîíå чàñòîò, â êîòîðîм
ðàбîòàюò СВЧ-ïðèбîðы (êëèñòðîíы, ЛБВ, мàã-
íåòðîíы), à òîëьêî íà íåñêîëьêèõ чàñòîòàõ, êî-
òîðыå мîãóò è íå ñîâïàдàòь ñ ðàбîчèм дèàïàзî-
íîм ïðèбîðîâ. Òåм бîëåå цåííы ðàбîòы, â êîòî-
ðыõ фóíêцèîíàëьíыå õàðàêòåðèñòèêè êåðàмèчå-
ñêèõ мàòåðèàëîâ ïðèâîдÿòñÿ â шèðîêîм èíòåð-
âàëå òåмïåðàòóð è СВЧ-дèàïàзîíå чàñòîò [1—3].
Нåðåдêî дàííыå дëÿ êåðàмèчåñêîãî мàòåðè-
àëà, ïîëóчåííыå ðàзíымè ýêñïåðèмåíòàëьíымè
мåòîдàмè, îòëèчàюòñÿ мåждó ñîбîé íà 20—30%,
à èíîãдà è бîëьшå. Эòî мîжåò быòь âïîëíå ïðè-
åмëåмым дëÿ îбñóждåíèÿ ñâîéñòâ мàòåðèàëà â
òåîðåòèчåñêîм ïëàíå, îдíàêî дëÿ ïðèмåíåíèÿ
мàòåðèàëà â êîíêðåòíîм ïðèбîðå èëè àïïàðàòó-
ðå íåîбõîдèмы дîñòîâåðíыå ñâåдåíèÿ â шèðî-
ком интервале температур (0—600°С) и в диа-
ïàзîíå чàñòîò îò 3 дî 40 ГГц. Обычíî èíòåðâàë
òåмïåðàòóð îêðóжàющåé ñðåды дëÿ ïðèбîðîâ
СВЧ зàдàåòñÿ òåõíèчåñêèм зàдàíèåм è ñîñòàâ-
ляет от –60 до +85°С. Кроме того, при работе
СВЧ-ïðèбîðîâ, à îñîбåííî ïðèбîðîâ ñ бîëьшîé
âыõîдíîé мîщíîñòью (ñîòíè âàòò è êèëîâàòòы),
òåмïåðàòóðà âíóòðè ïðèбîðà è îñîбåííî íà êî-
íåчíîм óчàñòêå зàмåдëÿющåé ñèñòåмы â âыõîд-
íîé ñåêцèè ëàмïы бåãóщåé âîëíы (ЛБÂ), à òàê-
жå íà âíóòðåííèõ ïîâåðõíîñòÿõ òîêîïðèåмíèêîâ
Проведеí аíализ свойсòв и харакòерисòик керамических маòериалов, примеíяемых в элекòроííых
приборах СВЧ: коруíдовых керамик, керамики из оксида бериллия и керамики из íиòрида алюми-
íия. Показаíо, чòо по комплексу парамеòров, включающих коíсòрукциоííые и фуíкциоíальíые ха-
ракòерисòики, высокоòеплопроводíая керамика из íиòрида алюмиíия превосходиò все òипы ко-
руíдовой керамики и íе усòупаеò керамике из оксида бериллия, особеííо при òемпераòурах выше
450°С. Приведены примеры преимущественного использования керамики из нитрида алюминия в ва-
куумíых элекòроííых приборах СВЧ-диапазоíа: ЛБВ и клисòроíах.
Ключевые слова: керамика, íиòрид алюмиíия, диэлекòрические опоры, спираль, ЛБВ, окíо вывода
энергии, изолятор, коллектор.
в коллекторе ЛБВ может достигать 450—600°С,
à èíîãдà è âышå. Имåííî ïîýòîмó ñðàâíåíèå
êîíñòðóêцèîííыõ è фóíêцèîíàëьíыõ õàðàêòå-
ðèñòèê ðàзíыõ êåðàмèчåñêèõ мàòåðèàëîâ â èí-
тервале температур от 0 до 450 — 600°С позво-
ëÿåò ðàзðàбîòчèêàм ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðы è
ïðèбîðîâ СВЧ îбъåêòèâíî îцåíèòь ïðåèмóщå-
ñòâà èëè íåдîñòàòêè êåðàмèчåñêîãî мàòåðèàëà è
èñïîëьзîâàòь ýòîò мàòåðèàë â êîíñòðóêцèè ïðè-
бîðà ñ óчåòîм âñåõ åãî îñîбåííîñòåé.
Цåëью дàííîé ñòàòьè ÿâëÿåòñÿ ñîïîñòàâëåíèå
ñâîéñòâ è õàðàêòåðèñòèê êåðàмèчåñêèõ мàòåðèà-
ëîâ, ïðèмåíÿåмыõ â ïðèбîðàõ СВЧ.
Ñравнение характеристик керамических
материалов
Пî дàííым [1—4] быëè ïîñòðîåíы ïðèâåдåí-
íыå íà рис. 1, 2 òåмïåðàòóðíыå зàâèñèмîñòè êî-
ýффèцèåíòà òåïëîïðîâîдíîñòè, òàíãåíñà óãëà дè-
ýëåêòðèчåñêèõ ïîòåðь è дèýëåêòðèчåñêîé ïðîíè-
цаемости в интервале температур от 0 до 600°С
дëÿ òðåõ îñíîâíыõ òèïîâ êåðàмèчåñêèõ мàòåðè-
àëîâ, ïðèмåíÿåмыõ â ïðèбîðàõ è óñòðîéñòâàõ
ýëåêòðîííîé òåõíèêè: êåðàмèêè íà îñíîâå îê-
ñèдà бåðèëëèÿ (ВБ-100-1), êîðóíдîâîé êåðàмè-
êè (îñíîâà — îêñèд àëюмèíèÿ (22ХС, ñàïфè-
ðèò, ïîëèêîð)) è êåðàмèêè íà îñíîâå íèòðèдà
àëюмèíèÿ (НИÒАЛ-17, ЭЛАНÒИНИÒ è дð.).
Фèзèчåñêèå è мåõàíèчåñêèå ïàðàмåòðы ýòèõ мà-
òåðèàëîâ ïðèâåдåíы â таблице.
Êàê ñëåдóåò èз ðèñ. 1, êîýффèцèåíò òåïëî-
ïðîâîдíîñòè êåðàмèêè èз AlN ïîâышåííîé чè-
стоты в интервале температур от 0 до 350°С всего
íà 12% мåíьшå êîýффèцèåíòà òåïëîïðîâîд íîñòè
бåðèëëèåâîé êåðàмèêè ВБ-100-1, à â èíòåðâàëå
400—500°С они практически одинаковы. При
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 4
9
ÑÂ×-ÒÅÕÍÈÊÀ
температуре выше 500°С теплопроводность ке-
ðàмèêè èз AlN ïðåâîñõîдèò òåïëîïðîâîдíîñòь
бåðèëëèåâîé êåðàмèêè. Одíàêî òàêîå âыñîêîå
зíàчåíèå òåïëîïðîâîдíîñòè êåðàмèêè èз íèòðè-
дà àëюмèíèÿ èмåюò ëèшь îбðàзцы íåбîëьшîãî
ðàзмåðà è ñîдåðжàщèå íåзíàчèòåëьíîå êîëèчå-
ñòâî ïðèмåñè êèñëîðîдà — 0,1% ïî мàññå [2].
Òåïëîïðîâîдíîñòь ñîâðåмåííыõ êåðàмèчåñêèõ
мàòåðèàëîâ, ðàзðàбîòàííыõ íà îñíîâå íèòðèдà
àëюмèíèÿ (НИÒАЛ-17, ЭЛАНÒИНИÒ) ñ ñîдåð-
жàíèåм êèñëîðîдà 0,6—0,7% ïî мàññå (êðèâàÿ 3
íà ðèñ. 1), ñîñòàâëÿåò λ=140—74 Вò/(м∙К) в ин-
тервале температур от 0 до 350°С. Это в 1,35—2
ðàзà íèжå òåïëîïðîâîдíîñòè êåðàмèêè èз AlN
ïîâышåííîé чèñòîòы, íî ïîчòè â 5 ðàз âышå òå-
ïëîïðîâîдíîñòè ëóчшèõ âèдîâ êîðóíдîâîé êåðà-
мèêè — ïîëèêîðà è ñàïфèðèòà. Вмåñòå ñ ýòèм
ñëåдóåò îòмåòèòь, чòî êîýффèцèåíò òåïëîïðî-
âîдíîñòè â ðàзðàбîòàííыõ êåðàмèчåñêèõ мàòå-
ðèàëàõ (òèïà НИÒАЛ-17) â èíòåðâàëå òåмïåðà-
тур 0—200, 200—400 и 400—600°С уменьшается
âñåãî â 1,45 ðàзà, à â êåðàмèêå èз AlN ïîâышåí-
íîé чèñòîòы, ñîîòâåòñòâåííî, â 2,56, 1,73 è â 1,5
ðàзà. Òàêèм îбðàзîм, íàëèчèå бîëьшoãî êîëè-
чåñòâà ïðèмåñè êèñëîðîдà èãðàåò ïîëîжèòåëь-
íóю ñòàбèëèзèðóющóю ðîëь â îòíîшåíèè дåãðà-
дàцèè òåïëîïðîâîдíîñòè мàòåðèàëà èз AlN ïðè
èзмåíåíèè òåмïåðàòóðы. Êðîмå òîãî, ïðè ýòîм
âîзðàñòàåò òàêжå ïðîчíîñòь мàòåðèàëà èз AlN.
Изâåñòíî, чòî ïåðèîды êðèñòàëëèчåñêîé ðåшåò-
êè AlN зàâèñÿò îò êîíцåíòðàцèè ïðèмåñåé [3].
Òåòðàýдðèчåñêèé êîâàëåíòíыé ðàдèóñ êèñëîðî-
дà, êîòîðыé зàмåщàåò àзîò, мåíьшå, чåм ó àзîòà.
Одíà мîëåêóëà Al0,67О зàмåщàåò îдíó мîëåêóëó
AlN. Пðè ýòîм îбðàзóюòñÿ мåòàëëèчåñêèå âàêàí-
ñèè, чòî ïðèâîдèò ê óмåíьшåíèю ïàðàмåòðîâ ðå-
шåòêè AlN ïðè óâåëèчåíèè ñîдåðжàíèÿ êèñëî-
ðîдà. Эòî óмåíьшåíèå ðàзмåðà êðèñòàëëèчåñêîé
100 200 300 400 500 Т, °С
Рèñ. 2. Òåмïåðàòóðíыå зàâèñèмîñòè òàíãåíñà óãëà дè-
ýëåêòðèчåñêèõ ïîòåðь (а) è дèýëåêòðèчåñêîé ïðîíè-
цàåмîñòè (б) íà чàñòîòå 5,5 ГГц дëÿ ðàзëèчíыõ мà-
òåðèàëîâ:
1 — êåðàмèêà НИÒАЛ-17; 2 — ВÊ 94-1; 3 — îêñèд бå-
ðèëëèÿ ВБ-100-1
tgδ∙104
40
30
20
10
0 100 200 300 400 500 Т, °С
1
3
2
ε
10
9
8
7
6
0 100 200 300 400 500 Т, °С
1
3
2
б)
à)
ðåшåòêè AlN íå òîëьêî ïðèâîдèò ê óïðîчíåíèю
мàòåðèàëà, íî è òåñíî ñâÿзàíî ñ óíèêàëьíым êà-
чåñòâîм êåðàмèêè èз íèòðèдà àëюмèíèÿ — âы-
ñîêîé òåðмîñòîéêîñòью è íèзêèм êîýффèцèåí-
òîм òåðмèчåñêîãî ëèíåéíîãî ðàñшèðåíèÿ â èí-
тервале температур от 0 до 600°С.
Êåðàмèêà èз AlN, ïîëóчàåмàÿ ñâîбîдíым
ñïåêàíèåм (НИÒАЛ-17, ЭЛАНÒИНИÒ è дð.) c
èñïîëьзîâàíèåм àêòèâèðóющèõ дîбàâîê Y2О3 è
CaCO3 (îò 2 дî 5%), èмåeò íå òîëьêî âыñîêóю
òåïëîïðîâîдíîñòь ïðè óдåëьíîм âåñå 3,20—
3,26 ã/ñм3, íî è бîëьшîå ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèå.
В [6] îòмåчàåòñÿ, чòî â îбëàñòè ïðèмåñíîé ïðî-
âîдèмîñòè бîëьшåå ñîïðîòèâëåíèå îбåñïåчè-
âàюò èмåííî дîбàâêè îêñèдà èòòðèÿ è îêñèдà
êàëьцèÿ, ïðèчåм íàëèчèå 2—3% ïî мàññå îêñè-
дà èòòðèÿ ñòàбèëèзèðóåò ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèå
íà âыñîêîм óðîâíå íåзàâèñèмî îò âèдà èñïîëь-
зóåмîãî ïðè ñïåêàíèè ïîðîшêà AlN. Пåðåõîд îò
ïðèмåñíîé ïðîâîдèмîñòè ê ñîбñòâåííîé íàбëю-
дается при 800—900°С.
Äèýëåêòðèчåñêàÿ ïðîíèцàåмîñòь ε ïðè íà-
ëèчèè дîбàâîê óâåëèчèâàåòñÿ бëàãîдàðÿ îбðà-
зîâàíèю ïëîòíыõ êðèñòàëëèчåñêèõ фàз ñ ïî-
âышåííîé ε, íàïðèмåð зà ñчåò îбðàзóющåãîñÿ
ïðè ñïåêàíèè àëюмîèòòðèåâîãî ãðàíàòà Y3Al5O13
c ε=11,7 [6, 7]. Вмåñòå ñ òåм, èõ íàëèчèå ñòà-
бèëèзèðóåò дèýëåêòðèчåñêèå õàðàêòåðèñòèêè
Рèñ. 1. Òåмïåðàòóðíàÿ зàâèñèмîñòь êîýффèцèåíòà òå-
ïëîïðîâîдíîñòè дëÿ ðàзëèчíыõ мàòåðèàëîâ:
1 — îêñèд бåðèëëèÿ (ВБ-100-1); 2 — íèòðèд àëюмèíèÿ
ïîâышåííîé чèñòîòы; 3 — íèòðèд àëюмèíèÿ НИÒАЛ-17;
4, 5 — êîðóíдîâàÿ êåðàмèêà (4 — ïîëèêîð (ВÊ-100);
5 — 22ХС(ВÊ-94-1))
λ,
Вò/(м∙К)
200
160
120
80
40
0
1
54
3
2
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 4
10
ÑÂ×-ÒÅÕÍÈÊÀ
ïðè èзмåíåíèè òåмïåðàòóðы. Òàê, ïðè чàñòî-
òàõ âышå 3 ГГц дèýëåêòðèчåñêèå õàðàêòåðèñòè-
êè ó êåðàмèêè èз AlN îñòàюòñÿ íåèзмåííымè â
интервале температур от 0 до 500°С: ε=8—8,5,
tgδ=(40—50)∙10–4, â òî âðåмÿ êàê ó àëюмîîê-
ñèдíîé êåðàмèêè ВÊ 94-1 ε óâåëèчèâàåòñÿ â
1,2 ðàзà, à tgδ — â 6,5—7 ðàз (ñм. ðèñ. 2 è 3).
Вàжíым ïðåèмóщåñòâîм êåðàмèêè èз AlN ïî
ñðàâíåíèю ñ ïëîòíîé àëюмîîêñèдíîé è îêñèдíî-
бåðèëëèåâîé êåðàмèêîé ÿâëÿåòñÿ åå âыñîêîå ñî-
ïðîòèâëåíèå òåðмîóдàðó. Рàзðóшàющèé ïåðåïàд
òåмïåðàòóð ïðè îõëàждåíèè â âîдå ñîñòàâëÿåò
от 300—400 [2] до 500—600°С [5], что в 2—3
ðàзà âышå, чåм ó âышåóêàзàííыõ òèïîâ îêñèд-
íîé êåðàмèêè. Хàðàêòåðíîé îñîбåííîñòью êåðà-
мèêè èз AlN ÿâëÿåòñÿ òàêжå мåíåå ðåзêîå èзмå-
íåíèå ïðîчíîñòè ñ ïîâышåíèåм òåмïåðàòóðы, чåм
ó îêñèдíîé êåðàмèêè. Òàê, ïðåдåë ïðîчíîñòè AlN
ïðè ñжàòèè óмåíьшàåòñÿ ñ 120 êН/ñм2 при 20°С
дî 29 êН/ñм2 при 1100°С и до 20 кН/см2 ïðè
1600°С, тогда как у алюмооксидной керамики в
òîм жå èíòåðâàëå òåмïåðàòóð ïðîчíîñòь óмåíь-
шàåòñÿ бîëåå чåм â 50 ðàз [5, 8].
Вñå ïåðåчèñëåííыå ñâîéñòâà è ïðåèмóщåñòâà
êåðàмèêè èз AlN, ïîëóчåííîé ñâîбîдíым ñïåêà-
íèåм ñ èñïîëьзîâàíèåм àêòèâèðóющèõ ñïåêàíèå
дîбàâîê Y2O3 èëè СaCO3, è ÿâëÿюòñÿ îñíîâîé
дëÿ åå шèðîêîãî ïðèмåíåíèÿ â ïðèбîðàõ СВЧ
è ýëåêòðîííîé òåõíèêè.
Применение керамики из AlN
в ÑÂ×-приборах
Из âñåõ ñóщåñòâóющèõ â íàñòîÿщåå âðåмÿ
óñèëèòåëåé СВЧ-ñèãíàëà â дèàïàзîíå чàñòîò îò
åдèíèц дî дåñÿòêîâ ГГц íàèбîëåå шèðîêîïîëîñ-
íым ïðèбîðîм, ñ ïîëîñîé óñèëèâàåмыõ чàñòîò îò
дåñÿòêîâ ïðîцåíòîâ дî дâóõ-òðåõ îêòàâ, ÿâëÿåò-
ñÿ ëàмïà бåãóщåé âîëíы ñ зàмåдëÿющåé ñèñòå-
мîé íà ñïèðàëè. В ðàзíыõ êîíñòðóêцèÿõ ЛБВ
íåèзмåííым ÿâëÿåòñÿ íàëèчèå òðåõ èëè чåòы-
ðåõ дèýëåêòðèчåñêèõ îïîð (îбычíî ýòî ñòåðж-
íè ðàзíîãî ïðîфèëÿ), êîòîðыå ñëóжàò êàê дëÿ
зàêðåïëåíèÿ ñïèðàëè, òàê è дëÿ îòâîдà òåïëà îò
íåå. Чåм âышå âыõîдíàÿ мîщíîñòь ýëåêòðîííî-
ãî ïîòîêà, ðàññåèâàåмàÿ íà ïîñëåдíèõ âèòêàõ
ñïèðàëè â âыõîдíîé ñåêцèè ЛБВ, òåм бîëьшåå
êîëèчåñòâî òåïëà íåîбõîдèмî îòâåñòè îò ñïèðà-
ëè èз âíóòðèâàêóóмíîé чàñòè ïðèбîðà íàðóжó.
Еñëè ïðè ýòîм íå îбåñïåчèòь õîðîшèé òåïëîîò-
âîд, òî âîзмîжíî íå òîëьêî âыãîðàíèå ïîñëåд-
íèõ âèòêîâ ñïèðàëè, íî è ðàñïëàâëåíèå â ýòîм
мåñòå дèýëåêòðèчåñêèõ îïîð, чòî ïðèâîдèò ê âы-
Физико-мехаíические свойсòва керамических маòериалов [1—4]
Пàðàмåòð Êåðàмèêà èз AlN
НИÒАЛ-17
Êîðóíдîâàÿ êåðàмèêà Êåðàмèêà èз
îêñèдà бåðèëëèÿ
ВÊ 94-1
(22ХС)
ВÊ 98-1
(ñàïфè-
ðèò)
ВÊ-100
(ïîëèêîð) ВБ-100-1
Óдåëьíыé âåñ, ã/ñм3 3,20—3,26 3,65—3,85 3,88—3,94 3,96—3,99 2,84—2,95
Пðåдåë ïðîчíîñòè ïðè ñòà-
òè чåñêîм èзãèбå, МПà, ïðè:
20°С
400°С
160—290
—
320—400
90—100
300—400
230
280—350
240
200
230
Òåðмèчåñêèé êîýффèцèåíò
ëèíåéíîãî ðàñшèðåíèÿ,
10–7 °С–1, â дèàïàзîíå:
20—200°С
20—400°С
20—600°С
20—900°С
28—38
38—48
40—50
48—55
55—65
60—68
65—72
79—84
58—67
—
70—75
77—86
57
—
—
75—85
53
60
65
78—86
Эëåêòðèчåñêàÿ ïðîчíîñòь,
êВ/мм 30—45 30—45 32—47 50 —
Óдåëьíîå îбъåмíîå ýëåê-
òðè чåñêîå ñîïðîòèâëåíèå,
Ом⋅ñм, ïðè
100°С
500°С
1013
108—109 (400°С)
≥1014
5∙107
≥1014
5∙107—108
1015
—
1,1∙1015
4,3∙1014 (300°С)
Êîýффèцèåíò âòîðèчíîé
ýëåêòðîííîé ýмèññèè 1,9—2,5 5,8 6,5 — 4,5
Рàзðóшàющèé ïåðåïàд òåм-
ïåðàòóð ïðè îõëàждåíèè â
воде, °С 500—600 180—230 180—210 — 165
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 4
11
ÑÂ×-ÒÅÕÍÈÊÀ
õîдó èз ñòðîÿ âñåãî ïðèбîðà. Пîýòîмó дëÿ мà-
òåðèàëà îïîð ñàмым âàжíым ïàðàмåòðîм ÿâëÿ-
åòñÿ âыñîêàÿ òåïëîïðîâîдíîñòь.
В мîщíыõ ñïèðàëьíыõ ЛБВ дëÿ óâåëèчåíèÿ
òåïëîîòâîдà îò ïîñëåдíèõ âèòêîâ ñïèðàëè â âы-
õîдíîé ñåêцèè мåждó îñíîâíымè дèýëåêòðèчå-
ñêèмè îïîðàмè ðàñïîëàãàюò дîïîëíèòåëьíî òðè-
чåòыðå ñòåðжíÿ ñ âыñîêîé òåïëîïðîâîд íîñòью
дëèíîé îêîëî 10—15 мм. Мàòåðèàëîм дëÿ íèõ
ñëóжàò êàê ðàзíîîбðàзíàÿ âàêóóмïëîòíàÿ êå-
ðàмèêà, òàê è èñêóññòâåííыé àëмàз, íåñмîòðÿ
íà åãî âыñîêóю ñòîèмîñòь. В òàêîм ñëóчàå, îд-
íàêî, èз-зà óâåëèчåíèÿ êîëèчåñòâà дèýëåêòðèêà
íà âыõîдíîм óчàñòêå ñïèðàëè âîзðàñòàюò âыñî-
êîчàñòîòíыå ïîòåðè è, êàê ñëåдñòâèå, âыõîдíàÿ
мîщíîñòь óмåíьшàåòñÿ íà 5—10% â зàâèñèмîñòè
îò ε è tgδ мàòåðèàëà дîïîëíèòåëьíыõ îïîð. Äëÿ
òîãî чòîбы ïîòåðè âыõîдíîé мîщíîñòè быëè мè-
íèмàëьíымè, мàòåðèàë дèýëåêòðèчåñêèõ îïîð,
êàê îñíîâíыõ, òàê è дîïîëíèòåëьíыõ, дîëжåí
èмåòь íåбîëьшèå зíàчåíèÿ ε è tgδ. В ЛБВ ñðåд-
íåé è бîëьшîé мîщíîñòè íàèбîëåå ïîдõîдÿщè-
мè мàòåðèàëàмè, óдîâëåòâîðÿющèм ýòèм òðå-
бîâàíèÿм, ÿâëÿюòñÿ мàòåðèàëы íà îñíîâå îê-
ñèдà бåðèëëèÿ, òàêèå êàê êåðàмèêà ВБ-100-1.
Оíà ïðèмåíÿåòñÿ óжå дîñòàòîчíî дîëãî, è ýòî
íåñмîòðÿ íà åå мåíьшóю, чåм ó êîðóíдîâыõ êå-
ðàмèê, ïðîчíîñòь è чðåзâычàéíî âыñîêóю òîê-
ñèчíîñòь — ïðè ðàбîòå ñ дåòàëÿмè èз êåðàмè-
êè ВБ-100-1 íåîбõîдèмî ñîбëюдàòь òå жå мåðы
ïðåдîñòîðîжíîñòè, чòî è ïðè ðàбîòå ñ ðàдèîàê-
òèâíымè мàòåðèàëàмè.
Пðîâåдåííыé âышå àíàëèз êåðàмèчåñêèõ мà-
òåðèàëîâ ïîзâîëÿåò ñдåëàòь âыâîд, чòî êåðàмè-
êà èз AlN íå óñòóïàåò òðàдèцèîííîé дëÿ СВЧ-
ïðèбîðîâ êîðóíдîâîé êåðàмèêå èз îêñèдà àëю-
мèíèÿ (22ХС, ñàïфèðèòó è ïîëèêîðó), îñîбåííî
в области температур выше 450°С. При этих тем-
ïåðàòóðàõ дèýëåêòðèчåñêèå ïîòåðè (ε×tgδ) â íåé
òàêèå жå, êàê ó êåðàмèêè 22ХС, à òåïëîïðîâî-
дíîñòь — êàê ó бåðèëëèåâîé êåðàмèêè ВБ-100-1
è â чåòыðå-ïÿòь ðàз âышå, чåм ó êîðóíдîâыõ êå-
ðàмèê. Пîýòîмó óжå ñåéчàñ, ñ дîñòèãíóòымè íà
íàñòîÿщåå âðåмÿ дèýëåêòðèчåñêèмè è êîíñòðóê-
цèîííымè õàðàêòåðèñòèêàмè, ïðèмåíåíèå êåðà-
мèêè èз íèòðèдà àëюмèíèÿ â СВЧ-ïðèбîðàõ â
êàчåñòâå дèýëåêòðèчåñêèõ îïîð дëÿ ñïèðàëè бî-
ëåå ïðåдïîчòèòåëьíî, чåм èñïîëьзîâàíèå êîðóí-
дîâыõ êåðàмèê.
В íàñòîÿщåå âðåмÿ фèðмы ïåðåдîâыõ ñòðàí
мèðà, ðàзðàбàòыâàющèå ïðèбîðы è óñòðîéñòâà
ýëåêòðîííîé è СВЧ-òåõíèêè, ïðîâîдÿò êîмïëåêñ
мåðîïðèÿòèé è ðàбîò ïî зàмåíå òîêñèчíыõ мà-
òåðèàëîâ èз îêñèдà бåðèëëèÿ íà ýêîëîãèчåñêè
чèñòыå è íåéòðàëьíыå дëÿ îêðóжàющåé ñðåды.
Òàê, íàïðèмåð, фèðмы Sienna Tecnologies, Inc.
è L-3 Communication Electron Devices ïðîâåëè
ñîâмåñòíóю ðàбîòó ïî зàмåíå àëюмîîêñèдíîé
è бåðèëëèåâîé êåðàмèêè â ñâåðõмîщíыõ ïðè-
бîðàõ (20—100 МВò) íà êåðàмèêó èз íèòðèдà
àëюмèíèÿ. Фèðмà L-3 Communication Electron
Devices ïðîâåëà èñïыòàíèÿ îêîí âыâîдà ýíåðãèè
èз êåðàмèêè AlN íà ñâîèõ мîщíыõ êëèñòðîíàõ.
Пîëóчåííыå ðåзóëьòàòы ïîдòâåðдèëè, чòî êåðà-
мèêó AlN мîжíî èñïîëьзîâàòь â êàчåñòâå мàòå-
ðèàëà îêîí âыâîдîâ ýíåðãèè â мîщíыõ è ñâåðõ-
мîщíыõ ïðèбîðàõ СВЧ [9].
В НИИ «Оðèîí» è ИСМ НАНÓ (ã. Êèåâ)
быëè ïðîâåдåíы ñîâмåñòíыå ðàбîòы ïî зàмåíå
èзîëÿòîðîâ èз àëюмîîêñèдíîé êåðàмèêè 22ХС
íà êåðàмèêó èз íèòðèдà àëюмèíèÿ â êîëëåêòîð-
íîм óзëå шèðîêîïîëîñíîé ЛБВ (ÓВ-009) c âы-
õîдíîé íåïðåðыâíîé мîщíîñòью дî 30 Вò â ïî-
ëîñå чàñòîò 8—18 ГГц. Зàмåíà èзîëÿòîðà èз êå-
ðàмèêè 22ХС íà êåðàмèêó èз AlN (ïðè òåõ жå
åå ðàзмåðàõ) ïîзâîëèëà óмåíьшèòь ïåðåïàд òåм-
пературы на 40°С в первой ступени коллекто-
ра и на 18°С во второй. Мощность электрон-
íîãî ïîòîêà, ðàññåèâàåмàÿ â ïåðâîé ñòóïåíè
êîëëåêòîðà, ñîñòàâëÿëà 160 Вò, âî âòîðîé —
80 Вò. Сíèжåíèå ïåðåïàдà òåмïåðàòóð â ïåðâîé
è âòîðîé ñòóïåíÿõ êîëëåêòîðà ïðèâåëî ê îбëåã-
чåíèю òåïëîâîãî ðåжèмà âñåé ЛБВ, îõëàждàå-
мой потоком воздуха с температурой +85°С, и,
êàê ñëåдñòâèå, ê ïîâышåíèю íàдåжíîñòè è дîë-
ãîâåчíîñòè ðàбîòы ЛБВ. В ИСМ НАНÓ íà èзî-
ëÿòîðы èз êåðàмèêè AlN, ïðèмåíÿåмыå â ЛБВ
(ÓВ-009), быëè ñîñòàâëåíы òåõíèчåñêèå óñëî-
âèÿ — ÒÓ 88 ÓССР 90.1256-91 «Изîëÿòîðы èз
мàòåðèàëà ЭЛАНÒИНИÒ», â ñîîòâåòñòâèè ñ êîòî-
ðымè êîýффèцèåíò òåïëîïðîâîдíîñòè мàòåðèàëà
изоляторов должен быть не менее 120 Вт/(м∙К),
ïëîòíîñòь мàòåðèàëà 3,26 ã/ñм3, зíàчåíèÿ êî-
ýффèцèåíòà òåðмèчåñêîãî ðàñшèðåíèÿ (2,8; 4,5;
4,9; 4,6)∙10–6 Ê–1 ïðè òåмïåðàòóðå 293, 673, 1073,
1273 Ê ñîîòâåòñòâåííî.
В [2] ñîîбщàåòñÿ, чòî ñóщåñòâóåò òåõíîëîãèÿ
íàíåñåíèÿ íà дåòàëè èз êåðàмèêè AlN ïîêðы-
òèé íà îñíîâå íèòðèдà бîðà. Пðè ýòîм óñòðàíÿ-
åòñÿ îïàñíîñòь óâåëèчåíèÿ êîýффèцèåíòà âòî-
ðèчíîé ýëåêòðîííîé ýмèññèè èз-зà âîзмîжíî-
ãî îбðàзîâàíèÿ îêñèдíîé ïëåíêè íà èõ ïîâåðõ-
íîñòè. Пðèмåíåíèå â ЛБВ дåòàëåé èз êåðàмèêè
AlN ïðèâåдåò ê ïîâышåíèю íàдåжíîñòè è дîë-
ãîâåчíîñòè ðàбîòы âñåãî ïðèбîðà.
Âыводы
Пî êîмïëåêñó ïàðàмåòðîâ, âêëючàющèõ êîí-
ñòðóêцèîííыå è фóíêцèîíàëьíыå õàðàêòåðè-
ñòèêè â СВЧ-дèàïàзîíå (3—40 ГГц) â èíòåðâà-
ле температур 450—600°С, керамика из нитри-
дà àëюмèíèÿ ïðåâîñõîдèò âñå òèïы êîðóíдîâîé
êåðàмèêè è íå óñòóïàåò êåðàмèêå èз îêñèдà бå-
ðèëëèÿ (ВБ-100-1), íå ãîâîðÿ óжå î òîêñèчíî-
ñòè ïîñëåдíåé. Êåðàмèêà èз AlN мîжåò ïðèмå-
íÿòьñÿ дëÿ âíóòðèâàêóóмíыõ дåòàëåé ïðèбîðîâ
СВЧ: èзîëÿòîðîâ òîêîïðèåмíèêîâ â êîëëåêòîð-
íыõ óзëàõ ïðèбîðîâ, дèýëåêòðèчåñêèõ îïîð, ïîд-
дåðжèâàющèõ ñïèðàëьíыå зàмåдëÿющèå ñèñòå-
мы, è дëÿ дåòàëåé âàêóóмïëîòíыõ óзëîâ — îêîí
ââîдà è âыâîдà СВЧ-ýíåðãèè, à òàêжå дëÿ èзî-
ëÿòîðîâ ýëåêòðîííîé ïóшêè.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2013, ¹ 4
12
ÑÂ×-ÒÅÕÍÈÊÀ
ИСПОЛЬЗОВАННЫЕ ИСÒОЧНИÊИ
1. Аâåòèêîâ В. Г., Бåðшàдñêàÿ М. Ä., Нåдåëьêî Э. Е.
è дð. Нèòðèд àëюмèíèÿ — íîâыé âыñîêîòåïëîïðîâîдíыé
дèýëåêòðèê // Эëåêòðîííàÿ òåõíèêà. Сåð. Мàòåðèàëы.—
1984.— Выï. 6.— С. 54 — 57. [Avetikov V. G., Bershadskaya
M. D., Nedel'ko E. E. i dr. // Elektronnaya tehnika. Ser.
Materialy. 1984. Iss. 6. P. 54]
2. Бåðшàдñêàÿ М. Ä., Еðîшåâ В. Ê., Êóзíåцîâà И.Г.,
Нåдåëьêî Э. Е. Пðåèмóщåñòâà íèòðèдíыõ дèýëåêòðèêîâ
ïðè ïðîèзâîдñòâå ИЭÒ // Эëåêòðîííàÿ ïðîмышëåííîñòь.—
1984.— Выï. 5.— С. 72 — 78. [Bershadskaya M. D., Eroshev
V. K., Kuznetsova I. G., Nedel'ko E. E. // Elektronnaya
promyshlennost'. 1984. Iss. 5. P. 72]
3. Êîñîëàïîâà Ò. Я., Аíдðååâà Ò. В., Бàðòíèцêàÿ
Ò.С. è дð. Нåмåòàëëèчåñêèå òóãîïëàâêèå ñîåдèíåíèÿ. —
Мîñêâà: Мåòàëëóðãèÿ, 1985. [Kosolapova T. Ya., Andreeva
T.V., Bartnitskaya T. S. i dr. Nemetallicheskie tugoplavkie
soedineniya. Moskow: Metallurgiya, 1985]
4. Гîëàíò М. Б., Мàêëàêîâ А. А., Шóð М. Б.
Изãîòîâëåíèå ðåзîíàòîðîâ è зàмåдëÿющèõ ñèñòåм ýëåêòðîí-
íыõ ïðèбîðîâ.— Мîñêâà: Сîâåòñêîå ðàдèî, 1969. [Golant
M. B., Maklakov A. A., Shur M. B. Izgotovlenie rezonatorov
i zamedlyayushchikh sistem elektronnyh priborov. Moskow:
Sovetskoe radio, 1969]
5. Пîëóбîÿðèíîâ Ä. Н., Гîðдîâà М. Р., Êóзíåцîâà И. Г.
è дð. Оñíîâíыå ñâîéñòâà âыñîêîïëîòíîé êåðàмèêè èз AlN
// Изâ. АН СССР. Сåð. Нåîðãàíèчåñêèå мàòåðèàëы.—
1979.— Ò. 15, ¹ 11.— С. 2055—2060. [Poluboyarinov D.
N., Gordova M. R., Kuznetsova I. G. i dr. // Izv. AN SSSR.
Ser. Neorganicheskie materialy. 1979. Vol. 15, N 11.P. 2055]
6. Êàбышåâ А. В., Лîïàòèí В. В. Вëèÿíèå àêòèâèðó-
ющèõ дîбàâîê íà дèýëåêòðèчåñêèå ñâîéñòâà àëюмîíèòðèд-
íîé êåðàмèêè // Изâ. АН СССР. Сåð. Нåîðãàíèчåñêèå мà-
òåðèàëы.— 1990.— Ò. 26, ¹ 2.— С. 418—422. [Kabyshev
A. V. Lopatin V. V. // Izv. AN SSSR. Ser. Neorganicheskie
materialy. 1990. Vol. 26, N 2. P. 418]
7. Êàмèíñêèé А. А. Лàзåðíыå êðèñòàëëы.— Мîñêâà:
Нàóêà, 1975. [Kaminskiy A. A. Lazernye kristally. Moskow:
Nauka, 1975]
8. Пàâëóшêèí Н. М. Сïåчåííыé êîðóíд.— Мîñêâà:
Гîññòðîéèздàò, 1961. [Pavlushkin N. M. Spechennyi korund.
Moskow: Gosstroyizdat, 1961]
9. Иíфîðмàцèîííыé ñбîðíèê «Нîâîñòè СВЧ-òåõ-
íèêè».— Мîñêîâñêàÿ îбë., ã. Фðÿзèíî: ФГÓП «НПП
Иñòîê», 2004, ¹ 12. [Informacionnyi sbornik «Novosti
SVCh-tekhniki». Moskoow reg., Fryazino: FGUP «NPP
Istok», 2004, N 12]
Äаòа посòуплеíия рукописи
в редакöию 08.11 2012 г.
Chasnyk V. I. Use of high-thermal conductive
aluminum nitride based ceramics in vacuum UHF
electronic devices.
Keywords: ceramics, aluminum nitride, dielectric
support, helix, TWT, output window, isolator, collector.
Analysis of properties and characteristics of the
alumina, beryllium oxide and aluminum nitride based
ceramic materials used in UHF electronic devices has
been made. It was shown that the complex of parameters
including structural and functional characteristics of
the high-thermal conductive aluminum nitride ceramics
prevail over all types of alumina ceramics and is not
lower than the same characteristics of the beryllium
oxide ceramics especially at the temperatures higher
than 450 °C. The examples of the prevailing use of the
aluminum nitride ceramics inside vacuum UHF-region
devices: TWT’s and klystrons.
Ukraine, Kiev, RSI «Orion».
________________________
Чàñíèê В. I. Застосування високотеплопровiдної
керамiки з нiтриду алюмiнiю у вакуумних елек-
тронних приладах ÍÂ×.
Ключов³ слова: керам³ка, í³òрид алюм³í³ю,
д³елекòричí³ опори, сп³раль, ЛБХ, в³кíо виводу
енергії, ізолятор, колектор.
Пðîâåдåíî àíàëiз âëàñòèâîñòåé òà õàðàêòåðèñòèê
êåðàмiчíèõ мàòåðèàëiâ, ÿêi зàñòîñîâóюòьñÿ â åëåê-
òðîííèõ ïðèëàдàõ НВЧ: êîðóíдîâèõ êåðàмiê,
êåðàмiêè з îêñèдó бåðèëiÿ òà êåðàмiêè з íiòðèдó
àëюмiíiю. Пîêàзàíî, щî зà êîмëåêñîм ïàðàмåòðiâ,
ÿêi ñêëàдàюòьñÿ з êîíñòðóêцiéíèõ òà фóíêцiîíàëьíèõ
õàðàêòåðèñòèê, âèñîêîòåïëîïðîâiдíà êåðàмiêà з
íiòðèдó àëюмiíiю мàє âèщi ÿêîñòi, íiж óñi òèïè
êîðóíдîâîï êåðàмiêè, і íå ïîñòóïàєòьñÿ êåðàміці з
îêñèдó бåðèëiÿ, îñîбëèâî ïðè òåмïåðàòóðàõ âèщå
450°С. Наведено приклади переважного застосуван-
íÿ êåðàмiêè з íiòðèдó àëюмiíiю â åëåêòðîííèõ ïðè-
ëàдàõ НВЧ-дiàïàзîíó: ЛБХ òà êëiñòðîíàõ.
Óêðàїíà, м. Êèїâ, НÄІ «Оðіîí».
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56342 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T03:09:25Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Часнык, В.И. 2014-02-16T19:01:19Z 2014-02-16T19:01:19Z 2013 Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ / В.И. Часнык // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 8-12. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56342 621.315.61 Проведен анализ свойств и характеристик керамических материалов, применяемых в электронных приборах СВЧ: корундовых керамик, керамики из оксида бериллия и керамики из нитрида алюминия. Показано, что по комплексу параметров, включающих конструкционные и функциональные характеристики, высокотеплопроводная керамика из нитрида алюминия превосходит все типы корундовой керамики и не уступает керамике из оксида бериллия, особенно при температурах выше 450°С. Приведены примеры преимущественного использования керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ-диапазона: ЛБВ и клистронах. Проведено аналiз властивостей та характеристик керамiчних материалiв, якi застосовуються в електронних приладах НВЧ: корундових керамiк, керамiки з оксиду берилiя та керамiки з нiтриду алюмiнiю. Показано, що за комлексом параметрiв, якi складаються з конструкцiйних та функцiональних характеристик, високотеплопровiдна керамiка з нiтриду алюмiнiю має вищi якостi, нiж усi типи корундовоï керамiки, і не поступається кераміці з оксиду берилiя, особливо при температурах вище 450°С. Наведено приклади переважного застосування керамiки з нiтриду алюмiнiю в електронних приладах НВЧ-дiапазону: ЛБХ та клiстронах. Analysis of properties and characteristics of the alumina, beryllium oxide and aluminum nitride based ceramic materials used in UHF electronic devices has been made. It was shown that the complex of parameters including structural and functional characteristics of the high-thermal conductive aluminum nitride ceramics prevail over all types of alumina ceramics and is not lower than the same characteristics of the beryllium oxide ceramics especially at the temperatures higher than 450 °C. The examples of the prevailing use of the aluminum nitride ceramics inside vacuum UHF-region devices: TWT’s and klystrons. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре СВЧ-техника Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ Застосування високотеплопровiдної керамiки з нiтриду алюмiнiю у вакуумних електронних приладах НВЧ Use of high-thermal conductive aluminum nitride based ceramics in vacuum UHF electronic devices Article published earlier |
| spellingShingle | Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ Часнык, В.И. СВЧ-техника |
| title | Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ |
| title_alt | Застосування високотеплопровiдної керамiки з нiтриду алюмiнiю у вакуумних електронних приладах НВЧ Use of high-thermal conductive aluminum nitride based ceramics in vacuum UHF electronic devices |
| title_full | Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ |
| title_fullStr | Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ |
| title_full_unstemmed | Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ |
| title_short | Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ |
| title_sort | применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах свч |
| topic | СВЧ-техника |
| topic_facet | СВЧ-техника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56342 |
| work_keys_str_mv | AT časnykvi primenenievysokoteploprovodnoikeramikiiznitridaalûminiâvvakuumnyhélektronnyhpriborahsvč AT časnykvi zastosuvannâvisokoteploprovidnoíkeramikiznitridualûminiûuvakuumnihelektronnihpriladahnvč AT časnykvi useofhighthermalconductivealuminumnitridebasedceramicsinvacuumuhfelectronicdevices |