Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2013
• Main Authors: Дружинин, А.А., Кутраков, А.П., Лях-Кагуй, Н.С., Вуйцик, А.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2013
• Subjects: Сенсоэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/56345
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, Н.С. Лях-Кагуй, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 23-26. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом∙см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200°С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой обла...