Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом∙см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200°С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой обла...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | Дружинин, А.А., Кутраков, А.П., Лях-Кагуй, Н.С., Вуйцик, А.М. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56345 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, Н.С. Лях-Кагуй, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 23-26. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)
Датчик для измерения криогенных температур на основе нитевидных кристаллов Si-Ge
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2016)
Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Оптический датчик температуры на основе нанокристаллической пленки SiC
за авторством: Лопин, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Лопин, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Первичные преобразователи давления криогенных жидкостей
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Прецизионный датчик давления с пневмомеханическим резонатором для бортового оборудования ЛА
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Датчик давления с тензочувствительным преобразователем на поверхностных акустических волнах
за авторством: Лепих, Я.И.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Лепих, Я.И.
Опубліковано: (2004)
Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2010)
Трехпараметрический генераторный датчик
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2009)
Датчик скорости газового потока
за авторством: Годованюк, В.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Годованюк, В.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Низкоразмерные кристаллы кремния для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2011)
Создание переключающих элементов с памятью на основе кристаллов CdTe
за авторством: Байдуллаева, А., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Байдуллаева, А., та інші
Опубліковано: (2001)
Чувствительный элемент двухфункционального сенсора магнитного поля и деформации на основе микрокристаллов Si<B, Ni>
за авторством: Дружинин, А.A., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Дружинин, А.A., та інші
Опубліковано: (2017)
Устройства измерения температуры на основе пленочных термоэлектрических сенсоров
за авторством: Капитанов, Н.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Капитанов, Н.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Преобразователь давления с частотным выходом на основе однопереходных тензотранзисторов
за авторством: Бабичев, Г.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Бабичев, Г.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2019)
Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Дистанционный оптико-электронный датчик с растровой решеткой
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Пассивный датчик на поверхностных активных волнах для дистанционного контроля параметров
за авторством: Карапетьян, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Карапетьян, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2006)
Нанокристаллы Si1–xGex в роли чувствительных элементов сенсора магнитного поля и температуры
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей
за авторством: Вакив, Н.М.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Вакив, Н.М.
Опубліковано: (2010)
Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
Акустические датчики для дистанционного контроля давления
за авторством: Карапетьян, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Карапетьян, Г.Я., та інші
Опубліковано: (2008)
Распределения температуры анизотропной пластины с учетом ее оптических свойств
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
за авторством: Алтухов, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Алтухов, А.А., та інші
Опубліковано: (2009)
Исследование функций преобразования и чувствительности радиоизмерительного преобразователя давления
за авторством: Осадчук, В.С., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Осадчук, В.С., та інші
Опубліковано: (2004)
Датчики на поверхностных акустических волнах для дистанционного контроля температуры
за авторством: Катаев, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Катаев, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)
Методика проектирования элементов прецизионного датчика давления с пневмомеханическим резонатором
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Черняк, Н.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Использование низкоразмерных гетероструктур соединений А³В⁵ в датчиках давления
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
Элементы твердотельной электроники на основе КНИ-структур и нитевидных кристаллов Si для криогенных температур
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)
Оптико-электронный метод избыточных измерений давления: особенности реализации
за авторством: Кондратов, В.Т., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Кондратов, В.Т., та інші
Опубліковано: (2008)
Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
за авторством: Дружинін, А.О., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Дружинін, А.О., та інші
Опубліковано: (2019)
«Электронный нос» на основе матрицы элементарных полупроводниковых резистивных сенсоров
за авторством: Алтухов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Алтухов, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Схожі ресурси
-
Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2013) -
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2012) -
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2008) -
Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2015) -
Датчик для измерения криогенных температур на основе нитевидных кристаллов Si-Ge
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)