Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния

Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом∙см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200°С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой обла...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2013
Main Authors: Дружинин, А.А., Кутраков, А.П., Лях-Кагуй, Н.С., Вуйцик, А.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2013
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56345
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, Н.С. Лях-Кагуй, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 23-26. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862647273795616768
author Дружинин, А.А.
Кутраков, А.П.
Лях-Кагуй, Н.С.
Вуйцик, А.М.
author_facet Дружинин, А.А.
Кутраков, А.П.
Лях-Кагуй, Н.С.
Вуйцик, А.М.
citation_txt Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, Н.С. Лях-Кагуй, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 23-26. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом∙см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200°С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой области применений. Представлено конструкцію дататчика тиску-температури на основі ниткоподібних кристалів кремнію р-типу, лелегованих бором, з питомим опором 0,005 Ом∙см, який є працездатним в інтервалі температури від –100 до +200°С і в діапазоні тиску від 0 до 20 МПа. Датчик призначений для широкої області застосувань. The article presents the design of a pressure-temperature sensor based on p-type silicon  whiskers, doped with boron, with a resistivity of 0,005 Ohm∙cm. The sensor is operable in a temperature range from –100 to +200°C and at pressures from 0 to 20 MPa. The sensor is designed for a wide range of applications.
first_indexed 2025-12-01T12:39:30Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-56345
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-01T12:39:30Z
publishDate 2013
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Дружинин, А.А.
Кутраков, А.П.
Лях-Кагуй, Н.С.
Вуйцик, А.М.
2014-02-16T19:11:55Z
2014-02-16T19:11:55Z
2013
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, Н.С. Лях-Кагуй, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 23-26. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56345
621.315.592
Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом∙см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200°С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой области применений.
Представлено конструкцію дататчика тиску-температури на основі ниткоподібних кристалів кремнію р-типу, лелегованих бором, з питомим опором 0,005 Ом∙см, який є працездатним в інтервалі температури від –100 до +200°С і в діапазоні тиску від 0 до 20 МПа. Датчик призначений для широкої області застосувань.
The article presents the design of a pressure-temperature sensor based on p-type silicon  whiskers, doped with boron, with a resistivity of 0,005 Ohm∙cm. The sensor is operable in a temperature range from –100 to +200°C and at pressures from 0 to 20 MPa. The sensor is designed for a wide range of applications.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
Двофункціональний датчик тиску-температури на основі нитковидних кристалів кремнію
Dual-function pressure-temperature sensor based on silicon whiskers
Article
published earlier
spellingShingle Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
Дружинин, А.А.
Кутраков, А.П.
Лях-Кагуй, Н.С.
Вуйцик, А.М.
Сенсоэлектроника
title Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
title_alt Двофункціональний датчик тиску-температури на основі нитковидних кристалів кремнію
Dual-function pressure-temperature sensor based on silicon whiskers
title_full Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
title_fullStr Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
title_full_unstemmed Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
title_short Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
title_sort двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56345
work_keys_str_mv AT družininaa dvuhfunkcionalʹnyidatčikdavleniâtemperaturynaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT kutrakovap dvuhfunkcionalʹnyidatčikdavleniâtemperaturynaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT lâhkaguins dvuhfunkcionalʹnyidatčikdavleniâtemperaturynaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT vuicikam dvuhfunkcionalʹnyidatčikdavleniâtemperaturynaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ
AT družininaa dvofunkcíonalʹniidatčiktiskutemperaturinaosnovínitkovidnihkristalívkremníû
AT kutrakovap dvofunkcíonalʹniidatčiktiskutemperaturinaosnovínitkovidnihkristalívkremníû
AT lâhkaguins dvofunkcíonalʹniidatčiktiskutemperaturinaosnovínitkovidnihkristalívkremníû
AT vuicikam dvofunkcíonalʹniidatčiktiskutemperaturinaosnovínitkovidnihkristalívkremníû
AT družininaa dualfunctionpressuretemperaturesensorbasedonsiliconwhiskers
AT kutrakovap dualfunctionpressuretemperaturesensorbasedonsiliconwhiskers
AT lâhkaguins dualfunctionpressuretemperaturesensorbasedonsiliconwhiskers
AT vuicikam dualfunctionpressuretemperaturesensorbasedonsiliconwhiskers